KR101032526B1 - 마스크 블랭크 정보 취득방법 및 시스템, 마스크 블랭크 정보 제공방법, 전사 마스크 제작지원 및 제조방법, 그리고 마스크 블랭크 제조 및 제공방법 - Google Patents

Abstract

기판 상에 적어도 전사패턴이 되는 박막을 포함하는 복수의 막이 형성된 마스크 블랭크의 레지스트막에 대하여, 패턴 데이타에 따라서 패턴을 형성할 때, 패턴과 대조하기 위한 막정보를, 복수의 막 각각에 관하여 취득한다.

Description

마스크 블랭크 정보 취득방법 및 시스템, 마스크 블랭크 정보 제공방법, 전사 마스크 제작지원 및 제조방법, 그리고 마스크 블랭크 제조 및 제공방법{METHOD AND SYSTEM FOR OBTAINING MASK BLANK INFORMATION, METHOD FOR PROVIDING MASK BLANK INFORMATION, METHOD FOR SUPPORTING TRANSFER MASK MANUFACTURE AND MANUFACTURING TRANSFER MASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING AND PROVIDING MASK BLANK}

본 발명은, 반도체 제조용 마스크 블랭크에 관한 것으로서, 특히 마스크 블랭크의 품질정보의 취득 및 관리와 함께, 마스크 블랭크 및 마스크의 제조에 관한 것이다.

본 발명에 관련된 종래기술로서, 일본특허공개공보 제2003-149793호 공보를 들 수 있다. 이 공보에 기재된 기술에 의하면, 블랭크 제조업자가, 검사결과에 따라서 결함등급별로 블랭크를 분류하고, 결함정보를 첨부하여 마스크 제조업자에게 블랭크를 공급하는 것이 기재되어 있다.

또한, 특허공개공보 제2003-248299호에서는, 포토마스크 기판 상의 결함 위치를 정확하게 파악하기 위한 기술이 개시되어 있다.

이러한 종래의 기술로는, 마스크 블랭크와 함께 제공되는 결함 정보는, 마스크 블랭크 표면에 존재하는 결함끼리의 상대적인 위치관계를 나타내지만, 마스크 블랭크와 결함정보의 위치정보를 대응시키는 기준이 마련되어 있지 않았기 때문에, 결함정보가 있어도 실제의 마스크 블랭크 상의 어디에 결함이 있는지 정확히 파악하는 것이 불가능하여, 묘화·현상처리에서의 패턴불량이 발생해왔다. 더욱이, 수납 케이스에 수납된 마스크 블랭크의 방향과, 결함정보의 방향을 일치시키는 데에 있어서의 명확한 보증이 없었다. 그로 인해, 실제의 마스크 블랭크와 결함정보가, 90도, 180도, 270도 벗어난 것에 의해 묘화·현상처리에서의 패턴불량이 발생해왔다. 이것은, 제조공정에서 유통케이스, 카세트, 수납케이스 등의 용기에 수납되어 있는 기판을 꺼내어, 소정의 처리를 기판에 대하여 행한 후, 다른 용기에 다시 수납할 때, 기판을 수납한 방향이 이전 용기와 이후 용기에, 동일하게 있는지 확인하기 위한 수단이 없었기 때문이었다.

종래, 마스크 제조업자가 마스크를 제작하는 데 있어서, 이러한 결함 정보에서 특히 문제점은 없었다. 이것은, 종래의 노광 광원인 i선(파장 365nm), KrF(파장 248nm) 등에 있어서는, 허용가능한 결함 레벨, 즉 결함의 사이즈 및 개수의 허용범위가 그 정도로 협소하지 않았기 때문이다.

그러나, 반도체 디바이스의 고집적화에 따라, 패턴이 복잡화되는 동시에, 패턴의 선폭이 좁아지고 있다. 이것에 대응하기 위해, 노광 광원의 파장이 단파장화되어, 광원으로서 ArF(파장 193nm), F2(157nm) 등이 검토되고 있으며, 그 결과, 마스크에 있어서 허용가능한 결함 레벨이 이전보다 엄격하게 되는 것이 예상된다.

또한, 패턴의 복잡화 및 미소화에 의해, 묘화기로 패턴을 묘화하여 마스크를 제조할 때의 소요시간과 비용(cost)이 비약적으로 증대하고 있다. 이 때문에, 마스크 블랭크에 기인하는 패턴 결함을 억제할 필요성이 높아지고 있다. 이와 같은 패턴 결함에는 예를 들면, 파티클(particle)이나 핀홀(pinhole)이라 불리는 결함이 있다.

다른 한편, 패턴의 미세화에 대응한 마스크 블랭크로서, 위상시프트(phase shift) 마스크 블랭크의 수요가 높아지고 있다. 위상시프트 마스크 블랭크의 일종인 하프톤(halftone) 형 위상시프트 마스크 블랭크는, 하프톤 막, 차광막, 경우에 따라서는 레지스트막이 더 형성된다. 하프톤 막은 차광기능과 위상시프트 기능을 가져, 차광막과는 다른 역할을 한다.

이와 같은 마스크의 제조공정의 수율 향상, 공정의 간략화, 비용 절감 등을 행하기 위해서는, 마스크 블랭크를 구성하는 각 막의 결함정보를 얻는 것이 필요하게 된다.

[특허문헌 1] 일본특허공개공보 제 2003-149793 호

[특허문헌 2] 일본특허공개공보 제 2003-248299 호

그러나, 종래의 기술에 의하면, 각 막의 결함정보를 취득할 필요성이 없고, 상술한 대로 최종 출하형태의 마스크 블랭크를 검사한 결과만이 제공되고 있었다. 이 때문에, 블랭크 제조업자는, 마스크 블랭크의 제조공정에 있어서 기판마다의 결 함정보를 관리하고 있지 않아, 마스크 블랭크의 각 막의 결함정보를 마스크 제조업자에게 제공하는 것이 불가능했다.

그 때문에, 마스크 제조업자에게 있어서는, 마스크 블랭크에서 기인하는 결함을 원인으로 한 묘화·현상처리에서의 패턴불량의 발생을 억제하는 것이 불가능했다. 또한, 통상 패턴불량은, FIB(focused ion beam, 집속 이온빔)나 레이저 등을 사용하여 패턴 수정공정에서 수정되었지만, 패턴의 복잡화, 미소화가 진행되었기 때문에, 수정이 불가능한 케이스가 나타나게 되었다. 이러한 경우에는, 마스크를 처음부터 다시 제조하지 않으면 안된다.

본 발명은 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 마스크 블랭크로부터 마스크를 제작할 때, 마스크 블랭크에서 기인하는 패턴 불량을 억제하는 것이 가능한 마스크 제작 지원방법을 제공하는 것이다. 또한, 다른 목적은, 마스크 블랭크로부터 마스크를 제작할 때, 마스크 블랭크에서 기인하는 패턴불량을 억제할 수 있도록 막정보를 부가한 마스크 블랭크의 제공방법, 및 마스크 블랭크의 제조방법을 제공하는 것이다. 또한, 다른 목적은, 막정보를 이용하여 형성할 패턴과 대조(照合)함으로써, 제조 수율을 향상시키고, 제조 비용을 낮출 수 있는 전사마스크의 제조방법을 제공하는 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 기술을 제공한다.

(1)마스크 블랭크를 구성하는 복수의 막의 막정보를 마스크 제조업자에게 제공하고, 마스크 블랭크로부터 상기 막을 패터닝하여 전사마스크를 제작할 때, 패턴 형성불량을 억제하기 위한 마스크 제작 지원방법, 마스크 블랭크 제공방법, 마스크 블랭크 제조방법, 이러한 마스크 블랭크를 사용하여 전사마스크를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

상세하게는, 마스크 블랭크 제조공정에 있어서, 기판에 대하여 관리번호를 부여하고, 복수의 막의 막정보를 관리번호에 기초하여 대조하거나, 또는 복수의 막의 각 막정보에 있어서 동일위치에 형성된 표면형태 정보(볼록(凸)부 또는 오목(凹)부)에 기초하여 복수의 막의 막정보를 대조하는 것에 의하여, 복수의 막정보 사이의 위치정보가 보증되어, 마스크 제작시의 패턴불량을 방지하는 것이다.

본 발명의 다른 측면은 아래와 같다.

마스크 블랭크의 제조공정에서, 생산에 제공된 기판이나 마스크 블랭크 하나 하나에 대하여 관리번호를 부여하는 등의 수단을 이용하여, 개체의 식별을 행한다.

이어서, 상기 기판 위에 복수의 막을 순차 적층하는 동시에, 상기 막에 관한 막정보를 취득한다.

막정보란, 막의 표면정보, 표면형태정보, 예를 들면 막 표면의 볼록(凸)형상, 오목(凹)형상, 그것들의 조합, 혹은 광학특성정보 등을 포함하는 막의 상태정보로서, 막 면의 위치정보에 관련되어 있는 정보를 말한다. 또한, 여기에서 말하는 광학특성이란, 투과율, 반사율, 흡광률, 위상차 등을 포함한다.

기판 위에 적층된 복수의 막 각각에 대하여 취득된 상기 막 정보는 관리번호 등에 기초하여 개체식별 가능하며, 정보끼리 대조되므로, 마스크 블랭크 개체와 취득한 복수의 막정보와의 관계가 보증되는 동시에, 복수의 막정보간의 관계가 보증 될 수 있고, 또한 복수의 막정보에 포함된 위치정보에 의하여 나타나는 마스크 블랭크 내의 위치가 보증된다.

또한, 여기에 기판에 관한 기판정보를 취득해도 좋다.

기판정보란, 기판의 표면정보, 표면형태정보, 예를 들면 기판 면의 볼록형상, 오목형상, 그것들의 조합, 혹은 광학특성정보 등을 포함하는 기판의 상태정보로서, 기판 면의 위치정보에 관련되어 있는 정보를 말한다. 또한, 여기에서 말하는 광학특성은, 투과율, 반사율, 흡광률, 위상차 등을 포함한다.

기판 위에 막을 형성하는 동시에, 상기 기판에 관한 기판정보와 상기 막에 관한 막정보를 취득하면, 기판정보와 막정보는 상기 관리번호 등에 기초하여 개체식별 가능하여, 대조할 수 있으므로, 마스크 블랭크 개체와, 취득된 기판정보 및 막정보와의 관계가 보증되는 동시에, 기판정보와 막정보와의 관계가 보증될 수 있어, 기판정보 또는 막정보에 포함된 위치정보에 의해 나타내는 마스크 블랭크 내의 위치가 보증된다.

또한, 기판에 대하여 반드시 관리번호를 부여하지 않아도 좋다. 막의 표면형태는 해당 막의 하층 막의 표면형태, 혹은 기판의 표면형태에 따라서 형성되므로, 복수의 막정보 또는, 막정보와 기판정보에 포함되는 형태정보를 대조하는 것에 의하여, 마스크 블랭크 개체와, 취득된 막정보 또는 기판정보와의 관계가 보증될 수 있으며, 복수의 막정보 간의 관계 또는, 막정보와 기판정보와의 관계가 보증될 수 있으며, 복수의 막정보에 포함되어 있는 위치정보와 마스크 블랭크 내의 위치와의 관계가 보증되며, 또한 기판정보 또는 막정보에 포함되어 있는 위치정보와 마스크 블랭크 내의 위치와의 관계가 보증된다.

본 발명에서는, 기판과, 기판 상에 형성된 막으로 구성되는 마스크 블랭크 개체에 대하여, 기판정보와 막정보, 또는 복수의 막정보로 이루어지는 마스크 블랭크정보가 취득되어 있다. 또한, 마스크 블랭크정보에 포함되는 위치정보는 마스크 블랭크 내의 위치가 보증되어 있다. 즉, 본 발명에서의 마스크 블랭크 정보는 마스크 블랭크의 입체정보이며, 마스크 블랭크의 내부정보, 즉 마스크 블랭크 체내(體內)정보로서 인식가능하게 취득되어 있는 것에 특징이 있다.

마스크 블랭크 표면뿐만 아니라 마스크 블랭크 체내의 정보가 미리 파악가능하므로, 마스크 제작시에 불량한 전사마스크의 제작을 방지할 수 있다.

본 발명에서는, 마스크 블랭크 정보에 포함되는 위치정보의 위치 기준점과, 마스크 블랭크의 위치 기준점이 대응지어져 정보를 취득하는 구성을 포함한다. 또한, 상기 기판정보에 포함되는 위치정보의 위치 기준점과, 기판의 위치 기준점이 대응지어져 정보를 취득하는 구성을 포함한다. 또한, 상기 막정보에 포함되는 위치정보의 위치 기준점과, 기판 또는 막의 위치 기준점이 대응지어져 정보를 취득하는 구성을 포함한다.

(2)표면형태정보와 위치정보를 포함하는 마스크 블랭크의 표면정보를 마스크 제조업자에게 제공하며, 이러한 표면정보와 마스크 블랭크의 표면형태를 각각 만들어진 기준점에 의하여 대응시킴으로써, 마스크 제작자가 패턴형성의 영역을 특정가능하도록 한 마스크 제작 지원방법, 마스크 블랭크 제공방법, 마스크 블랭크 제조방법, 이러한 마스크 블랭크를 사용하여 전사마스크를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

상세하게는, 마스크 블랭크 제조의 각 공정 및, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크를 제공할 때에 사용하는 수납 케이스에 마스크 블랭크를 수납할 때, 기판 또는 기판상에 만들어진 기준 마크(mark)에 따라서 기판의 방향성을 관리하는(어떤 특정한 방향으로 정렬해 두는) 것에 의해, 마스크 블랭크에서의 표면형태정보와 위치정보를 포함하는 표면정보와, 마스크 블랭크의 표면형태의 위치를 대응시키는 것이 가능하여, 마스크 제작시에 있어서의 패턴 불량을 방지하는 것이다.

여기에서, 막정보란, 기판 상에 형성된 직후의 각각의 막을 검사하여 얻어지는 정보이다. 막정보에는, 막 위의 결함의 위치· 크기· 종별 등을 나타내는 표면형태정보나, 막재료가 부분적으로 조성변화를 일으킨 위치·범위·조성변화 후의 상태 등을 포함한 막 표면 내의 조성분포를 나타내는 조성분포정보가 포함되어 있다. 또한, 마스크 블랭크 완성 후에 표면으로 되는 최상위의 막의 표면형태정보를 포함하는 표면정보를, 마스크 블랭크의 표면정보라고 부른다.

본 발명의 다른 측면은 이하와 같다.

상기 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공할 때에, 마스크 블랭크 정보와, 이러한 정보에 관련된 마스크 블랭크 개체를 대응시킬 수 있도록 제공함으로써, 마스크 제작자가 이러한 마스크 블랭크에 소정의 마스크 패턴을 형성할 영역을 선택할 수 있도록 하는 마스크 제작 지원방법, 마스크 블랭크 정보제공방법, 마스크 블랭크 제공방법, 마스크 블랭크 제조방법, 상기 마스크 블랭크를 사용하여 전사마스크를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에서는, 마스크 블랭크 정보에 포함된 위치정보의 위치 기준점과, 마스크 블랭크의 위치 기준점이 대응되어 있는 구성을 포함한다.

본 발명에서는, 마스크 블랭크 제조공정에 있어서, 및/또는, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크를 제공할 때 사용하는 수납구에 기판 또는 마스크 블랭크를 수납하는 데 있어서, 기판 또는 마스크 블랭크의 배열이나 방향성을 관리하는 구성을 포함한다. 예를 들면, 복수의 기판 또는 복수의 마스크 블랭크를 어떤 소정의 방향으로 정렬하여 수납해 가는 태양을 포함한다. 이 때, 기판, 막 또는 마스크 블랭크에 형성된 기준점을 참조하여 수납하여도 좋다.

예를 들어 마스크 블랭크 제조공정에는, 기판을 준비하는 공정, 기판정보를 취득하는 공정(예를 들면, 기판검사공정), 기판 상에 막을 형성하는 공정, 막정보를 취득하는 공정(예를 들면, 막 검사공정), 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크를 제공하기 위해 마스크 블랭크를 수납구에 수납하는 공정등이 포함되는데, 이러한 공정에서 행해지는 기판 또는 마스크 블랭크의 수납작업에 있어서, 기판 또는 마스크 블랭크의 방향성을 관리하기 위해, 복수의 기판 또는 복수의 마스크 블랭크를 어떤 소정 방향으로 정렬시켜 수납해가는 태양을 포함한다.

여기에서 말하는 수납구에는 예를 들어, 후술할 유지구나 케이스가 포함된다. 여기에서 말하는 기준점으로는 예를 들어, 식별가능한 마크(mark)를 이용할 수 있다.

본 발명에서 이용되는 마크(mark), 기준마크로는, 예를 들어 후술할 노치마크(notch mark)라고 호칭되는 것과 같은 기판에 부여된 마크나, 막마크라 호칭되는 것과 같은 막에 부여된 마크를 이용하는 것이 가능하다.

위와 같이 수납되어 마스크 블랭크가 제공되면, 마스크 블랭크가 소정의 배열로, 소정의 방향성으로 정렬되어 제공되므로, 마스크 제작자는 마스크 블랭크 개체를 식별가능하며, 기준점을 참조하거나 또는 참조하지 않고, 마스크 블랭크의 위치 기준점을 파악하는 것이 가능하다.

본 발명에 의하면, 마스크 제작자는, 마스크 블랭크의 위치 기준점을 매개로 하여, 제공된 마스크 블랭크 정보를 기초로, 전사마스크를 제작하고자 하는 마스크 블랭크의 표면정보나 내부정보를 파악할 수 있으므로, 소정의 마스크패턴을 형성할 영역을 선택할 수 있다. 즉, 마스크 제작자는 소정의 마스크 패턴을 형성하기 전에, 패턴 불량을 발생시키거나, 또는 전사마스크의 원하는 기능을 저해하는 표면결함이나 내부결함의 존재를 파악하는 것이 가능하므로 제조 수율을 향상시키며, 이익률이 높은 전사마스크의 생산, 혹은 염가의 전사마스크를 생산할 수 있다.

또한, 본 발명은, 위상시프트(phase shift) 막, 예를 들면 하프톤(halftone) 막이 형성된 마스크 블랭크, 혹은 전사마스크에 관하여 이용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 위상시프트 마스크의 일종인 하프톤 형 위상시프트 마스크는, 투광성 기판 위에 하프톤 막, 차광막이 형성된다. 하프톤 막은, 노광 광을 실질적으로 차단하는 차광기능과 노광 광의 위상을 시프트(shift)시키는 위상시프트 기능을 겸비하는 것으로서, 투과율과 위상차를 제어하여 피전사체에 전사되는 패턴의 패턴 엣지(edge)를 강조시키는 기능을 갖는 것이다. 하프톤 형 위상시프트 마스크는, 투광성 기판 위에 하프톤 막의 패턴이 형성되어 있으며, 하프톤 막의 패턴이 형성되어 있지 않은 실질적으로 노광에 기여하는 강도의 광을 투과시키는 광투과부와, 하프톤 막의 패턴이 형성되어 있는 실질적으로 노광에 기여하지 않는 강도의 광을 투과시키는 광반투과부로 구성되며, 또한 이러한 광반투과부를 투과한 광의 위상이 광투과부를 투과한 광의 위상에 대하여 실질적으로 반전된 관계로 하는 것에 의하여, 광반투과부와 광투과부와의 경계부 근방을 통과하여 회절현상에 의해 서로 상대방 영역에 돌아 들어간 광이 서로 상쇄되게 해서, 경계부에서의 광강도를 대략 0으로 하여 경계부의 콘트라스트(contrast)를 향상시키는 것이다. 따라서, 하프톤 막이 형성된 마스크 블랭크에 요구되는 품질은, 단지 차광막만을 형성한 마스크 블랭크에 비해 높고, 게다가 마스크 블랭크에 패터닝 처리를 하여 전사마스크를 제작하는 경우에 있어서, 불량률을 낮추는 일은 어려운 것이다.

본 발명은 다음과 같은 기술을 제공한다.

기판 위에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 복수의 막이 형성된 마스크 블랭크로부터 상기 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작할 때, 패턴형성 불량을 억제하기 위해, 패턴을 형성할 영역을 특정하기 위한 막정보를 마스크 제조업자에게 제공하는 마스크 제작 지원방법으로서, 막정보는, 마스크 블랭크를 구성하는 복수의 막으로부터 얻은 정보인 것을 특징으로 하는 마스크 제작 지원방법을 제공한다.

패턴은, 상대적으로 조밀한 패턴이 형성된 밀패턴 형성영역과, 상대적으로 성긴 패턴이 형성된 소패턴 형성영역을 갖는 것으로 하여도 좋다.

막정보는, 패턴 결함이 일어나는 원인으로 되는 볼록부 또는 오목부의 종류, 볼록부 또는 오목부의 크기, 볼록부 또는 오목부의 위치정보 중 어느 하나가 포함되어 있는 것으로 하여도 좋다.

위치정보는, 기판에 형성되어 있는 노치마크 및/또는 기판 주표면 상의 가장자리부에 형성된 박막에 의한 막마크를 기준으로 하여 만들어진 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크 정보, 기판정보 및 막정보의 일부 내지 전부의 제공은, 통신회선을 이용하여 행해지는 것으로 하여도 좋다.

막은, 노광 광에 대하여 위상시프트 기능을 갖는 위상시프트 막을 포함하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명은, 상술한 마스크 제작 지원방법을 마스크 블랭크와 함께 마스크 제조업자에게 제공하는 마스크 블랭크 제공방법으로서, 마스크 블랭크는, 수납 케이스 내에 수납되고, 또한, 상기 마스크 블랭크를 유지하기 위해 형성된 유지 슬롯을 갖춘 유지구에 의해 유지하여 제공되는 것으로, 마스크 블랭크 정보는, 마스크 블랭크에 간접적으로 부여되는 마스크 블랭크 특정수단에 의하여 대조되는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제공방법을 제공한다.

마스크 블랭크 정보는, 유지구의 슬롯에 부여된 슬롯번호에 따라 대조된 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명은, 마스크 블랭크용 기판을 준비하는 공정과, 기판 상에 전사패턴이 될 박막을 형성하는 박막 형성공정과, 박막의 막정보를 취득하는 박막 정보취득공정과, 박막 정보취득공정에서 취득한 박막의 막정보를 정보축적매체에 기록 하여 보존하는 박막 정보기록공정과, 박막 상에 레지스트막을 형성하는 레지스트막 형성공정과, 레지스트막의 막정보를 취득하는 레지스트막 정보취득공정과, 레지스트막 정보취득공정에서 취득한 레지스트막의 막정보를 정보축적매체에 기록하여 보존하는 레지스트막 정보기록공정과, 박막의 막정보와 레지스트막의 막정보를 대조하는 막정보 대조공정을 갖춘 마스크 블랭크의 제조방법을 제공한다.

또한, 여기에, 마스크 블랭크용 기판을 준비하는 공정 후에, 상기 기판의 기판 정보를 취득하는 기판 정보취득공정을 포함하여도 좋으며, 또한 기판 정보취득 공정에서 취득한 기판정보를 정보축적매체에 기록하여 보존하는 기판 정보기록공정을 포함하여도 좋다. 또한, 기판정보와 막정보를 대조하는 대조공정을 갖추어도 좋다.

마스크 블랭크용 기판을 준비한 후, 마스크 블랭크용 기판에 관리번호를 부여하는 관리번호 부여공정을 갖추고, 부여된 관리번호에 기초하여 박막의 막정보와 레지스트막의 막정보를 대조하는 것으로 하여도 좋다. 또한, 기판정보와 막정보를 대조하여도 좋다.

기판정보 또는 막정보는, 볼록부 또는 오목부의 종류, 볼록부 또는 오목부의 크기, 볼록부 또는 오목부의 위치정보 중 어느 하나를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

위치정보는, 기판에 형성되어 있는 노치마크시 및/또는 기판 주표면 상의 주변부에 형성된 박막에 의한 막마크를 기준으로 하여 만들어진 것으로 하여도 좋다.

기판정보나 박막의 막정보나 레지스트막의 막정보는, 기판정보나 박막의 막 정보와 레지스트막의 막정보에 포함되는 동일위치에 형성된 특정한 형태, 예를 들면 볼록부 또는 오목부에 의하여 대조하는 것으로 하여도 좋다.

또한 본 발명은, 기판 상에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막이 형성된 마스크 블랭크를 사용하여, 형성할 패턴 데이터에 따라서 상기 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작하는 전사마스크의 제조방법으로서, 상술한 마스크 제작 지원방법에 의해 얻은 마스크 블랭크 정보와, 상기 패턴 데이터를 대조하고, 패턴 형성불량을 억제하기 위해, 마스크 블랭크에서 패턴 형성할 영역을 특정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크의 제조방법을 제공한다.

패턴은, 상대적으로 조밀한 패턴이 형성되는 밀(密)패턴 형성영역과, 상대적으로 성긴 패턴이 형성되는 소(疎)패턴 형성영역을 갖는 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명에는 다음과 같은 발명도 포함된다. 즉, 기판 상에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막이 형성된 마스크 블랭크로부터 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작할 때, 패턴 형성의 불량을 억제하기 위해서 패턴 형성영역을 특정하기 위해 필요한 마스크 블랭크 정보를 마스크 제작자에게 제공하는 마스크 제작지원방법에서, 마스크 블랭크 정보는, 표면형태정보를 포함하고, 마스크 제작자에게 제공될 마스크 블랭크에 있어서 표면형태의 위치 기준점과, 표면형태정보에 대응하는 위치정보 기준점이 대응하고 있으며, 마스크제작자는 기준점을 매개로 하여 마스크 블랭크 정보를 마스크 블랭크에 반영시켜, 마스크 블랭크의 상태를 파악하고, 패턴을 형성할 영역을 특정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마스크 제작지원방법을 제공한다.

기판 혹은 기판 상에 기준마크를 형성하고, 위치정보의 기준점은 기준 마크와 어떤 일정한 관계를 가지고 작성되며, 마스크 블랭크에 있어서 표면형태의 위치 기준점과 대응하고 있는 것으로 하여도 좋다.

기판 또는 막 혹은 마스크 블랭크에 기준마크를 형성하고, 기판정보 또는 막정보의 취득에 있어서, 상기 정보에 포함되는 위치정보의 기준점이 상기 기준마크와 일정한 관계를 갖도록 정보를 작성하는 것에 의하여, 마스크 블랭크 정보의 위치 기준점과 제공되는 마스크 블랭크의 위치 기준점을 대응시켜도 좋다.

기준마크는, 기판 또는 마스크 블랭크의 방향이나 방향성을 특정가능하게 부여하는 것이 바람직하다.

기준마크는 기판 또는 마스크 블랭크의 모서리 부분에 인접한 부위에 부여하는 것이 바람직하다. 기준마크를 짝수 부위에 부여하는 경우에 있어서는, 기판 또는 마스크 블랭크를 평면 관찰할 때에, 하나의 기준마크에 대한 회전대칭인 부위에 다른 기준마크를 부여하지 않는다면, 기판 또는 마스크 블랭크의 방향이나 방향성의 특정이 용이하므로 바람직하다.

기준마크는, 기판의 방향성을 특정할 수 있는 형상으로 하는 것으로 하여도 좋다.

기준마크는, 기판의 변에 대하여 평행하고, 기판 중심을 통과하는 선에 대하여 비대칭의 위치에 형성하는 것으로 하여도 좋다.

기준마크는, 기판에 형성되어 있는 노치마크 및/또는 기판 주표면 상에 형성된 박막에 의한 막마크로 하여도 좋다.

기판정보나 막정보는, 기준마크를 기준으로 하여 특정한 방향에서 취득한 정보인 것으로 하여도 좋다.

전사패턴이 될 박막을 포함하는 막을 기판 위에 형성하는 막 형성공정과, 막의 표면정보를 취득하는 표면정보취득공정을 포함하며, 막 형성공정 및 표면정보취득공정에서, 기준마크를 기준으로 하여 기판 또는 마스크 블랭크의 방향성을 관리하는 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크를 제조할 때의 각 공정에서, 기판 또는 마스크 블랭크를 각 공정에 반송할 때에 사용하는 케이스에 기판 또는 마스크 블랭크를 수납할 때, 기준마크를 기준으로 하여 기판 또는 마스크 블랭크의 방향성을 관리하는 것으로 하여도 좋다.

이상과 같이 기판 또는 마스크 블랭크의 방향성이 정해진 바대로 관리된다면, 즉 복수의 기판 또는 마스크 블랭크의 방향이 일정하게 되도록 배열되고, 정보를 취득할 때에도, 복수의 기판 또는 마스크 블랭크가 일정한 방향으로 정렬되어 정보가 취득되어 간다면 본 발명에 있어서 바람직하다.

표면정보는, 기판의 표면정보, 막의 표면정보 중 적어도 하나를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

막의 표면정보는, 위상시프트막의 표면정보를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

표면형태는, 마스크 블랭크로부터 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작할 때, 패턴형성불량으로 되는 표면 거칠기나 굴곡, 볼록부 및/또는 오목부, 이물질이나 패임, 막 누락, 또는 결함검사장치에 의해 취득한 파티클 형상 결함 및/또는 핀 홀 형상 결함을 포함하는 것으로 하여도 좋다.

표면정보에는, 거칠기나 굴곡의 높이나 파장이나 주기, 볼록부의 높이나 크기, 오목부의 깊이나 크기, 이물질의 높이나 크기, 패임의 깊이나 크기, 파티클의 높이나 크기, 핀홀의 깊이나 크기와 같은 정보가 포함되어 있는 것으로 하여도 좋다.

패턴은, 상대적으로 조밀한 패턴이 형성된 밀패턴 형성영역과, 상대적으로 성긴 패턴이 형성된 소패턴 형성영역을 갖는 것으로 하여도 좋다.

소패턴 형성영역은, 전기특성을 시험하기 위해 형성된 모니터 칩 형성영역으로 하여도 좋다.

전사마스크는, 시스템 LSI 제조용 전사마스크인 것으로 하여도 좋다.

복수 매의 마스크 블랭크와, 각 마스크 블랭크에 대응하는 마스크 블랭크 정보를 마스크 제작자에게 제공하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명은, 상술한 마스크 제작 지원방법을 실시하기 위한 마스크 블랭크 거래 시스템으로서, 마스크 제조업자에게 납품할 복수의 마스크 블랭크에 대하여 직접적 또는 간접적으로 각 마스크 블랭크를 특정하는 관리번호 또는 관리기호를 부여하고, 마스크 블랭크 정보는, 관리번호 또는 관리기호와 관련지어져서 마스크 블랭크와 함께 마스크 제조업자에게 제공되는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 거래시스템을 제공한다.

관리번호 또는 관리기호는, 마스크 블랭크를 유지하기 위한 슬롯이 형성된 유지구, 및 상기 유지구를 수납하는 수납 케이스에 부여된 슬롯번호 및 케이스번호 인 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크 정보는, 통신회선을 이용하여 마스크 제조업자에게 제공하는 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크 정보는, 관리번호 또는 관리기호와 관련지어져서 정보축적수단(서버)에 보존되며, 마스크 제조업자는, 통신회선을 이용하여 정보축적수단(서버)에 액세스(access)하여, 관리번호 또는 관리기호를 기초로 마스크 블랭크 정보를 얻는 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명은, 마스크 블랭크용 기판을 준비하는 공정과, 기판의 주표면 상에 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막을 형성하는 막 형성공정과, 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작할 때, 패턴 형성의 불량을 억제하기 위해서 패턴 형성영역을 특정하기 위해 필요한 마스크 블랭크의 표면정보를 취득하는 표면 정보취득공정과, 표면정보를 정보축적매체에 기록하여 보존하는 표면 정보보존공정을 갖는 마스크 블랭크 제조방법으로서, 기판 혹은 기판 상에 기준마크를 만들고, 상기 기준마크를 기준으로 하여 특정 방향으로 표면 정보를 취득하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조방법을 제공한다.

기준마크는, 기판의 방향성을 특정할 수 있는 형상으로 하는 것으로 하여도 좋다.

기준마크는, 기판의 변에 대하여 평행하게 하는 한편, 기판 중심을 통과하는 선에 대하여 비대칭인 위치에 형성하는 것으로 하여도 좋다.

기준마크는, 기판에 형성되어 있는 노치마크 및/또는 기판 주표면 상에 형성 된 박막에 의한 막마크로 하여도 좋다.

마스크 블랭크를 제조할 때의 각 공정에서, 기판을 각 공정에 반송할 때에 사용하는 케이스에 기판을 수납하는 때, 기준마크를 기준으로 하여 기판의 방향성을 관리하는 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크용 기판을 준비한 후, 마스크 블랭크용 기판에 기판을 특정하는 관리번호를 직접적 또는 간접적으로 부여하는 관리번호 부여공정을 가지며, 부여된 관리번호에 기초하여 제조된 마스크 블랭크의 표면정보를 대조하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 마스크 블랭크를 수납 케이스 내에 수납하여 패킹(packing)하는 패킹 공정을 가지며, 마스크 블랭크는, 수납 케이스 내에 수납된 마스크 블랭크를 유지하기 위한 슬롯이 형성된 유지구에 의하여 유지되고, 상기 마스크 블랭크와 표면정보를 대조하기 위한 마스크 블랭크 특정수단이, 마스크 블랭크에 직접적 또는 간접적으로 부여되어 수납하는 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크 특정수단은, 유지구 및 수납 케이스에 부여된 슬롯번호 및 케이스 번호로 하여도 좋다.

또한 본 발명은, 기판 상에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막이 형성된 마스크 블랭크를 사용하여, 형성할 패턴 데이터에 따라 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작하는 전사마스크의 제조방법으로서, 상술한 마스크 제작 지원방법에 의하여 얻은 마스크 블랭크에서의 표면형태의 위치가 대응지어진 마스크 블랭크의 표면정보와 패턴 데이타를 대조하여, 패턴 형성의 불량을 억제하도록, 마스크 블랭크에서의 패턴을 형성할 영역을 특정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크의 제조방법을 제공한다.

패턴 데이타는, 상대적으로 조밀한 패턴이 형성되는 밀패턴 형성영역과, 상대적으로 성긴 패턴이 형성되는 소패턴 형성영역을 갖는 것이며, 표면정보에 패턴 불량이 될 표면 형태가 포함되어 있는 경우, 표면정보와 패턴 데이타를 대조하여, 패턴 불량이 될 표면형태가 밀패턴 형성영역 이외에 배치되도록, 마스크 블랭크에 대한 패턴 데이타의 배치를 특정하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명은, 기판 상에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막이 형성된 마스크 블랭크를 사용하고, 형성할 패턴 데이타에 따라 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작하는 전사마스크의 제조방법으로서, 상기 마스크 블랭크에 패터닝 처리를 행하기 전에, 본 발명에 따른 마스크 제작 지원방법에 의해 얻어진 상기 마스크 블랭크에 관한 마스크 블랭크 정보와 상기 패턴 데이타를 대조하고, 패턴 형성의 불량을 억제하도록, 및/또는 전사마스크의 기능이 저해되지 않도록, 상기 마스크 블랭크에 있어서의 상기 패턴을 형성할 영역을 선택하는 것을 특징으로 하는 전사마스크의 제조방법을 제공한다.

상기 패턴 데이타는, 상대적으로 조밀한 패턴을 갖는 영역과, 상대적으로 소한 패턴을 갖는 영역을 포함하는 것이며, 상기 마스크 블랭크 정보에 패턴불량의 원인이 되는, 혹은 전사마스크의 기능을 저해하는 원인이 되는 상태정보, 즉 형태정보나 광학특성정보 등이 포함된 경우에, 상기 상태가 존재하는 위치 이외의 위치를 선택하여 상대적으로 조밀한 패턴을 형성하는 영역을 배치하는 것이 가능하다.

또한 본 발명은, 기판 상에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막이 형성된 마스크 블랭크를 사용하고, 형성할 패턴 데이타에 따라 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작하는 전사마스크 제작자를 지원하기 위한 전사마스크 제작지원방법으로서,

상기 마스크 블랭크에 패터닝 처리를 행하기 전에, 본 발명에 의해 미리 취득한 상기 마스크 블랭크에 관한 상기 마스크 블랭크 정보와 상기 패턴 데이타를 대조하여, 패턴 형성의 불량을 억제하도록, 및/또는 전사마스크의 기능이 저해되지 않도록, 상기 마스크 블랭크에 있어서의 상기 패턴을 형성할 영역을 선택하는 전사마스크 제작 지원방법을 제공한다.

또한 본 발명은, 기판 상에 적어도 전사패턴이 될 박막을 포함하는 막이 형성된 마스크 블랭크를 사용하고, 형성할 패턴 데이타에 따라 박막을 패터닝하여 전사마스크를 제작하는 전사마스크 제작자를 지원하기 위한 전사마스크 제작 지원방법으로서,

마스크 블랭크에 패터닝 처리를 행하기 전에, 본 발명에 의해 미리 취득한 마스크 블랭크에 관한 마스크 블랭크 정보와 상기 패턴 데이타를 대조하여, 패턴 형성의 불량을 억제하도록, 및/또는 전사마스크의 기능이 저해되지 않도록 하기 위해, 특정 마스크 블랭크를 선택하는 전사마스크의 제작 지원방법을 제공한다.

소패턴 형성영역은, 전기특성을 시험하기 위해 형성된 모니터 칩 형성영역으로 하여도 좋다.

전사마스크는, 시스템LSI 제조용 전사마스크로 하여도 좋다.

또한 본 발명은, 상술한 마스크 제작 지원방법을 마스크 블랭크와 함께 마스크 제조업자에게 제공하는 마스크 블랭크 제공방법으로서, 마스크 블랭크는, 수납 케이스 내에 수납되며, 수납 케이스 내에 수납되는 마스크 블랭크의 방향성과, 표면정보를 취득하는 표면정보취득 공정에 있어서의 기판의 방향성을, 기준마크에 대응짓는 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크를 제조할 때의 각 공정에서, 기판을 각 공정에 반송하는 때 사용하는 케이스에 기판을 수납할 때, 기준마크를 기준으로 하여 기판의 방향성을 관리하는 것으로 하여도 좋다.

본 발명의 마스크 블랭크 정보취득방법은, 다음과 같이 설명하는 것도 가능하다.

즉, 기판면 위에 적층된 복수의 막을 구비한 마스크 블랭크에 관한 정보인 마스크 블랭크 정보를 취득하는 방법으로서, 마스크 블랭크 정보는, 기판정보 및 하나 이상의 막정보, 또는 2 이상의 막정보를 포함하며, 기판 정보는, 기판면에 대응하는 평면좌표계(2차원 좌표계)에서의 위치정보와, 위치정보에 관련지어진 기판의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하며, 하나의 막정보는, 하나의 막에 대응하는 평면좌표계에서의 위치정보와, 위치정보에 관련지어진 해당 막의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하고, 마스크 블랭크 정보에 포함된 기판정보 또는 막정보의 평면좌표계는 정해진 대응관계를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법을, 본 발명은 제공한다.

예를 들면, 기판 면 위 또는 기판 면 위에 형성된 다른 막의 위에 제1막을 형성하는 단계와, 형성된 제1막의 상태에 관한 제1 막정보를 취득하는 단계와, 제1막 위에 제2막을 형성하는 단계와, 형성된 제2막의 상태에 관한 제2 막정보를 취득하는 단계와, 제1 막정보 및 제2 막정보를 포함하는 마스크 블랭크 정보를 생성하는 단계를 포함하도록 실시되는 것으로 하여도 좋다.

혹은, 기판을 준비하는 단계와, 준비된 기판의 상태에 관한 기판정보를 취득하는 단계와, 기판의 면 위에 막을 형성하는 단계와, 형성된 막의 상태에 관한 막정보를 취득하는 단계와, 기판정보 및 막정보를 포함하는 마스크 블랭크 정보를 생성하는 단계를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

기판정보 및 막정보에 포함되는 평면좌표계의 기준점은, 서로 미리 정해진 관계를 갖는 것으로 해도 좋으며, 혹은, 기판에 형성된 마크 및 막에 형성된 마크 중 적어도 한쪽을 기준으로 하여 정해지는 것으로 하여도 좋다.

기판정보 및/또는 막정보를 서로 대조하는 단계를 더 포함하는 것으로 하여도 좋다.

상태정보는, 표면형태에 관한 정보 및 광학특성에 관한 정보 중 적어도 한쪽을 포함하는 것으로 해도 좋다.

막 중에서 적어도 한 개는, 노광 광의 위상을 시프트하는 위상시프트 막으로 하여도 좋다.

복수의 막의 막정보를 평면에 투영하여 생성한 정보를, 마스크 블랭크 정보에 포함하는 것으로 하여도 좋다.

기판의 방향을 나타내는 정보를 기판에 부여하기 위해서는, 여러가지 방법이 고려될 수 있다. 예를 들면, 막정보의 취득에 앞서, 기판상 및/또는 막 위의 예정된 위치에, 상태정보로서 검출가능한 기준마크를 부여하는 단계를 더 포함하고, 기준마크에 기초하여 정해진 기판의 방향을 나타내는 정보를 마스크 블랭크 정보에 포함하는 것으로 하여도 좋다. 또는 기준마크는, 방향을 특정가능한 형상을 갖는 것으로 하여도 좋다. 또는, 기판의 윤곽은 회전대칭성을 갖는 형상이며, 부여된 기준마크를 포함하는 기판의 형상은 회전비대칭성을 갖는 것으로 하여도 좋다. 기판의 대표적인 윤곽은 정사각형 및 직사각형을 포함하는 사각 형상이다.

기준마크를 부여한 경우, 장치(A)에서 기판상에 막(a)을 형성하는 동시에, 막(a)을 측정하여 기준마크를 포함하는 막정보(a)를 취득하는 단계와, 그 기판을 장치(A)로부터 빼내는 단계와, 기준마크를 기준으로 하여 그 기판을 예정된 방향으로 하여 케이스에 수납하는 단계와, 케이스를 장치(B)에 반송하는 단계와, 기준마크를 기준으로 하여 그 기판을 예정된 방향으로 하여 장치(B)에 설치하는 단계와, 장치(B)에서 그 기판 상에 막(b)을 형성하는 동시에, 막(b)을 측정하여 기준마크를 포함하는 막정보(b)를 취득하는 단계들을 포함하는 것으로 해도 좋다.

또한, 기준마크를 부여하는 경우, 기판을 측정장치에 설치하여 기판을 측정하고, 기준마크를 포함하는 기판정보를 취득하는 단계와, 그 기판을 측정장치로부터 빼내는 단계와, 기준마크를 기준으로 하여 그 기판을 예정된 방향으로 하여 케이스에 수납하는 단계와, 케이스를 장치(A)에 반송하는 단계와, 기준마크를 기준으로 하여 그 기판을 예정된 방향으로 하여 장치(A)에 설치하는 단계와, 장치(A)에서 기판 위에 막(a)을 형성하는 동시에, 막(a)을 측정하여 기준마크를 포함하는 막정 보(a)를 취득하는 단계를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

취득한 마스크 블랭크 정보를 참조하는 것에 의해, 마스크 블랭크의 개체를 식별하는 것으로 하여도 좋다.

상태정보는 적어도 2 종류의 측정치를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

기판정보 및 막정보 중에서 적어도 어느 한쪽은, 기판정보 및 막정보 중에서 적어도 어느 한쪽은, 기판 또는 막의 두께 방향의 좌표를 더 포함하는 입체좌표계에서의 위치정보를 포함하는 것으로 하여도 좋다.

또한 본 발명은, 기판 위에 복수의 막을 적층형성하여 제작된 마스크 블랭크에 관한 정보인 마스크 블랭크 정보를 제공하는 방법으로서, 상술한 마스크 블랭크 정보 취득방법에서 취득한 마스크 블랭크 정보를, 그 마스크 블랭크와 함께 제공하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보제공방법을 제공한다.

또한 본 발명은, 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여, 전사마스크의 제작을 지원하는 방법으로서, 상술한 마스크 블랭크 정보제공방법에 의하여, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하며, 제공하는 마스크 블랭크 정보는, 불량한 전사마스크의 제작을 방지하기 위해, 대응하는 마스크 블랭크에 마스크 패턴을 형성하는 것에 앞서, 마스크 블랭크 상의 마스크 패턴을 형성할 영역을 특정하는 때에 참조되는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작 지원방법을 제공한다.

또한 본 발명은, 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여 전사마스크의 제작을 지원하는 방법으로서, 상술한 마스크 블랭크 정보제공방법에 의 해, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하고, 마스크 제조업자에 대하여, 마스크 블랭크 정보 중 좌표계의 기준점을 기준마크를 통해 통지하는 방법이며, 제공받은 마스크 제조업자는, 기준마크를 통해서 평면좌표계 사이의 대응관계를 취득하고, 취득된 대응관계 및 마스크 블랭크 정보에 기초하여 마스크 패턴을 형성할 영역을 정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작 지원방법을 제공한다.

이러한 전사마스크 제작 지원방법에 있어서, 마스크 블랭크에 형성되는 마스크 패턴은, 상대적으로 조밀한 패턴의 블럭(block)과, 상대적으로 성긴 패턴의 블럭(block)을 포함하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 본 발명은, 마스크 블랭크에 전사패턴이 되는 마스크 패턴을 형성하여 전사마스크를 제조하는 방법으로서, 상술한 마스크 블랭크 정보취득방법에 의해 취득한 마스크 블랭크 정보에 기초하여, 마스크 블랭크에 마스크 패턴을 배치하는 영역을 정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제조방법을 제공한다.

또한, 본 발명은, 마스크 블랭크의 제조방법으로서, 상술한 마스크 블랭크 정보취득방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조방법을 제공한다.

또한, 본 발명은, 기판 면 위에 적층된 복수의 막을 구비한 마스크 블랭크에 관한 정보인 마스크 블랭크 정보를 취득하는 시스템으로서, 기판의 상태에 관한 기판정보를 취득하는 수단, 기판 면 위 또는 기판 면 위에 형성된 다른 막 위에 형성된 제1막의 상태에 관한 제1막정보를 취득하는 수단, 및 기판 면 위에 형성된 제1막 이외의 막인 제2막의 상태에 관한 제2막정보를 취득하는 수단 중, 적어도 2개의 정보취득수단을 구비하고, 상기 정보취득수단에서 취득한 정보를 포함하는 마스크 블랭크 정보를 생성하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득 시스템을 제공한다.

이러한 마스크 블랭크 정보취득 시스템에서, 기판정보는, 기판 면에 대응하는 평면좌표계에서의 위치정보와, 위치정보에 관련지어진 기판의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하며, 하나의 막 정보는, 하나의 막에 대응하는 평면좌표계에서의 위치정보와, 위치정보에 관련지어진 해당 막의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하며, 마스크 블랭크 정보에 포함되는 기판 정보 또는 막정보의 평면좌표계는 정해진 대응관계를 갖는 것으로 하여도 좋다.

상술한 마스크 블랭크 정보취득방법에서, 기판은 다각형이며, 기판의 서로 접하는 두 측변 사이의 영역에, 기준마크를 부여하는 것으로 하여도 좋다.

상술한 마스크 블랭크 정보취득방법에서, 짝수개의 기준마크를, 상호 회전 비대칭의 위치에 부여하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여, 전사마스크의 제작을 지원하는 방법에서, 상술한 마스크 블랭크 정보제공방법에 의해, 마스크 제조업자에게 복수의 마스크 블랭크의 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하며, 제공하는 마스크 블랭크 정보는, 마스크 패턴을 형성하는 것에 앞서, 복수의 마스크 블랭크 중 하나를 선택할 때에 참조되는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작지원방법을, 본 발명은 제공한다.

상술한 마스크 블랭크 정보취득방법에서, 막정보(b)를 취득하는 단계 이후, 기준마크를 기준으로 하고 그 기판을 예정된 방향으로 하여 케이스에 수납하는 단계를 더 포함하는 것으로 하여도 좋다.

상술한 마스크 블랭크 정보취득방법에서, 막정보(a)를 취득하는 단계 이후, 기준마크를 기준으로 하고 그 기판을 예정된 방향으로 하여 케이스에 수납하는 단계를 더 포함하는 것으로 하여도 좋다.

마스크 블랭크를 제공하는 방법에 있어서, 마스크 블랭크와 함께, 상술한 마스크 블랭크 정보취득방법으로 취득한 해당 마스크 블랭크에 관한 마스크 블랭크 정보를 제공하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제공방법을, 본 발명은 제공한다.

본 발명의 효과는 다음과 같다. 마스크 블랭크의 제조과정을 통해서, 기판정보, 막정보의 방향과, 실제 기판의 방향을 일치시키는 것이 가능하다. 또한, 제조과정에서 기판을 잘못된 방향으로 취급했다 하더라도, 기판정보·막정보를 상호 비교하는 것에 의하여, 방향의 오류를 검출하는 것이 가능하다.

취득한 기판정보·막정보에 기초하여, 각각의 마스크 블랭크를 식별하는 것이 가능하다. 즉, 기판정보·막정보를 일종의 식별자로서 사용하는 것이 가능하다.

기판의 방향과 대응하는 기판정보, 막정보를 제공하는 것에 의해, 마스크 블랭크의 기판 및 막의 각 층에 존재하는 결함의 위치를 정확하게 전달하는 것이 가능하다.

마스크 블랭크의 각 층의 결함을 정확하게 전달하는 것이 가능하므로, 결함부를 피해서 마스크를 제작하는 것이 가능하게 되어, 마스크의 패턴 불량을 방지하 는 것이 가능하다.

또한, 결함을 갖는 부위라도, 그 종류, 크기, 수 등과, 묘화하고자 하는 패턴의 형상, 조밀 등에 따라서는, 패턴을 묘화하여도 문제가 없음을 미리 판단하는 것이 가능하여, 마스크 블랭크의 효과적인 이용을 도모하는 것이 가능하다.

본 발명의 제 1 실시형태로서, 마스크 블랭크막 정보취득방법에 관하여 설명한다. 또한, 이하 실시형태의 설명에 있어서, 막정보는 상술한 대로 표면정보를 포함한 것이며, 막정보를 그대로 표면정보로 바꿔 읽는 것이 가능하다.

마스크 블랭크 막정보 취득방법은, 유리기판에 1차막, 2차막, 레지스트막을 형성하여 제조한 마스크 블랭크를 수납 케이스에 수납할 때까지의 공정과 병행하여 실시된다. 1차막, 2차막 및 레지스트막 각각을 형성할 때마다, 각 막의 검사를 행하여 그 결과에 따른 1차막 막정보, 2차막 막정보 및 레지스트막 막정보를 생성하여 호스트컴퓨터에 등록한다. 호스트컴퓨터는 이들 막정보를 한데 모아 마스크 블랭크막 정보를 생성하여 축적하며, 외부로부터의 요구에 따라 축적한 마스크 블랭크 막정보를 종이, 전자매체, 통신회선 등에 출력한다.

도 1을 참조하면, 본 도면은 점선으로 상,중,하의 삼단으로 나뉘어 있다. 하단은 공정의 흐름을 나타내며, 중단은 각 공정에 대응한 제조과정의 마스크 블랭크를 나타내고, 상단은 검사공정에서 생성되는 막정보를 나타낸다. 이하, 하단의 공정의 흐름에 따라 설명한다.

(1)기판가공공정

노치마크(1)가 형성된 유리기판을 준비한다. 노치마크는 형상에 따라 기판의 초종(硝種)을 표시하고 있다. 다음으로, 유리기판의 표면을 연삭, 연마가공하여, 원하는 표면 거칠기와 평탄도로 완성한다. 연마공정에서 사용한 연마제를 제거하기 위해 유리기판을 세정한 후, ID태그(tag)가 붙어 있는 유통케이스(2)에 유리기판을 수납한다. 유통케이스(2)에는 노치마크(1)를 기준으로 유리기판의 방향을 정렬하여 수납된다.

(2)1차막 형성공정

생산관리를 행하는 호스트컴퓨터를 사용하여, 유통케이스(2)에 첨부한 ID태그에, 각 기판을 관리하는 관리번호를 부여한다. 호스트컴퓨터는, 제조공정의 순서, 제조조건의 설정, 각 제조공정의 정보를 수집하여 기록·보존한다. 유통케이스(2) 내에 수납된 유리기판을 스퍼터링 장치에 반입하고, 노치마크(1)가 형성되어 있는 쪽과 반대쪽에, 1차막인 MoSiN 하프톤 막을 반응성 스퍼터링에 의해서 형성한다. 이 때, 기판유지구에 의해 MoSiN 막이 형성되지 않는 부분에 막마크(3)가 형성된다. MoSiN 하프톤 막이 부착된 기판을 유통케이스(2)와 다른 유통케이스(4)에 수납한다. 이와 함께, 1차막 형성 종료의 정보가 호스트컴퓨터에 보존된다. 유통케이스(4)의 첨부된 ID태그에 관리번호가 전송된다. 유통케이스(4)에 노치마크(1)(또는 막마크(3))를 기준으로 기판의 방향을 정렬하여 수납된다.

(3)1차막 검사공정

유통케이스(4)에 수납된 하프톤 막 부착 기판을, 1차막의 결함을 검사하는 결함검사장치에 반입하고, 결함검사를 행하여 막정보를 취득한다. 막정보(막의 표 면정보)로서, 결함의 위치정보, 결함의 사이즈(크기를 등급별로 표시), 결함의 종류(핀홀, 파티클, 그 외)가 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다. 여기에서 취득한 막정보를 1차막 막정보라 부른다. 결함검사가 완료된 기판을 다른 유통케이스(5)에 수납한다. 이와 함께, 유통케이스(5)의 ID태그에 관리번호가 전송된다. 유통 케이스(5)에, 노치마크(1)(또는 막마크(3))를 기준으로 기판이 방향을 정렬하여 수납된다.

(4)2차막 형성공정

유통케이스(5) 내에 수납된 하프톤 막 부착 기판을 인라인 형 스퍼터링 장치에 반입하고, 1차막 위에 2차막인 Cr차광막을 반응성 스퍼터링에 의해 형성한다. 이 때, 기판유지부에 의해 Cr막이 형성되지 않은 부분에 막마크(6)가 형성된다. Cr차광막 부착 기판을 다른 유통케이스(7)에 수납한다. 이와 함께, 2차막 형성 종료의 정보가 호스트컴퓨터에 보존된다. 유통케이스(7)에 첨부된 ID태그에 관리번호가 전송된다. 유통케이스(7)에 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 기판의 방향을 정렬하여 수납한다.

(5)2차막 검사공정

유통케이스(7)에 수납된 Cr차광막 부착 기판을, 2차막의 결함을 검사하는 결함검사장치에 반입하고, 결함검사를 행하여 막정보(막의 표면정보)를 취득한다. 막정보는, 결함의 위치정보, 결함의 사이즈(크기를 등급별로 표시), 결함의 종류(핀홀, 파티클, 그 외)가, 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다. 여기에서 취득된 막정보를 2차막 막정보라 부른다. 결함검사가 완료된 기판을 다른 유통케이스(8)에 수납한다. 이와 함께, 유통케이스(8)에 첨부된 ID태그에 관리번호가 전송된다. 유통케이스(8)에, 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 기판이 방향을 정렬하여 수납된다.

(6)레지스트막 형성공정

유통케이스(8) 내에 수납된 Cr차광막 부착 기판을 회전도포장치에 반입하고, 2차막 위에 레지스트막을 회전도포법에 의해 도포하고, 베이크, 냉각을 거쳐 레지스트막을 형성한다. 레지스트막 부착 기판(마스크 블랭크)을 다른 유통케이스(9)에 수납한다. 이와 함께, 레지스트막 형성 종료의 정보가 호스트컴퓨터에 보존된다. 유통케이스(9)에 첨부된 ID태그에 관리번호가 전송된다. 유통케이스(9)에 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 마스크 블랭크의 방향을 정렬하여 수납된다.

(7)레지스트막 검사공정

유통케이스(9)에 수납된 레지스트막 부착 기판(마스크 블랭크)을, 결함검사장치에 반입하고, 결함검사를 행하여 막정보를 취득한다. 막정보로서, 결함의 위치정보, 결함의 사이즈(크기를 등급별로 표시), 결함의 종류(핀홀, 파티클, 그 외)가 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다. 여기에서 취득한 막정보를 레지스트막 막정보라 부른다. 결함검사가 완료된 기판을 다른 유통케이스(10)에 수납한다. 이와 함께, 유통케이스(10)에 첨부된 ID태그에 관리번호가 전송된다. 유통케이스(10)에, 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 마스크 블랭크의 방향을 정렬하여 수납한다.

(8)막정보 대조공정

1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 상호 대조시키는 것에 의하여, 막정보끼리의 사이에서 방향이 일치하고 있는지를 확인한다.

구체적으로는, 위치변화가 없는 결함을 기준으로 각 막의 결함정보 데이타를 대조한다. 이것은, 최하층의 막인 1차막에 결함이 있는 경우, 1차막 보다 상층의 막인 2차막, 레지스트막에도 결함이 발생하는 것을 이용하여, 1차막 막정보를 기준으로 하여 다른 막정보의 방향의 정부(正否)를 판정한다.

이에 따라, 막정보끼리의 사이에서 방향은 일치시키는 것이 가능하지만, 예를 들면, 어떤 유통케이스로부터 다른 유통케이스로 기판을 옮길 때, 기판의 방향을 틀리게 하여 유통케이스에 수납해 버릴 가능성이 있으며, 이러한 경우, 막정보 간에는 일치하고 있더라도, 막정보와 기판의 방향이 불일치하게 된다.

이러한 가능성을 피하기 위해, 유통케이스나 수납케이스에 기판을 출입시킬 때, 그 작업자는 노치마크(1), 막마크(3 및 6)를 기판 방향의 기준으로서 참조하여, 예정된 방향을 따라 기판을 출입시키는 것으로 한다.

이에 따라, 마스크 블랭크의 제조과정(1)~(9)에서의 기판의 방향을 일정하게 유지하고, 기판의 방향과 막정보의 방향 간의 불일치를 피하는 동시에, 막정보끼리 사이의 방향을 일치시키는 것이 가능하므로, 기판의 방향과 모든 막정보의 방향을 일치시키는 것이 가능하다. 또한, 막정보 간의 일치를 확인하므로, 가령, 제조과정에서 기판의 방향을 틀리게 하여 유통케이스나 수납케이스에 수납시켰다 할지라도, 그것을 검출하는 것이 가능하다.

(9)블랭크 패킹공정

마스크 블랭크를 수납케이스(20)에 수납하고 패킹하여, 마스크 제조업자에게 배송한다.

여기에서 수납케이스(20)에 관하여 도 2A 및 (B)를 참조하여 설명한다. 수납케이스(20) 각각에는 고유의 케이스번호(21)가 부여되어 첨부되고 있다. 수납케이스(20)는 덮개(22)와 외부 케이스(23)로 이루어지며, 외부 케이스(23) 내에는, 내부 케이스(24), 슬롯(25)이 더 포함되어 이루어진다. 내부 케이스(24)는 외부 케이스(23)에 수납되어 기판유지구로서 작용한다. 슬롯(25)은 기판 사이의 칸막이이지만, 이하 설명의 편의상, 인접하는 2개의 슬롯(25)의 사이의 기판을 격납하는 부분을 슬롯이라고 부르는 경우도 있다. 이러한 의미에서 도 2B에는 5매의 기판을 격납하기 위한 슬롯이 있다. 각 슬롯에는 슬롯번호가 부여되며, 각각을 슬롯No.1, 슬롯No.2, … 슬롯No.5 라 부른다. 외부 케이스(23)의 바깥면 중, 슬롯No.1에 가까운 면에 수납케이스(20)의 방향을 나타내는 전면표시(26)가 기재되어 있다. 케이스번호 및 슬롯번호를 조합하여, 수납케이스(20)에 수납되어 있는 마스크 블랭크를 식별한다.

각 마스크 블랭크에 있어서의 막정보의 위치정보의 기준점과, 수납케이스(20)에 수납된 상술한 위치정보의 기준점을 대응시키기 위한 마스크 블랭크의 기준점을 대응시키기 위하여, 마스크 블랭크를 수납케이스(20)에 수납할 때, 상술한 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 마스크 블랭크의 방향성을 정렬하여 수납되고 있다. 이처럼, 마스크 블랭크 제조공정의 각 공정에 있어서, 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 기판의 방향성을 정렬시켜 막을 형성하거나, 결 함검사를 하며, 덧붙여 각 공정 사이에서의 기판을 반송할 때 사용하는 기판 유통케이스에 있어서도, 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 기판의 방향성을 정렬하여 수납하며, 마스크 블랭크를 수납케이스에 수납하여 마스크 제조업자에게 제공할 때에도, 노치마크(1)(또는 막마크(3,6))를 기준으로 마스크 블랭크의 방향성을 정렬하여 수납하는 것에 의해서, 마스크 블랭크와 결함정보의 위치정보를 정확하게 대응시키는 것이 가능하고, 마스크 제작시의 패턴 불량을 방지하는 것이 가능하다.

블랭크 패킹공정으로 설명을 되돌아 가면, 이때 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 포함하는 블랭크막정보를, 각각의 마스크 블랭크마다 배송처인 마스크 제조업자에게 제공한다. 블랭크막정보의 제공방법은, (a)수납케이스(20)에 블랭크막정보를 인쇄한 인쇄물을 첨부하는 것, (b)블랭크막정보 데이타를 기록한 플렉서블 디스크(flexible disk) 또는 CD-ROM 등의 기록매체를 수납케이스(20)에 첨부하는 것, (c)데이타 통신회선을 통하여 블랭크막정보 데이타를 배송처인 마스크 제조업자의 컴퓨터 등에 송신하는 것 등이 있다. (a) 및 (b)의 경우는 블랭크막정보 그 자체를 슬롯번호와의 대응관계와 함께 수납케이스(20)에 첨부한다. (c)의 경우는 마스크 제조업자로부터 케이스번호 및 슬롯번호를 송신하고, 해당하는 블랭크막정보를 수신하는 것에 의해 제공받는다.

또한, 1차막 형성공정-1차막 검사공정, 및, 2차막 형성공정-2차막 검사공정 사이에, 세정공정을 마련해도 좋다.

상술한 (1)~(10)의 과정, 또한 마스크 제조업자에게 있어서, 마스크 블랭크 의 표리는 도 3(A) 및 (B)에 나타난 것과 같은 막마크(31) 및 노치마크(1)로써 구별된다. 도 3(A)에 나타난 대로 표면에는 막마크(31)가 기록된다. 도 3(B)에 나타난 대로 이면에는 노치마크(1)가 기록된다.

각 막정보는, 기판의 소정 방향을 기준으로 하여 막 위에 예정된 XY좌표계의 X좌표, Y좌표, 결함의 크기, 결함의 종류로 이루어진다. 결함의 종류는 핀홀과 파티클로 이루어진다. 파티클이란, 막 위에 입상(粒狀)물질이 부착된 상태를 가리키며, 핀홀이란 한 번 부착된 입상물질이 떨어져 나간 자국과 같은 상태를 가리킨다.

도 4는, 블랭크막정보의 예이다. 일차막 단계에서 결함이 있었던 부분에는 2차막 및 레지스트막 둘 다 같은 위치에서 결함이 발생하고 있는 것을 알 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태인 마스크 블랭크 생산라인 제어시스템(50)에 관하여 설명한다. 도 5를 참조하면, 마스크 블랭크 생산 컨트롤시스템(50)은, 호스트컴퓨터(51), 카세트번호·슬롯번호 부여장치(52)(이하 부여장치(52)라 기재한다), 1차막 형성장치(53), 1차막 결함검사장치(54), 2차막 형성장치(55), 2차막 결함검사장치(56), 레지스트막 형성장치(57) 및 레지스트막 결함검사장치(58)로 이루어진다.

카세트는 기판을 수납하는 슬롯을 여러 개 가지는 동시에 ID태그를 구비한다. ID태그에는, 그 카세트에 부여된 카세트번호가 기록된다.

도 7을 참조하면, 생산라인에 기판을 투입하려면, 기판을 카세트에 수납시키고, 부여장치(52)에서 카세트번호, 슬롯번호, 공정 플로(flow)를 입력부(521)에서 입력한다. 공정 플로(flow)란, 공정순위, 공정에서 이용되는 장치명, 각 장치에서 사용하는 레시피번호로 이루어지며, 생산하고자 하는 마스크에 따라 카세트 단위로 부여된다. 또한, 생산라인 상에서 기판의 특정은, 공정 내에서의 위치, 카세트번호, 슬롯에서 행해진다.

부여장치(52)는 카세트의 ID태그에 카세트번호를 기입하는 동시에, 데이타 송수신부(522)에 의해 호스트컴퓨터(51)에 카세트번호, 슬롯번호 및 공정플로를 송신한다. 도 6을 참조하면, 호스트컴퓨터(51)는 데이타 송수신부(511)에서 수신 후, 카세트번호, 슬롯번호 및 공정 플로를 서로 관련지어서 공정 플로 축적부(512)에 축적한다.

부여장치(52)에서 카세트번호의 입력을 마친 카세트(이후, 상기 카세트를 카세트A라 기재함)가, 1차막 형성장치(53)의 로더 포트(531)에 세트되면, 카세트A의 ID태그로부터 카세트번호를 판독하여 데이타 송수신부(532)에 의해 호스트컴퓨터(51)에 통지한다.

도 8을 참조하면, 이에 응답하여, 호스트컴퓨터(51)는 카세트A의 카세트번호, 슬롯번호, 스퍼터의 레시피번호를 1차막 형성장치(53)에 송신한다. 또한, 레시피번호에 관하여는 스퍼터 장치의 동작개시 직전이어도 좋다.

이것을 수신한 1차막 형성장치(53)에는, 레시피번호-스퍼터 조건 대조부(533)에서 레시피번호에 대응하는 스퍼터 조건을 대조하고, 스퍼터 조건 축적부(534)에 대조했던 스퍼터 조건을 축적한다. 이 스퍼터 조건에 따라서, 스퍼터 조건 제어부(535)는 스퍼터 장치(536)를 제어하고, 스퍼터 처리를 한다.

스퍼터장치(536)는, 카세트A로부터 기판을 빼내고 스퍼터 처리를 개시한다. 스퍼터 처리 과정에서, 스퍼터 실적을 수집하고 슬롯번호와 관련짓는다.

스퍼터 처리를 종료한 기판을 언로더 포트(538)에 미리 준비된 다른 카세트(이후 카세트B라 기재함)의 슬롯에 넣는다. 이 때, 슬롯번호, 스퍼터 실적, 언로더 슬롯번호 수집부(537)(이후 수집부(537)라 기재함)는, 카세트A에서의 슬롯번호, 관련지어진 스퍼터 실적, 카세트B에서의 슬롯번호를 수집하여, 데이타 송수신부(532)를 이용하여 호스트컴퓨터(51)에 송신한다. 또한, 카세트B의 슬롯이 모두 1차막 형성 후의 기판으로 채워지면, 수집부(537)는, 카세트B의 카세트번호와 함께 그러한 내용을 호스트컴퓨터(51)에 통지한다.

이를 수신하여, 호스트컴퓨터(51)는 카세트번호B, 카세트번호A, 공정 플로의 순서로 다음 공정을 특정하고, 도시하지 아니한 카세트 반송부에 대하여 반송처를 지시한다. 또한, 호스트컴퓨터(51)는 카세트B의 카세트번호, 및 1차막 형성장치(53)에 송신했던 스퍼터의 레시피번호를, 1차막 결함검사장치(54)에 송신한다.

도 9를 참조하면, 1차막 결함검사장치(54)는, 데이타 송수신부(541)에서 이들을 수신하면, 카세트번호-레시피번호 대조부(542)에 이들을 건네준다.

로더 포트(543)에 카세트가 반입되면, 카세트번호-레시피번호 대조부(542)는, 카세트의 ID태그로부터 판독된 카세트번호에 대응하는 레시피번호를 대조한다. 여기에서 카세트번호가 카세트B의 것이라면, 카세트B에 수납된 기판에 대하여 스퍼터 처리했을 때의 레시피번호가 얻어진다.

결함검사조건 축적부(544)에는, 레시피번호와, 레시피번호가 나타내는 레시피조건 하에서 형성된 막에 대해 수행할 검사조건과의 대응관계가 미리 축적되어 있으며, 카세트번호-레시피번호 대조부(542)로부터 레시피번호를 수취하면, 수행할 검사조건을 출력한다.

이러한 검사조건에 따라서, 결함검사조건 제어부(545)는, 결함검사장치(546)를 제어하여 검사를 수행한다. 결함검사장치(546)는 검사결과를 결함검사정보로서 출력한다. 검사를 마친 기판은, 언로더 포트(547)에 미리 세트한 다른 카세트(이하 카세트C라 기재함)의 슬롯에 수납된다.

언로더 카세트번호, 언로더 슬롯번호 부여부(548)는, 카세트C에 카세트번호를 부여하는 동시에, 카세트C의 카세트번호, 카세트C의 슬롯번호, 슬롯에 수납된 기판의 결함검사정보를 관련지어서, 데이타 송수신부(541)를 이용하여 호스트컴퓨터(51)에 송신한다.

호스트컴퓨터(51)는, 송신된 정보를, 1차막 형성장치(53)에서 얻어진 스퍼터 실적 등과 관련지어서 정보축적부(513)에 축적한다.

2차막 형성장치(55), 2차막 검사장치(56)에 관하여는, 각각 1차막 형성장치(53) 및 1차막 검사장치(54)와 비교하면, 형성하는 막 종류의 상이함에서 기인하는 차이점뿐이며, 구성요소 및 동작에 큰 차이가 없는 바 설명을 생략한다. 도 10에 나타난 레지스트막 형성장치(57) 및 레지스트막 결함검사장치(58)에 관해서도 마찬가지이다.

이와 같이 해서, 1차막 형성장치(53), 1차막 검사장치(54), 2차막 형성장치(55), 2차막 검사장치(56), 레지스트막 형성장치(57) 및 레지스트막 결함검사장치(58)로부터 수집한 정보를 기초로, 결함정보 대조부(514)는, 제1 실시형태에서 설명한 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 생성하는 동시에, 이들을 상호 대조하여 도 4에서 나타낸 바와 같은 블랭크 막정보를 생성한다.

다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태인 마스크 제작 지원시스템(110)에 관하여 설명한다.

도 11을 참조하면, 마스크 제작 지원시스템(110)은, 마스크 블랭크 공장(111)과, 마스크 블랭크 공장(111)에서 제조된 마스크 블랭크를 기초로 마스크를 제조하는 마스크 공장(112)과, 두 공장을 접속하는 데이타 통신회선(113)으로 이루어진다. 또한, 마스크 블랭크 공장(111)은, 호스트컴퓨터(51) 및 서버(114)로 이루어진다. 마스크 블랭크 공장(111)에서 제조된 마스크 블랭크는 상술한 수납케이스(10)에 수납되어 마스크 공장(112)에 배송된다. 호스트컴퓨터(51)는 상술한 마스크 블랭크 생산라인 제어시스템(50)의 호스트컴퓨터(51)이다. 서버(114)는, 호스트컴퓨터(51)로부터 필요한 정보를 수취하여, 인터넷(113)을 통해 마스크 공장(112) 원격지 컴퓨터에 정보를 제공한다.

마스크 제작 지원시스템(110)에서 마스크 블랭크의 레지스트막에 패턴을 묘화(描畵)하는 공정에 관하여 설명한다.

제 2 실시형태에서 설명한 대로, 호스트컴퓨터(51)에는, 미리 제조된 마스크 블랭크의 블랭크막정보가 축적되어 있다. 블랭크막정보는, 노치마크 또는 막마크를 기준으로 방향성을 특정하여, 기준점이 보증되어 있다. 또한, 제조된 마스크 블랭크는, 노치마크 또는 막마크를 기준으로 마스크 블랭크의 방향성을 정렬시켜 수납케이스(10)에 수납되어 마스크 공장(112)에 배송된다. 이 때, 수납케이스(10)에는 케이스번호가 첨부되어 있다. 케이스번호의 첨부는 인쇄등과 같은 육안으로 판독 가능한 상태에 한정되지 않고, 예를 들어 바코드, 자기기록매체, IC칩 등 기계 판독 가능한 상태로 하여 첨부되는 것으로 하여도 좋다.

도 12를 참조하여 마스크 공장(112)에서의 마스크 묘화·현상처리에 관하여 설명한다. 수납케이스(10)를 수취한 마스크 공장(112)의 작업자는, 육안판독 혹은 기계판독에 의한 케이스번호를 수납케이스(10)로부터 취득한 후, 컴퓨터 등의 데이타 통신장치를 사용하여, 케이스번호를 인터넷 등의 데이타 통신회선(113)을 통하여 서버(114)에 송신한다. 이에 따라, 서버(114)는, 그 케이스번호의 수납케이스의 각 슬롯에 수납된 마스크 블랭크의 블랭크막정보를 응답하여 회신한다.(스텝 S121)

데이타 통신의 형태로서는 여러가지 형태가 고려될 수 있다. 예를 들면 케이스번호 및 블랭크막정보의 전송 양쪽을, 전자메일을 통해서 실시해도 좋으며, 혹은 케이스번호와 그 케이스번호의 수납케이스의 각 슬롯에 수납된 마스크 블랭크의 블랭크막정보와의 대응관계를 나타내는 데이타 베이스를 서버(114)에 설치하고, 마스크 공장(112) 쪽에서 입력된 케이스번호에 따른 블랭크막정보를 응답하여 회신하는 것으로 하여도 좋다. 이 단계에서는, 마스크 블랭크는 도 13A와 같은 단면(斷面)을 가지며, 유리기판 위에, 1차막, 2차막, 레지스트막의 3층막이 형성된 상태로 이루어져 있다.

블랭크막정보를 수취한 마스크 공장(112)은, 블랭크막정보와, 제조하고자 하는 마스크의 마스크패턴을 대조한다(스텝 S122). 상술한 대로, 이 때, 마스크 블랭크 내의 위치정보의 기준점과, 블랭크막정보에 있어서의 위치정보의 기준점이 대응 하고 있다. 혹은 이 때, 마스크 블랭크 내의 위치정보의 기준점과, 마스크 패턴 데이타의 위치정보의 기준점이 대응하고 있다.

이제, 마스크 공장(112)은, 마스크 블랭크 공장(111)으로부터 블랭크 막정보(141)를 수취하여, 마스크패턴(142)을 묘화하고자 하는 것으로 한다. 블랭크막정보(141)는 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 포함하고 있다.

일반적으로, 마스크패턴은, 밀도가 조밀한 밀(密)패턴 형성영역(143)과, 밀도가 성긴 소(疎)패턴 형성영역(144)을 갖는다.

한편, 일반적으로 마스크 블랭크의 핀홀이나 파티클은 균일하게 분포하고 있지는 않고, 어느 정도 국소적으로 분산되어 있다. 그래서, 블랭크막정보(142)를 참조하여, 핀홀이나 파티클이 밀패턴 형성영역(143) 이외의 영역에 배치되도록, 패턴 묘화 위치를 조정하여 결정한다(스텝 S123).

패턴 묘화 위치의 조정방법으로는, 기판의 방향에 대한 마스크패턴(142)의 방향을 변경하는 것이 고려될 수 있다. 또한, 밀패턴 형성영역(143)과 소패턴 형성영역(144)의 상대적인 위치관계가 변경가능하다면, 이것을 변경하는 것에 의해 조정하여도 좋다.

마지막으로, 결정된 패턴 묘화 위치에 따라, 레지스트막에 패턴을 묘화하고, 현상한다(스텝 S124).

다음으로 제 4 실시형태에 관하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 블랭크막정보와 기판의 방향을 일치시키는 기술에 관하여 특별히 채택하여 설명한다.

다시 한번 도 1 및 3을 참조하면, 마스크 블랭크의 유리기판에는 노치마 크(1)가 기록되어 있다. 종래 기술에서는, 노치마크(1)는 유리기판의 초종(硝種)을 나타내는 것만을 목적으로 하고 있어서, 그 모양의 차이에 따라 유리기판의 초종을 나타내고 있었다.

또한, 막 위에는 본래는 막의 종류를 나타낼 목적으로 막마크가 기재되어 있다. 노치마크(1)와 마찬가지로, 막마크는, 그 모양의 차이와, 그 막과 다른 막과의 위치관계에 의해서 막의 종류를 나타내고 있었다. 예를 들면, 1차막 위의 막마크(2)는 MoSiN 막임을 나타내는 모양을 하고 있으며, 2차막 위의 막마크(3)는 Cr막임을 나타내는 모양을 하고 있다. 그리고, 도면 상에서는 막마크를 간략화하여 기재하고 있는 것이므로 실제 모양과는 일치하지 않는다.

본 발명에서는, 이러한 노치마크 또는 막마크를 기판 방향의 기준으로 하여, 유통케이스, 카세트, 수납케이스 등이 용기에 출입할 때, 항상 같은 방향으로 수납되도록 한다. 이에 따라, 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보의 방향은, 각각이 모두 기판의 방향과 일치하게 된다.

본 실시형태에서는, 막정보의 막의 매수는 단 한장이어도 좋다. 종래기술에서 보인 것처럼, 마스크 블랭크 공장 출하 직전의 마스크 블랭크 표면, 즉 표면막 위만을 관찰해서 얻은 결함정보라도 적용하는 것이 가능하다. 이 경우에 있어서도, 결함정보의 방향과 기판의 방향의 일치를 보장하는 효과가 있다.

다음에는, 본 발명의 제 5 실시형태에 관하여 설명한다. 제 5 실시형태는 상술한 제 1 부터 제 4 실시형태를 포괄적으로 포함하는 형태 중 일부를 변경한 것으로서, 이하에서는, 마스크 블랭크 정보취득방법, 마스크 제작 지원방법, 마스크 제 조업자에게 제공하는 마스크 블랭크의 제조방법, 전사마스크의 제조방법, 마스크 블랭크의 제조과정에 있어서 마스크 블랭크 정보를 취득하여 보존하는 방법에 관하여 설명한다. 또한, 마스크 블랭크 정보제공방법, 마스크 블랭크 제공방법의 구체적인 예에 관하여도 개시된다.

또한, 이하 실시형태의 설명에 있어서, 막정보는 표면정보를 포함하는 것으로서, 막정보를 표면정보로 바꿔 읽는 것도 가능하다.

막정보란, 막의 표면을 주사하여 취득한 면(面)정보이다. 또한, 기판정보란, 기판의 표면을 주사하여 취득한 면정보이다. 면정보란, 2차원 좌표인 평면좌표에 투영하여 파악할 수 있는 정보이다.

또한, 이하에서는, 결함검사를 이용하여 기판정보 또는 막정보를 취득하는 예에 관하여 나타내고 있으나, 결함이란, 전사마스크의 기능을 저해하거나, 또는 불량한 전사마스크의 원인이 되는 표면형태 혹은 광학특성을 말한다. 구체적으로는, 파티클 형상 결함이나 핀홀 형상 결함을 예로 들 수 있다.

마스크 블랭크 정보의 취득은 도 15에서 나타낸 대로, 유리기판에 1차막, 2차막, 레지스트막의 각 박막을 형성하여 제조한 마스크 블랭크를 케이스에 수납하기까지의 공정과 병행하여 수행되는 검사공정을 이용하여 실시된다. 도 15의 예에서는 기판검사를 도시하고 있지는 않지만, 경면(鏡面) 연마 등의 가공처리를 한 유리기판을 준비하고, 1차막 형성에 앞서 기판검사를 행하면, 기판정보를 취득할 수 있다.

도 15에서 나타낸 실시형태에서는, 1차막, 2차막 및 레지스트막의 각 박막을 형성할 때마다, 박막의 결함검사를 한다. 상기 검사결과에 따른 1차막의 막정보, 2차막의 막정보 및 레지스트막의 막정보를 생성하고, 각 기판(각 마스크 블랭크)에 대응시켜서 호스트컴퓨터에 이러한 정보를 기록하여 보존한다. 그 후에, 호스트컴퓨터에 기록하여 보존되어 있는 기판정보나 막정보를 대조하고, 한데 모아서 마스크 블랭크 정보를 생성한다.

마스크 블랭크 정보는, 기판정보, 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보 등의 면정보를, 복수 통합하여 생성된다. 마스크 블랭크 정보를 구성하는 면정보는, 각각이 동일한 마스크 블랭크의 다른 단면에 관한 정보이다. 그러므로, 마스크 블랭크 정보는, 마스크 블랭크의 내부 상태를 입체적으로 나타내는 정보로 된다.

마스크 블랭크 정보는, 마스크 블랭크의 제조공정을 거쳐서 제조되어 수납 케이스(20) 내에 수납되어 있는 각 마스크 블랭크 개체와 대응시켜져서, 마스크 제조업자에게 제공된다. 상기 정보는, 종이서류, 전자매체, 자기매체, 통신회선 등을 이용하여 마스크 블랭크 제조업자로부터 마스크 제조업자에게 제공된다.

도 15를 참조하면 본 도면은 점선에 의하여 상,중,하 3단으로 나뉘어 있다. 도 15의 하단은 마스크 블랭크의 제조공정과, 각 공정 사이에서 기판을 반송할 때 사용하는 카세트 내에 기판 또는 마스크 블랭크가 수납되는 방향성, 즉 방향의 경위(經緯)를 나타내고 있다.

도 15의 중단(中段)은 각 공정에 대응하는 제조과정에서의 막 구조와, 막이 부착된 기판의 형태를 나타내고 있다. 도 15의 상단은 결함검사공정에서 생성되는 막정보를 나타낸다. 이하, 하단의 마스크 블랭크의 제조공정 흐름에 따라, 막정보를 취득하여 보존하는 방법을 상세히 설명한다.

(1)기판가공공정

노치마크(1)가 형성된 유리기판을 준비한다. 이러한 노치마크에 의하여, 유리기판의 초종을 판별하는 것이 가능하다.

예를 들면, 노치마크(1)는, 일본실용신안출원공개공보 소62-17948호에 개시된 바와 같은, 유리기판의 코너부에서, 주표면과 상기 코너부를 형성하는 2개의 단면(端面)과의 3면을 비스듬한 단면 형상으로 잘라내어 이루어진 것에 의해 형성된 면형상을 가지고 있다. 또한, 형성되어 있는 노치마크의 개수와, 형성위치에 의해 상기 유리기판을 구성하는 초종(유리의 종류)을 판별하는데 이용할 수도 있다.

본 발명의 실시형태에 있어서, 노치마크(1)는, 기판의 방향성을 특정하기 위한 기준마크로서의 역할과, 후술할 결함검사공정에서 취득한 막정보에 있어서 기준점으로서의 역할을 가지고 있다.

노치마크(1)의 구체적인 예로서, 도 16A에 나타내는 바와 같이 기판의 한쪽 주표면측의 코너부 두 군데에 형성하는 것이 가능하다. 마주보는 각의 위치에 노치마크(1)가 형성되어 있는 상기 유리기판의 초종은, 합성석영유리이다.

다음으로, 유리기판의 표면을 연삭, 연마가공하여, 원하는 표면 거칠기와 평탄도로 완성한다. 또한, 연마가공에서 사용한 연마제를 제거하기 위해 유리기판을 세정한다.

다음으로, ID태그(2')가 부착된 공정 내 유통용 카세트(2)에 유리기판을 수 납한다. 이하 상기 카세트를 유통카세트(2)라 호칭한다. 이러한 ID태그는, 유통카세트나, 유통카세트에 수납된 기판 또는 마스크 블랭크에 관한 정보를 기입 또는, 판독할 수 있는 정보관리수단이다. ID태그는 정보를 기록하여 보존할 수 있는 매체이다. 예를 들어, IC태그를 사용하는 것이 가능하다.

이러한 ID태그에 대하여, 유통카세트에 수납된 각 기판 또는 각 마스크 블랭크를 관리하는 관리번호, 예를 들면 식별번호를 부여하고, 유지시키는 것이 가능하다.

이러한 관리번호로는, 유통카세트마다 부여한 카세트번호나, 해당 유통카세트에 복수 매의 기판을 수납하기 위해 마련되어 있는, 복수의 홈에 대응하여 부여된 슬롯번호가 있다. 관리번호에 기초하여, 각 기판을 식별하고, 각 기판을 관리할 수 있다.

ID태그에 부여된 관리번호는, 다음 공정 이후에 수행되어 취득되는 각 공정의 정보, 예를 들면 각각의 박막의 검사공정에서 생성된 막정보나, 각각의 박막의 형성공정에서 이용된 제조 조건이나 제조 레시피 등과, 각 기판을 대응시키는 역할이 있다.

또한, 유통카세트(2)는, 카세트의 방향, 즉 전후좌우가 구별될 수 있도록 되어 있다. 또한, 유통카세트(2)의 마주보고 있는 두 개의 내벽에는, 상하방향으로 연장되는 홈이 소정의 간격으로 복수 개 형성되어 있으며, 각각의 홈에 유리기판 또는 마스크 블랭크를 수납할 수 있도록 되어 있다. 노치마크(1)를 기준으로 하여, 이러한 복수의 홈 각각마다 1매의 유리기판 또는 마스크 블랭크가 서로 방향을 정렬하여 수납되고 있다.

구체적으로는, 유통카세트(2)의 소정위치에 대하여, 유리기판에 형성되어 있는 노치마크(1)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다. 카세트 내의 복수의 유리기판 또는 마스크 블랭크는 동일한 방향으로 정렬하여 배열되어 수납된다.

본 실시형태에서는, 유통카세트(2)의 앞쪽에 복수 매의 유리기판의 노치마크(1)가 바로 앞의 특정 위치에 오도록 수납된다.

즉, 유통카세트(2)에 부여된 앞면을 기준으로 하여, 노치마크(1)가 형성된 기판 면을 카세트 앞면을 향하여 배열하는 동시에, 카세트 앞면에서 보아, 수납된 복수 매의 유리기판의 노치마크가 동일한 위치관계로 정렬되어 수납되고 있다.

덧붙여, 다음 공정 이후, 각 공정 사이에서 기판을 수납한 유통카세트의 구조는, 상술한 유통카세트(2)와 같은 구조를 갖는 것을 사용한다.

(2)1차막 형성공정

생산관리를 행하는 호스트컴퓨터를 사용하여, 유통카세트(2)에 첨부한 ID태그(2')에, 각 기판을 관리하는 관리번호를 부여한다. 호스트컴퓨터는, ID태그에 부여된 관리번호와, 각 기판이 처리될 제조공정의 순서, 각 공정에서 이용하는 제조 조건들을 대응시킨다. 호스트컴퓨터는, 제조공정 내의 각 장치로부터 정보(예를 들면 기판정보, 막정보 등)를 수집하여 관리번호마다 기록·보존할 수 있는 기능을 가지고 있다.

상세하게는, 생산관리를 행하는 호스트컴퓨터는, 각 유통카세트마다 첨부된 ID태그(2')마다, 유통카세트 또는 수납된 기판 각각을 관리하기 위한 관리번호를 부여하여 기록한다. 또한, 상기 호스트컴퓨터는, ID태그(2')에 부여한 관리번호와, 각 기판이 처리되는 복수의 제조공정이나 검사공정의 순서, 및 그러한 공정에서 설정되는 제조조건 등을 대응시킨다. 또한, 이러한 호스트컴퓨터는, 상기 복수의 공정에서 취득된 각 공정마다의 정보(예컨대, 기판정보, 각각의 박막 검사공정에서 생성된 막정보, 각각의 박막 형성공정에서 이용된 제조조건이나 제조 레시피 등)를, 각 기판마다 수집하여, 기록하고 보존하는 기능을 갖춘다.

유통카세트(2) 내에 수납된 유리기판을 1매씩 빼내어, 노치마크(1)가 형성된 쪽의 기판 면이 상방을 향하도록, 노치마크가 형성되지 않은 쪽의 기판 면이 스퍼터링 타겟에 마주 보도록, 스퍼터링 장치의 유지구에 기판을 배치한다.

다음에는, MoSi의 스퍼터링 타겟를 사용하여, 아르곤 가스와 질소가스의 혼합가스 분위기에서, 반응성 스퍼터링법에 의해, 위상시프트막인 하프톤 막을 유리기판 면에 성막하여, 형성한다.

성막은 노치마크(1)가 형성되어 있는 주표면에 마주 보는(반대면의) 유리기판의 주표면에 행한다. 이상과 같이 하여, 유리기판 표면에 MoSiN을 포함하는 하프톤 막인 위상시프트막이 형성된다.

기판 유지구에는, 기판 주표면의 둘레 가장자리부의 소정 영역에 MoSiN 하프톤 막이 형성되지 않도록 차폐수단을 설비한다.

이러한 차폐수단에 의하여, 기판 주표면 상에 MoSiN막이 형성되지 않는 소정영역이 형성되어, 막마크(3)가 완성된다.

막마크(3) 형상의 상이함이나, 막마크의 위치, 배치 등에 의해, 유리기판 상 에 형성되어 있는 박막의 종류를 판별하는 것이 가능하다. 본 실시형태에서는 하프톤 막 용으로 사용하는 막마크를 이용한다.

막마크(3)는, 상술한 노치마크(1)와 마찬가지로, 기판의 방향성을 특정하기 위한 기준마크나, 후술할 검사공정에서 취득하는 막정보에 있어서의 기준점으로 하여 사용할 수 있다.

막마크(31)의 구체적인 예로서, 도 16B에서 나타낸 것과 같이 노치마크(1)가 형성되어 있는 쪽과는 반대쪽의 주표면에 있는 코너부 두 군데에, 도시한 바와 같이 만들 수 있다.

스퍼터링 장치에 의해서 유리기판 표면에 MoSiN막이 형성된 MoSiN 하프톤 막 부착 기판을, 유통카세트(2)와는 다른 유통카세트(4)에 수납한다. 유통카세트(4)에는 노치마크(1) 또는 막마크(3)를 기준으로 복수 매의 하프톤 막 부착 기판이 기판의 방향을 정렬시켜 수납된다.

구체적으로는, 유통카세트(4)의 소정위치에 대하여, 기판에 형성되어 있는 막마크(3)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다.

본 실시형태에서는, 복수 매의 하프톤 막 부착 기판의 막마크(3)가, 유통카세트(4) 뒤쪽의 특정 위치(도 15에서 유통카세트에 대하여 아래 방향)에 오도록 수납되어 있다.

즉, 유통카세트(4)에 부여된 앞면을 기준으로 하여, 막마크(3)가 형성되지 않은 쪽의 기판 면이 카세트 앞면으로 향하도록, 즉 노치마크(1)가 형성되어 있는 기판 면이 카세트 앞면으로 향하도록 기판을 배열하는 동시에, 카세트 앞면에서 보 아, 수납된 복수 매의 기판의 막마크(3)가 동일한 위치관계(도 15에서 유통카세트에 대하여 아래 방향)가 되도록 정렬시켜 수납된다.

1차막 형성 종료의 정보가 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다.

또한, 유통카세트(4)의 첨부된 ID태그(4')에, 상술한 ID태그(2')에 부여되어 있는 관리번호정보가 전송된다. ID태그(4')에 전송된 관리번호는, ID태그(2')에 부여되어 있는 관리번호와 같아도 좋으며, 또는 호스트컴퓨터로부터 새로운 관리번호를 부여하여도 상관없다. 후자의 경우, ID태그(2')에 부여되어 있는 관리번호와, 새로운 ID태그(4')에 부여된 관리번호를 관련시켜서 호스트컴퓨터에 보존된다.

(3)1차막 검사공정

이 공정은, 1차막의 박막정보를 취득하는 공정과, 취득한 막정보를 정보축적매체에 기록하여 보존하는 박막정보기록공정을 포함한다.

유통카세트(4)에 수납된 하프톤 막 부착 기판을 꺼내어, 1차막(MoSiN 하프톤 막)의 결함을 검사하는 결함검사장치에 기판을 올려놓는다.

노치마크(1)가 형성된 면을 아래 방향으로 향하게 하여, 막마크(3)가 형성된 면을 윗 방향으로 향하게 하여 기판을 유지구에 올려놓는다.

그 후, 1차막 결함검사장치를 이용하여 막의 표면을 스캔하고, 이러한 1차막에 관한 막정보를 취득한다.

막정보는, 막의 상태에 관한 상태정보이며, 막의 표면을 스캔하여 취득되는 막의 표면정보이다. 막정보로서, 표면형태정보나 광학특성정보를 들 수 있다. 취득된 막정보는 평면에 투영하여 2차원 면정보로 하여 파악할 수 있도록 구성된다.

마스크 제조공정에서 패턴불량을 야기할 가능성이 있는 결함의 위치정보(예를 들면 평면좌표계에서 X좌표, Y좌표), 결함의 크기, 결함의 종류 등이 결함마다 결함검사장치에 의해 판정되며, 그 결과는 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다.

그 때, 결함의 크기는, 직경 등과 같은 결함의 크기를 나타내는 측정값을 그대로 보존하여도 좋으며, 또는 결함의 크기를 분류하기 위한 복수의 등급을 미리 정하여, 해당하는 등급을 결함의 크기로 하여 보존하여도 좋다.

결함의 종류는, 볼록부 형상, 오목부 형상, 그 외의 결함 등으로 분류하여 보존하는 것이 가능하다. 볼록부 형상으로서 예를 들면 핀홀 모양의 결함이 있으며, 오목부 형상으로서 예를 들면 파티클 모양의 결함을 들 수 있다.

파티클 모양의 결함이란, 막 위 또는 막 가운데에 이물(예를 들면 입상물질 등)이 부착된 상태의 결함을 가리키며, 핀홀 모양의 결함이란, 막 가운데 붙어 있던 이물이 빠져나간 자국, 막 누락 상태와 같은 결함을 가리킨다. 막 누락이란 막의 밑바탕 상태를 확인할 수 있는 완전히 막이 없는 상태, 또는 막의 밑바탕 상태를 확인할 수 없는 국소적으로 막두께가 얇게 된 상태이다.

위치정보는, 노치마크(1)를 기준으로, 유리기판의 사이즈로부터 유리기판 주표면의 중심을 산출하여 이것을 기준점(○)으로 하고, 상기 기준점을 통과하여 유리기판의 각 변에 평행한 선을 가상의 X축, Y축으로 한 XY좌표계에서의 각 결함의 X좌표, Y좌표로 보존된다.

상세하게는, 상술한 결함의 위치정보는, 우선 노치마크(1)의 위치를 기준으로 하여, 유리기판의 사이즈, 예를 들면 변의 길이에 기초하여, 유리기판 주표면의 중심을 산출하여 이것을 기준점(○)으로 정하고, 다음에 상기 기준점(○)을 원점으로 하여, 직교하는 유리기판의 변을 따르는 직교 평면좌표계(XY좌표계)를 정하고, 마지막으로 상기 2차원 XY좌표계에서, 각 결함의 X좌표위치, Y좌표위치를 산출하여, 이러한 X좌표, Y좌표값으로서 보존된다.

여기에서 취득한 박막의 막정보를 1차막 막정보라 부른다.

결함검사를 완료한 하프톤 막 부착 기판을 유통카세트(4)와는 다른 유통카세트(5)에 수납한다. 유통카세트(5)에는, 노치마크(1) 또는 막마크(3)를 기준으로 복수 매의 하프톤 막 부착 기판이 방향을 정렬하여 수납된다.

구체적으로는, 유통카세트(5)의 소정위치에 대하여, 기판에 형성되어 있는 막마크(3)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다.

본 실시형태에서는, 유통카세트(5)에 복수 매의 하프톤 막 부착 기판의 막마크(3)가 뒤쪽의 특정 위치(도 15에서 유통카세트에 대하여 아래 방향)에 오도록 수납되고 있다.

즉, 유통카세트(5)에 부여된 앞면을 기준으로 하여, 노치마크가 형성된 기판 면이 카세트 앞면을 향하고, 막마크(3)가 형성된 면이 카세트 앞면과는 반대쪽을 향해 배열되는 동시에, 카세트 앞면에서 보아, 수납된 복수 매의 기판의 막마크(3)가 동일한 위치관계(도 15에서 유통카세트에 대하여 아래 방향)로 정렬되도록 수납된다.

검사 전에 있어서, 복수의 기판 수납방향이 정한 바대로 정렬되도록 수납방법이 관리되고 있으므로, 검사공정에서 취득된 면정보의 방향성, 좌표계와 기준점 은 검사에 제공된 복수의 기판 사이에서 통일되어 정보를 취득한다.

검사 후에 있어서, 복수의 기판 수납방향이 정한 바대로 정렬되도록 수납방법이 관리되고 있으므로, 다음 공정에 있어서도, 처리에 제공되는 기판의 방향성(방향)은 유지된다.

이와 함께, 유통카세트(5)의 ID태그(5')에, 상술한 ID태그(4')에 부여되어 있는 관리번호 정보가 전송된다. 덧붙여, 상술한 대로, ID태그(5')에 전송되는 관리번호는, ID태그(4')에 부여되어 있는 관리번호와 같은 것이어도, 새로운 관리번호를 부여하여도 상관없다.

카세트에 수납된 복수의 기판은 카세트마다 다음 공정에 반송된다.

(4)2차막 형성공정

다음에는, 유통카세트(5) 내에 수납된 하프톤 막 부착 기판을, 인라인형 스퍼터링 장치의 유지구에 올려놓는다. 이 때, 노치마크(1)가 형성된 쪽의 기판 표면을 위쪽으로 향하게 하고, 막마크(3)가 형성된 쪽의 면을 아래쪽으로 향하게 하여 유지구에 올려놓는다.

크롬(Cr) 스퍼터링 타겟를 사용하여, 아르곤 가스, 또는 아르곤 가스와 산소가스 및/또는 질소가스의 혼합가스 분위기에서, 반응성 스퍼터링법에 의해, 1차막인 MoSiN 하프톤 막 위에 2차막인 Cr막을 포함하는 차광막(이하, Cr차광막이라고 함.)을 성막하여 형성한다.

기판 주표면 둘레 가장자리 부분의 소정 영역에 Cr차광막이 형성되지 않도록 하기 위해, 기판유지구에는 차폐수단이 설비되어 있다. 따라서, MoSiN 하프톤 막 위에 Cr차광막이 형성되지 않는 소정 영역이 형성되며, 막마크(6)가 부여된다. 이러한 막마크(6)의 형상에 의해 막 종류를 판별할 수 있다. 본 실시형태에서는 Cr차광막 용으로 부여된 막마크를 이용한다.

또한, Cr차광막에 형성된 막마크(6)는, 유리기판에 형성된 노치마크(1)나 하프톤 막에 형성된 막마크(3)와 마찬가지로, 기판의 방향성을 특정하기 위한 기준마크나, 후술할 결함검사공정에서 취득하는 막정보에 있어서의 기준점으로 하여 이용할 수 있다.

본 실시형태에서는, MoSiN 하프톤 막이 Cr차광막에 의해 덮어 씌워진다. 따라서, 기판의 막이 형성되는 쪽의 면에서는 막마크(3)가 보이는 것이 곤란하다. 그러나, 하프톤 막에 부여된 막마크(3)는, 기판의 반대쪽의 주표면으로부터 유리기판을 투과하여 확인할 수 있다. 막마크(3)에 의해 기판의 방향성을 특정하고자 할 경우에는, 기판의 막이 형성되지 않는 쪽에서 이용하는 것이 가능하다.

인라인형 스퍼터링 장치에 의해 MoSiN 하프톤 막 위에 형성된 Cr차광막 부착 기판을, 유통카세트(5)와는 다른 유통카세트(7)에 수납한다. 유통카세트(7)에는 막마크(6)를 기준으로 복수매의 Cr차광막 부착 기판이 기판의 방향을 정렬하여 수납된다.

구체적으로는, 유통카세트(7)의 소정위치에 대하여, 기판에 형성되어 있는 막마크(6)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다.

본 실시형태에서는, 유통카세트(7)에 복수 매의 Cr차광막 부착 기판의 막마크(6)가 뒤쪽의 특정 위치(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)에 오도록 수납 되어 있다.

즉, 유통카세트(7)에 부여된 앞면을 기준으로 하여, 막마크(6)가 형성된 쪽의 면이 카세트 앞면과는 반대쪽으로 향하도록, 노치마크(1)가 형성된 쪽의 면이 카세트 앞면쪽을 향하도록 복수의 기판이 배열된다. 카세트 앞면에서 보아, 수납된 복수 매의 기판의 막마크(6)가 동일한 위치관계(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)로 되도록 정렬하여 수납되어 있다.

또한, 2차막 형성종료 정보가 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다. 유통카세트(7)에 첨부된 ID태그(7')에, 상술한 ID태그(5')에 부여되어 있는 관리번호 정보가 전송된다. 또한, 상술한 대로, ID태그(7')에 전송되는 관리번호는 ID태그(5')에 부여되어 있는 관리번호와 같아도, 새로운 관리번호를 부여하여도 상관없다.

기판 위에 1차막, 2차막이 적층된 막 부착 기판은 카세트(7)에 수납되어 다음 공정에 반송된다.

(5)2차막 검사공정

이 공정은, 1차막 검사공정과 마찬가지의 공정이다. 이 공정은, 2차막의 박막정보를 취득하는 공정과, 취득된 막정보를 정보축적매체에 기록하여 보존하는 박막정보기록공정을 포함한다.

유통 카세트(7)에 수납된 Cr차광막 부착 기판을, 2차막(Cr차광막)의 결함을 검사하는 검사장치의 기판 재치(載置) 스테이지에 세트한다. 이 때, 노치마크(1)가 형성된 면을 아래쪽으로 향하게 하고, 막마크(6)가 형성된 면을 위쪽으로 향하게 올려놓는 동시에, 노치마크(1)를 재치 스테이지에 대해서 소정위치로 되도록 기판을 배치한다.

상기한 1차막의 결함검사와 마찬가지로 2차막의 결함검사를 실시하여 2차막의 막정보를 취득한다. 2차막의 결함검사장치를 이용하여 막의 표면을 스캔하고, 이 2차막에 관한 막정보를 취득한다.

막정보는, 막의 상태에 관한 상태정보로서, 막의 표면을 스캔해서 취득되는 막의 표면정보이다. 막정보로서, 표면형태정보나 광학특성정보를 들 수 있다. 취득된 막정보는 평면에 투영하여 2차원 면정보로서 파악할 수 있도록 구성된다.

마스크 제조공정에서 패턴불량을 야기할 가능성이 있는 결함의 위치정보(예를 들면 평면좌표계에서 X좌표, Y좌표), 결함의 크기, 결함의 종류 등이 결함검사장치에 의해 판정되며, 그 결과는 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다.

결함의 크기는, 결함의 사이즈를 개별적으로 보존할 수 있지만, 예를 들어, 소정의 사이즈 등급별로 표시하여도 좋다.

결함의 종류는, 볼록부 형상, 오목부 형상, 그 외의 결함 등으로 분류하여 보존하는 것이 가능하다. 볼록부 형상으로서, 예를 들면 핀홀 모양의 결함이 있으며, 오목부 형상으로서, 예를 들면 파티클 모양의 결함을 들 수 있다.

파티클 모양의 결함이란, 막 위 또는 막 속에 이물(예를 들면 입상물질)이 부착된 상태의 결함을 가리키며, 핀홀 모양의 결함이란, 막 속에 부착한 이물이 빠져나간 자국, 막 누락 상태의 결함을 가리킨다. 막 누락이란 막의 밑바탕 상태를 확인할 수 있는 완전히 막이 없는 상태이거나, 막의 밑바탕 상태를 확인할 수 없는 국소적으로 막두께가 얇게 된 상태가 있다.

위치정보는, 노치마크(1)를 기준으로, 유리기판의 사이즈부터 유리기판 주표면의 중심을 산출하여 이것을 기준점(○)으로 하고, 상기 기준점을 통과하여 유리기판의 각 변에 평행한 선을 가상의 X축, Y축으로 한 XY좌표계에서의 각 결함의 X좌표, Y좌표로 보존된다.

상술한 결함의 위치정보는, 1차막 검사공정과 마찬가지로, 우선 노치마크(1)의 위치를 기준으로 하여, 유리기판의 사이즈, 예를 들면 변의 길이에 기초하여, 유리기판 주표면의 중심을 산출하고 이것을 기준점(○)으로 정하고, 다음으로 상기 기준점(○)을 원점으로 하여, 직교하는 유리기판의 변을 따르는 평면직교좌표계(XY좌표계)를 정하며, 마지막으로 이러한 2차원 XY좌표계에서, 각 결함의 X좌표위치, Y좌표위치를 산출하여, 이러한 X좌표, Y좌표의 값으로 보존된다. 여기에서 취득한 막정보를 2차막 막정보라 부른다.

결함 검사를 완료한 Cr차광막 부착 기판을 유통카세트(7)와는 다른 유통카세트(8)에 수납한다. 유통카세트(8)에는, 막마크(6)를 기준으로 복수 매의 Cr차광막 부착 기판이 방향을 정렬하여 수납된다.

구체적으로는, 유통카세트(8)의 소정위치에 대해서, 기판에 형성되어 있는 막마크(6)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다.

본 실시형태에서는, 유통카세트(8)에 복수 매의 Cr차광막 부착 기판의 막마크(6)가 뒤쪽의 특정 위치(도 15에서 유통 카세트에 대하여 윗 방향)에 오도록 수납되고 있다.

즉, 유통카세트(8)에 부여되는 카세트 앞면을 기준으로 하여, 막마크(6)가 형성된 면이 카세트 앞면의 반대쪽을 향해서, 즉 노치마크(1)가 형성된 면이 카세트 앞면을 향해서 배열된다. 또한, 카세트 앞면에서 보아, 수납된 복수 매의 기판의 막마크(6)가 동일한 위치관계(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)로 되도록 정렬시켜 수납되고 있다.

검사 전에 있어서, 복수의 기판 수납 방향이 정한 바대로 정렬되도록 수납방법이 관리되고 있으므로, 검사공정에서 취득된 면정보의 방향성, 좌표계와 기준점은 검사에 제공된 복수의 기판 사이에서 통일되어 정보가 취득된다.

검사 후에 있어서, 복수의 기판 수납 방향이 정한 바대로 정렬되도록 수납방법이 관리되고 있으므로, 다음 공정에 있어서도, 처리에 제공되는 기판의 방향성(방향)은 유지된다.

유통카세트(8)에 첨부된 ID태그(8')에, 상술한 ID태그(7')에 부여되어 있는 관리번호의 정보가 전송된다. 또한, 상술한 대로, ID태그(8')에 전송되는 관리번호는 ID태그(7')에 부여되어 있는 관리번호와 같아도, 새로운 관리번호를 부여하여도 상관없다.

카세트에 수납된 복수의 기판은 카세트마다 다음 공정에 반송된다.

(6)레지스트막 형성공정

유통카세트(8) 내에 수납된 Cr차광막 부착 기판을 회전도포장치에 반입하여, 2차막 위에 레지스트 막을 회전도포법에 의해 도포하고, 베이크, 냉각을 거쳐 레지스트막을 형성한다.

위와 같이 하여, 기판, 1차막, 2차막, 레지스트막이 적층된 마스크 블랭크가 제작된다. 또한 레지스트막은 원하는 대로 형성되지 않는 경우도 있다.

제작된 마스크 블랭크를, 유통카세트(8)와는 다른 유통 카세트(9)에 수납한다. 유통카세트(9)에는 막마크(6)를 기준으로 복수 매의 마스크 블랭크가 마스크 블랭크의 방향을 정렬하여 수납된다.

구체적으로는, 유통카세트(9)의 소정위치에 대해서, 기판에 형성되어 있는 막마크(6)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다.

본 실시형태에서는, 유통카세트(9)에 복수 매의 마스크 블랭크의 막마크(6)가 뒤쪽의 특정 위치(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)에 오도록 수납되고 있다.

즉, 유통카세트(9)의 카세트 앞면을 기준으로 하여, 막마크(6)가 형성된 면을 카세트 앞면의 반대쪽으로 향하게 해서, 즉 노치마크(1)가 형성된 면을 카세트 앞면으로 향하게 배열하는 동시에, 카세트 앞면에서 보아, 수납된 복수 매의 기판의 막마크(6)가 동일한 위치관계(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)가 되도록 정렬시켜 수납되고 있다.

또한, 레지스트막 형성 종료의 정보가 기판번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다. 유통케이스(9)에 첨부된 ID태그(9')에, 상술한 ID태그(8')에 부여되어 있는 관리번호 정보가 전송된다. 또한, 상술한 대로, ID태그(9')에 전송되는 관리번호는, ID태그(8')에 부여되어 있는 관리번호와 같은 것으로 하여도, 새로운 관리번호를 부여하여도 상관없다.

(7)레지스트막 검사공정

이 공정은, 1차막 검사공정, 2차막 검사공정과 마찬가지의 공정이다. 이 공정은, 레지스트막의 박막정보를 취득하는 공정과, 취득된 막정보를 정보축적매체에 기록하여 보존하는 박막정보기록공정을 포함한다.

유통카세트(9)에 수납된 레지스트막 부착 기판(마스크 블랭크)을, 레지스트막의 결함을 검사하는 결함검사장치의 기판을 올려놓는 스테이지에 세트한다.

이 때, 상기 스테이지에 노치마크(1)가 형성된 면을 아래쪽으로 향하게, 막마크(6)가 형성된 면을 위쪽으로 향하게 올려놓는다. 또한, 노치마크(1)가 스테이지에 대하여 소정위치에 배치되도록 세트한다.

레지스트막의 결함검사를 실시하여 레지스트막의 막정보를 취득한다. 레지스트막의 결함검사장치를 이용하여 막의 표면을 스캔하고, 상기 레지스트막에 관한 막정보를 취득한다.

막정보는, 막의 상태에 관한 상태정보로서, 막의 표면을 스캔하여 취득된 막의 표면정보이다. 막정보로서, 표면형태정보나 광학특성정보를 들 수 있다. 취득된 막정보는 평면에 투영하여 2차원 면 정보로서 파악할 수 있도록 구성된다.

마스크 제조공정에서 패턴불량을 유발할 가능성이 있는 결함의 위치정보(예를 들면 평면좌표계에서 X좌표, Y좌표), 결함의 크기, 결함의 종류 등이 결함검사장치에 의하여 판정되며, 그 결과는 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존된다.

위치정보는, 노치마크(1)를 기준으로, 유리기판의 사이즈로부터 유리기판 주표면의 중심을 산출하여 이것을 기준점(○)으로 하고, 상기 기준점을 통과하여 유 리기판의 각 변에 평행한 선을 가상의 X축, Y축으로 한 XY좌표계에서의 각 결함의 X좌표, Y좌표로 보존된다.

또한, 상술한 결함의 위치정보는, 상술한 1차막 검사공정, 2차막 검사공정과 마찬가지로, 우선 노치마크(1)의 위치를 기준으로 하여, 유리기판의 사이즈(변의 길이)에 기초하여, 유리기판 주표면의 중심을 산출하여 이것을 기준점(○)으로 정하고, 다음으로 상기 기준점(○)을 원점으로 하여, 직교하는 유리기판의 변을 따라 직교좌표계(XY좌표계)를 정하고, 마지막으로 이러한 XY좌표계에서, 각 결함의 X좌표위치, Y좌표위치를 산출하여, 이러한 X좌표, Y좌표의 값으로 보존된다. 여기에서 취득한 막정보를 레지스트막 막정보라 부른다.

결함검사를 완료한 마스크 블랭크를 유통카세트(9)와는 다른 유통 카세트(10)에 수납한다. 유통카세트(10)에는, 막마크(6)를 기준으로 복수 매의 마스크 블랭크가 마스크 블랭크의 방향을 정렬시켜 수납된다.

구체적으로는, 유통카세트(10)의 소정위치에 대하여, 기판에 형성되어 있는 막마크(6)가 소정의 관계로 배치되도록 수납된다.

본 실시형태에서는, 유통카세트(10)에 복수 매의 마스크 블랭크의 막마크(6)가 뒤쪽의 특정위치(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)에 오도록 수납되고 있다. 즉, 유통카세트(10)의 카세트 앞면을 기준으로 하여, 막마크(6)가 형성된 면을 카세트 앞면에 대하여 반대방향으로 향하도록, 즉 노치마크(1)가 형성된 면을 카세트 앞면으로 향하도록 복수의 마스크 블랭크를 배열하고, 카세트 앞면에서 보아, 수납된 복수 매의 기판 막마크(6)가 동일한 위치관계(도 15에서 유통카세트에 대하여 윗 방향)로 되도록 정렬하여 수납되고 있다.

검사 전에 있어서, 복수의 마스크 블랭크의 수납방향이 정한 바대로 정렬하도록 수납방법이 관리되고 있으므로, 검사공정에서 취득된 면정보의 방향성, 좌표계와 기준점은 검사에 제공된 복수의 마스크 블랭크 사이에서 통일되어 정보가 취득된다.

검사 후에 있어서, 복수의 마스크 블랭크의 수납방향이 정한 바대로 정렬하도록 수납방법이 관리되고 있으므로, 다음 공정에서도, 마스크 블랭크의 방향성(방향)은 유지된다.

유통케이스(10)에 첨부된 ID태그(10')에, 상술한 ID태그(9')에 부여되어 있는 관리번호 정보가 전송된다. 또한, 상술한 대로, ID태그(10')에 전송되는 관리번호는, ID태그(9')에 부여되어 있는 관리번호와 동일하여도, 새로운 관리번호를 부여하여도 상관없다.

(8)막정보 대조공정

유리기판 상에 순차 형성된 1차막, 2차막, 레지스트막의 각 박막에 관하여, 각각 취득된 막정보를 상호 대조한다. 또한 기판정보를 취득한 경우는, 기판정보와 막정보를 대조하는 것이 가능하다.

대조되는 마스크 블랭크에 관한 막정보는, 관리번호에 의해 특정할 수 있다.

본 발명에서, 막정보는 면정보로서 취득되어 있다. 이러한 면정보에서의 위치의 기준점은, 기판 혹은 마스크 블랭크에 형성되어 기준마크로 되는 노치마크나 막마크와 소정의 관계를 가지며 취득되어 있다. 또한, 막정보, 면정보의 취득 시에 는, 기판 또는 마스크 블랭크가 전부 같은 방향으로 정렬되어 정보가 취득되고 있다.

1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 상호 대조하는 것에 의해서, 각각의 막정보가 일치한 방향의 면정보로 되어 있는지를 검증할 수 있다. 또한, 검증결과에 기초하여, 각각의 막정보의 방향을 일치시키는 것이 가능하다.

구체적으로는, 막형성공정의 전후에서 기판 상의 위치가 변화하지 않는, 즉, 동일위치에 있는 형상을 기준으로 하여 각 막의 막정보를 대조할 수 있다.

예를 들면, 최하층 막인 1차막에 결함 등의 특정 형상이 존재하는 경우, 1차막보다 상층 막인 2차막, 레지스트막에도 1차막의 형상이 반영되므로, 1차막 막정보를 기준으로 하여 다른 막정보의 방향성, 즉 위치정보에 있어서의 기준점, XY좌표계가 서로 일치하고 있는지 여부를 대조하여 확인할 수 있다.

예를 들면, 최하층 막인 1차막에 결함이 있는 경우, 1차막보다 상층 막인 2차막, 레지스트막에도 결함이 생기므로, 1차막정보에 포함되는 결함을 기준으로 하여 다른 막정보의 방향의 정부(正否)를 판정할 수 있다.

도 17은, 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 대조한 예이다. 도 17에는, 1차막의 막정보, 2차막의 막정보, 레지스트막의 막정보에 공통으로 검출되는 결함을 기준으로 하였다. 상세하게는, 기판 상의 위치좌표가 변화하지 않고, 동일위치에 있는 결함(□,△,×가 겹쳐 있는 곳)을 기준으로, 2차막, 레지스트막의 막정보를 대조한 예이다.

이와 같이 막정보의 대조를 실시하는 것으로, 막정보끼리의 방향성(방향), 즉 위치정보에 있어서의 기준점, XY좌표계를 일치시킬 수 있다.

그런데, 예를 들면 어떤 유통카세트로부터 다른 유통카세트에 기판을 옮길 때, 기판의 방향성을 틀리게 하여 유통카세트에 수납해버릴 우려를 고려할 수 있다. 또한, 유통카세트로부터 각 검사장치, 각 검사장치로부터 유통카세트에 기판을 옮길 때, 기판의 방향성을 틀리게 하여 출입시킬 우려를 고려할 수 있다. 이러한 경우, 막정보와 마스크 블랭크의 방향성이 불일치하게 될 우려가 있다.

이러한 우려를 피하기 위해서는, 유통카세트나 수납케이스에 기판이나 마스크 블랭크를 출입시킬 때, 각 막의 결함검사장치에 기판을 세트할 때, 그 작업자는, 노치마크(1), 막마크(3 및 6)를 기판의 방향을 나타내는 기준마크로 해서, 예정된 방향성(방향)을 따라 기판이나 마스크 블랭크를 출입시킨다.

구체적으로는, 상술한 대로, 각 공정 사이에서 기판이나 마스크 블랭크를 수납하는 유통카세트에 대해서는, 유통카세트의 앞쪽으로 향하게 복수 매의 기판이나 마스크 블랭크의 노치마크가 배열되고, 또한 카세트 앞면에서 보아, 소정의 위치에 노치마크가 정렬되도록 기판이나 마스크 블랭크를 수납하면 된다.

또한, 편의상 카세트의 전방표시가 부여되어 있는 경우를 기술하고 있으나, 예를 들면 케이스의 방향이 반드시 같은 방향이 되도록 배열된 것이라면, 반드시 육안으로 인식할 수 있는 전방표시가 필요한 것은 아니다. 또한, 호스트컴퓨터 등에 의해, 카세트의 방향이 파악되어 관리되고 있는 것이라면, 반드시 육안으로 인식할 수 있는 전방표시는 필요하지 않다.

막마크(3)가 유통카세트 내의 하방 위치에, 막마크(6)가 유통케이스 내의 상 방 위치에 배치되도록 기판이나 마스크 블랭크가 수납된다.

또한, 각 막의 결함검사장치에 기판이나 마스크 블랭크를 세트할 때, 노치마크나 막마크가 소정의 방향을 향하도록 스테이지에 올려놓고, 또한 스테이지에 대하여 노치마크나 막마크가 소정위치에 오도록 올려놓아, 소정의 검사를 실시하면 된다.

이와 같이 하면, 막정보 사이에서 방향성(방향)이 불일치되는 것을 예방할 수 있다. 또한, 막정보의 방향성(방향)과, 수납된 마스크 블랭크의 방향성(방향)이 불일치되는 것을 예방할 수 있다.

마스크 블랭크의 제조과정에 있어서의 기판, 마스크 블랭크의 방향성(방향)을 일정하게 유지하는 것에 의해, 마스크 블랭크의 기준점, XY좌표계를 일치시키고, 또한 이러한 마스크 블랭크의 기준점, XY좌표계와, 각 막의 막정보의 기준점, XY좌표계를 일치시키는 것이 가능하다.

이상과 같이, 막정보, 기판정보에 포함되는 위치정보의 면좌표나 위치의 기준점이 상호 관련지어질 수 있도록 마스크 블랭크 정보가 구성되어 있으므로, 이러한 마스크 블랭크 정보는 마스크 블랭크 체내의 내부 입체정보로서 인식가능한 것이다.

또한, 상기 대조공정을 거치고 있으므로, 신뢰성이 높은 마스크 블랭크 체내의 입체정보로서 보증할 수 있다.

(9)마스크 블랭크 패킹공정

마스크 블랭크를 수납케이스(20)에 수납하여 패킹하고, 마스크 제조업자에게 배송한다.

여기에서 수납케이스(20)에 관하여 도 18A 및 도 18B를 참조해서 설명한다. 수납케이스(20)의 각각에는 고유의 케이스번호(21)가 부여되어 첨부되어 있다.

이러한 케이스번호(21)는, 후술할 슬롯번호와 함께, 상술한 마스크 블랭크의 제조과정에서, 각 기판과 각 공정의 정보(예를 들면, 막정보)를 대응시키기 위해 첨부했던 관리번호와 관련지어서 부여되고 있다. 또한, 케이스번호(21)는, 호스트컴퓨터에 보존되어 있는 각 막의 막정보 혹은 기판정보와 대응짓고 있다.

케이스번호(21)는, 수납케이스(20)에 첨부되지만, 케이스번호(21)의 첨부는, 인쇄 등 육안으로 인식할 수 있는 상태에 한정되지 않고, 예를 들면 바코드, 자기기록매체, IC칩, IC태그(IC tag) 등과 같은, 판독가능한 매체로 첨부되어도 좋다.

수납케이스(20)는 덮개(22)와 외부케이스(23)로 이루어지며, 외부케이스(23) 내에는 또 내부 케이스(24)가 수납되게 되어 있다. 내부케이스(24)는, 상방에서 하방으로 향하여 복수의 칸막이로서 슬롯(25)이 형성되어 있으며, 슬롯(25) 사이에 홈이 소정간격으로 복수 형성되고, 이러한 홈에 마스크 블랭크가 수납될 수 있게 되어있다.

슬롯(25)은 마스크 블랭크 사이의 칸막이이지만, 이하 설명의 편의상, 인접한 2개의 슬롯(25) 사이의 기판을 격납하는 홈 부분을 슬롯이라고 부르는 경우도 있다. 이러한 의미에서 도 18B에는 5매의 기판을 격납하기 위한 5개의 홈, 즉 5개의 슬롯이 있다.

각 홈에 대응하여 슬롯번호가 부여되고, 각각 슬롯No.1, 슬롯No.2, …슬롯 No.5라고 부른다. 외부케이스(23)의 바깥면 중, 슬롯No.1에 가까운 면에 수납케이스(20)의 방향을 나타내는 전면표시(26)가 기재되어 있다.

마스크 블랭크는, 각 홈(슬롯No.1, 슬롯No.2, …슬롯No.5)에, 마스크 블랭크에 형성되어 있는 노치마크(1)가 전면표시(26) 쪽의 특정 위치에 배치되고, 또한 막마크(3)가 수납케이스에 대하여 아래쪽으로, 막마크(6)가 수납케이스에 대하여 위쪽으로 배치되도록 수납되어, 패킹된다.

상술한 케이스번호 및 슬롯번호를 조합하여 수납케이스(20)에 격납되어 있는 마스크블랭크를 개체식별하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 케이스번호 및 슬롯번호에 의하여, 호스트컴퓨터에 보존되어 있는 각 막의 막정보 또는 기판정보와 대응시켜, 마스크 블랭크 정보가 특정된다.

상술한 대로, 패킹공정에 있어서도 각 홈에, 마스크 블랭크에 형성되어 있는 노치마크(1)가 전면표시(26) 쪽의 특정 위치에 배치되며, 막마크(3)가 수납케이스에 대하여 아래쪽으로, 막마크(6)가 수납케이스에 대하여 위쪽으로 배치되도록 수납하는 것에 의해서, 각 마스크 블랭크의 기준점, XY좌표계와, 각 막의 막정보 또는 기판정보의 기준점, XY좌표계를 일치시킬 수 있다.

따라서, 마스크 블랭크 개체와 상기 마스크 블랭크 개체에 관한 마스크 블랭크 정보를 정확하게 대응시킬 수 있으며, 마스크 제작시의 패턴 불량을 방지할 수 있다.

또한, 마스크 제작자는 마스크 블랭크의 표면정보뿐만 아니라, 마스크 블랭크의 내부 상태를 파악할 수 있다.

다음으로, 블랭크 패킹공정을 마친 수납케이스에 격납되어 있는 마스크 블랭크와, 이 마스크 블랭크의 막정보를 마스크 제조업자에게 제공하는 마스크 블랭크 제공방법, 및 마스크 제작 지원시스템에 관하여 도 19를 참조하여 설명한다.

상술한 대로, 관리번호마다 호스트컴퓨터에 보존되어 있는 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 포함하는 마스크 블랭크의 개체정보(마스크 블랭크 정보)를, 케이스번호 및 슬롯번호에 의해 특정되는 마스크 블랭크 개체와 대응시켜, 수납케이스에 격납된 복수 매의 마스크 블랭크와 함께, 마스크 제조업자에게 제공한다.

마스크 블랭크 정보제공방법은, (a)수납케이스(20)에 정보를 인쇄한 인쇄물을 첨부하는 것, (b)정보 데이터를 기록한 플렉서블 디스크나 CD-ROM등의 기록매체를 수납케이스(20)에 첨부하는 것, (c)데이터 통신회선을 통해서 정보데이터를 배송처인 마스크 제조업자의 컴퓨터 등에 송신하는 것 등이 있다.

(a) 및 (b)의 경우는 정보 그 자체를 슬롯번호와의 대응관계와 함께 수납케이스(20)에 첨부한다. (c)의 경우는 마스크 제조업자로부터 케이스번호 및 슬롯번호를 송신하고, 해당하는 정보를 수신하는 것에 의해 제공받는다.

또한, 정보는, 도 17과 같이, 각 결함이 어떻게 배치되어 있는지 시각적으로 알 수 있도록 맵(map)화한 것이어도 좋으며, 각 결함의 종류, 결함의 사이즈, 결함의 위치정보(X좌표, Y좌표)에 관한 데이터시트여도 좋다. 정보는, 각 막의 막정보마다 마스크 제조업자에게 제공하는 것이 일반적이지만, 도 17과 같이 각 막의 막정보를 하나의 결함 맵으로 하여 마스크 제조업자에게 제공되어도 좋다.

상술한 대로, 면정보로서 취득된 기판정보 또는 막정보에서의 위치정보, 예를 들면 결함의 위치정보는, 이 실시형태에서는 노치마크(1)를 기준으로, 기판 주표면의 중심을 산출하여 이것을 기준점(○)으로 하고, 해당 기준점을 통과하는 XY좌표계에서의 각 결함의 X좌표, Y좌표로 나타내고 있으며, 또한 수납케이스에 격납되어 있는 마스크 블랭크도, 노치마크(1)가 수납케이스에 대하여 특정 위치에 오도록 정렬시켜 수납되고 있으므로, 수납케이스에 격납되어 있는 마스크 블랭크에서의 기준점, 좌표계와, 위치정보에서의 기준점, 좌표계가 대응관계를 파악할 수 있게, 혹은 일치된 상태로 마스크 제조업자에게 제공된다.

이상과 같이, 하나 하나의 마스크 블랭크 개체에 대응하는 마스크 블랭크 정보가 마스크 제조업자에게 제공된다. 제공되는 마스크 블랭크 개체는, 그 위치 기준점이나 좌표계와 블랭크 막정보의 위치 기준점이나 좌표계가 대응하는 관계로 마스크 제조업자에게 제공된다.

마스크 제조업자는, 케이스번호나 슬롯번호, 관리번호나 관리기호 등과 같은, 마스크 블랭크에 간접적으로 부여된 마스크 블랭크를 특정하기 위한 수단을 이용하여, 제공된 마스크 블랭크를 개체식별하고, 상기 소정의 관계에 있는 기준점이나 좌표계를 매개로 해서, 제공된 마스크 블랭크와 마스크 블랭크 정보를 대조할 수 있다. 또한, 상기 소정의 관계에 있는 기준점이나 좌표계를 매개로 해서, 하나 하나의 마스크 블랭크의 표면형태 등의 상태를 정확하게 파악하는 것이 가능하다.

따라서, 소정의 전사패턴(마스크 패턴)을 형성할 마스크 블랭크 상의 영역을 원하는 대로 적절하게 특정할 수 있다. 따라서, 형성할 패턴의 패턴형성의 불량을 억제하는 것이 가능하다.

마스크 제조업자는 제공된 마스크 블랭크 상에, 전사패턴을 포함하는 마스크 패턴을 형성할 영역을 특정하고, 마스크 블랭크 상에 형성된 박막에 패터닝하여, 전사마스크를 제작할 수 있다.

다음으로, 상술한 (c)의 데이터 통신회선을 통하여 정보를 제공하는 제공방법을 구체적인 예로 해서, 본 발명의 마스크 제작 지원시스템(110)에 관해 도 19를 참조하여 설명한다.

도 19를 참조하면, 마스크 제작 지원시스템(110)은, 마스크 블랭크 공장(111)과, 마스크 블랭크 공장(111)에서 제조된 마스크 블랭크를 기초로 마스크를 제조하는 마스크 공장(112)과, 양 공장을 접속하는 데이터 통신회선(113)으로 이루어진다. 또한, 마스크 블랭크 공장(111)은, 호스트컴퓨터(51) 및 서버(114)로 이루어진다.

마스크 블랭크 공장(111)에서 제조된 마스크 블랭크는 상술한 수납케이스(10)에 수납되어 마스크 공장(112)에 배송된다. 호스트컴퓨터(51)는 상술한 마스크 블랭크 생산라인 제어시스템(50)의 호스트컴퓨터(51)이다.

서버(114)는, 호스트컴퓨터(51)에서 필요한 정보(막정보 등)를 수취하여, 마스크 공장(112)에 배송한 마스크 블랭크를 특정하는 케이스번호와 슬롯번호와 블랭크 막정보를 대응시켜 보존하고, 인터넷(113)을 통해 마스크 공장(112) 원격지의 컴퓨터에 소정의 정보를 제공한다.

또한, 호스트컴퓨터(51)에, 마스크 공장(112)에 배송한 마스크 블랭크를 특 정하는 케이스번호와 슬롯번호와 막정보 등과 같은 마스크 블랭크 정보를 대응시켜 보존하여도 좋다.

다음으로, 마스크 공장(112)이 마스크 제작 지원시스템(110)에서 수취한 정보를 이용하여, 마스크 블랭크의 레지스트막에 패턴을 묘화·현상처리하는 공정을 갖춘 마스크 제조공정에 관한 일례를 도 20을 참조하여 설명한다.

수납케이스(10)를 수취한 마스크 공장(112)의 작업자는, 육안인식 혹은 기계판독에 의해 케이스번호를 수납케이스(10)로부터 취득한 후, 컴퓨터 등과 같은 데이터 통신 장치를 사용하여, 케이스번호를 인터넷 등의 데이터 통신회선(113)을 통하여 서버(114)에 송신한다. 이에 따라, 서버(114)는, 그 케이스번호의 수납케이스의 각 슬롯에 수납된 마스크 블랭크의 막정보를, 케이스번호, 슬롯번호와 대응시켜 답신한다(스텝 S121).

데이터 통신의 형태로서, 다양한 형태가 고려될 수 있다. 예를 들면, 케이스번호나 슬롯번호 등과 같은 마스크 블랭크를 개체식별하기 위한 정보와, 막정보 등의 마스크 블랭크 정보의 전송의 쌍방을 전자메일을 통해서 행하여도 좋다.

혹은, 케이스번호와, 그 케이스번호의 수납케이스의 각 홈에 수납된 마스크 블랭크 정보와의 대응관계를 나타낸 데이타 베이스를 서버(114)에 설치하고, 마스크 공장(112) 쪽으로부터 입력된 케이스번호에 따른 막정보 등의 마스크 블랭크 정보를 답신하는 것으로 하여도 좋다.

이 단계에서는, 마스크 블랭크가 도 21A와 같은 단면을 가지며, 유리기판 상에, 1차막(하프톤 막), 2차막(차광막), 레지스트막의 복수층 막이 적층되어 형성된 상태로 이루어져 있다.

막정보를 수취한 마스크 공장(112)은, 취득된 막정보와, 제조하고자하는 마스크의 마스크 패턴 데이타를 대조한다(스텝 S122).

상술한 대로, 이 때 마스크 블랭크의 기준점, XY좌표계와, 막정보에서의 위치정보 기준점, XY좌표계가 대응하고 있으며, 막정보와 마스크 패턴 데이타를 대조하는 것에 의해, 마스크 블랭크에 대한 마스크 패턴의 배치를 결정할 수 있다.

이제, 마스크 공장(112)은, 마스크 블랭크공장(111)으로부터 마스크 블랭크 정보(141)를 수취하고, 마스크 패턴(142)을 묘화하고자 하는 것으로 한다. 마스크 블랭크정보(141)는 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 포함하고 있다.

일반적으로, 도 22에서 나타난 대로 마스크에 형성되는 마스크 패턴은, 패턴의 밀도가 조밀한 밀패턴 영역(143)과 패턴의 밀도가 성긴 소패턴 영역(144)을 갖는다.

마스크 패턴으로서 밀패턴이 형성되는 영역(143)과 소패턴이 형성되는 영역(144)을 갖는 마스크로서, 시스템 LSI 제조용 마스크 등을 들 수 있다.

특히, 소패턴 형성영역으로서, 전기특성을 시험하기 위해 형성된 모니터 칩 형성영역을 갖는 마스크 패턴의 경우에 본 발명의 마스크 제작 지원방법은 특히 효과적이다.

한편, 일반적으로 마스크 제작공정에 있어서 패턴불량으로 될 가능성이 있는 마스크 블랭크 결함, 구체적으로는 핀홀이나 파티클은, 균일하게 분포하고 있는 것 이 아니라, 편재하고 있는 것이 많다.

수취한 마스크 블랭크 정보인 막정보(141)를 참조하여, 패턴불량이 될 가능성이 있는 핀홀이나 파티클이, 마스크 패턴 데이타에서의 밀패턴 형성영역(143) 이외의 영역에 배치되도록, 패턴 묘화위치를 조정하여 결정한다(스텝 S123).

패턴 묘화위치의 조정방법으로서, 마스크 블랭크의 방향에 대한 마스크패턴(142)의 방향을 변경하는 것이 고려될 수 있다. 또한, 밀패턴 형성영역(143)과 소패턴 형성영역(144)의 상대적인 위치관계가 변경가능하다면, 이것을 변경하는 것에 의해 조정하여도 좋다.

마지막으로, 결정한 패턴 묘화위치에 따라서, 레지스트막에 패턴을 묘화하고 현상하는 것으로, 유리기판 상에 마스크 패턴(전사패턴)이 형성된 마스크를 얻는다(스텝 S124).

이상과 같은 스텝 S121 ~ 스텝 S124를 거쳐 제작된 마스크는, 마스크 블랭크에서의 패턴불량으로 될 가능성이 있는 핀홀이나 파티클이, 소패턴 형성영역에 배치되게 되므로, 마스크 패턴의 패턴형성의 불량을 억제하는 것이 가능하다.

다음으로, 상술한 실시형태에 있어서, 호스트컴퓨터(51)가 각 장치로부터 각 공정의 정보(예를 들면, 각각의 검사공정에서 생성된 기판정보, 막정보나, 제조조건, 레시피 등의 정보)를 수집하는 마스크 블랭크 생산라인 제어시스템(50)의 일례에 관하여 도 23을 참조하여 상세히 설명한다.

도 23을 참조하면, 마스크 블랭크 생산 컨트롤시스템(50)은, 호스트컴퓨터(51), 카세트번호·슬롯번호 부여장치(52)(이하, 부여장치(52)로 기재함), 1차막 형성장치(53), 1차막 결함검사장치(54), 2차막 형성장치(55), 2차막 결함검사장치(56), 레지스트막 형성장치(57) 및 레지스트막 결함검사장치(58)로 이루어진다.

유통 카세트는 복수 매의 기판을 수납할 수 있도록, 상방에서 하방으로 향하여 복수의 홈이 소정간격으로 형성되어 있는 동시에, ID태그를 구비한다. ID태그에는, 유통카세트에 수납된 각 기판을 관리하는 정보가 부여된다. 구체적으로는, 유통카세트의 카세트번호가 기록된다.

도 24를 참조하면, 생산라인에 기판을 투입하기 위해서는, 기판을 유통카세트의 각 홈에 수납하고, 부여장치(52)에서, 카세트번호, 슬롯번호, 공정 플로(flow)를 입력부(521)로부터 ID태그에 입력한다.

공정 플로는, 공정순위, 공정에서 사용되는 장치명, 각 장치에서 행해지는 처리의 처리조건에 대응한 레시피번호로 이루어지며, 생산하고자 하는 마스크 블랭크에 따라서 유통카세트 단위로 주어진다. 또한, 생산라인 상에서 기판의 특정은, 공정 내에서의 위치, 카세트번호, 슬롯번호로 할 수 있다.

부여장치(52)는 유통카세트의 ID태그에 카세트번호를 기입하는 동시에, 데이타 송수신부(522)에 의해서 호스트컴퓨터(51)에 카세트번호, 슬롯번호 및 공정플로를 송신한다. 도 25를 참조하면, 호스트컴퓨터(51)는 부여장치(52)에서 송신된 데이타를 데이타 송수신부(511)에서 수신한 후, 카세트번호, 슬롯번호 및 공정플로를 상호 관련지어 공정 플로 축적부(512)에 축적한다.

부여장치(52)에서 카세트번호의 입력을 마친 유통카세트(이후, 이러한 유통카세트를 카세트A 로 기재함)가, 1차막 형성장치(53)의 로더 포트(531)에 세트되 면, 카세트A의 ID태그로부터 카세트번호를 해독하여 데이타 송수신부(532)에 의해 호스트컴퓨터(51)에 통지한다.

도 26을 참조하면, 이에 응답하여, 호스트컴퓨터(51)는 카세트A의 카세트번호, 슬롯번호, 스퍼터 막형성의 레시피 번호를 1차막 형성장치(53)에 송신한다. 또한, 레시피 번호에 관하여는 스퍼터 막형성의 동작개시 직전이어도 좋다.

이를 수신한 1차막 형성장치(53)에서는, 레시피 번호-스퍼터 조건 대조부(533)에서 레시피 번호에 대응하는 스퍼터 조건을 대조하고, 스퍼터 조건 축적부(534)에 대조한 스퍼터 조건을 축적한다. 이 스퍼터 조건에 따라서, 스퍼터 조건 제어부(535)는 스퍼터 장치(536)를 제어하고, 스퍼터 막형성을 실시한다.

스퍼터 장치(536)는, 카세트A로부터 기판을 빼내어, 스퍼터 막형성을 개시한다. 스퍼터 막형성 과정에서, 스퍼터 실적을 수집하고 슬롯번호와 관련짓는다.

스퍼터 막형성이 종료된 기판을 언로더 포트(538)에 미리 준비된 다른 유통카세트(이후, 카세트B 로 기재함)의 슬롯에 넣는다. 이 때, 슬롯번호, 스퍼터 실적, 언로더 슬롯번호 수집부(537)(이후, 수집부(537)라 기재함)는, 카세트A에서의 슬롯번호, 관련지어진 스퍼터 실적, 카세트B에서의 슬롯번호를 수집하고, 데이타 송수신부(532)를 이용하여 호스트컴퓨터(51)에 송신한다. 또한, 카세트B의 슬롯이 전부 1차막 형성 후의 기판으로 가득 차면, 수집부(537)는, 카세트B의 카세트번호와 함께 그러한 내용을 호스트컴퓨터(51)에 통지한다.

이어서, 호스트컴퓨터(51)는, 카세트번호B, 카세트번호A, 공정 플로의 순서로 다음 공정을 특정하고, 도시하지 아니한 카세트 반송부에 대하여 반송처를 지시 한다. 또한, 호스트컴퓨터(51)는, 카세트B의 카세트번호, 및 1차막 형성장치(53)에 송신한 스퍼터의 레시피 번호를 1차막 결함검사장치(54)에 송신한다.

도 27을 참조하면, 1차막 결함검사장치(54)는 데이타 송수신부(541)에서 이들을 수신하면, 카세트번호-레시피번호 대조부(542)에 이들을 건네준다.

로더 포트(543)에 유통카세트가 반입되면, 카세트번호-레시피번호 대조부(542)는, 유통카세트의 ID태그로부터 판독한 카세트번호에 대응하는 레시피번호를 대조한다. 여기에서 카세트번호가 카세트B의 것이라면, 카세트B에 수납된 기판에 대하여 스퍼터 막형성했을 때의 레시피번호가 얻어진다.

결함검사조건 축적부(544)에는, 레시피번호와, 레시피번호가 나타내는 레시피조건 하에서 형성된 막에 대하여 실시할 검사조건과의 대응관계가 미리 축적되어 있고, 카세트번호-레시피번호 대조부(542)로부터 레시피번호를 수취하면, 실시할 검사조건을 출력한다.

이러한 검사조건에 따라, 결함검사조건 제어부(545)는, 결함검사장치(546)를 제어하여 검사를 실시한다. 결함검사장치(546)는 검사결과를 결함검사정보로서 출력한다. 검사를 마친 기판은, 언로더 포트(547)에 미리 세트한 다른 유통카세트(이하 카세트C로 기재함)의 슬롯에 수납된다.

언로더 카세트번호, 언로더 슬롯번호 부여부(548)는, 카세트C에 카세트번호를 부여하는 동시에, 카세트C의 카세트번호, 카세트C의 슬롯번호, 슬롯에 수납된 기판의 결함검사정보를 관련지어서, 데이타 송수신부(541)를 사용하여 호스트컴퓨터(51)에 송신한다.

호스트컴퓨터(51)는, 송신된 정보를, 1차막 형성장치(53)에서 얻은 스퍼터 실적 등과 관련지어 정보축적부(513)에 축적한다.

2차막 형성장치(55), 2차막 검사장치(56)에 관하여는, 각각 1차막 형성장치(53) 및 1차막 검사장치(54)와 비교하면, 형성할 막의 종류 차이에서 기인하는 상이점뿐이며, 구성요소 및 동작에 큰 차이가 없는 바, 설명을 생략한다. 도 28에서 나타내는 레지스트막 형성장치(57) 및 레지스트막 결함검사장치(58)에 관해서도 마찬가지이다.

이와 같이, 1차막 형성장치(53), 1차막 검사장치(54), 2차막 형성장치(55), 2차막 검사장치(56), 레지스트막 형성장치(57) 및 레지스트막 결함검사장치(58)로부터 수집한 정보를 기초로, 결함정보 대조부(514)는, 제1 실시형태에서 설명한 1차막 막정보, 2차막 막정보, 레지스트막 막정보를 생성하는 동시에, 이들을 상호 대조하여, 도 17에 나타난 것과 같은 마스크 블랭크 정보를 생성한다.

상술한 실시형태에서는, 유통카세트나 수납케이스, 스퍼터링 장치의 기판 유지구, 결함검사장치의 스테이지에 기판이나 마스크 블랭크를 세트할 때, 노치마크(1), 막마크(3,6)를 기준으로 어떤 특정한 방향성(방향)을 이루도록 관리했지만, 이에 한하지 않고, 마스크 블랭크 제조공정 전체에서 노치마크(1)만으로 기판의 방향성을 특정하는 것도 가능하며, 노치마크(1)만으로 기판의 방향성을 관리하여도 좋다.

또한, 노치마크(1)나 막마크(3,6) 이외에, 기판에 부여하는 기준마크여도 좋다. 이 경우에 있어서 기준마크는, 기판의 방향성(방향)을 특정할 수 있는 형상으 로 할 수 있다.

또한, 기판 위, 혹은 마스크 블랭크들 위의 기준마크의 배치위치는, 기판의 중심에 대하여 회전비대칭의 위치에 설치한 것으로 할 수 있다.

또한, 상술한 실시형태에서는, 막정보를 기판 상에 형성되는 복수의 막에 관한 막정보로 했지만, 취득하는 막정보는 단일의 막이어도 좋다. 마스크 블랭크 공장으로부터 마스크 블랭크가 출하되는 데 있어서 취득된 정보여도 적용가능하다. 이 경우에 있어서도, 막정보의 기준점과 XY좌표계와, 마스크 블랭크의 기준점과 XY좌표계와의 일치를 보증하는 작용이 있다. 또한, 막정보 외에 기판표면의 정보를 포함하여도 좋다.

또한, 상술한 실시형태에서는, 마스크 블랭크로서 유리기판 상에, MoSiN 하프톤 막, Cr차광막, 레지스트막이 형성된 하프톤 형의 위상시프트 마스크블랭크를 예로 들어 본 발명의 마스크 제작 지원방법을 설명했지만, 이에 한하지 않고, 유리기판 상에, Cr차광막, 레지스트막이 형성된 소위, 포토마스크 블랭크나, 유리기판 상에 다층반사막, 흡수체막, 레지스트막이 형성된 반사형 마스크 블랭크에도 적용할 수 있다.

또한, 상술한 마스크 블랭크에 있어서, 레지스트막이 형성되지 않는 마스크 블랭크에도 본 발명을 이용할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서는, 실시형태에 기재되어 있는 하프톤 막의 막재료, 차광막의 막재료에 한정되지 않고, 일반적으로 마스크 블랭크에 적용할 수 있는 다른 막재료여도 상관없다.

또한, 상술한 실시형태에서는, ID태그를 각각의 유통케이스마다 따로 마련하고 있었지만, 유통케이스는 별개이지만, ID태그는 다음 공정에서 사용할 유통케이스에 갈아 붙여서 사용해도 상관없다.

이상, 본 발명을 실시형태에 기초하여 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며, 당업자의 통상적인 지식의 범위 내에서 그 변경이나 개선이 가능함은 자명하다.

예를 들면, 상술한 실시형태에 있어서 막정보란, 기판의 소정의 방향을 기준으로 해서 막 위에 미리 정해진 XY좌표계의 X좌표, Y좌표, 결함의 크기, 결함의 종류를 포함하는 것이었지만, 각 좌표에서의 측정값의 종류 및 그 수는 이에 한정되는 것은 아니다. 평면도 등 형상에 관한 값, 전기저항값 등 전기특성치, 굴절률 등과 같은 광학특성치 등을 막정보로 해서 포함하는 것이 고려될 수 있다. 이러한 측정치 중, 전부를 막정보에 포함하는 것으로 하여도 좋고, 일부로 하여도 좋다.

또한, 기판정보나 각종 막정보에 있어서, 좌표계로서 직교좌표계를 사용하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 극좌표계여도 좋으며, 2차원 좌표계 대신에 3차원 좌표계를 사용하는 것으로 하여도 좋다. 예를 들면, 막정보에 XYZ좌표계를 사용하는 것이라면, 막표면의 X 및 Y로 표시된 점에서 깊이가 Z인 위치에 홀이 존재한다는 정보를 포함시키는 것이 가능하게 되며, 더욱 상세한 마스크 블랭크 정보를 취득하는 것이 가능하게 된다.

도 1은, 본 발명의 마스크 블랭크 막정보 취득방법을 설명하기 위한 플로 챠트이다.

도 2A는, 마스크 블랭크의 수납 케이스(10)에 관하여 설명하기 위한 단면도이다.

도 2B는, 마스크 블랭크의 수납 케이스(10)에 관하여 설명하기 위한 평면도이다.

도 3A는, 마스크 블랭크의 표리를 나타내는 트레이 마크(31)에 관하여 설명하기 위한 도면이다.

도 3B는, 마스크 블랭크의 표리를 나타내는 노치마크(notch mark)(1)에 관하여 설명하기 위한 도면이다.

도 4는, 본 발명의 마스크 블랭크 막정보(표면정보) 취득공정에 의해 취득되는 마스크 블랭크 막정보(표면정보)의 일례를 설명하기 위한 그래프이다.

도 5는, 본 발명의 마스크 블랭크 막정보 관리시스템(50)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 6은, 호스트컴퓨터(51)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 7은, 카세트번호, 슬롯번호 부여장치(52)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 8은, 1차막 형성장치(53)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 9는, 1차막 결함검사장치(54)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 10은, 레지스트막 형성장치(57)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 11은, 마스크 제작 지원시스템(110)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 12는, 발주자/마스크 공장(12) 내의 마스크 제조공정에서 패턴의 묘화·현상처리를 설명하기 위한 플로 챠트이다.

도 13A는, 마스크 제조공정의 묘화·현상처리를 받기 전의 마스크 블랭크의 단면도이다.

도 13B는, 마스크 제조공정을 거쳐 제작된 전사마스크의 단면도이다.

도 14는, 블랭크막정보 및 마스크 패턴데이타에 기초하여 행한 소패턴 형성영역 및 밀패턴 형성영역의 배치에 관하여 설명하기 위한 도면이다.

도 15는, 본 발명의 마스크 제작 지원방법에 있어서, 마스크 블랭크의 제조공정과, 마스크 블랭크의 제조과정에 있어서 마스크 블랭크의 막정보를 취득하여 보존하는 방법을 설명하기 위한 플로 챠트이다.

도 16A는, 마스크 블랭크의 노치마크(1)에 관하여 설명하기 위한 도면이다.

도 16B는, 마스크 블랭크의 막마크(31)에 관하여 설명하기 위한 도면이다.

도 17은, 본 발명의 마스크 블랭크 막정보(표면정보) 취득공정에 의해 취득된 마스크 블랭크 막정보(표면정보)의 일례를 설명하기 위한 그래프이다.

도 18A는, 마스크 블랭크를 수납한 수납케이스(10)에 관하여 설명하기 위한 단면도이다.

도 18B는, 마스크 블랭크를 수납한 수납케이스(10)에 관하여 설명하기 위한 평면도이다.

도 19는, 마스크 제작 지원시스템(110)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 20은, 마스크 공장(112)이, 블랭크막정보를 이용하여, 마스크 블랭크의 레지스트막에 묘화·현상처리하여 패턴을 형성하는 공정을 갖는 마스크 제조공정을 설명하기 위한 플로 챠트이다.

도 21A는, 마스크 제조공정의 묘화·현상처리를 행하기 전의 마스크 블랭크의 단면도이다.

도 21B는, 마스크 제조공정을 거쳐 제작된 전사마스크의 단면도이다.

도 22는, 블랭크막정보 및 마스크 패턴데이타에 기초하여 행한 소패턴 형성영역 및 밀패턴 형성영역의 배치에 관하여 설명하기 위한 도면이다.

도 23은, 본 발명의 마스크 블랭크 막정보 관리시스템(50)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 24는, 카세트번호, 슬롯번호 부여장치(52)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 25는, 호스트컴퓨터(51)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 26은, 1차막 형성장치(53)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 27은, 1차막 결함검사장치(54)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

도 28은, 레지스트막 형성장치(57)에 관하여 설명하기 위한 블럭도이다.

<부호의 설명>

1 노치마크(notch mark)

2 유통 케이스

2', 4', 5', 7', 8', 9', 10' ID태그(ID tag)

3, 6, 31 막마크

4, 5, 7, 8, 9, 10 유통케이스

20 수납케이스

21 케이스번호

22 덮개

23 외부 케이스

24 내부 케이스

25 슬롯

26 전면(前面)표시

50 마스크 블랭크 생산 라인 제어시스템

51 호스트컴퓨터

52 카세트번호, 슬롯번호 부여장치

53 1차막 형성장치

54 1차막 결함검사장치

55 2차막 형성장치

56 2차막 결함검사장치

57 레지스트막 형성장치

58 레지스트막 결함검사장치

110 마스크 제작 지원시스템

111 마스크 블랭크 공장

112 마스크 공장

113 데이타 통신회선 (인터넷)

114 서버

142 마스크 패턴

143 밀패턴 형성영역

144 소패턴 형성영역

511 데이타 송수신부

512 공정 플로(flow) 축적부

513 정보 축적부

514 결함정보 대조부

521 입력부

522 데이타 송수신부

531 로더 포트

532 데이타 송수신부

533 레시피번호-스퍼터 조건 대조부

534 스퍼터 조건 축적부

535 스퍼터 조건 제어부

536 스퍼터 장치

537 슬롯번호, 스퍼터 실적, 언로더 슬롯번호 수집부

538 언로더 포트

541 데이타 송수신부

542 카세트번호-레시피번호 대조부

543 로더 포트

544 결함검사조건 축적부

545 결함검사조건 제어부

546 결함검사장치

547 언로더 포트

548 언로더 카세트번호, 언로더 슬롯번호 부여부

571 데이타 송수신부

572 로더 포트

573 RC 레시피번호- 레지스트 도포조건, 레지스트 가열조건, 레지스트 냉각조건 대조부

574 레지스트 도포조건, 레지스트 가열조건, 레지스트 냉각조건 축적부

575 레지스트 도포조건, 레지스트 가열조건, 레지스트 냉각조건 제어부

576 레지스트 도포장치

577 가열장치

578 냉각장치

579 언로더 포트

580 슬롯번호, 레지스트 도포 실적, 언로더 슬롯번호 부여부

Claims (27)

1. 기판 면 위에 하나의 막 또는 적층된 복수의 막을 구비하는 마스크 블랭크에 관한 정보인 마스크 블랭크 정보를 취득하는 방법으로서,

   기준마크로서 이용되는 마크가 형성된 기판을 준비하는 단계와,

   준비된 상기 기판을 측정장치에 설치하여 상기 기판을 측정하며, 상기 기판 면에 대응하는 평면좌표계에 있어서의 위치정보 및 위치정보에 관련지어진 상기 기판의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하는 기판정보를 취득하는 단계와,

   상기 기판을 상기 측정장치로부터 빼내며, 상기 기준마크를 기준으로서, 상기 기판을 예정된 방향으로 하여, 제 1 케이스에 수납하는 단계와,

   상기 기준마크를 기준으로서, 상기 기판을 예정된 방향으로 하여, 막형성 장치에 설치하는 단계와,

   상기 케이스로부터 상기 기판을 빼내며, 상기 기판을 막형성 장치에 설치하여, 상기 기판 면 위에 막을 형성하는 단계와,

   상기 막이 형성된 기판을 상기 막형성 장치로부터 빼내며, 상기 기준마크를 기준으로서, 상기 기판을 예정된 방향으로 하여, 제 2 케이스에 수납하는 단계와,

   상기 케이스로부터 상기 기판을 빼내며, 상기 기준마크를 기준으로서, 상기 기판을 예정된 방향으로 조사장치에 설치하여, 형성된 상기 막에 대응하는 평면좌표계에서의 위치정보 및 위치정보에 관련지어진 상기 막의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하는 막정보를 취득하는 단계와,

   상기 막정보를 취득한 후, 상기 기준마크를 기준으로서, 상기 기판을 예정된 방향으로 하여, 제 3 케이스에 수납하는 단계를 포함하며,

   상기 마스크 블랭크 정보에 포함되는 상기 기판정보 및 상기 막정보의 평면좌표계는,

   상기 평면좌표계의 기준점을 상기 기판에 형성된 마크(mark) 또는 상기 막에 형성된 마크 중 적어도 한쪽을 기준으로 하여 정하고 있는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판정보 및 막정보를 서로 대조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으 로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 상태정보는, 표면형태에 관한 정보 및 광학특성에 관한 정보 중 적어도 한쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 막정보를 취득하는 막은, 노광 광의 위상을 시프트하는 위상시프트(phase shift) 막인 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판정보 및 상기 막정보를 평면에 투영하여 생성한 정보를, 상기 마스크 블랭크 정보에 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 기준마크에 기초하여 정해진 기판 또는 마스크 블랭크의 방향을 나타내는 정보를, 마스크 블랭크 정보에 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
7. 삭제
8. 제 1 항에 있어서,

   기준마크는, 방향을 특정할 수 있는 형상으로 생성하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
9. 제 1 항에 있어서,

   기판의 윤곽은 회전대칭성을 갖는 형상이며,

   부여된 기준마크를 포함하는 기판의 형상은, 회전비대칭성을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
10. 삭제
11. 삭제
12. 제 1 항에 있어서,

    상기 기판은 다각형이며,

    상기 기판의 서로 접하는 두 측변 사이의 영역에, 상기 기준마크를 부여하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
13. 제 1 항에 있어서,

    짝수개의 상기 기준마크를, 서로 회전비대칭의 위치에 부여하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
14. 제 1 항에 있어서,

    취득한 마스크 블랭크 정보에 기초하여, 마스크 블랭크 개체를 식별하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
15. 제 1 항에 있어서,

    상기 상태정보는 적어도 2종류의 측정치를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
16. 제 1 항에 있어서,

    상기 기판정보 및 막정보 중 적어도 한쪽은, 기판 또는 막의 두께 방향의 좌표를 더 포함하는 입체좌표계에서의 위치정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득방법.
17. 기판 상에 복수의 막을 적층형성하여 제작되는 마스크 블랭크에 관한 정보인 마스크 블랭크 정보를 제공하는 방법으로서,

    제 1 항에 기재된 마스크 블랭크 정보취득방법에서 취득한 마스크 블랭크 정보를, 그 마스크 블랭크와 함께 제공하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보제공방법.
18. 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여, 전사마스크의 제작을 지원하는 방법으로서,

    제 17 항에 기재된 마스크 블랭크 정보제공방법에 의하여, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하고,

    제공하는 마스크 블랭크 정보에 기초하여, 패턴 결함을 갖는 전사마스크 제작을 방지하기 위해, 대응하는 마스크 블랭크에 마스크 패턴을 형성하기 전에, 마스크 블랭크 상의 마스크 패턴을 형성할 영역을 특정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작지원방법.
19. 제 18 항에 있어서,

    마스크 블랭크에 형성된 마스크 패턴은, 서로에 대해, 상대적으로 조밀한(密) 패턴의 블럭(block)과, 상대적으로 성긴(疎) 패턴의 블럭(block)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작지원방법.
20. 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여, 전사마스크의 제작을 지원하는 방법에 있어서,

    제 17 항에 기재된 마스크 블랭크 정보제공방법에 의하여, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하고,

    마스크 제조업자에 대하여, 마스크 블랭크 정보 중 좌표계의 기준점을 상기 기준마크를 통하여 통지하는 방법으로서,

    제공받은 상기 마스크 제조업자는, 상기 기준마크를 통하여 상기 기판정보의 평면좌표계의 기준점과 상기 막정보의 평면좌표계의 기준점과의 대응 관계를 취득하고,

    취득한 상기 대응관계 및 상기 마스크 블랭크 정보에 기초하여 마스크 패턴을 형성할 영역을 정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작지원방법.
21. 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여, 전사마스크의 제작을 지원하는 방법에 있어서,

    제 17 항에 기재된 마스크 블랭크 정보제공방법에 의하여, 마스크 제조업자에게 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하고,

    마스크 제조업자에 대하여, 마스크 블랭크 정보 중 좌표계의 기준점을, 상기 기준마크를 통하여 통지하는 방법으로서,

    제공받은 상기 마스크 제조업자는, 상기 기준마크를 통하여 상기 기판정보의 평면좌표계의 기준점과 상기 막정보의 평면좌표계의 기준점과의 대응 관계를 취득하고, 취득한 상기 대응관계 및 상기 마스크 블랭크 정보에 기초하여 마스크 패턴을 형성할 영역을 정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작지원방법.
22. 마스크 블랭크 정보를 마스크 제조업자에게 제공하여, 전사마스크 제작을 지원하는 방법으로서,

    제 17 항에 기재된 마스크 블랭크 정보제공방법에 의하여, 마스크 제조업자에게 복수의 마스크 블랭크의 마스크 블랭크 정보를 제공하는 단계를 포함하며,

    제공하는 마스크 블랭크 정보에 기초하여, 마스크 패턴을 형성하기 전에, 상기 복수의 마스크 블랭크 중 하나를 선택하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제작지원방법.
23. 마스크 블랭크에 전사패턴이 되는 마스크 패턴을 형성하여 전사마스크를 제조하는 방법으로서, 제 1 항에 기재된 마스크 블랭크 정보취득방법에 의해 취득한 마스크 블랭크 정보에 기초하여, 마스크 블랭크에 마스크 패턴을 배치할 영역을 정하는 것을 특징으로 하는 전사마스크 제조방법.
24. 마스크 블랭크의 제조방법으로서, 제 1 항에 기재된 마스크 블랭크 정보취득방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조방법.
25. 기판 상에 하나의 막 또는 적층된 복수의 막을 구비하는 마스크 블랭크에 관한 정보인 마스크 블랭크 정보를 취득하는 시스템으로서,

    기판의 상태에 관한 기판정보를 취득하는 기판정보 취득수단과,

    기판 면 위 또는 기판 면 위에 형성된 다른 막 위에 형성된 막의 상태에 관한 막정보를 취득하는 막정보 취득수단과,

    상기 기판정보 취득수단 및 막정보 취득수단에서 취득한 정보를 포함하는 마스크 블랭크 정보를 생성하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득시스템.
26. 제 25 항에 있어서,

    상기 기판정보는, 기판 면에 대응하는 평면좌표계에서의 위치정보와, 위치정보에 관련지어진 기판의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하며,

    상기 막정보는, 상기 막에 대응하는 평면좌표계에서의 위치정보와, 위치정보에 관련지어진 해당 막의 상태를 나타내는 상태정보를 포함하며,

    상기 마스크 블랭크 정보에 포함되는 상기 기판정보 또는 상기 막정보의 좌표계는, 정해진 대응관계를 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 정보취득시스템.
27. 마스크 블랭크를 제공하는 방법으로서, 마스크 블랭크와 함께, 제 1 항에 기재된 마스크 블랭크 정보취득방법에서 취득한 해당 마스크 블랭크에 관한 마스크 블랭크 정보를 제공하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제공방법.

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