JP2007084870A - 浸炭処理装置及び方法 - Google Patents
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- 238000005255 carburizing Methods 0.000 title claims abstract description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title abstract description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 36
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 22
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 19
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 7
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910001567 cementite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- KSOKAHYVTMZFBJ-UHFFFAOYSA-N iron;methane Chemical compound C.[Fe].[Fe].[Fe] KSOKAHYVTMZFBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/20—Carburising
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/68—Temporary coatings or embedding materials applied before or during heat treatment
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/20—Carburising
- C23C8/22—Carburising of ferrous surfaces
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Control Of Heat Treatment Processes (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
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Abstract
【解決手段】 内部が減圧状態かつ浸炭性ガス雰囲気の処理室31において被処理物Wを加熱することによって浸炭処理する浸炭処理装置であって、上記処理室31の内部における複数領域の温度を測定する温度測定手段と、上記被処理物Wが均一に浸炭処理されるように上記温度測定手段の測定結果に基づいて上記複数領域の温度を個別に調整する温度調整手段とを備える。
【選択図】 図1
Description
このような真空浸炭法は、処理室の内部を真空状態とした後に、処理室の内部にやや減圧された浸炭性ガスを供給し、この状態で被処理物を加熱することによって、被処理物の表面層の炭素量を増加させる方法である。
例えば、特許文献1や特許文献2には、上述の真空浸炭法を用いて被処理物を浸炭処理する真空浸炭炉が開示されている。
このため、従来の真空浸炭炉において、処理室内部の温度を熱電対等の温度計測手段によって計測し、処理室内部の温度環境が所望の状態となるように、温度計測手段の計測結果に基づいて、処理室内部に配置されたヒータの出力を制御している。
このような場合には、被処理物の浸炭処理の進み具合にばらつきが生じることとなり、被処理物全体を均一に浸炭処理されない。
したがって、各領域の温度を均一に上昇させることが可能となり、被処理物の形状や処理室内部における被処理物の充填量ばらつきによって、被処理物の部位による温度差が生じることを防止することができ、全体昇温時間の短縮が可能となる。
よって、本発明の浸炭処理装置及び方法によれば、被処理物に対してより均一な浸炭処理を行うことが可能となる。
また、熱処理炉1の内部には、風炉室2の他に、冷却ガスXを冷却するための熱交換器3と冷却ガスXを熱処理炉1の内部において循環させるためのファン4とが配置されている。
また、熱処理炉1の片側端部は真空シールド扉80として構成されている。なお、この真空シールド扉80の内側と、風炉室2の脱着自在な側壁部21とは接続されており、真空シールド扉80を開けることによって側壁部21脱離され、冷却室20と中間室40との間において被処理物Wの移動を行うことができる構成とされている。
なお、熱処理炉1の内部において、風炉室2の外部空間は、仕切板(不図示)によって上下に2分されている。また、この仕切板によって風炉室2が支持されている。
このため、扉50を開けることによって、冷却室20(風炉室2)と装置外部との間で被処理物Wの移動を行うことができる。なお、扉50は、支持脚51によって支持されており、この支持脚51は地面に設置されたスライド装置52に固定されている。このスライド装置52が駆動することによって、扉50は、図示するように、冷却室20に対して水平方向に近接あるいは離間する。このようなスライド装置52を採用することによって扉50の開閉を容易に行うことが可能となる。なお、容易に扉50を開閉する機構としては、スライド装置52に限られるものではなく、例えば、ヒンジ装置等であっても良い。
また、断熱室31の内部には、前方領域R1の温度を計測する熱電対71と、中間領域R2の温度を計測する熱電対72と、後方領域R3の温度を計測する熱電対73とが配置されている。
すなわち、本実施形態の浸炭処理装置S1においては、各領域R1〜R3の温度が個別に測定され、この個別に測定された測定結果に応じて各領域R1〜R3の温度が個別に調整される。
具体的には、本実施形態の浸炭処理装置S1においては、各領域R1〜R3の温度が均一に加熱されるように、各領域R1〜R3の温度が個別に調整される。
また、本実施形態の浸炭処理装置S1において、制御部121は、その領域に充填される被処理物Wの質量に応じたPID値が設定可能とされている。このため、各領域R1〜R3に充填される被処理物Wの質量に応じたPID値に基づいて各領域R1〜R3のヒータ11〜16の出力を調整することが可能となっている。
また、浸炭処理装置S1は、加熱室30の内部を減圧する減圧装置(不図示)や、断熱室31の内部に浸炭性ガス(例えばアセチレン)を供給するための浸炭性ガス供給装置(不図示)等を備えて構成されている。
すなわち、温度測定システム110が断熱室31の内部における複数領域の温度を測定する。
ここで、本実施形態の浸炭処理装置S1では、領域R1〜R3が同じ温度となるように温度調整システム100によって制御されているため、被処理物Wが均一に昇温されている。よって、浸炭性ガスを断熱室31の内部に供給することによって、被処理物Wに均一な浸炭処理を施すことが可能となる。
R1……前方領域
R2……中間領域
R3……後方領域
10(11〜16)……ヒータ
31……断熱室(処理室)
71〜72……熱電対
100……温度調整システム
110……測定システム(温度測定手段)
120……調整システム(温度調整手段)
121……制御部(制御手段)
Claims (6)
- 内部が減圧状態かつ浸炭性ガス雰囲気の処理室において被処理物を加熱することによって浸炭処理する浸炭処理装置であって、
前記処理室の内部における複数領域の温度を測定する温度測定手段と、
前記被処理物が均一に浸炭処理されるように前記温度測定手段の測定結果に基づいて前記複数領域の温度を個別に調整する温度調整手段と
を備えることを特徴とする浸炭処理装置。 - 前記複数領域は、前記被処理物の前記処理室への搬入方向における前方領域と、後方領域と、前記前方領域と前記後方領域との間に位置する中間領域とを少なくとも含むことを特徴とする請求項1記載の浸炭処理装置。
- 前記温度調整手段は、前記複数領域の各領域に配置されるヒータと、該ヒータを前記温度測定手段の測定結果に基づいて個別に制御する制御手段とを備えて構成されることを特徴とする請求項1または2記載の浸炭処理装置。
- 前記制御手段は、前記複数領域の各領域における前記被処理物の充填質量に応じたPID値を用いて前記ヒータを個別に制御することを特徴とする請求項3記載の浸炭処理装置。
- 前記ヒータは、前記各領域において、前記被処理物を囲んで配置されていることを特徴とする請求項3または4記載の浸炭処理装置。
- 内部が減圧状態かつ浸炭ガス雰囲気の処理室において被処理物を加熱することによって浸炭処理する浸炭処理方法であって、
前記処理室の内部における複数領域の温度を測定し、前記被処理物が均一に浸炭処理されるように測定結果に基づいて前記複数領域の温度を個別に調整することを特徴とする浸炭処理方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005273726A JP4929657B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 浸炭処理装置及び方法 |
FR0653707A FR2890981B1 (fr) | 2005-09-21 | 2006-09-13 | Appareil et procede de traitement de cementation |
DE102006044626A DE102006044626C5 (de) | 2005-09-21 | 2006-09-19 | Aufkohlungsbehandlungsvorrichtung und -verfahren |
US11/533,161 US8764915B2 (en) | 2005-09-21 | 2006-09-19 | Carburizing treatment apparatus and method |
CN2006101388221A CN1936067B (zh) | 2005-09-21 | 2006-09-19 | 渗碳处理装置及渗碳处理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005273726A JP4929657B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 浸炭処理装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007084870A true JP2007084870A (ja) | 2007-04-05 |
JP4929657B2 JP4929657B2 (ja) | 2012-05-09 |
Family
ID=37831831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005273726A Expired - Fee Related JP4929657B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 浸炭処理装置及び方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8764915B2 (ja) |
JP (1) | JP4929657B2 (ja) |
CN (1) | CN1936067B (ja) |
DE (1) | DE102006044626C5 (ja) |
FR (1) | FR2890981B1 (ja) |
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JP4929657B2 (ja) | 2012-05-09 |
CN1936067A (zh) | 2007-03-28 |
US20070062612A1 (en) | 2007-03-22 |
US8764915B2 (en) | 2014-07-01 |
DE102006044626A1 (de) | 2007-04-12 |
FR2890981A1 (fr) | 2007-03-23 |
FR2890981B1 (fr) | 2009-10-30 |
CN1936067B (zh) | 2010-07-21 |
DE102006044626B4 (de) | 2009-03-19 |
DE102006044626C5 (de) | 2011-04-28 |
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