JP4894528B2 - 半導体素子の配線接合方法 - Google Patents
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Description
このように、ワイヤボンディングによりパワー系半導体素子の接続を行う場合、大電流用の配線とするためには、ワイヤのトータル断面積を増加させる必要があるが、トータル断面積を増加させるために多数のワイヤをボンディングしていた。特許文献1には、例えばパワー系半導体素子と外部電極端子とをボンディングワイヤにて接続して構成した半導体装置の一例が開示されている。
従って、ワイヤが占めるスペースを小さくするために、テープ状に形成して断面積を増加させたワイヤを超音波接合して、ワイヤの接合スペースを小さくしつつワイヤの断面積を確保することも行われている。
さらに、ボンディングワイヤの溶断電流値を大きくするために、電気抵抗がアルミよりも小さな銅材を、ボンディングワイヤとして用いることも行われている。
また、電気抵抗が小さい銅材をワイヤとして用いた場合も、銅材はアルミよりも硬度が高いため、超音波にて素子電極端子にボンディングするためには、付与する超音波エネルギーを大きくする必要があり、半導体素子にダメージを与える恐れがある。
そこで、本発明においては、半導体素子にダメージを与えることなく、大きな接合断面積を確保することができる接合を適切に行うための半導体素子の配線接合方法を提供するものである。
即ち、請求項1記載の如く、半導体素子表面の端子と配線とを接合材を介在させた状態で積層し、前記配線の表面にレーザー光を照射することにより、前記端子と配線との接合部を局所的に加熱して、前記端子と配線との接合を行う半導体素子の配線接合方法であって、前記配線の表面へのレーザー光の照射時には、筒状に形成された加圧ノズルにより、前記半導体素子表面の端子と配線との接合部を押圧した状態で、平行光とされた前記レーザー光を、前記筒状の加圧ノズルの内部を通じて前記配線の表面に照射し、予め接合部の温度と接合部に対するレーザー入熱量との関係を求めておき、前記接合部の温度と接合部に対するレーザー入熱量との関係を用いて、接合部の温度が前記接合材の溶融温度以上かつ半導体素子の耐熱温度以下の範囲の温度となるように、レーザー照射による接合部に対するレーザー入熱量を設定する。
これにより、接合時における接合部の温度を、接合材が溶融する温度半導体素子が熱ダメージを受けない温度までの範囲の温度とすることができ、配線と端子とを適正に接合することが可能となる。
このように、半導体素子にダメージを与えることなく、大きな接合断面積を確保することが可能な配線と端子との接合を適正に行うことができる。
これにより、 配線表面の温度を外部から検出するだけで、容易に接合部の接合状態を判断することが可能となる。
これにより、接合部における接合を適正なレーザー照射条件で行うことができ、該接合部の信頼性を向上することができる。
これにより、レーザー光の照射により均熱的に加熱された緩衝治具から接合部へ伝熱されることとなるため、該接合部を全体的に均一に加熱することができ、該接合部の接合状態のばらつきを低減することが可能となる。
また、緩衝治具により接合部を配線の表面側から全面的に加圧することができるので、接合部における配線と端子との密着性を向上させることができ、接合部への熱伝達を安定化させることができる。
これにより、前記緩衝治具の下面と前記配線表面との接触面積が増加することとなり、緩衝治具から配線への熱伝達量が増し、接合部の加熱効率を向上することができる。
これにより、必要とするエネルギー密度が異なる、配線と端子との接合部、および配線とバスバーとの接合部を同時に接合を行うことが可能となり、半導体素子の配線接合工程を短縮することができる。
パワー半導体素子21の端子21aとリード配線31との接合は、該パワー半導体素子21の上に積層したリード配線31を、加圧ノズル52にて上方から押圧した状態で、レーザー照射器50からリード配線31表面にレーザー光51を照射することで行われる。
また、前記加圧ノズル52は、例えば断熱性の高いセラミック材にて構成されている。
さらに、前記バスバー29は銅材(Cu)にて構成されている。
また、接合前のリード配線31のパワー半導体素子21との接合面には第1の金属材層36aが形成されている。
また、前記パワー半導体素子21の第1の金属材層36bおよびリード配線31の第1の金属材層36cは、パワー半導体素子21の耐熱温度以下の温度で溶融する金属材により構成されている。該金属材としては、例えば錫や、錫を含み錫の融点(232℃)と同等もしくはそれよりも低い温度が融点となる低融点合金が用いられている。
前記第1の金属材層36bは、例えばスパッタリングにより成膜され、前記第1の金属材層36cは、例えばメッキにより成膜されている。
まず、前記パワー半導体素子21の端子21aとリード配線31とを重ね合わせて、重ね合わせた部分のリード配線31を加圧ノズル52にて上方から押圧して、該端子21aとリード配線31との接合部を加圧する。この加圧ノズル52による加圧により、端子21aの表面に形成される第1の金属材層36bと、リード配線31の表面に形成される第1の金属材層36aとを密着させる。
この場合、例えばリード配線31の厚さが0.1mm程度、幅が5mm程度であった場合、加圧ノズル52による加圧荷重を1N〜10N程度に設定することで、該加圧ノズル52による押圧部分の端子21aとリード配線31とを密着させることができる。
レーザー照射器50からは、レーザー光照射源(不図示)から照射されたレーザー光が、コリメートレンズ50aにより平行光とされた後に、筒状の加圧ノズル52の内部を通じてリード配線31表面へ照射される。
このように、平行光とされたレーザー光を照射することで、リード配線31表面のレーザー光照射範囲における、レーザー光のエネルギー密度のばらつきを低減しており、その結果照射範囲におけるレーザー光のエネルギー分布はフラット化されている。
これにより、レーザー照射領域におけるレーザー入熱量を平均化して、レーザー光の照射により加熱されるリード配線31の表面温度のコントロールが容易になっている。
つまり、所定の照射出力Pでレーザー光を照射すると、その照射時間に応じて接合部へのレーザー入熱量が増加し、リード配線31と端子21aとの接合部における最低温度(接合部min温度)、およびパワー半導体素子21の最高温度(素子max温度)が上昇していく。
従って、レーザー照射器50からリード配線31へのレーザー光の照射は、接合部へのレーザー入熱量が、所定の照射出力Pで時間t1だけレーザー照射を行った際のレーザー入熱量(min入熱量)から、所定の照射出力Pで時間t2だけレーザー照射を行った際のレーザー入熱量(max入熱量)となるように行われる。
このように、パワー半導体素子21にダメージを与えることなく、大きな接合断面積を確保することが可能なリード配線31と端子21aとの接合を適正に行うことができる。
つまり、図6に示すようなリード配線31表面の検出温度と前記接合部の温度との関係を予め求めておき、表面温度計53(図4参照)により、レーザー光が照射されているリード配線31表面の温度を検出して、検出した温度が、接合部における前記温度Taから温度Tbまでの範囲Raに対応する、リード配線31の表面温度Tpから表面温度Tqまでの範囲Rcの中に入っているか否かにより、接合部の温度の良否を判断する。
検出した温度が前記範囲Ra内にあれば接合部の温度は適正であり、接合部の接合状態は良好であると判定する。逆に、検出した温度が前記範囲Ra内になければ接合部の温度は不適正であり、接合部の接合状態が不良であると判定する。
これにより、接合部の接合状態を容易に判断することが可能となっている。
このように、レーザー光の照射条件を制御することで、接合部における接合を適正なレーザー照射条件で行うことができ、該接合部の信頼性を向上することができる。
図7に示すように、加圧ノズル52の下端部に緩衝治具55を設けて該緩衝治具55の下面55aにより前記接合部におけるリード配線31表面を加圧し、緩衝治具55の上面55bにレーザー光を照射することで、該緩衝治具55を介して接合部を加熱する。
これらの緩衝治具55を構成するモリブデン、グラファイト、およびDLCは、900nm〜1100nmの波長のレーザー光に対して60%〜90%の光吸収率を備えており、光吸収率が10%程度の銅材に比べて高い光吸収率となっている。
また、これらの材料は、融点が2500℃以上の耐熱材料であり、熱変形し難く耐久性も高くなっている。
さらに、DLCは1000w・mKと銅材の2倍以上の熱伝導性を備えているため、加熱性に優れている。
この場合、照射されたレーザー光のエネルギーを緩衝治具55が吸収して該緩衝治具55が加熱されるが、緩衝治具55は熱伝導率が良好であるので緩衝治具55内で均熱化された後、緩衝治具55の熱がリード配線31を通じて前記接合部に伝熱する。
また、緩衝治具55により接合部をリード配線31の表面側から全面的に加圧することができるので、接合部におけるリード配線31と端子21aとの密着性を向上させることができ、接合部への熱伝達を安定化させることができる。
特に、リード配線31が加熱されることにより該リード配線31表面が軟化して、凹凸形状との馴染みが促進される。
このように、緩衝治具55の下面55aとリード配線31表面との接触面積が増加することにより、緩衝治具55からリード配線31への熱伝達量が増し、接合部の加熱効率を向上することができる。
さらに、検出した緩衝治具55の上面55bの温度をレーザー照射器50にフィードバックして、該緩衝治具55の上面55bの温度が前記範囲Raに対応する温度範囲内に入るように、緩衝治具55の上面55bに照射されるレーザー光の照射出力や照射時間を制御することもできる。
また、リード配線31表面の凹凸形状の転写度合いは、リード配線31と端子21aとの接合面の傾きや異物混入や隙間の有無、および接合部への入熱量等といった、接合部の密着状態や接合部への熱伝達状態を示す指標となる。
従って、リード配線31と端子21aとを接合した後の、リード配線31表面における凹凸形状の転写度合いを観察することで、接合時のリード配線31の温度や接合部における接合状態を判断し、接合部温度等の接合状態の良否判定をすることができる。
この場合、リード配線31の一端部表面および他端部表面には、それぞれレーザー照射器60・60によりレーザー光が照射される。
前記レーザー照射器60は、該レーザー照射器60から照射されるレーザー光の焦点距離を調節可能に構成されており、レーザー光の焦点距離を変化させることで、レーザー光の照射部位におけるエネルギー密度を調節することが可能となっている。
一方、前記リード配線31とバスバー29とを接合する場合は、前記パワー半導体素子21のような耐熱温度についての制約がないため、母材となるリード配線31およびバスバー29を溶融させて接合する溶接を行うことが可能である。ただし、溶接を行う場合、リード配線31およびバスバー29は融点の高い銅材(Cu:1083℃)を溶融させる必要があるため、照射するレーザー光のエネルギー密度を、母材を溶融させるだけのエネルギー密度まで高くする必要がある。
このように、リード配線31と端子21aとの接合部と、リード配線31とバスバー29との接合部とで、異なるエネルギー密度のレーザー光を照射するためには、リード配線31と端子21aとの接合部へ照射するレーザー光の焦点位置と、リード配線31とバスバー29との接合部へ照射するレーザー光の焦点位置とを異ならせている。
本例の場合、例えば、リード配線31とバスバー29との接合部では、レーザー光の焦点位置がリード配線31の表面に位置するようにレーザー照射器60からレーザー光を照射し、リード配線31と端子21aとの接合部では、レーザー光の焦点位置がリード配線31の表面よりも上方に位置するようにレーザー照射器60からレーザー光を照射している。
特に、本例の場合、リード配線31と端子21aとの接合部には小さなエネルギー密度のレーザー光を照射して、パワー半導体素子21にダメージを与えることなく接合を行いながら、大きなエネルギー密度を必要とするリード配線31とバスバー29との接合を同時に行うことが可能であり、パワー半導体素子21の配線接合工程を短縮することができる。
3 冷却器
21 パワー半導体素子
21a 端子
28 ハウジング
29 バスバー
31 リード配線
36 接合層
36a (リード配線の)第1の金属材層
36b (パワー半導体素子の)第1の金属材層
36c (パワー半導体素子の)第2の金属材層
50 レーザー照射器
50a コリメートレンズ
51 レーザー光
52 加圧ノズル
53 表面温度計
Claims (6)
- 半導体素子表面の端子と配線とを接合材を介在させた状態で積層し、前記配線の表面にレーザー光を照射することにより、前記端子と配線との接合部を局所的に加熱して、前記端子と配線との接合を行う半導体素子の配線接合方法であって、
前記配線の表面へのレーザー光の照射時には、筒状に形成された加圧ノズルにより、前記半導体素子表面の端子と配線との接合部を押圧した状態で、平行光とされた前記レーザー光を、前記筒状の加圧ノズルの内部を通じて前記配線の表面に照射し、
予め接合部の温度と接合部に対するレーザー入熱量との関係を求めておき、
前記接合部の温度と接合部に対するレーザー入熱量との関係を用いて、
接合部の温度が前記接合材の溶融温度以上かつ半導体素子の耐熱温度以下の範囲の温度となるように、レーザー照射による接合部に対するレーザー入熱量を設定する、
ことを特徴とする半導体素子の配線接合方法。 - 予め接合部の温度と配線表面の温度との関係を求めておき、
前記端子と配線との接合時に、レーザーが照射される配線表面の温度を検出し、
前記接合部の温度と配線表面の温度との関係を用いて、
接合部の温度が接合材の溶融温度以上かつ半導体素子の耐熱温度以下の範囲となるような温度範囲内に、検出した配線表面の温度があるか否かにより、前記接合部の良否判定を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線接合方法。 - 予め接合部の温度と配線表面の温度との関係を求めておき、
前記端子と配線との接合時に、レーザーが照射される配線表面の温度を検出し、
前記接合部の温度と配線表面の温度との関係を用いて、
接合部の温度が接合材の溶融温度以上かつ半導体素子の耐熱温度以下の範囲となるような温度範囲内に、検出した配線表面の温度が入るように、レーザーの照射条件を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線接合方法。 - 前記配線の表面上に、高光吸収性および高熱伝導性の部材にて構成される緩衝治具を載置し、該緩衝治具を介して前記配線の表面にレーザー光を照射する、
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体素子の配線接合方法。 - 前記緩衝治具における配線との接触面は、凹凸形状に形成されている、
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の配線接合方法。 - 前記半導体素子の配線接合方法においては、
さらに、前記配線における前記端子と接合される側とは反対側の端部と、前記半導体素子が収納されるハウジングに備えられるバスバーとを、前記レーザー光を照射することにより接合する、
ことを特徴とする請求項1〜請求項5の何れかに記載の半導体素子の配線接合方法。
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