JP2010192889A - 積層型インダクタ - Google Patents
積層型インダクタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010192889A JP2010192889A JP2010011311A JP2010011311A JP2010192889A JP 2010192889 A JP2010192889 A JP 2010192889A JP 2010011311 A JP2010011311 A JP 2010011311A JP 2010011311 A JP2010011311 A JP 2010011311A JP 2010192889 A JP2010192889 A JP 2010192889A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor layer
- sheet
- layer
- multilayer inductor
- mold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 213
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 51
- 238000010304 firing Methods 0.000 abstract description 47
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 269
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 76
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 44
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 29
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 20
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 17
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 10
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000003349 gelling agent Substances 0.000 description 8
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 7
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N triacetin Chemical compound CC(=O)OCC(OC(C)=O)COC(C)=O URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 3
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCXNXRUTKSIZND-UHFFFAOYSA-N 6-(dimethylamino)hexan-1-ol Chemical compound CN(C)CCCCCCO QCXNXRUTKSIZND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 6-[3-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperidin-1-yl]-3-oxopropyl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1CCN(CC1)C(CCC1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)=O DEXFNLNNUZKHNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- XTDYIOOONNVFMA-UHFFFAOYSA-N dimethyl pentanedioate Chemical compound COC(=O)CCCC(=O)OC XTDYIOOONNVFMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- 235000013773 glyceryl triacetate Nutrition 0.000 description 2
- 239000001087 glyceryl triacetate Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- YAPQBXQYLJRXSA-UHFFFAOYSA-N theobromine Chemical compound CN1C(=O)NC(=O)C2=C1N=CN2C YAPQBXQYLJRXSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960002622 triacetin Drugs 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPQPNSNHYJTUSA-UHFFFAOYSA-N 3-ethyloctan-3-ol Chemical compound CCCCCC(O)(CC)CC NPQPNSNHYJTUSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N Isooctane Chemical compound CC(C)CC(C)(C)C NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N dimethyl-hexane Natural products CCCCCC(C)C JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000000935 solvent evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 229960004559 theobromine Drugs 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012856 weighed raw material Substances 0.000 description 1
- 238000001238 wet grinding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/046—Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/165—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
- H01F2017/002—Details of via holes for interconnecting the layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F2017/0066—Printed inductances with a magnetic layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/08—Magnetic details
- H05K2201/083—Magnetic materials
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/09672—Superposed layout, i.e. in different planes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/098—Special shape of the cross-section of conductors, e.g. very thick plated conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4626—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
- H05K3/4629—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials laminating inorganic sheets comprising printed circuits, e.g. green ceramic sheets
Abstract
【解決手段】積層型インダクタ10は、銀を主成分とする導電体層とフェライトを主成分とする磁性体層とが積層され、それらが同時に焼成されることにより作製される。導電体層は、ビア接続されることにより螺旋状コイル30を形成する。前記導電体層の長手方向に直交する平面により切断した同導電体層の断面の形状は実質的に上底及び下底を有する台形である。前記下底の両端における前記台形の底角θは50°以上であって且つ80°以下である。
【選択図】図2
Description
前記導電体層の長手方向に直交する平面により切断した同導電体層の断面の形状が実質的に上底及び下底を有する台形であり、
前記下底の両端における前記台形の底角θは50°以上であって且つ80°以下である、という特徴を備える。
前記焼成された導電体層が内部に多数の空孔を有し、且つ、同導電体層の長手方向に直交する平面により切断した同導電体層の断面における同空孔の同導電体層に対する面積比が2%以上であって且つ30%以下であり、
前記焼成された導電体層の厚さt1に対する前記空孔の平均の直径Dの比D/t1が0.01以上であって且つ0.20以下である、積層型インダクタである。
図1は、本発明の実施形態に係る積層型インダクタ10の透視斜視図である。図2は、積層型インダクタ10を図1の1−1線に沿った平面にて切断した積層型インダクタ10の縦断面図である。積層型インダクタ10の形状は、縦、横及び高さが数mm程度の直方体である。積層型インダクタ10は、フェライトを磁性体として含む(フェライトを主成分とする)磁性体部20と、銀(Ag)を導電体として含む(銀を主成分とする)コイル部30と、を備えている。磁性体部20は焼成により一体化された複数の磁性体層からなり、コイル部30は焼成により一体化された複数の導電体層からなる。
導電体層31は、主導電体層31aと、ビア接続部31bと、からなる。
次に、積層型インダクタ10の製造方法について説明する
1.磁性体層の材料の作成
先ず、磁性体層の材料の作成方法について説明する。
1.1.1:秤量、混合及び乾燥
Fe2O3(粒径0.5μm)、ZnO(粒径0.3μm)、NiO(粒径1μm)、CuO(粒径2μm)、MnO2(粒径2μm)をそれぞれ秤量し、秤量した各原料粉末とジルコニアボールとイオン交換水とをポリポットに入れ、ボールミル法によって、5時間、湿式混合を行い、スラリーを得る。このスラリーを乾燥機によって乾燥させた後、ふるいにかけ、粉末を得る。
次いで、この粉末を、760℃(フェライト粉末作製時の熱処理温度)にて、2時間、熱処理(仮焼成)する。この仮焼温度は、フェライトが単相化する温度よりも50〜200℃低い温度であることが好ましい。たとえば、仮焼温度は、600〜800℃の範囲内の適当な温度とすることができる。仮焼を行う際、昇温及び降温の速度は200℃/hとする。そして、熱処理した粉末とジルコニアボールとイオン交換水とをポリポットに入れ、60時間、湿式粉砕を行い、スラリーを得る。この粉砕時間は、10〜80時間のうちの適当な時間とすることができる。得られたスラリーを乾燥機によって乾燥させ、ふるいにかけ、フェライト粉末を得る。
得られたフェライト粉末と、溶剤・分散媒(グルタル酸ジメチル、トリアセチン)と、分散剤(カルボン酸共重合体、例えば、マリアリム(商品名))と、を秤量して、ポリポットに入れる。この秤量は、フェライト粉末100重量部に対して、グルタル酸ジメチル20〜40重量部(本例では、27重量部)、トリアセチン2〜4重量部(本例では、3重量部)、カルボン酸共重合体1〜5重量部(本例では3重量部)となるように行う。更に、そのポリポットに、ジルコニアボールを入れ、ボールミル法によって、湿式混合を行い、フェライトスラリーを得る。
得られたフェライトスラリーと、ゲル化剤である「4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート及びエチレングリコール」と、反応触媒である「6−ジメチルアミノ−1−ヘキサノール」と、を以下のように秤量し、ミキサー(ハイブリッドミキサー)により攪拌する。この秤量は、フェライトスラリー100重量部に対し、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート1〜10重量部(本例では、6.4重量部)、エチレングリコール0.05〜2.70重量部(本例では、0.35重量部)、6−ジメチルアミノ−1−ヘキサノール0.03〜2.00重量部(本例では、0.06重量部)となるように行う。なお、上記攪拌前にイオン交換水を、フェライト粉末100重量部に対して水分が0.01〜1.00重量部(本例では、0.25重量部)だけ加える。以上により、磁性体層の材料となるスラリー(セラミックスラリー)を得る。
次に、図12〜図15を参照しながら、図1に示した積層型インダクタ10の製造方法について説明する。なお、図12〜図15においては、説明の便宜上、各シートに所定形状(パターン)を有する1つの成形体が形成され、そのようなシートが積層されることにより1つの積層型インダクタ10が製造される例が示されている。しかしながら、実際には、各シートに同じ形状(パターン)を有する複数(例えば、1000〜3000個)の成形体が同時に形成され、そのようなシートが積層されることにより1つの積層体が形成され、さらにその積層体を後に切断することによって複数の積層型インダクタ10が同時に製造される。
図12は、シート41〜48のうちの代表の1つとして一枚のシート41が製造される例を示している。図12に示したように、直方体の板状ステンレス(例えば、ジュラルミン等のアルミニウム合金)製の第1成形型51と、第2成形型61と、が準備される。次いで、第1、第2成形型51,61の成形面(平面)に離型剤がそれぞれ塗布されることにより、非付着性の皮膜がそれぞれ形成される。
次いで(或いは、別途でもよい。)、後にコイル部(導電体部)30となるペースト(以下、「導体ペースト」と称呼する。)が調製される。図12(a)に示したように、この導体ペーストは、スクリーン印刷法及びメタルマスク法等によって「皮膜が形成された第1成形型51の成形面」及び「皮膜が形成された第2成形型61の成形面」上に形成される。
次いで、図12(b)に示すように、第1成形体が形成された第1成形型51の成形面上に、シート41の厚さと略同じ高さを有するスペーサSを介して、第2成形型61が載置される。このとき、第2成形型61は、「第2成形体の形成された成形面」が「第1成形型61の第1成形体が形成された成形面」に対向するように配置される。これにより、第1成形型51及び第2成形型61は、「第1成形体が形成された第1成形型51の成形面(平面)」と「第2成形体が形成された第2成形型61の成形面(平面)」とが、シート41の厚さと同じ隙間をもって平行に対向するように、且つ、第1成形体及第2成形体の頂面同士が接触するように配置される。ここで、第1、第2成形型51,61、及び、スペーサSにて区画・形成された空間Hは、シート41の輪郭(直方体)と同形の輪郭を有する。
次いで、図12(c)に示すように、空間H内に、上述したように調製された「磁性体部20の材料となるセラミックスラリー」が充填される。
次いで、図12(d)に示したように、第1、第2成形型51,61が付着した状態にあるシート41から、第2成形型61のみが取り除かれる。ここで、上述したように、第1成形型51に係わる離型力は、第2成形型61に係わる離型力よりも大きくなるように調整されている。従って、第1、第2成形型51,61に対して板厚方向(上下方向)に互いに離れる方向に引っ張り力を付与することで、第2成形型61のみを容易に取り除くことができる。この結果、図12(d)に示したように、第1成形型51のみが付着した状態にあるシート41が得られる。
・導体ペーストが、皮膜が形成された第2成形型62の成形面上に、図5に示したシート42に含まれる主導電体層31aとなるべき成形体と略同形であって、且つ、シート42の厚さよりも小さい高さを有するように成形される。この成形体を「第4成形体」とも称呼する。なお、第4成形体の厚さは、「第3成形体の厚さと第4成形体の厚さとの和」が「シート42の厚さと同じか又はシート42の厚さよりも僅かに大きくなる」ように調整される。実際には、第4成形体は、その厚さが第1成形体の厚さと同じになるように成形される。
次に、図14(a)に示したように、第1成形型52が付着した状態にあるシート42(図13(d)を参照。)を、第1成形型52と共に反転させ(裏返し)、第2成形型61を取り除いたことによって露出しているシート41の平面(上面)の上に載置する。このとき、シート41の露出している平面、及び、シート42の露出している平面、に「シートの密着性を高めるための分散媒」を塗布しておく。これにより、シート41の露出している平面と、シート42の露出している平面とが、重ね合わされる。そして、第1成形型52が第1成形型51に対して50kgf/cm2以上の圧力にて加圧される。この結果、シート41とシート42とが圧着させられる。この段階において、シート41及びシート42は、第1成形型51及び第1成形型52に挟持されている。
次いで、このようにして得られた焼成前積層体を乾燥機により乾燥させる。この乾燥工程の終了後、図3及び図11に示した端子Tが積層体の端部に露呈するように積層体を切断する(図3及び図11の切断線Cutを参照。)。
次いで、所定の形状の端子電極を印刷法又はディップ法により形成する。なお、端子電極は次の焼成工程の後に印刷により形成してもよい。
次いで、焼成前積層体を焼成する。
焼成時における温度変化のパターン(焼成プロファイル)は、表1及び図22の実線によりに示した通りである。
その後、焼成された積層体に端子電極等が形成され、図1に示した積層型インダクタ10が製造される。
次に、本実施形態に係る積層型インダクタ10の構造上の特徴について説明する。
先ず、各種パラメータを定義する。以下、「導電体層」とは、ビア接続部31bを除くコイル部である主導電体層31aのことを意味する。また、以下に定義されるパラメータは、総て、焼成後の導電体層及び焼成後の磁性体層についての値である。
図23に示したように、焼成された導電体層の厚さt1は前述した台形の高さである。即ち、導電体層の厚さt1は上底U1と下底D1との距離である。
<焼成後の磁性体層の特定部分の厚さt2>
焼成された磁性体層の特定部分の厚さt2は、図23に示したように、一つの導電体層の上底U1と、積層方向においてその導電体層と隣接する他の一つの導電体層の下底D2と、の距離である。換言すると、「磁性体層の特定部分」とは、積層方向において互いに隣接する二つの導電体層の間に存在する磁性体層の部分のことを意味する。
焼成された導電体層のピッチは、積層方向において隣接する二つの導電体層の間の距離であり、t1+t2である。
<焼成後の導電体層の幅L1>
焼成された導電体層の幅L1は、図23に示したように、下底D1の長さ(下底D1の両端部の点a1及び点a2の間の距離)である。
<焼成後の導電体層の底角θ>
焼成された導電体層の底角θは、下底D1の両端における前述した台形のなす角度である。
本発明の実施例に係る積層型インダクタ10は、以下に述べる特徴を有していた。
(特徴A)導電体層の断面形状は、実質的に上底U1及び下底D1を有する台形形状を有し、その底角θは50°以上であって且つ80°以下である。
(特徴C)上記縦隙間CKは、コイル断面(導電体層の長手方向に直交する平面により導電体層及び磁性体層を切断した断面)において、「導電体層の下底D1の端部(例えば、図23乃至図26に示した点a1)から導電体層の表面に沿って±30μmの範囲内の同導電体層の表面(図28の太線F1を参照。)」から「積層方向の方向成分を有するように」下方に伸びている。更に、上記縦隙間CKは、「導電体層の上底U1の端部(例えば、図23乃至図26に示した点b又は点b1)から導電体層の表面に沿って±30μmの範囲内の同導電体層の表面(図28の太線F2を参照。)」から「積層方向の方向成分を有するように」上方に伸びている。
(特徴E)前記空孔の平均の直径Dは、0.01・t1以上であって且つ0.20・t1以下である。即ち、平均直径Dは、下記の(1)式を満たす。
0.01≦D/t1≦0.20 …(1)
(特徴F)前記磁性体層の特定部分(積層方向において互いに隣接する二つの導電体層の間に存在する磁性体層の部分)は、相対密度が84%以上であって且つ92%以下である。なお、相対密度とは、磁性体層に空隙が存在しない場合を100%としたときの磁性体層の密度である。
(特徴G)導電体層の厚さt1及び磁性体層の特定部分の厚さt2は、以下の(2)式を満たす。
0.1≦t2/t1≦0.9 …(2)
(特徴H)下底の長さL1は200μm以上である。
次に、本発明に係る積層型インダクタ10の種々の実施例(実施例1、2、3)について、種々の比較例(比較例1、2)と比較しながら説明する。なお、実施例1は実施例1−1〜1−5を含む。比較例1は比較例1−1〜1−3を含む。実施例2は実施例2−1〜実施例2−5を含む。実施例3は実施例3−1〜3−7を含む。比較例2は比較例2−1〜比較例2−6を含む。
・磁性体層に含まれるフェライト組成は、Fe2O3(47.5mol%)・NiO(16.3mol%)・ZnO(27.3mol%)・CuO(8.7mol%)・MnO2(0.2mol%)である。
・コイル部30のパターンは図1に示した通りであり、巻き数は7.25ターンである。
・上記導体ペーストにおけるメラミン樹脂添加量は、銀(Ag)に対して体積比で31.5%である。
・実施例1:900℃で5時間維持。脱脂後の昇温速度は、表1に示した場合と同じ。即ち、急速に昇温させる。
・比較例1:900℃で2時間維持。脱脂後の昇温速度は、表1に示した場合と同じ。即ち、急速に昇温させる。
・実施例2:900℃で0.5〜2時間維持。脱脂後の昇温速度は、表1に示した場合と同じ。即ち、急速に昇温させる。
・実施例3:850〜900℃で0.5〜5時間維持。脱脂後の昇温速度は、表1に示した場合と同じ。即ち、急速に昇温させる。
・比較例2:850〜920℃で0.5〜5時間維持。脱脂後の昇温速度は、表1に示した場合と同じ。即ち、急速に昇温させる。但し、導体ペーストに添加する樹脂粒子の種類、量及び粒径を上述した本例の導体ペーストとは異なるものとした。
(条件B)磁性体層は、縦隙間CKを備えている(上記特徴Bを参照。)。縦隙間CKは積層方向において隣接する二つの導電体層間を繋ぐように形成する。
(条件C)縦隙間CKは、コイル断面において、「導電体層の下底D1の端部から導電体層の表面に沿って±30μmの範囲内の同導電体層の表面(図28の太線F1を参照。)」から「積層方向の方向成分を有するように」下方に伸びる(上記特徴Cを参照。)。更に、縦隙間CKは、「導電体層の上底U1の端部から導電体層の表面に沿って±30μmの範囲内の同導電体層の表面(図28の太線F2を参照。)」から「積層方向の方向成分を有する」ように上方に伸びる(上記特徴Cを参照。)。
・比較例2−1:空孔が殆ど存在せず、デラミネーションが発生していた。
・比較例2−2:横隙間は観察されなかったが、直流抵抗が実施例3と比較して非常に大きかった。
・比較例2−3:空孔はある程度存在するが、空孔の平均径(D)が小さいため、デラミネーションが発生した。
・比較例2−4:空孔の平均径(D)が過大であり、隙間の発生位置を制御できず、ランダムな隙間が観察された。
・比較例2−5:隙間は観察されなかったが、信頼性試験(高温負荷試験:80℃、2Aで500時間、耐湿負荷試験:40℃、95%、2Aで500時間)においてインダクタンスの値が20%以上変動し、信頼性が低かった。
・比較例2−6:隙間がインダクタの表面にまで進展し、信頼性試験(高温負荷試験:80℃、2Aで500時間、耐湿負荷試験:40℃、95%、2Aで500時間)においてインダクタンスの値が20%以上変動し、信頼性が低かった。
(条件G)比t2/t1が、0.1以上であって且つ0.9以下である(上記特徴Gの(2)式を参照。)。より好ましくは、比t2/t1が、0.18以上であって且つ0.78以下である。
Claims (5)
- 銀を主成分とする焼成前の導電体層とフェライトを主成分とする焼成前の磁性体層とが積層され且つそれらが同時に焼成された積層体であって同導電体層が螺旋状コイルを形成するようにビア接続されてなる積層型インダクタであって、
前記導電体層の長手方向に直交する平面により切断した同導電体層の断面の形状は実質的に上底及び下底を有する台形であり、
前記下底の両端における前記台形の底角θは50°以上であって且つ80°以下である積層型インダクタ。 - 請求項1に記載の積層型インダクタにおいて、
前記磁性体層は、前記積層体の積層方向の方向成分を有するように伸びる隙間であって同積層方向において互いに隣接する二つの前記導電体層を結ぶ隙間、を備えている積層型インダクタ。 - 請求項2に記載の積層型インダクタにおいて、
前記隙間は、前記導電体層の長手方向に直交する平面により前記導電体層及び前記磁性体層を切断した断面において、前記導電体層の前記下底の端部から同導電体層の表面に沿って±30μmの範囲内の同導電体層の表面から前記積層方向の方向成分を有するように下方に伸び、且つ、前記導電体層の前記上底の端部から同導電体層の表面に沿って±30μmの範囲内の同導電体層の表面から前記積層方向の方向成分を有するように上方に伸びている積層型インダクタ。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の積層型インダクタであって、
前記焼成された導電体層は内部に多数の空孔を有し、且つ、同導電体層の長手方向に直交する平面により切断した同導電体層の断面における同空孔の同導電体層に対する面積比は2%以上であって且つ30%以下であり、
前記焼成された導電体層の厚さt1に対する前記空孔の平均の直径Dの比D/t1が0.01以上であって且つ0.20以下である積層型インダクタ。 - 請求項4に記載の積層型インダクタにおいて、
前記積層体の積層方向において互いに隣接する二つの前記導電体層の間に存在する前記焼成された磁性体層の部分は、同磁性体層に空隙が存在しない場合を100%とする相対密度が84%以上であって且つ92%以下である積層型インダクタ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010011311A JP5187858B2 (ja) | 2009-01-22 | 2010-01-21 | 積層型インダクタ |
US12/691,950 US8102234B2 (en) | 2009-01-22 | 2010-01-22 | Layered inductor |
EP10250105A EP2211359A3 (en) | 2009-01-22 | 2010-01-22 | A layered inductor |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009012078 | 2009-01-22 | ||
JP2009012078 | 2009-01-22 | ||
JP2010011311A JP5187858B2 (ja) | 2009-01-22 | 2010-01-21 | 積層型インダクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010192889A true JP2010192889A (ja) | 2010-09-02 |
JP5187858B2 JP5187858B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=42091494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010011311A Expired - Fee Related JP5187858B2 (ja) | 2009-01-22 | 2010-01-21 | 積層型インダクタ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8102234B2 (ja) |
EP (1) | EP2211359A3 (ja) |
JP (1) | JP5187858B2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079913A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Murata Mfg Co Ltd | フェライト積層電子部品の製造方法 |
KR20130140433A (ko) * | 2012-06-14 | 2013-12-24 | 삼성전기주식회사 | 적층 칩 전자부품 |
JP2014045165A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層チップ電子部品 |
JP2014207280A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
WO2015029985A1 (ja) | 2013-08-26 | 2015-03-05 | 日本碍子株式会社 | 内燃機関 |
JP2016051835A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | Fdk株式会社 | 積層チップおよび積層チップの製造方法 |
JP2017059749A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品 |
WO2018030194A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品 |
JP2018060909A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品の製造方法 |
KR20180122291A (ko) * | 2017-05-02 | 2018-11-12 | 티디케이가부시기가이샤 | 인덕터 소자 |
KR20180122290A (ko) * | 2017-05-02 | 2018-11-12 | 티디케이가부시기가이샤 | 인덕터 소자 |
CN109427463A (zh) * | 2017-09-05 | 2019-03-05 | 株式会社村田制作所 | 线圈部件 |
JP2020035855A (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品、及び、積層コイル部品の製造方法 |
JP2020088290A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 太陽誘電株式会社 | インダクタンス素子及び電子機器 |
JP2020107782A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 太陽誘電株式会社 | 積層コイル部品 |
JP2021521645A (ja) * | 2018-04-13 | 2021-08-26 | トラファグ アクツィエンゲゼルシャフトTrafag Ag | 平面コイルアセンブリの製造方法及びこれを備えたセンサーヘッド |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013030931A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 日本碍子株式会社 | 積層焼結セラミック配線基板、及び当該配線基板を含む半導体パッケージ |
KR20140081355A (ko) * | 2012-12-21 | 2014-07-01 | 삼성전기주식회사 | 무선 충전 부품용 전자기 유도 모듈 및 이의 제조방법 |
JP6269591B2 (ja) * | 2015-06-19 | 2018-01-31 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP6575198B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-09-18 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品 |
US10483035B2 (en) * | 2015-09-21 | 2019-11-19 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional solenoid inductors |
JP6962100B2 (ja) * | 2017-09-25 | 2021-11-05 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品 |
JP6683183B2 (ja) * | 2017-10-16 | 2020-04-15 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品 |
US10892079B2 (en) * | 2017-12-07 | 2021-01-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer coil component |
JP7164775B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-11-02 | デュポン エレクトロニクス インコーポレイテッド | 接合用導電性ペースト |
US20200105453A1 (en) * | 2018-10-01 | 2020-04-02 | Texas Instruments Incorporated | Inkjet printed electronic components |
DE102019102454B3 (de) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | Trafag Ag | Anordnung und Verfahren zur Messung einer mechanischen Belastung eines Testobjekts unter Erfassung von Magnetfeldänderungen |
JP7184031B2 (ja) * | 2019-12-27 | 2022-12-06 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品 |
CN115954339B (zh) * | 2023-03-10 | 2023-07-07 | 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所) | 一种硅基片上电感及其制作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0465807A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Tdk Corp | 積層型インダクタおよび積層型インダクタの製造方法 |
JPH04157711A (ja) * | 1990-10-22 | 1992-05-29 | Tokin Corp | 表面実装用電子部品 |
JP2005286353A (ja) * | 2002-06-19 | 2005-10-13 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品 |
JP2006041017A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Soshin Electric Co Ltd | 電子部品及び電子部品の製造方法 |
JP2006256942A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Tdk Corp | セラミックグリーンシート及びこれを用いた電子部品、並びに、これらの製造方法 |
JP2007123678A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
WO2010084794A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6029629A (ja) | 1983-07-27 | 1985-02-15 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 半導体容量形圧力センサ |
JPH0420131A (ja) | 1990-05-15 | 1992-01-23 | Nec Corp | 光通信線路打合せ回線システム |
US6835889B2 (en) * | 2001-09-21 | 2004-12-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Passive element component and substrate with built-in passive element |
KR100544908B1 (ko) * | 2002-04-01 | 2006-01-24 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 세라믹 전자부품 및 그 제조방법 |
JP4012526B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2007-11-21 | Tdk株式会社 | 薄膜コイルおよびその製造方法、ならびにコイル構造体およびその製造方法 |
JP4243284B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2009-03-25 | 三洋電機株式会社 | 配線基板および回路装置 |
US7920043B2 (en) * | 2005-10-27 | 2011-04-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Planar magnetic device and power supply IC package using same |
JP2007266105A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Tdk Corp | 薄膜デバイス |
-
2010
- 2010-01-21 JP JP2010011311A patent/JP5187858B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-01-22 EP EP10250105A patent/EP2211359A3/en not_active Withdrawn
- 2010-01-22 US US12/691,950 patent/US8102234B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0465807A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Tdk Corp | 積層型インダクタおよび積層型インダクタの製造方法 |
JPH04157711A (ja) * | 1990-10-22 | 1992-05-29 | Tokin Corp | 表面実装用電子部品 |
JP2005286353A (ja) * | 2002-06-19 | 2005-10-13 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品 |
JP2006041017A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Soshin Electric Co Ltd | 電子部品及び電子部品の製造方法 |
JP2006256942A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Tdk Corp | セラミックグリーンシート及びこれを用いた電子部品、並びに、これらの製造方法 |
JP2007123678A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
WO2010084794A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079913A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Murata Mfg Co Ltd | フェライト積層電子部品の製造方法 |
KR20130140433A (ko) * | 2012-06-14 | 2013-12-24 | 삼성전기주식회사 | 적층 칩 전자부품 |
JP2014003269A (ja) * | 2012-06-14 | 2014-01-09 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層チップ電子部品 |
KR101872529B1 (ko) * | 2012-06-14 | 2018-08-02 | 삼성전기주식회사 | 적층 칩 전자부품 |
US9536647B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-01-03 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multi-layered chip electronic component |
JP2014045165A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層チップ電子部品 |
JP2014207280A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
US9362042B2 (en) | 2013-04-11 | 2016-06-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component |
US9951740B2 (en) | 2013-08-26 | 2018-04-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Internal combustion engine |
WO2015029985A1 (ja) | 2013-08-26 | 2015-03-05 | 日本碍子株式会社 | 内燃機関 |
JP2016051835A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | Fdk株式会社 | 積層チップおよび積層チップの製造方法 |
JP2017059749A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品 |
WO2018030194A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品 |
JPWO2018030194A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2019-06-06 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品 |
US11051398B2 (en) * | 2016-08-10 | 2021-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic electronic component |
JP2018060909A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品の製造方法 |
KR20180122291A (ko) * | 2017-05-02 | 2018-11-12 | 티디케이가부시기가이샤 | 인덕터 소자 |
KR20180122290A (ko) * | 2017-05-02 | 2018-11-12 | 티디케이가부시기가이샤 | 인덕터 소자 |
KR102006571B1 (ko) | 2017-05-02 | 2019-08-01 | 티디케이가부시기가이샤 | 인덕터 소자 |
KR102006572B1 (ko) | 2017-05-02 | 2019-08-01 | 티디케이가부시기가이샤 | 인덕터 소자 |
CN109427463A (zh) * | 2017-09-05 | 2019-03-05 | 株式会社村田制作所 | 线圈部件 |
US10741324B2 (en) | 2017-09-05 | 2020-08-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Coil component |
CN109427463B (zh) * | 2017-09-05 | 2021-03-05 | 株式会社村田制作所 | 线圈部件 |
JP2019047015A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP2021521645A (ja) * | 2018-04-13 | 2021-08-26 | トラファグ アクツィエンゲゼルシャフトTrafag Ag | 平面コイルアセンブリの製造方法及びこれを備えたセンサーヘッド |
JP7145229B2 (ja) | 2018-04-13 | 2022-09-30 | トラファグ アクツィエンゲゼルシャフト | 平面コイルアセンブリの製造方法及びこれを備えたセンサーヘッド |
JP2020035855A (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品、及び、積層コイル部品の製造方法 |
JP2020088290A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 太陽誘電株式会社 | インダクタンス素子及び電子機器 |
JP2020107782A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 太陽誘電株式会社 | 積層コイル部品 |
JP7272790B2 (ja) | 2018-12-28 | 2023-05-12 | 太陽誘電株式会社 | 積層コイル部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5187858B2 (ja) | 2013-04-24 |
EP2211359A2 (en) | 2010-07-28 |
US20100194513A1 (en) | 2010-08-05 |
US8102234B2 (en) | 2012-01-24 |
EP2211359A3 (en) | 2012-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5187858B2 (ja) | 積層型インダクタ | |
JP4100459B2 (ja) | 積層コイル部品及びその製造方法 | |
KR101141434B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조방법 | |
TWI453774B (zh) | Magnetic materials and coil parts | |
KR101037288B1 (ko) | 적층형 인덕터 및 그 제조 방법 | |
KR101162154B1 (ko) | 적층 코일 부품 및 그 제조 방법 | |
JP5082002B1 (ja) | 磁性材料およびコイル部品 | |
KR101994722B1 (ko) | 적층형 전자부품 | |
JP4737181B2 (ja) | 積層型インダクタ及びその製造方法 | |
JP7131658B2 (ja) | 電子部品 | |
US20110291784A1 (en) | Electronic component | |
JP2012238840A (ja) | 積層インダクタ | |
JP4788775B2 (ja) | 積層コイル部品及びその製造方法 | |
JP2013145869A (ja) | 積層電子部品及びその製造方法 | |
JP5682548B2 (ja) | 積層型インダクタ素子およびその製造方法 | |
TW201032247A (en) | Multilayer coil component and method for manufacturing the same | |
JP4359914B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
JP2016082184A (ja) | 積層セラミックコンデンサ、これを含む積層セラミックコンデンサ連、および、積層セラミックコンデンサの実装体 | |
CN104008881B (zh) | 多层陶瓷装置 | |
WO2016139975A1 (ja) | 基板埋め込み用ntcサーミスタおよびその製造方法 | |
JP2004179348A (ja) | セラミック積層体の製法 | |
KR101396656B1 (ko) | 적층형 파워 인덕터 및 이의 제조방법 | |
US20210304951A1 (en) | Method of manufacturing coil component | |
JP2005072452A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
JP4461814B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5187858 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |