JP2010212645A - 接続構造、パワーモジュール、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板パッド113への金属端子120の超音波接合において、端子縁―パッド間に軟らかい、もしくは摺動性の高い薄いバッファー金属層140を設けることにより、接合時の端子120の端部が直接パッド113と接触することを防止する。これによって超音波接合時に、圧力と超音波によってパッド113に端子120の端部によって磨耗・亀裂が発生することを防止する。本発明によって、コンパクトで、かつ、信頼性の高い接合構造を実現することが出来る。
【選択図】図1
Description
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。
Claims (17)
- 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造であって、
前記第3の金属層の端部において前記第2の金属層との間に、前記第2の金属層を構成する金属よりも軟かい金属で形成されたバッファー金属層が形成されており、
前記バッファー金属層は、前記第2の金属層の1部を被覆していることを特徴とする接続構造。 - 前記第3の金属層の端部の真下に前記バッファー金属層が存在することを特徴とする請求項1に記載の接続構造。
- 前記バッファー金属層がSnまたはInおよびそれらを含む合金から成ることを特徴とする請求項1に記載の接続構造。
- 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールであって、
前記金属パッドの1部には前記金属パッドを構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属が形成され、
前記バッファー金属は、前記端子の端部と前記金属パッドの間に存在していることを特徴とするパワーモジュール。 - 前記バッファー金属層がSnまたはInおよびそれらを含む合金から成ることを特徴とする請求項4に記載の接続構造。
- 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造の形成方法であって、
前記第2の金属層の1部に前記第2の金属層よりも軟らかい金属によるバッファー金属層を配置し、
前記バッファー金属層の上に前記第3の金属の端部を配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とする端子構造の形成方法。 - 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造の形成方法であって、
前記第3の金属層の端部に前記第2の金属層よりも軟らかい金属によるバッファー金属層を配置し、
前記バッファー金属層を前記第2の金属層の上に配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とする端子構造の形成方法。 - 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールの製造方法であって、
前記金属パッドの1部に前記金属パッドを構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記バッファー金属の上に前記端子の端部を配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。 - 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールの製造方法であって、
前記端子の端部に前記金属パッドを構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記バッファー金属層を前記第2の金属層の上に配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。 - 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造の形成方法であって、
前記第2の金属層の少なくとも1部に前記第2の金属層よりも軟らかい金属によるバッファー金属層を配置し、
前記バッファー金属層の上に、前記バッファー金属層側に突起を有する前記第3の金属を配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とする端子構造の形成方法。 - 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造の形成方法であって、
前記第3の金属層の前記第2の金属層側の面の少なくとも一部に前記第2の金属層を構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記第3の金属層の前記第2の金属層側に単数または複数の突起を形成し、
前記バッファー金属層を前記第2の金属層の上に配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とする端子構造の製造方法。 - 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造の形成方法であって、
前記第2の金属層の少なくとも一部に前記第2の金属層を構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記第3の金属層の前記第2の金属層側に凸曲面を形成し、
前記バッファー金属層を前記第2の金属層の上に配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とする端子構造の製造方法。 - 第1の金属層、第1の絶縁層、第2の金属層、第3の金属層とがこの順で積層構成されている接続構造の形成方法であって、
前記第3の金属層の前記第2の金属層側の面の少なくとも一部に前記第2の金属層を構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記第3の金属層の前記第2の金属層側に凸曲面を形成し、
前記バッファー金属層を前記第2の金属層の上に配置し、
超音波によって前記第2の金属と前記第3の金属を接合することを特徴とする端子構造の製造方法。 - 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールの製造方法であって、
前記金属パッドの少なくとも1部に前記金属パッドよりも軟らかい金属によるバッファー金属層を配置し、
前記バッファー金属層の上に、前記バッファー金属層側に単数または複数の突起を有する前記端子を配置し、
超音波によって前記金属パッドと前記端子を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。 - 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールの製造方法であって、
前記端子の前記金属パッド側の面の少なくとも一部に前記金属パッドを構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記端子の前記金属パッド側に単数または複数の突起を形成し、
前記バッファー金属層を前記金属パッドの上に配置し、
超音波によって前記金属パッドと前記端子を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。 - 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールの製造方法であって、
前記金属パッドの少なくとも一部に前記金属パッドを構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記端子の金属パッド側に凸曲面を形成し、
前記バッファー金属層を前記金属パッドの上に配置し、
超音波によって前記金属パッドと前記端子を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。 - 導電性基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層の上に配線と金属パッドが形成され、前記金属パッドに端子が接続しているパワーモジュールの製造方法であって、
前記端子の前記金属パッド側の面の少なくとも一部に前記金属パッドを構成する金属よりも柔らかい金属によるバッファー金属を配置し、
前記端子の金属パッド側に凸曲面を形成し、
前記バッファー金属層を前記金属パッドの上に配置し、
超音波によって前記金属パッドと前記端子を接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。
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