JP2010181091A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のシャッタ部材2のそれぞれの背面に、ヒータ4を装着した。ヒータ4は、ヒータ素線41が埋設又は取り付けられた絶縁板42の両面をマイカ等の耐熱性を有する絶縁材料43,44で被覆して構成されている。ヒータ4は、シャッタ部材2の背面に、例えばネジ止めされる。ヒータ4は、例えば150℃程度の温度以上に発熱する容量があればよい。
【選択図】 図2
Description
この構成によれば、炉内への処理基板の搬入出時には、少なくとも開口部を開放するシャッタとともにシャッタの内側面の周囲の雰囲気がヒータによって加熱される。開放した開口部を経由して炉外の雰囲気が炉内に流入しても炉内の開口部近傍の壁面や雰囲気の温度が急激に低下することがなく、昇華物の発生が抑制され、シャッタの内側面に昇華物が付着することがない。また、ヒータの駆動によって炉内の温度低下が抑制されるため、ヒータの駆動コストは炉内の処理温度を維持するために使用されることになる。したがって、シャッタに設けたヒータの駆動コストは炉内に温風を供給する手段の駆動コストの低下で相殺され、シャッタをヒータに設けない場合に比較して炉内温度を所定の処理温度に維持するためのランニングコストが大きく上昇することはない。
2−シャッタ部材
3−熱風循環装置
4−ヒータ
10−熱処理装置
11−炉内
12−開口部
100−処理基板
Claims (3)
- 処理基板が搬入出される開口部を有する炉と、
前記開口部を開閉するシャッタと、
前記シャッタに設けられ、少なくとも前記開口部の開放時に前記シャッタを加熱するヒータと、
を備えた熱処理装置。 - 前記炉内を炉外に対して負圧にする圧力調整部を含む請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記シャッタは、それぞれが前記開口部の一部を選択的に開閉する複数のシャッタ部材から構成され、
前記ヒータは、前記複数のシャッタ部材のそれぞれに独立して配置され、
前記複数のシャッタ部材のうちで少なくとも前記開口部の一部を開放するシャッタ部材に配置されたヒータを駆動する駆動部を備えた請求項1又は2に記載の熱処理装置。
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