JP4893778B2 - 描画用基板の供給方法および基板選択装置 - Google Patents
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Description
従来、フォトマスク製造は、一般には、以下のように行われていた。
図8に基いて簡単に説明する。
先ず、石英などの透明基板810の上に、クロムなどの金属薄膜からなる遮光膜あるいはシフター層820をスパッタ法などにより成膜した基板(ブランクスとも言う)を用意する。(図8(a))
そして、ブランクスの遮光膜あるいはシフター層820上に、感光材層(感光性樹脂膜、感光性レジストあるいは単にレジストとも言う)830を塗布した後、加熱乾燥処理し膜に残留している溶剤の除去や金属薄膜との密着性向上を図る。(図8(b))
次に、感光材層が塗布された感光材層塗布基板の感光材層830に、EB(Electoron Beamの略で電子線のこと)、レーザー光、X線などの電離放射線840を選択的に照射し、所望のパタン形状に感光する。(図8(c))
一般にはパタン(絵柄)形成用のパタンデータにしたがい、電離放射線840を所定の装置で選択的に照射するため、これを、パタン描画ないし単に描画とも言う。
次に、感光材層830を現像してレジストパタン835を形成した(図8(d))後、レジストパタン835の開口836から露出した金属薄膜からなる遮光層820をエツチングして、遮光層パタン825を形成する。(図8(e))
最後に、レジストパタン835を除去して、遮光層パタン825をその一面に配設したフオトマスクが得られる。(図8(f))
そして、この後、検査、必要に応じて修正が行われ、所望のフォトマスクを得ていた。
しかし、目的とする製品の品質仕様も多種あり、検査にて良品になった感光材層塗布基板にも品質面や感光材層の感度に種々あるため、必ずしも、目的とする製品の品質仕様に見合った基板を選択していたとは言えず、使用する基板の選択1つで、検査、修正に及ぼす影響は大きかった。
しかし、この方法においては、予め、遮光膜成膜基板の状態でなく、感光材塗布基板の状態で、多数用意しておき、この中から適当な基板を選択することを前提としており、実用レベルでは、感光材を塗布後、使用されない基板も多くなり、高価な感光材を無駄にすることとなり、コスト面や生産性の面で問題となっていた。
特開2001−33941号公報
同時に、作製するフォトマスクの仕様に基づく描画情報に合せて、フォトマスク作製のための描画用基板を供給する、描画用基板の供給方法で、目的とする製品の品質仕様に見合う基板を供給でき、且つ、感光材を無駄にせずに、コスト面や生産性の面でも対応できる、描画用基板の供給方法を提供しようとするものである。
本発明の描画用基板の供給方法は、このような構成にすることにより、作製するフォトマスクの仕様に基づく描画情報に合せて、フォトマスク作製のための描画用基板を供給する、描画用基板の供給方法で、目的とする製品の品質仕様に見合う基板を提供でき、且つ、感光材を無駄にせずに、コスト面や生産性の面でも対応できる、描画用基板の供給方法の提供を可能としている。
具体的には、感光材を塗布した感光材塗布基板に対し、感光材の欠陥検査を行ない、得られた欠陥情報を感光材欠陥情報データーベースに登録した後、該感光材欠陥情報データベースに登録された欠陥情報と、描画情報より、感光材塗布基板が、目的とする製品に合うか否かを判定する感光材塗布基板判定工程を行い、感光材塗布基板判定工程における判定がOKと判定された感光材塗布基板を供するものであり、前記感光材塗布基板判定工程における目的とする製品に合うか否かを判定する感光材塗布基板判定が、感光材欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を判定するパタンエッジ判定法、感光材欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を判定する全パタン判定法の1つ以上の判定方法により判定するものであり、前記パタンエッジ判定方法と前記全パタン判定方法は、検出された個々の感光材欠陥が、パタンデータエリア内の絵柄の周辺部または内部に、跨るまたは跨らない確率を計算し、更に、個々の計算結果を乗じた積を求めることにより、フォトマスク上に欠陥が発生するまたは発生しない確率を算出し、該算出結果に基づき、感光材欠陥検査を行った感光材塗布基板が、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判定するものであることにより、これを達成している。
具体的には、所定の決められた感光材を塗布して作成された感光材塗布基板に対し、感光材欠陥検査を行ない、得られた感光材欠陥情報と蓄積する、感光材欠陥情報データベースと、該感光材欠陥情報データベースに感光材欠陥情報を登録するための感光材欠陥登録部と、感光材欠陥情報データベースに蓄積された感光材欠陥情報と、描画情報データベースに蓄積された描画情報より、1つ以上の手段で目的とする製品に適用する感光材塗布基板を判定する感光材塗布基板判定部とを有し、感光材塗布基板判定部により、目的とする製品に適用する感光材塗布基板を選択するものであり、感光材塗布基板判定部は、感光材欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を判定するパタンエッジ判定部、感光材欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を判定する全パタン判定部の1つ以上を備えており、前記パタンエッジ判定部と前記全パタン判定部は、検出された個々の感光材欠陥が、パタンデータエリア内の絵柄の周辺部または内部に、跨るまたは跨らない確率を計算し、更に、個々の計算結果を乗じた積を求めることにより、フォトマスク上に欠陥が発生するまたは発生しない確率を算出し、該算出結果に基づき、感光材欠陥検査を行った感光材塗布基板が、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判定するものであることにより、これを達成している。
図1は本発明の基板選択装置の実施の形態の1例の概略構成と基板供給処理のフローを示した概略図で、図2はピンホール欠陥検査結果データの1例を示した図で、図3は感光材ロットチェック結果データの1例を示した図で、図4は基板の品質基準の1例を示した図で、図5は、基板選択の入力方法の1例を示した図で、図6は基板選択部のランク判定部による遮光膜成膜基板選択手順の1例を示したフロー図で、図7は基板選択部のエッジ選択部による遮光膜成膜基板選択を説明するための図である。
また、図1中、S11〜S21、図6中、S510〜S540は処理ステップである。 図1、図6、図7中、110は遮光膜成膜、115は感光材塗布基板、120は遮光膜欠陥登録部、125は遮光膜欠陥情報データベース、130は基板選択部(遮光膜基板選択部とも言う)、131は基板ランク選択部、132はパタンエッジ選択部、133は全パタン選択部、140は感光材塗布基板欠陥登録部、145は感光材欠陥情報データベース、150は基板判定部(感光材塗布基板判定部とも言う)、151は基板ランク判定部、152はパタンエッジ判定部、153は全パタン判定部、170はフォトマスク仕様、180は描画情報登録部、190は描画情報データベース、511は遮光膜基板群、512は使用条件(フォトマスク仕様)、521は対象基板、522はピンホール欠陥データ、523はパタンエリア、531は品質基準、541はランク付き対象基板、601は基板エリア、605はパタンエリア(描画エリア)、611、612、613は欠陥、621、622、623は欠陥領域、631、632、633はパタンデータエリア、651、652は絵柄(パタンとも言う)である。
本例は、遮光膜をその一面に成膜し、感光材層を未塗布の、フォトマスク形成用の遮光膜成膜基板群の中から、遮光膜の欠陥情報と描画情報より、目的とする製品に合う遮光膜成膜基板を選択し、選択された遮光膜成膜基板の遮光膜上に、感光材を塗布して、フォトマスク作製のための描画に供与する基板選択装置である。
そして、図1に示すように、本例の基板選択装置は、各遮光膜成膜基板110の遮光膜欠陥情報を蓄積する遮光膜欠陥情報データベース125と、該遮光膜欠陥情報データベース125に遮光膜欠陥情報を登録するための遮光膜欠陥登録部120と、描画すべきパタンの描画情報を蓄積する描画情報データベース190と、該描画情報データベースに描画すべきパタンの描画情報を登録するための描画情報登録部180と、各データベースに蓄積された描画情報と遮光膜欠陥情報から、1つ以上の手段で目的とする製品に適用できる遮光膜成膜基板110を選択する遮光膜成膜基板選択部130と、更に、遮光膜成膜基板選択部130により、選択した遮光膜成膜基板110に、所定の決められた感光材を塗布して作成された感光材塗布基板115に対し、感光材欠陥検査を行ない、得られた感光材欠陥情報を蓄積する感光材欠陥情報データベース145と、感光材欠陥情報データベース145に感光材欠陥情報を登録するための感光材欠陥登録部140と、感光材欠陥情報データベース145に蓄積された感光材欠陥情報と、描画情報データベース190に蓄積された描画情報より、1つ以上の手段で目的とする製品に適用する感光材塗布基板を判定する感光材塗布基板判定部150とを備えている。
尚、これを以って、本発明の基板供給方法の実施の形態例の説明に代える。
先ず、石英などの透明基板の上に、クロムなどの金属薄膜からなる遮光膜あるいはシフター層をスパッタ法などにより成膜した遮光膜成膜基板(ブランクスとも言う)110(S11)に対し、所定の欠陥検査を行い(S12)、遮光膜欠陥登録部120にて、この結果を遮光膜欠陥情報として、遮光膜欠陥情報データベース125に保管する。
欠陥検査としては、通常、所定のピンホール欠陥検査機により、図2に示すように、欠陥のサイズとその欠陥座標(X,Y)を得ることができる。
次いで、基板選択部130により、描画情報データベース190に蓄積された描画情報と、遮光膜欠陥データベース125に蓄積された遮光膜欠陥情報から、1つ以上の手段で目的とする製品に適用できる遮光膜成膜基板を選択する。(S13)
描画情報は、フォトマスク仕様170に基づき描画情報データベース190に登録されるが、描画パタン情報、配置情報、描画パタンのランク付け情報等を含み、更に、細かくは、描画機、基板サイズ、遮光膜種類、等の基板条件、および、設計ルール、ピンホール欠陥検査結果ランク、異物欠陥検査結果ランク等の品質条件を含む。
基板選択部130としては、遮光膜欠陥情報から求めたランクと描画パタンのランクとを考慮して遮光膜成膜基板を選択する基板ランク選択部131、遮光膜欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を選択するパタンエッジ選択部132、遮光膜欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を選択する全パタン選択部133の1つ以上を基板選択手段として備えているものが挙げられる。
これらによる、基板選択については、説明を後述する。
尚、基板ランク選択部131、パタンエッジ選択部132、全パタン選択部133により実施される遮光膜成膜基板の選択方法を、ここでは、基板ランク選択法、パタンエッジ選択法、全パタン選択法と呼ぶ。
基板選択部130による、目的とする製品に見合った基板を選択する際の入力(選択指示入力に相当)は、例えば、図5に示すように表示する(コンピュータ端末の表示部の)入力画面において、描画機、基板サイズ、遮光膜種類、等の基板条件、および、設計ルール、ピンホール欠陥検査結果ランク等の品質条件を、それぞれ選択して用い、各選択部にて遮光膜成膜基板選択行なう。
感光材の欠陥検査は、通常、所定の検査機で異物欠陥の検査を行うもので、欠陥のサイズと、その欠陥座標(X,Y)を、図2に示すピンホール欠陥のように、得ることができる。
基板判定部150としては、感光材欠陥情報から求めたランクと描画パタンのランクとを考慮して感光材塗布基板を判定する基板ランク判定部151、感光材欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を判定するパタンエッジ判定部152、感光材欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を判定する全パタン判定部153の1つ以上を基板選択手段として備えているものが挙げられる。
これらによる、基板判定についても、説明を後述する。
尚、基板ランク判定部151、パタンエッジ判定部152、全パタン判定部153により実施される感光材塗布基板の判定方法を、ここでは、基板ランク判定法、パタンエッジ判定法、全パタン判定法と呼ぶ。
基板判定部130による、目的とする製品に見合った基板を判定する際の入力(判定指示入力に相当)は、例えば、図5に示にて、ピンホール欠陥検査結果ランクを異物欠陥検査結果ランクに代えて、表示する(コンピュータ端末の表示部の)入力画面において、描画機、基板サイズ、遮光膜種類、等の基板条件、および、設計ルール、異物欠陥検査結果ランク等の品質条件を、それぞれ選択して用い、各判定部にて感光材塗布基板の判定を行なう。
また、基板判定部150にて、OKでないと判断された(S19)感光材塗布基板は使用せず、再度、目的とする製品に適用できる遮光膜成膜基板を、基板選択部130により選択し(S13)、上記と同様に、再度、S14〜S17までの処理ステップを行ない、基板判定部150にて、OKと判断されるまで繰り返し行なう。
そして、OKと判断された(S19)感光材塗布基板は、先と同様に、感光材のロットチェックを行ない(S20)、感度に問題がなければ、パタン描画に供与される。(S21)
感光材感度ロットチェックデータとしては、各基板毎に、感光材の塗布ロット(ここでは、塗布日によりロットが異なるとする)毎に、テストピース等によりその感度を調べ、対応する描画機毎にこれに合った露光量(照射量)を決め、各基板毎に、基板サイズ、遮光膜種類、感光材層種類、塗布日、描画機、露光量を対応させておくもので、例えば、図3に示すように、表される。
尚、図3中、+aは、+aだけ露光量を多くして、感光材層のロット間の感度のバラツキの補正を行っているものである。
先ず、基板ランク選択部131により、目的とする製品に品質的に見合ったランクの遮光成膜基板を選択する第1の例のフロー(アルゴリズム)の例を図6に基づいて説明する。
図6に示す例は、基板選択の基準となるフォトマスク仕様からの基板の品質基準から、基板ランクを指定し、対応するランク付けされた遮光膜成膜基板を選択するもので、基板ランク選択部により以下のように基板選択を行なう。
遮光膜成膜基板のランク付けは、対象基板について、データベースに登録された遮光膜欠陥情報に基づき、それぞれ、作製するフォトマスクのパタンエリア(これを、描画エリアとも言う)に対応する領域内の欠陥数を抽出し、抽出された欠陥の数により、ランク付けするものである。
先ず、遮光膜成膜基板511の中から、選択指示入力により指定された、指定の描画機、基板サイズ、遮光膜種類等の使用条件512に対応する対象基板521を選択する、対象基板選択を行なう。(S510)
次いで、この対象基板521の中から、ピンホール欠陥検査結果データ522を参照にして、パタンエリアを所定のものとし、0°状態と90°回転した状態とで、パタンエリア内の欠陥数を把握しておく。(S520)
90°回転することにより、所定のパタンエリア内においても、その中に占める欠陥の数が異なることがある。
対象基板531の中から、品質基準(基板ランク)532と照らし、所望の基板ランクのものを選び、優先順位を付けたランク分けを行ない(S530)、優先順位が付けられたランク付き対象基板541を得る。
これにより、所望の遮光膜成膜基板が選択されたこととなる。
このようにして、目的とする製品の対象基板541が、ランク分けされ、更に優先順位が付けられるが、この対象基板541の中より、目的とする製品の品質仕様(品質基準)に見合った、所望の基板が選択され(S550)、感光材塗布される。(図1のS14に相当)
尚、フォトマスク仕様170から決められる基板選択の基準となる品質基準は、設計ルール、パタンエリア(X、Yサイズ)、ピンホール欠陥検査結果等によりランクを対応させたもので、例えば、図4に示すように表される。
尚、図4はラスター型のEB機(電子線描画機)による描画に供せられる基板の品質基準の例で、表の1段目は0. 25μmアドレスユニット描画で、パタンエリアが10000μm、10000μm範囲で、ピンホール欠陥検査結果ランクがA、異物欠陥検査結果ランクがBであることを意味している。
図7に示す例は、遮光膜欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を選択するもので、基板選択部130内のパタンエッジ選択部132により、以下のように基板選択を行なう。
第2の例は、遮光膜欠陥データベース125に登録された遮光膜欠陥検情報、と描画情報とから、基板を選択するもので、基板選択部130では、欠陥確率計算部(図示していない)にて、対象基板について、データベースに登録された欠陥検情報に基づき、それぞれ、フォトマスク上で欠陥が発生しない確率P0を求めるもので、この確率P0より、対象基板の中でランク付けを行い、所望の基板ランクのものを選ぶものである。
選ばれた遮光膜成膜基板は、感光材塗布処理(図1のS14に相当)に供される。
P0を求める際、対象基板に対し、対象基板とパタンエリアを相対的に90度ずつ回転させて、0°の場合と同様の計算を行い、それぞれの相対的な角度におけるP0を求め、それぞれの相対的な角度におけるP0を含め、対象基板の中でランク付けを行い、所望のランクのものを選ぶ。
この場合、第1の例に比べ、対象基板をさらに有効的に使用することができる。
尚、第2の例におけるP0計算方法は、欠陥が絵柄の内部に含まれる場合には、後で欠陥修正が比較的容易に行なうことができるため、これを、実作業上、後の修正作業を前提として、欠陥発生としない計算方法で、パタエッジ部のみが確率P0に関係しているので、ここではこの第2の例の基板選択処理をパタンエッジ選択処理と言い、これを行なう処理部をパタンエッジ選択部と言っている。
説明を分かり易くするため、具体的な例として、基板エリア601の描画エリア(パタンエリア)605内に、欠陥が 3個(欠陥611、612、613)あり、パタンデータエリア631、632、633が3つある場合の、フォトマスク上で欠陥が発生しない確率P0の求め方を説明する。
先ず、欠陥611、612、613について、それぞれ、パタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)の周辺部に跨る確率を計算し、これより、パタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)の周辺部に跨がらない確率P1,P2、P3をそれぞれ計算し、P0=P1×P2×P3としてフォトマスク上で欠陥が発生しない確率P0を求める。
尚、対象基板と、パタンエリア、パタンデータエリア、パタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)との位置関係は、描画パタン171、配置情報172とから決定する。 欠陥611がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)の周辺部に跨がらない確率P1は、作製されるフォトマスク上での、欠陥611の位置に対応する、誤差を考慮した欠陥より大サイズの、欠陥領域621を求め、求められた欠陥領域621内の絵柄の周辺部に欠陥が発生しない確率である非発生確率を求める。
図7(a)の場合の、誤差を考慮した、欠陥611がこの中に入る欠陥より大サイズの、欠陥領域621(サイズL×L)内の絵柄が、図7(b)に拡大して示すように、絵柄651、652で、欠陥領域621は一辺の長さをLとする矩形領域である。
この場合、欠陥をサイズdφの円形のものとし、絵柄651、652の周辺長さの総和をS1とすると、欠陥611がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)の周辺部に跨る確率は、近似的に(S1×d)/(L×L)として計算される。(図7(c)参照)
よって、欠陥611がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)の周辺部に跨がらない確率P1を、近似的に、P1=1−[(S1×d)/(L×L)]として求めることができる。
同様にして、欠陥612、613がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)の周辺部に跨がらない確率P2、P3をそれぞれ求める。
求められた、P1,P2,P3より、フォトマスク上で欠陥が発生しない確率P0が求められる。
パタンデータエリア(631、632、633に相当)が3つ以上ある場合についても、基本的には同様に計算できる。
第3の例は、遮光膜欠陥位置と全描画パタン領域とを考慮して基板を選択するもので、基板選択部130内の全パタン選択部(図示していない)により、以下のように基板選択を行なう。
第3の例も、遮光膜欠陥データベース125に登録された遮光膜欠陥検情報、と描画情報とから、基板を選択するもので、第2の例と同様、基板選択部130では、欠陥確率計算部(図示していない)にて、対象基板について、データベースに登録された欠陥検情報に基づき、それぞれ、フォトマスク上で欠陥が発生しない確率P01を求めるもので、この確率P01より、対象基板の中でランク付けを行い、所望の基板ランクのものを選ぶものであるが、第3の例の場合は、第2の例のようにパタンエッジのみを対象とせず、全パタン領域について欠陥が発生する確率を求める。
例えば、図7(b)のような欠陥領域621において、
サイズdφの円形の欠陥611がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)に跨る確率は、Sd/(L×L)として計算される。
但し、Sdは絵柄651、652を、それぞれ外側にd/2だけ太らせた場合の面積の和である。
これより、欠陥611がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)に跨がらない確率P11は、P11=1−[Sd/(L×L)]として求められる。 同様に、欠陥612、613がパタンデータエリア内の絵柄(パタンとも言う)に跨がらない確率P12、P13を求めることができ、求められた、P11,P21,P31より、絵柄の内部にある場合も含め、フォトマスク上で欠陥が発生しない確率P01を求めることができる。
先にも述べたように、基板判定部150としては、感光材欠陥情報から求めたランクと描画パタンのランクとを考慮して感光材塗布基板を判定する基板ランク判定部、感光材欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を判定するパタンエッジ判定部、感光材欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を判定する全パタン判定部の1つ以上を基板選択手段として備えているものが挙げられる。
基板ランク判定部150は、感光材塗布基板115に対し、基板選択部130の基板ランク選択部の処理の欠陥算出と同様にして、欠陥数を算出し、ランク付けし、これとフォトマスク仕様からの品質基準と比較し、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判断するものである。
また、パタンエッジ判定部は、感光材塗布基板115に対し、基板選択部130のパタンエッジ選択部の処理の確率算出と同様にして、確率P0を算出し、これより、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判断するものである。
また、全パタン判定部は、感光材塗布基板115に対し、基板選択部130の全パタン選択部の処理の確率算出と同様にして、確率P01を算出し、これより、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判断するものである。
115 感光材塗布基板
120 遮光膜欠陥登録部
125 遮光膜欠陥情報データベース
130 基板選択部(遮光膜基板選択部とも言う)
131 基板ランク選択部
132 パタンエッジ選択部
133 全パタン選択部
140 感光材塗布基板欠陥登録部
145 感光材欠陥情報データベース
150 基板判定部(感光材塗布基板判定部とも言う)
151 基板ランク判定部
152 パタンエッジ判定部
153 全パタン判定部
170 フォトマスク仕様
180 描画情報登録部
190 描画情報データベース
511 遮光膜基板群
512 使用条件(フォトマスク仕様)
521 対象基板
522 ピンホール欠陥データ
523 パタンエリア
531 品質基準
541 ランク付き対象基板
601 基板エリア
605 パタンエリア(描画エリア)
611、612、613 欠陥
621、622、623 欠陥領域
631、632、633 パタンデータエリア
651、652 絵柄(パタンとも言う)
810 透明基板
820 遮光膜あるいはシフター層
825 遮光層パタン
830 感光材層(感光性樹脂膜、感光性レジストあるいは単にレジストとも言う)
835 レジストパタン
840 電離放射線
Claims (2)
- 作製するフォトマスクの仕様に基づく描画情報に合わせて、フォトマスク作製のための描画用基板を供給する、描画用基板の供給方法であって、感光材を塗布した感光材塗布基板に対し、感光材の欠陥検査を行ない、得られた欠陥情報を感光材欠陥情報データーベースに登録した後、該感光材欠陥情報データベースに登録された欠陥情報と、描画情報より、感光材塗布基板が、目的とする製品に合うか否かを判定する感光材塗布基板判定工程を行い、感光材塗布基板判定工程における判定がOKと判定された感光材塗布基板を供するものであり、前記感光材塗布基板判定工程における目的とする製品に合うか否かを判定する感光材塗布基板判定が、感光材欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を判定するパタンエッジ判定法、感光材欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を判定する全パタン判定法の1つ以上の判定方法により判定するものであり、前記パタンエッジ判定方法と前記全パタン判定方法は、検出された個々の感光材欠陥が、パタンデータエリア内の絵柄の周辺部または内部に、跨るまたは跨らない確率を計算し、更に、個々の計算結果を乗じた積を求めることにより、フォトマスク上に欠陥が発生するまたは発生しない確率を算出し、該算出結果に基づき、感光材欠陥検査を行った感光材塗布基板が、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判定するものであることを特徴とする描画用基板の供給方法。
- 作製するフォトマスクの仕様に基づく描画情報に合わせて、フォトマスク作製のための描画用基板を選択する、基板選択装置であって、所定の決められた感光材を塗布して作成された感光材塗布基板に対し、感光材欠陥検査を行ない、得られた感光材欠陥情報と蓄積する、感光材欠陥情報データベースと、該感光材欠陥情報データベースに感光材欠陥情報を登録するための感光材欠陥登録部と、感光材欠陥情報データベースに蓄積された感光材欠陥情報と、描画情報データベースに蓄積された描画情報より、1つ以上の手段で目的とする製品に適用する感光材塗布基板を判定する感光材塗布基板判定部とを有し、感光材塗布基板判定部により、目的とする製品に適用する感光材塗布基板を選択するものであり、感光材塗布基板判定部は、感光材欠陥位置と描画パタンエッジを考慮して基板を判定するパタンエッジ判定部、感光材欠陥位置と全描画パタンを考慮して基板を判定する全パタン判定部の1つ以上を備えており、前記パタンエッジ判定部と前記全パタン判定部は、検出された個々の感光材欠陥が、パタンデータエリア内の絵柄の周辺部または内部に、跨るまたは跨らない確率を計算し、更に、個々の計算結果を乗じた積を求めることにより、フォトマスク上に欠陥が発生するまたは発生しない確率を算出し、該算出結果に基づき、感光材欠陥検査を行った感光材塗布基板が、目的とする製品の描画に適用できるか否かを判定するものであることを特徴とする基板選択装置。
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