JP2010224581A - マスクブランク生産ライン制御システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 付与装置は基板を収納した第1の流通カセットの記録媒体に対し基板の管理番号を書き込み、処理条件に対応するレシピ番号を含む工程フローと管理番号とをホストコンピュータに送信する。ホストコンピュータは工程フローと管理番号とを互いに対応付けて蓄積する。成膜装置は第1の流通カセットから取り出した基板に対し、その記録媒体内の管理番号に対応するスパッタ条件で薄膜を成膜後、その基板を第2の流通カセットに収納してその記録媒体に管理番号を書き込む。欠陥検査装置は第2の流通カセットから取り出した基板に対し、その記録媒体内の管理番号に対応する検査条件で薄膜の欠陥検査をし、欠陥検査情報を管理番号と対応付けてホストコンピュータに送信し、検査後の基板を第3の流通カセットに収納してその記録媒体に管理番号を書き込む。
【選択図】 図1
Description
前記マスクブランクにパターニング処理を行う前に、本発明により予め取得された該マスクブランクに係る前記マスクブランク情報と前記パターンデータとを照合し、パターン形成の不良を抑制するように、及び/又は、転写マスクの機能が阻害されないように、該マスクブランクにおける前記パターンを形成すべき領域を選択する転写マスクの作製支援方法を提供する。
マスクブランクにパターニング処理を行う前に、本発明により予め取得されたマスクブランクに係るマスクブランク情報と前記パターンデータとを照合し、パターン形成の不良を抑制するために、及び/又は、転写マスクの機能が阻害されないようにするため、特定のマスクブランクを選択する転写マスクの作製支援方法を提供する。
2 流通ケース
2’、4’、5’、7’、8’、9’、10’ IDタグ
3、6、31 膜マーク
4、5、7、8、9、10 流通ケース
20 収納ケース
21 ケース番号
22 蓋
23 外箱
24 内箱
25 スロット
26 前面表示
50 マスクブランク生産ライン制御システム
51 ホストコンピュータ
52 カセット番号・スロット番号付与装置
53 1次膜成膜装置
54 1次膜欠陥検査装置
55 2次膜成膜装置
56 2次膜欠陥検査装置
57 レジスト膜成膜装置
58 レジスト膜欠陥検査装置
110 マスク作製支援システム
111 マスクブランク工場
112 マスク工場
113 データ通信回線(インターネット)
114 サーバ
142 マスクパターン
143 密パターン形成領域
144 疎パターン形成領域
511 データ送受信部
512 工程フロー蓄積部
513 情報蓄積部
514 欠陥情報照合部
521 入力部
522 データ送受信部
531 ローダーポート
532 データ送受信部
533 レシピ番号−スパッタ条件照合部
534 スパッタ条件蓄積部
535 スパッタ条件制御部
536 スパッタ装置
537 スロット番号、スパッタ実績、アンローダースロット番号収集部
538 アンローダーポート
541 データ送受信部
542 カセット番号−レシピ番号照合部
543 ローダーポート
544 欠陥検査条件蓄積部
545 欠陥検査条件制御部
546 欠陥検査装置
547 アンローダーポート
548 アンローダーカセット番号、アンローダースロット番号付与部
571 データ送受信部
572 ローダーポート
573 RCレシピNo.−レジスト塗布条件、レジスト加熱条件、レジスト冷却条件照合部
574 レジスト塗布条件、レジスト加熱条件、レジスト冷却条件蓄積部
575 レジスト塗布条件、レジスト加熱条件、レジスト冷却条件制御部
576 レジスト塗布装置
577 加熱装置
578 冷却装置
579 アンローダーポート
580 スロット番号、レジスト塗布実績、アンローダースロット番号付与部
ノッチマーク1が形成されたガラス基板の準備する。ノッチマークは形状によって基板の硝種を示している。次に、ガラス基板の表面を研削・研磨加工し、所望の表面粗さと平坦度に仕上げる。研磨工程で使用した研磨剤を除去するためにガラス基板を洗浄した後、IDタグがついた流通ケース2にガラス基板を収納する。流通ケース2にはノッチマーク1を基準にガラス基板の方向を揃えて収納されている。
生産管理を行うホストコンピュータを使用し、流通ケース2に添付したIDタグに、各基板を管理する管理番号を付与する。ホストコンピュータは、製造工程の順序、製造条件の設定、各製造工程の情報を収集して記録・保存する。流通ケース2内に収納されたガラス基板をスパッタリング装置に搬入して、ノッチマーク1が形成されている側と反対側に、1次膜であるMoSiNハーフトーン膜を反応性スパッタリングにより成膜する。この時、基板保持具によりMoSiN膜が形成されない箇所に膜マーク3が形成される。MoSiNハーフトーン膜付き基板を流通ケース2とは別の流通ケース4に収納する。これと共に、1次膜成膜終了の情報がホストコンピュータに保存される。流通ケース4の添付のIDタグに管理番号が転送される。流通ケース4にノッチマーク1(又は膜マーク3)を基準に基板の方向を揃えて収納される。
流通ケース4に収納されたハーフトーン膜付き基板を、1次膜の欠陥を検査する欠陥検査装置に搬入し、欠陥検査を行って膜情報を取得する。膜情報(膜の表面情報)として、欠陥の位置情報、欠陥のサイズ(大きさをランク別で表示)、欠陥の種類(ピンホール、パーティクル、その他)が、管理番号毎にホストコンピュータに保存される。ここで取得した膜情報を1次膜膜情報と呼ぶ。欠陥検査が完了した基板を別の流通ケース5に収納する。これと共に、流通ケース5のIDタグに管理番号が転送される。流通ケース5に、ノッチマーク1(又は膜マーク3)を基準に基板が方向を揃えて収納される。
流通ケース5内に収納されたハーフトーン膜付き基板をインライン型スパッタリング装置に搬入して、1次膜上に2次膜であるCr遮光膜を反応性スパッタリングにより成膜する。この時、基板保持部によりCr膜が形成されない箇所に膜マーク6が形成される。Cr遮光膜つき基板を別の流通ケース7に収納する。これと共に、2次膜成膜終了の情報がホストコンピュータに保存される。流通ケース7に添付のIDタグに管理番号が転送される。流通ケース7にノッチマーク1(又は膜マーク3、6)を基準に基板の方向を揃えて収納する。
流通ケース7に収納されたCr遮光膜付き基板を、2次膜の欠陥を検査する欠陥検査装置に搬入し、欠陥検査を行って膜情報(膜の表面情報)を取得する。膜情報は、欠陥の位置情報、欠陥のサイズ(大きさをランク別で表示)、欠陥の種類(ピンホール、パーティクル、その他)が、管理番号毎にホストコンピュータに保存される。ここで取得した膜情報を2次膜膜情報と呼ぶ。欠陥検査が完了した基板を別の流通ケース8に収納する。これと共に、流通ケース8に添付のIDタグに管理番号が転送される。流通ケース8に、ノッチマーク1(又は膜マーク3、6)を基準に基板が方向を揃えて収納される。
流通ケース8内に収納されたCr遮光膜付き基板を回転塗布装置に搬入して、2次膜上にレジスト膜を回転塗布法により塗布し、ベーク、冷却を経てレジスト膜を形成する。レジスト膜付き基板(マスクブランク)を別の流通ケース9に収納する。これと共に、レジスト膜成膜終了の情報がホストコンピュータに保存される。流通ケース9に添付のIDタグに管理番号が転送される。流通ケース9にノッチマーク1(又は膜マーク3、6)を基準にマスクブランクの方向を揃えて収納される。
流通ケース9に収納されたレジスト膜付き基板(マスクブランク)を、欠陥検査装置に搬入し、欠陥検査を行って膜情報を取得する。膜情報として、欠陥の位置情報、欠陥のサイズ(大きさをランク別で表示)、欠陥の種類(ピンホール、パーティクル、その他)が管理番号毎にホストコンピュータに保存される。ここで取得した膜情報をレジスト膜膜情報と呼ぶ。欠陥検査が完了した基板を別の流通ケース10に収納する。これと共に、流通ケース10に添付のIDタグに管理番号が転送される。流通ケース10に、ノッチマーク1(又は膜マーク3、6)を基準にマスクブランクの方向を揃えて収納する。
1次膜膜情報、2次膜膜情報、レジスト膜膜情報を互いに照合することにより、膜情報同士の間で方向が一致しているか確認する。
マスクブランクを収納ケース20に収納して梱包し、マスクメーカーに配送する。
ノッチマーク1が形成されたガラス基板の準備する。このノッチマークによって、ガラス基板の硝種を判別することができる。
生産管理を行うホストコンピュータを使用し、流通カセット2に添付したIDタグ2’に、各基板を管理する管理番号を付与する。ホストコンピュータは、IDタグに付与された管理番号と、各基板が処理されるべき製造工程の順序、各工程で用いる製造条件とを対応させる。ホストコンピュータは、製造工程内の各装置から情報(例えば基板情報、膜情報など)を収集して管理番号毎に記録・保存することができる機能を持つ。
この工程は、1次膜の薄膜情報を取得する工程と、取得された膜情報を情報蓄積媒体に記録し保存する薄膜情報記録工程を含む。
次ぎに、流通カセット5内に収納されたハーフトーン膜付き基板を、インライン型スパッタリング装置の保持具に載置する。このとき、ノッチマーク1が形成された側の基板表面を上方に向けて、膜マーク3が形成された側の面を下方に向けて保持具に載置する。
この工程は、1次膜検査工程と同様の工程である。この工程は、2次膜の薄膜情報を取得する工程と、取得された膜情報を情報蓄積媒体に記録し保存する薄膜情報記録工程を含む。
流通カセット8内に収納されたCr遮光膜付き基板を回転塗布装置に搬入して、2次膜上にレジスト膜を回転塗布法により塗布し、ベーク、冷却を経てレジスト膜を形成する。
この工程は、1次膜検査工程、2次膜検査工程と同様の工程である。この工程は、レジスト膜の薄膜情報を取得する工程と、取得された膜情報を情報蓄積媒体に記録し保存する薄膜情報記録工程を含む。
ガラス基板上に順次成膜された1次膜、2次膜、レジスト膜の各薄膜について、それぞれ取得された膜情報を互いに照合する。また基板情報を取得した場合は、基板情報と膜情報とを照合することができる。
マスクブランクを収納ケース20に収納して梱包し、マスクメーカーに配送する。
Claims (9)
- 複数の流通カセット、付与装置、ホストコンピュータ、成膜装置及び欠陥検査装置を備えるマスクブランク生産ライン制御システムにおいて、
前記複数の流通カセットは、機械による読み出し及び書き込みが可能な記録媒体をそれぞれ備え、
前記付与装置は、基板を管理するための管理番号を、基板が収納された第1の流通カセットの記録媒体に対して書き込む手段と、前記成膜装置で行う処理条件に対応するレシピ番号を含む工程フローと前記管理番号とを前記ホストコンピュータに送信する手段とを備え、
前記ホストコンピュータは、前記工程フローと前記管理番号とを前記付与装置から受信する手段と、受信した前記工程フローと前記管理番号とを互いに対応付けて蓄積する手段とを備え、
前記成膜装置は、前記第1の流通カセットの前記記録媒体から読み取った管理番号に対応するレシピ番号を取得する手段と、前記第1の流通カセットから取り出された前記基板に対し、前記レシピ番号に対応したスパッタ条件で第1の薄膜を成膜する手段と、前記第1の薄膜が成膜された基板を第2の流通カセットに収納し、第2の流通カセットの記録媒体に前記管理番号を書き込む手段とを備え、
前記欠陥検査装置は、前記第2の流通カセットの記録媒体から読み取った前記管理番号に対応するレシピ番号を取得する手段と、前記第2の流通カセットから取り出された前記基板に対し、前記レシピ番号に対応した検査条件で前記第1の薄膜の欠陥検査を行う手段と、前記第1の薄膜の欠陥検査情報を前記管理番号と対応付けてホストコンピュータに送信する手段と、前記欠陥検査が行われた基板を第3の流通カセットに収納し、第3の流通カセットの記録媒体に前記管理番号を書き込む手段とを備える
ことを特徴とするマスクブランク生産ライン制御システム。 - 前記流通カセットを装置間で搬送するカセット搬送手段を更に備え、
前記ホストコンピュータは、予め管理番号と関連づけて蓄積した工程フローと、前記成膜装置が少なくとも前記第1の流通カセットの記録媒体から読み出して送信した管理番号とに基づいて、前記第2の流通カセットの搬送先を特定し、前記カセット搬送手段に搬送先を指示する
ことを特徴とする請求項1に記載のマスクブランク生産ライン制御システム。 - 前記ホストコンピュータは、前記第2の流通カセットの管理番号と前記成膜装置に送信したスパッタのレシピ番号を欠陥検査装置に送信することを特徴とする請求項1記載のマスクブランク生産ライン制御システム。
- 前記流通カセットは、基板を収納する複数のスロットを備え、前記スロットにはそれぞれスロット番号が付与されていることを特徴とする請求項1記載のマスクブランク生産ライン制御システム。
- 前記付与装置は、レシピ番号を含む工程フローと、前記管理番号と、前記基板が収納されているスロット番号とを前記ホストコンピュータに送信する手段を備え、
前記成膜装置は、前記基板が収納されていた第1の流通カセットのスロット番号と、前記第1の薄膜が成膜された基板が収納された第2の流通カセットのスロット番号をホストコンピュータに送信する手段を備え、
前記欠陥検査装置は、前記第1の薄膜の欠陥検査情報を、欠陥検査が行われた基板が収納された第3の流通カセットの記録媒体に記録された管理番号およびスロット番号と対応付けてホストコンピュータに送信する手段を備えることを特徴とする請求項4記載のマスクブランク生産ライン制御システム。 - 前記成膜装置は、前記基板に第1の薄膜を成膜する過程でスパッタ実績を収集し、第1の流通カセットのスロット番号と関連付ける手段を備えることを特徴とする請求項5記載のマスクブランク生産ライン制御システム。
- 前記成膜装置は、前記基板が収納されていた第1の流通カセットのスロット番号、前記第1の流通カセットの当該スロット番号に関連付けられたスパッタ実績、及び、前記第1の薄膜が成膜された基板が収納された第2の流通カセットのスロット番号をホストコンピュータに送信する手段を備えることを特徴とする請求項6記載のマスクブランク生産ライン制御システム。
- 前記流通カセットを装置間で搬送するカセット搬送手段を更に備え、
前記ホストコンピュータは、予め管理番号と関連づけて蓄積した工程フローと、前記成膜装置が少なくとも前記第1の流通カセットの記録媒体から読み出して送信した管理番号とに基づいて、前記第2の流通カセットの搬送先を特定し、前記カセット搬送手段に搬送先を指示する
ことを特徴とする請求項5に記載のマスクブランク生産ライン制御システム。 - 前記ホストコンピュータは、前記第2の流通カセットの記録媒体に記録された管理番号と前記成膜装置に送信したスパッタのレシピ番号とを欠陥検査装置に送信することを特徴とする請求項5記載のマスクブランク生産ライン制御システム。
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