JP4348176B2 - ドライエッチング処理装置および処理方法 - Google Patents
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Description
Si3N4+16HF→2((NH4)2SiF6)+SiF4 (1)
SiNxもしくは結晶状のケイフッ化アンモニウムあるいはフッ化アンモニウムが生成し堆積する。これらの物質が堆積して固化すると、作製された半導体基板等の品質を大幅に低下する虞があった。
本発明に係るプラズマエッチング処理方法において、前記溶媒が水であることが好ましい。
詳細に説明する。図1は、本実施形態に係るドライエッチング処理方法に用いるプラズマエッチング処理装置(以下、エッチング処理装置という)の概略構成図、図2は、図1の要部構成を示す概略斜視図である。
ムあるいはフッ化アンモニウムといった残渣物が生成して、シリコン基板2上に堆積する。これらの残渣物は、10〜20μm程度の結晶であり、これを放置すると、シリコン基板2上で固化して密着するため除去することが難しくなる。
Claims (5)
- 搬送台又はコンベアに載置されたSiNxを含む被処理物の表面にHFを含むガスを大気圧近傍下で接触させてエッチング処理する処理ヘッドと、前記処理ヘッドに隣接して配置され、前記搬送台又はコンベアに載置されたままの被処理物に溶媒を供給し、前記エッチング処理により生じたケイフッ化アンモニウム又はフッ化アンモニウムを前記溶媒に溶解して除去する洗浄部とを備えることを特徴とするドライエッチング処理装置。
- 前記溶媒が水であることを特徴とする請求項1に記載のドライエッチング処理装置。
- 搬送台又はコンベアに載置されたSiNxを含む被処理物の表面にHFを含むガスを大気圧近傍下で接触させてエッチング処理する工程と、前記エッチング処理工程を行なう位置に隣接する位置で前記エッチング処理工程の直後、前記搬送台又はコンベアに載置されたままの被処理物に溶媒を供給し、前記エッチング処理により生じたケイフッ化アンモニウム又はフッ化アンモニウムを前記溶媒に溶解して除去する工程とを備えることを特徴とするドライエッチング処理方法。
- 対向する電極に電圧を印加して放電空間を形成し、該放電空間にフッ素含有エッチングガスを供給してHFを含むガスを生成し、搬送台又はコンベアに載置されたSiNxを含む被処理物の表面に前記HFを含むガスを接触させて大気圧近傍の圧力下でエッチング処理する工程と、該エッチング処理により生じたケイフッ化アンモニウム又はフッ化アンモニウムを溶媒に溶解して除去する工程とを備え、該溶解して除去する工程を、前記エッチング処理工程を行なう位置に隣接する位置で前記エッチング処理工程の直後に前記被処理物を前記搬送台又はコンベアに載置したまま行なうことを特徴とするドライエッチング処理方法。
- 前記溶媒が水であることを特徴とする請求項3又は4に記載のドライエッチング処理方法。
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