JP2017092293A - パワー半導体モジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るパワー半導体モジュール1を示す外観斜視図である。また、図2は、パワー半導体モジュール1の等価回路図である。更に、図3は、パワー半導体モジュール1の外部導出端子部10を示す外観斜視図、図4は外部導出端子部10の負極端子12を示す外観斜視図である。また、図5は、図4のR矢視図、図6は図4のA−A’線断面図である。
図11は、本発明の第2の実施形態に係るパワー半導体モジュール1の外部導出端子部10の負極端子12を示す外観斜視図である。また、図12は、パワー半導体モジュール1の製造工程における超音波溶接工程を示す断面図である。なお、図12は図11の基板側接続部15AにおけるB−B‘線断面部分を含んだ溶接前の状態を示しており、配線パターンの図示は省略している。図11及び図12を含む以降の説明においては、第1の実施形態と同一の構成要素に関しては同一の参照符号を付しているので、以下では重複する説明は省略する。
図13は、本発明の第3の実施形態に係るパワー半導体モジュール1の製造工程における超音波溶接工程を示す断面図である。図13は図12と同様に溶接前の状態を配線パターンの図示を省略して示している。図13に示すように、第3の実施形態においては、ホーン80の先端形状が、凸状に突出した突出部80aを有するように形成されている。この突出部80aの先端にホーン80の先端面82が設けられている。この点において、ホーン80の先端形状が平面状の先端面82であった第1及び第2の実施形態とは相違している。
図14は、本発明の第4の実施形態に係るパワー半導体モジュール1の外部導出端子部10の負極端子12を示す外観斜視図である。また、図15は、パワー半導体モジュール1の製造工程における超音波溶接工程を示す断面図である。なお、図15は図14の基板側接続部15BにおけるC−C‘線断面部分を含んだ溶接前の状態を示しており、配線パターンの図示は省略している。図14及び図15を含む以降の説明においては、上述した実施形態と同一の構成要素については同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
2 外囲樹脂ケース
3 ベース基板
4 配線パターン
10 外部導出端子部
11 正極端子
12 負極端子
13 交流端子
14 外部接続部
14a ねじ挿通孔
15 基板側接続部
15a 当接面
16 端子本体部
17 中央領域
18 外周枠状領域
21 金属母材
22 メッキ層
23 結合層
Claims (8)
- 表面に配線パターンが形成された基板と、前記基板に搭載されて前記配線パターンと接続されたパワー半導体素子と、前記配線パターンと超音波溶接により接続された外部導出端子とを備えたパワー半導体モジュールであって、
前記外部導出端子は、
前記配線パターンと接続される基板側接続部と、外部機器と接続される外部接続部とを有し、
前記基板側接続部は、板状部材からなり、前記配線パターンとの第1の当接面及び超音波溶接機のホーンとの第2の当接面のいずれか一方が、凹状又は凸状に形成されている
ことを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 前記基板側接続部は、その垂直断面形状が矩形凹状又は矩形凸状からなる
ことを特徴とする請求項1記載のパワー半導体モジュール。 - 前記基板側接続部は、前記第1及び第2の当接面のいずれか一方が凹状からなる場合に、中央領域がその外周枠状領域よりも薄くなるよう形成されている
ことを特徴とする請求項1記載のパワー半導体モジュール。 - 前記基板側接続部は、前記第1及び第2の当接面のいずれか一方が矩形凸状からなる場合に、中央領域がその外周枠状領域よりも厚くなるように形成されている
ことを特徴とする請求項2記載のパワー半導体モジュール。 - 前記基板側接続部は、少なくとも前記第1の当接面側に設けられたメッキ層を有する
ことを特徴とする請求項3又は4記載のパワー半導体モジュール。 - 表面に配線パターンが形成された基板と、前記基板に搭載されて前記配線パターンと接続されたパワー半導体素子と、前記配線パターンと超音波溶接により接続された外部導出端子とを備えたパワー半導体モジュールの製造方法であって、
板状部材からなり前記配線パターンと接続される基板側接続部と、外部機器と接続される外部接続部とを有すると共に、前記基板側接続部の前記配線パターンとの第1の当接面及び超音波溶接機のホーンとの第2の当接面のいずれか一方が、中央領域がその外周枠状領域よりも薄くなる凹状又は中央領域がその外周枠状領域よりも厚くなる凸状に形成された前記外部導出端子を形成する工程と、
前記配線パターン上に前記第1の当接面を対向配置して前記基板側接続部を超音波溶接により前記配線パターンに接続する工程とを備えた
ことを特徴とするパワー半導体モジュールの製造方法。 - 前記外部導出端子を形成する工程では、少なくとも前記基板側接続部の前記第1の当接面側にメッキ層を形成する
ことを特徴とする請求項6記載のパワー半導体モジュールの製造方法。 - 前記配線パターンに接続する工程では、凸状に形成された前記ホーンの先端面を前記基板側接続部の前記第2の当接面の中央領域に接触させ、この中央領域に荷重を掛けた状態で超音波溶接を行う
ことを特徴とする請求項6又は7記載のパワー半導体モジュールの製造方法。
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