JP2010192126A5

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Publication number: JP2010192126A5
Application number: JP2009032124A
Authority: JP
Filing date: 2009-02-16
Publication date: 2011-05-12
Anticipated expiration: 2029-02-16

Claims

電子源から放出される電子線を収束し、試料に照射する電子線制御手段と、
前記試料から発生した電子を検出する検出器と、
前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する制御手段と、
前記試料像を表示する表示手段と、
試料室内に前記試料を保持する試料保持手段と、
を備えた電子線装置において、
前記試料保持手段に、前記試料にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、
前記試料の上下に隔膜を配し、前記ガスの雰囲気と前記試料室の真空を隔離し前記試料の周囲の雰囲気を密閉したセルを構成し、
前記試料室内に、前記隔膜の外側に前記ガスを噴射する機構を備え、前記隔膜の外側に真空より高い圧力のガス層を作ることを特徴とする電子線装置。
請求項１記載の電子線装置において、前記隔膜の外側に噴射するガスは、前記電子線の散乱能が低いガスであることにより、前記試料と前記ガスの反応の観察，分析が可能なことを特徴とする電子線装置。
請求項１記載の電子線装置において、前記隔膜の材質は前記電子線が透過可能なカーボン膜，酸化膜，窒化膜のいずれかの軽元素で構成される非晶質膜であることを特徴とする電子線装置。
請求項１乃至３のいずれか記載の電子線装置において、前記試料の上下に配した前記隔膜は、該上下隔膜の両方或いは片方の隔膜が水平方向に移動可能な機構を有することを特徴とする電子線装置。
請求項１乃至４のいずれか記載の電子線装置において、前記試料の上下に配した前記隔膜は、垂直方向に移動可能な機構を有することを特徴とする電子線装置。
請求項１乃至５のいずれか記載の電子線装置において、前記セル内に前記試料を加熱する機構を設けたことにより、試料加熱時におけるガス雰囲気中での前記試料の状態を観察可能であることを特徴とする電子線装置。
請求項６記載の電子線装置において、前記試料を加熱する機構はらせん状ヒータであり、１個あるいは複数個備え、前記試料を直接ヒータに付着させることで、ガス雰囲気中での試料加熱あるいは、一つのヒータに付着させた前記試料へ別のヒータに付着させた物質の蒸着が可能であることを特徴とする電子線装置。
請求項７記載の電子線装置において、前記らせん状ヒータに、冷却機構を連結したことを特徴とする電子線装置。
請求項７又は８に記載の電子線装置において、前記セルを構成する隔膜部の形状は長方形および楕円形とし、前記隔膜部の長手方向と前記ヒータの軸が直交するように配置することを特徴とする電子線装置。
請求項１乃至９のいずれか記載の電子線装置において、前記セル内にマイクロプレッシャーゲージを備えることを特徴とする電子線装置。
請求項１乃至１０のいずれか記載の電子線装置において、前記セルの外部かつ前記隔膜の近傍にマイクロプレッシャーゲージを備えたことを特徴とする電子線装置。
請求項１乃至５のいずれか記載の電子線装置において、前記セル内部に液体を導入する機構を設けたことを特徴とする電子線装置。
電子源から放出される電子線を収束し、試料に照射する電子線制御手段と、前記試料から発生した電子を検出する検出器と、前記検出器からの信号に基づいて試料像を作成する制御手段と、前記試料像を表示する表示手段と、試料室内に前記試料を保持する試料保持手段とを備えた電子線装置の電子線装置用試料保持装置において、
前記試料保持手段に、前記試料にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、
前記試料の上下に隔膜を配し、前記ガスの雰囲気と前記試料室の真空を隔離し前記試料の周囲の雰囲気を密閉したセルを構成し、
前記試料室内に、前記隔膜の外側に前記ガスを噴射する機構を備え、前記隔膜の外側に真空より高い圧力のガス層を作ることを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３記載の電子線装置用試料保持装置において、前記隔膜の外側に噴射するガスは、前記電子線の散乱能が低いガスであることにより、前記試料と前記ガスの反応の観察，分析が可能なことを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３記載の電子線装置用試料保持装置において、前記隔膜の材質は前記電子線が透過可能なカーボン膜，酸化膜，窒化膜のいずれかの軽元素で構成される非晶質膜であることを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３乃至１５のいずれか記載の電子線装置用試料保持装置において、前記試料の上下に配した前記隔膜は、該上下隔膜の両方或いは片方の隔膜が水平方向に移動可能な機構を有することを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３乃至１６のいずれか記載の電子線装置用試料保持装置において、前記試料の上下に配した前記隔膜は、垂直方向に移動可能な機構を有することを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３乃至１７のいずれか記載の電子線装置用試料保持装置において、前記セル内に前記試料を加熱する機構を設けたことにより、試料加熱時におけるガス雰囲気中での試料の状態を観察可能であることを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１８記載の電子線装置用試料保持装置において、前記試料を加熱する機構はらせん状ヒータであり、１個あるいは複数個備え、前記試料を直接ヒータに付着させることで、ガス雰囲気中での試料加熱あるいは、一つのヒータに付着させた前記試料へ別のヒータに付着させた物質の蒸着が可能であることを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１９記載の電子線装置用試料保持装置において、前記らせん状ヒータに、冷却機構を連結したことを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１９又は２０に記載の電子線装置用試料保持装置において、前記セルを構成する隔膜部の形状は長方形および楕円形とし、前記隔膜部の長手方向と前記ヒータの軸が直交するように配置することを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３乃至２１のいずれか記載の電子線装置用試料保持装置において、前記セル内にマイクロプレッシャーゲージを備えることを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３乃至２２のいずれか記載の電子線装置用試料保持装置において、前記セルの外部かつ前記隔膜の近傍にマイクロプレッシャーゲージを備えたことを特徴とする電子線装置用試料保持装置。
請求項１３乃至１７のいずれか記載の電子線装置用試料保持装置において、前記セル内部に液体を導入する機構を設けたことを特徴とする電子線装置用試料保持装置。