JP2009008306A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009008306A JP2009008306A JP2007168667A JP2007168667A JP2009008306A JP 2009008306 A JP2009008306 A JP 2009008306A JP 2007168667 A JP2007168667 A JP 2007168667A JP 2007168667 A JP2007168667 A JP 2007168667A JP 2009008306 A JP2009008306 A JP 2009008306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- heat treatment
- heat
- temperature
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係る熱処理装置10は、被処理物Wを熱処理する熱処理部20を有し、この熱処理部20を通るように内部で空気が循環する断熱炉11を備え、前記断熱炉11は、前記熱処理部20の温度調節のために前記循環する空気Cを加熱する発熱部31aと、前記熱処理部20の温度を検出する第一温度検出手段27と、この第一温度検出手段27によって検出された温度に基づいて前記発熱部31aを制御する発熱部制御手段28と、前記循環する空気Cの一部がその内部を上流側端部から下流側端部へ向けて流通する管路32と、を具備し、前記発熱部31aは、前記管路32内に収容されることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
11 断熱炉
20 熱処理部
27 温度検出手段(吹き出し口温度センサー)
28 発熱部制御手段(ヒーター制御手段)
31a 発熱部(ヒーター発熱部)
32 管路(ダクト)
C 空気の循環流(循環する空気)
W 被処理物(ワーク)
Claims (9)
- 被処理物を熱処理する熱処理部を有し、この熱処理部を通るように内部で空気が循環する断熱炉を備え、
前記断熱炉は、
前記熱処理部の温度調節のために前記循環する空気を加熱する発熱部と、
前記熱処理部の温度を検出する第一温度検出手段と、
この第一温度検出手段によって検出された温度に基づいて前記発熱部を制御する発熱部制御手段と、
前記循環する空気の一部がその内部を上流側端部から下流側端部へ向けて流通する管路と、を具備し、
前記発熱部は、前記管路内に収容されることを特徴とする熱処理装置。 - 前記管路又は発熱部の少なくとも一方に前記管路内の蓄熱効果を高める蓄熱手段が設けられることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記管路内に流入する空気量を調節可能な第一空気量調節手段が当該管路の上流側端部に設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱処理装置。
- 前記発熱部の下流側には、前記発熱部を通過した空気の温度を検出する第二温度検出手段が配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の熱処理装置。
- 前記第一空気量調節手段を制御する空気量制御手段が設けられ、前記空気量制御手段は、前記第二温度検出手段によって検出された温度に基づいて前記管路内に流入する空気量を調節することを特徴とする請求項4に記載の熱処理装置。
- 断熱炉外から空気を導入する吸気部と、前記循環する空気の一部を断熱炉外に排出する排気部とが設けられ、これら吸気部と排気部とによって前記循環する空気の一部が換気されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記吸気部は、前記管路の下流側且つ前記第一温度検出手段の上流側に配置され、前記排気部は、前記熱処理部で被処理物を熱処理する際の当該被処理物の下流側且つ前記管路の上流側に配置されることを特徴とする請求項6に記載の熱処理装置。
- 前記吸気部に設けられ、導入される空気量を調節する第二空気量調節手段と、前記排気部に設けられ、排出される空気量を調節する第三空気量調節手段と、が設けられることを特徴とする請求項6に記載の熱処理装置。
- 前記断熱炉は、前記熱処理部と前記循環する空気の温度を調整する空気調整部とで構成され、
前記空気調整部には、前記管路の下流側に前記吸気部と前記熱処理部に空気を送風することで空気を循環させる送風機とが順に配置され、
前記管路からの空気と前記吸気部から導入された空気と前記循環する空気とが前記送風機によって撹拌混合されて前記熱処理部に送風されることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007168667A JP4981543B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007168667A JP4981543B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009008306A true JP2009008306A (ja) | 2009-01-15 |
JP4981543B2 JP4981543B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=40323557
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007168667A Expired - Fee Related JP4981543B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4981543B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100090185A (ko) * | 2009-02-05 | 2010-08-13 | 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 | 열처리장치 |
JP2010230292A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Kawakami Tekkosho:Kk | 加熱炉 |
JP2019100697A (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-24 | サームトロン株式会社 | 循環型電気炉 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176874A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | トリニテイ工業株式会社 | 熱風循環炉 |
JPH05177145A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Tabai Espec Corp | クリーンオーブン |
JPH05208112A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-20 | Tabai Espec Corp | バックアップ温調部付クリーンオーブン |
JPH10141868A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Tabai Espec Corp | 昇華物対策付き熱処理装置 |
JP2001012869A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koyo Thermo System Kk | バッチ式熱処理装置 |
JP2001012857A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koyo Thermo System Kk | 排気型バッチ式オーブン |
JP2001116458A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-04-27 | Nec Kagoshima Ltd | クリーンオーブン及びその使用方法 |
JP2003172583A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Shoei Seisakusho:Kk | プラズマディスプレイパネルの熱処理装置 |
JP2003322476A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Murata Mfg Co Ltd | 熱風循環炉 |
-
2007
- 2007-06-27 JP JP2007168667A patent/JP4981543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176874A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | トリニテイ工業株式会社 | 熱風循環炉 |
JPH05177145A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Tabai Espec Corp | クリーンオーブン |
JPH05208112A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-20 | Tabai Espec Corp | バックアップ温調部付クリーンオーブン |
JPH10141868A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Tabai Espec Corp | 昇華物対策付き熱処理装置 |
JP2001012869A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koyo Thermo System Kk | バッチ式熱処理装置 |
JP2001012857A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koyo Thermo System Kk | 排気型バッチ式オーブン |
JP2001116458A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-04-27 | Nec Kagoshima Ltd | クリーンオーブン及びその使用方法 |
JP2003172583A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Shoei Seisakusho:Kk | プラズマディスプレイパネルの熱処理装置 |
JP2003322476A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Murata Mfg Co Ltd | 熱風循環炉 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100090185A (ko) * | 2009-02-05 | 2010-08-13 | 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 | 열처리장치 |
JP2010181091A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
KR101631265B1 (ko) * | 2009-02-05 | 2016-06-16 | 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 | 열처리장치 |
JP2010230292A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Kawakami Tekkosho:Kk | 加熱炉 |
JP2019100697A (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-24 | サームトロン株式会社 | 循環型電気炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4981543B2 (ja) | 2012-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101380481B1 (ko) | 열처리 장치 | |
US10184722B1 (en) | Multi-zone heating oven with a plurality of heating zones having individually controlled temperature humidity | |
JP2006349316A (ja) | 乾燥装置 | |
JP4981543B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2008298404A (ja) | 連続焼成炉 | |
JP2007084870A (ja) | 浸炭処理装置及び方法 | |
JP2009099721A (ja) | 基板冷却方法および基板冷却装置 | |
JP4936567B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR100935475B1 (ko) | 열처리장치 | |
JPH09190982A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2008241076A (ja) | 加熱方法及び間欠送り式トンネル炉、バッチ炉 | |
JP5169158B2 (ja) | 基板加熱処理装置 | |
JP2010133647A (ja) | 熱処理装置 | |
JP4987539B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP6336707B2 (ja) | リフロー装置 | |
JP2008116199A (ja) | 熱媒体循環装置及びこれを用いた熱処理装置 | |
KR20150142134A (ko) | 기판의 열처리 장치 | |
JP2000144239A (ja) | 熱処理炉 | |
JP7155709B2 (ja) | 連続式雰囲気熱処理炉 | |
JP2004151135A (ja) | クリーンオーブン | |
JP2003262469A (ja) | ガラス基板用熱処理装置 | |
JP2005197471A (ja) | 基板処理装置及び温度調節方法 | |
JP2008249246A (ja) | 熱風循環・近赤外線加熱併用式連続炉 | |
JP2020015953A (ja) | 連続式雰囲気熱処理炉 | |
JP7289161B2 (ja) | 加熱装置および加熱方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120417 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120420 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150427 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4981543 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |