JPH11264665A - 着色レジスト焼成用オーブン - Google Patents
着色レジスト焼成用オーブンInfo
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- JPH11264665A JPH11264665A JP7076398A JP7076398A JPH11264665A JP H11264665 A JPH11264665 A JP H11264665A JP 7076398 A JP7076398 A JP 7076398A JP 7076398 A JP7076398 A JP 7076398A JP H11264665 A JPH11264665 A JP H11264665A
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- JP
- Japan
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- opening
- oven
- colored resist
- carry
- baking
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Abstract
(57)【要約】
【課題】有機カラーフィルターの焼成工程において、焼
成用オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のない着
色レジスト焼成用オーブンの提供にある。 【解決手段】基板１０上に、パターン化された着色レジ
スト膜１４を有する基板材料１２を搬入する搬入開口部
３０と焼成された基板材料１２を搬出する搬出開口部４
０とを有する着色レジスト焼成用オーブン１において、
該搬入開口部３０および搬出開口部４０もしくはいずれ
か一方の近傍に加熱用ヒーター５０を具備し、具体的に
は前記加熱用ヒーター５０を、各開口部３０，４０を開
閉するシャッター６０自体におよび昇華ガス１４ａの排
気口３８の周囲に備えてなる着色レジスト焼成用オーブ
ン１としたものである。
成用オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のない着
色レジスト焼成用オーブンの提供にある。 【解決手段】基板１０上に、パターン化された着色レジ
スト膜１４を有する基板材料１２を搬入する搬入開口部
３０と焼成された基板材料１２を搬出する搬出開口部４
０とを有する着色レジスト焼成用オーブン１において、
該搬入開口部３０および搬出開口部４０もしくはいずれ
か一方の近傍に加熱用ヒーター５０を具備し、具体的に
は前記加熱用ヒーター５０を、各開口部３０，４０を開
閉するシャッター６０自体におよび昇華ガス１４ａの排
気口３８の周囲に備えてなる着色レジスト焼成用オーブ
ン１としたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に液晶カラーデ
ィスプレイに用いる有機カラーフィルターの製造に関す
るものであり、特に、焼成工程に使用する着色レジスト
焼成用オーブンに関する。
ィスプレイに用いる有機カラーフィルターの製造に関す
るものであり、特に、焼成工程に使用する着色レジスト
焼成用オーブンに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ビデオカメラの撮像管や液晶
カラーディスプレイの部品としてカラーフィルターが知
られ、そのカラーフィルターを製造形態上より分類する
と、レリーフ染色法、顔料分散法、あるいは印刷法等に
より得られる有機カラーフィルターと多層干渉膜蒸着法
等により得られる無機カラーフィルターとに分類され
る。
カラーディスプレイの部品としてカラーフィルターが知
られ、そのカラーフィルターを製造形態上より分類する
と、レリーフ染色法、顔料分散法、あるいは印刷法等に
より得られる有機カラーフィルターと多層干渉膜蒸着法
等により得られる無機カラーフィルターとに分類され
る。
【０００３】そのうちの前者上記有機カラーフィルター
の製造において、例えば顔料分散法においては、ガラス
基板上に有機物でなる着色感光性レジストを塗布・乾燥
し、その後パターン露光、現像を行うことによって着色
パターンが形成されるが、この着色パターン部のレジス
トの完全硬化等の理由から２００℃〜３００℃のオーブ
ン中で焼成を行うのが一般的である。
の製造において、例えば顔料分散法においては、ガラス
基板上に有機物でなる着色感光性レジストを塗布・乾燥
し、その後パターン露光、現像を行うことによって着色
パターンが形成されるが、この着色パターン部のレジス
トの完全硬化等の理由から２００℃〜３００℃のオーブ
ン中で焼成を行うのが一般的である。
【０００４】上記焼成工程は、図１に示すように、着色
レジスト焼成用オーブン（１）内に例えばロボットアー
ム（２０）を用いて、基板（１０）上に着色レジスト膜
（１４）が形成された基板材料（１２）を搬入開口部
（３０）より搬入して焼成を行っている。
レジスト焼成用オーブン（１）内に例えばロボットアー
ム（２０）を用いて、基板（１０）上に着色レジスト膜
（１４）が形成された基板材料（１２）を搬入開口部
（３０）より搬入して焼成を行っている。
【０００５】しかしながら、図４に示すように、この着
色レジスト焼成用オーブン（１）内に、着色レジスト膜
（１４）の焼成によって加熱された着色レジスト膜（１
４）からの昇華ガス（１４ａ）が発生して浮遊し、この
浮遊している昇華ガス（１４ａ）が、外気で冷やされる
と固化し搬入開口部（３０）や搬出開口部（４０）の近
傍および各開口部の上部にある排気口（３８）周囲、シ
ャッター（６０）等に固着して異物（１４ｂ）となり、
その異物（１４ｂ）が基板材料（１２）上の異物（１４
ｂ）となり、有機カラーフィルターとしての製品の歩留
り低下の原因となるという問題があった。
色レジスト焼成用オーブン（１）内に、着色レジスト膜
（１４）の焼成によって加熱された着色レジスト膜（１
４）からの昇華ガス（１４ａ）が発生して浮遊し、この
浮遊している昇華ガス（１４ａ）が、外気で冷やされる
と固化し搬入開口部（３０）や搬出開口部（４０）の近
傍および各開口部の上部にある排気口（３８）周囲、シ
ャッター（６０）等に固着して異物（１４ｂ）となり、
その異物（１４ｂ）が基板材料（１２）上の異物（１４
ｂ）となり、有機カラーフィルターとしての製品の歩留
り低下の原因となるという問題があった。
【０００６】また、基板材料（１２）の搬出入の繰り返
しによって、上記のように搬入開口部（３０）や搬出開
口部（４０）の近傍および排気口（３８）周囲、シャッ
ター（６０）等に異物（１４ｂ）が蓄積するので、その
除去作業を頻繁に行う必要があり、生産性の低下となる
という問題があった。
しによって、上記のように搬入開口部（３０）や搬出開
口部（４０）の近傍および排気口（３８）周囲、シャッ
ター（６０）等に異物（１４ｂ）が蓄積するので、その
除去作業を頻繁に行う必要があり、生産性の低下となる
という問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、有機カラーフィルターの焼成工程において、焼
成用オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のない着
色レジスト焼成用オーブンを提供することにある。
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、有機カラーフィルターの焼成工程において、焼
成用オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のない着
色レジスト焼成用オーブンを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、基板上
に、パターン化された着色レジスト膜を有する基板材料
を搬入する搬入開口部と焼成された基板材料を搬出する
搬出開口部とを有する着色レジスト焼成用オーブンにお
いて、該搬入開口部および搬出開口部もしくはいずれか
一方の近傍に加熱用ヒーターを具備してなることを特徴
とする着色レジスト焼成用オーブンとしたものである。
を達成するために、まず請求項１の発明では、基板上
に、パターン化された着色レジスト膜を有する基板材料
を搬入する搬入開口部と焼成された基板材料を搬出する
搬出開口部とを有する着色レジスト焼成用オーブンにお
いて、該搬入開口部および搬出開口部もしくはいずれか
一方の近傍に加熱用ヒーターを具備してなることを特徴
とする着色レジスト焼成用オーブンとしたものである。
【０００９】また、請求項２の発明では、前記加熱用ヒ
ーターを、前記搬入開口部および搬出開口部を開閉する
シャッター自体に備えてなることを特徴とする請求項１
記載の着色レジスト焼成用オーブンとしたものである。
ーターを、前記搬入開口部および搬出開口部を開閉する
シャッター自体に備えてなることを特徴とする請求項１
記載の着色レジスト焼成用オーブンとしたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
用いて説明する。本発明の着色レジスト焼成用オーブン
は、図２に示すように、基板（１０）上に、パターン化
された着色レジスト膜（１４）を有する基板材料（１
２）を搬入する搬入開口部（３０）と焼成された基板材
料（１２）を搬出する搬出開口部（４０）とを有する着
色レジスト焼成用オーブン（１）において、該搬入開口
部（３０）および搬出開口部（４０）もしくはいずれか
一方の近傍に加熱用ヒーター（５０）を具備してなるも
のである。
用いて説明する。本発明の着色レジスト焼成用オーブン
は、図２に示すように、基板（１０）上に、パターン化
された着色レジスト膜（１４）を有する基板材料（１
２）を搬入する搬入開口部（３０）と焼成された基板材
料（１２）を搬出する搬出開口部（４０）とを有する着
色レジスト焼成用オーブン（１）において、該搬入開口
部（３０）および搬出開口部（４０）もしくはいずれか
一方の近傍に加熱用ヒーター（５０）を具備してなるも
のである。
【００１１】さらに具体的には、図２に示すように、オ
ーブン内部（１ａ）からの昇華ガス（１４ａ）を含むエ
アーが、搬入開口部（３０）および搬出開口部（４０）
より出る場合などは、外側にフードを取り付けた排気口
（３８）周囲に加熱用ヒーター（５０）としてセラミッ
クヒーター等を設けることが好ましい。
ーブン内部（１ａ）からの昇華ガス（１４ａ）を含むエ
アーが、搬入開口部（３０）および搬出開口部（４０）
より出る場合などは、外側にフードを取り付けた排気口
（３８）周囲に加熱用ヒーター（５０）としてセラミッ
クヒーター等を設けることが好ましい。
【００１２】また、請求項２の発明は、図３に示すよう
に、加熱用ヒーター（５０）を、搬入開口部（３０）お
よび搬出開口部（４０）を昇降用シリンダー（６２）の
回転によって開閉するシャッター（６０）自体に備えて
なるものである。さらにシャッター（６０）の上部にあ
る排気口（３８）の周囲に加熱用ヒーター（５０）を具
備することも可能で、より好ましいものである。
に、加熱用ヒーター（５０）を、搬入開口部（３０）お
よび搬出開口部（４０）を昇降用シリンダー（６２）の
回転によって開閉するシャッター（６０）自体に備えて
なるものである。さらにシャッター（６０）の上部にあ
る排気口（３８）の周囲に加熱用ヒーター（５０）を具
備することも可能で、より好ましいものである。
【００１３】さらに具体的には、図３に示すように、シ
ャッター（６０）の周囲を加熱用ヒーター（５０）とし
ての厚さ約２ｍｍのセラミックヒーターで覆うように設
けることができ、さらに排気口（３８）の周囲にも同様
に厚さ約２ｍｍのセラミックヒーターで覆うように設け
ることができる。
ャッター（６０）の周囲を加熱用ヒーター（５０）とし
ての厚さ約２ｍｍのセラミックヒーターで覆うように設
けることができ、さらに排気口（３８）の周囲にも同様
に厚さ約２ｍｍのセラミックヒーターで覆うように設け
ることができる。
【００１４】以上のように、本発明の搬入開口部（３
０）および搬出開口部（４０）近傍に、例えば表面温度
２００℃〜３００℃（オーブン炉内温度によっても異な
るが）に維持された加熱用ヒーター（５０）を設けた着
色レジスト焼成用オーブン（１）を用いて、基板材料
（１２）の搬出入を含めた着色レジスト膜（１４）の焼
成を行うと、オーブン内部（１ａ）に浮遊している昇華
ガス（１４ａ）が排気口（３８）周囲やシャッター（６
０）周囲の加熱用ヒーター（５０）に付着固化すること
なく、図３に示すように、排気口（３８）を通って冷却
部（３６）に入り、ここで固化され回収されるものであ
る。
０）および搬出開口部（４０）近傍に、例えば表面温度
２００℃〜３００℃（オーブン炉内温度によっても異な
るが）に維持された加熱用ヒーター（５０）を設けた着
色レジスト焼成用オーブン（１）を用いて、基板材料
（１２）の搬出入を含めた着色レジスト膜（１４）の焼
成を行うと、オーブン内部（１ａ）に浮遊している昇華
ガス（１４ａ）が排気口（３８）周囲やシャッター（６
０）周囲の加熱用ヒーター（５０）に付着固化すること
なく、図３に示すように、排気口（３８）を通って冷却
部（３６）に入り、ここで固化され回収されるものであ
る。
【００１５】よって、焼成された基板材料（１２）上の
異物（１４ｂ）となることがなく、有機カラーフィルタ
ーの歩留り向上に寄与することができる。
異物（１４ｂ）となることがなく、有機カラーフィルタ
ーの歩留り向上に寄与することができる。
【００１６】また、基板材料（１２）の搬出入の繰り返
しによっても、従来のように搬入開口部（３０）や搬出
開口部（４０）の近傍および排気口（３８）周囲、シャ
ッター（６０）等に異物（１４ｂ）が蓄積することがな
く、その除去作業を皆無とすることが可能で、生産性の
向上に寄与することができる。
しによっても、従来のように搬入開口部（３０）や搬出
開口部（４０）の近傍および排気口（３８）周囲、シャ
ッター（６０）等に異物（１４ｂ）が蓄積することがな
く、その除去作業を皆無とすることが可能で、生産性の
向上に寄与することができる。
【００１７】
【実施例】次に本発明を実施例により、さらに具体的に
説明する。 〈実施例１〉図３に示すように、基板材料（１２）を搬
出入する１００ｍｍ×７００ｍｍの搬入開口部（３０）
および搬出開口部（４０）を有し、その上部の排気口
（３８）およびシャッター（６０）の周囲に厚さ２ｍ
ｍ，１０ＫＷのセラミックヒーターで覆った着色レジス
ト焼成用オーブン（１）とした。
説明する。 〈実施例１〉図３に示すように、基板材料（１２）を搬
出入する１００ｍｍ×７００ｍｍの搬入開口部（３０）
および搬出開口部（４０）を有し、その上部の排気口
（３８）およびシャッター（６０）の周囲に厚さ２ｍ
ｍ，１０ＫＷのセラミックヒーターで覆った着色レジス
ト焼成用オーブン（１）とした。
【００１８】さらに、上記オーブン内部（１ａ）の温度
を３００℃、セラミックヒーターの表面温度を３００℃
となるように調整して焼成試験を行った。その焼成試験
は、搬入開口部（３０）のシャッター（６０）を降ろし
た状態で、基板材料（１２）をロボットアーム（２０）
でオーブン内部（１ａ）に搬入し、搬入開口部（３０）
をシャッター（６０）によって遮蔽した。次いで焼成さ
れた基板材料（１２）を搬出開口部（４０）のシャッタ
ー（６０）が降下した状態の搬出開口部（４０）より、
ロボットアーム（２０）によって搬出した。このような
操作を３００枚の基板材料（１２）について、パターン
化された着色レジスト赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に
つき合計９００回行い、３００枚の有機カラーフィルタ
ーを得た。
を３００℃、セラミックヒーターの表面温度を３００℃
となるように調整して焼成試験を行った。その焼成試験
は、搬入開口部（３０）のシャッター（６０）を降ろし
た状態で、基板材料（１２）をロボットアーム（２０）
でオーブン内部（１ａ）に搬入し、搬入開口部（３０）
をシャッター（６０）によって遮蔽した。次いで焼成さ
れた基板材料（１２）を搬出開口部（４０）のシャッタ
ー（６０）が降下した状態の搬出開口部（４０）より、
ロボットアーム（２０）によって搬出した。このような
操作を３００枚の基板材料（１２）について、パターン
化された着色レジスト赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に
つき合計９００回行い、３００枚の有機カラーフィルタ
ーを得た。
【００１９】以上の試験の結果、各開口部近傍には昇華
ガス（１４ａ）の固化による異物（１４ｂ）固着がほと
んど見られず、有機カラーフィルターの歩留りも従来に
較べ約０．５％の向上が認められた。また、セラミック
ヒーターの表面温度を２００℃に下げてもその効果はほ
とんど変わらず、良好なものであった。
ガス（１４ａ）の固化による異物（１４ｂ）固着がほと
んど見られず、有機カラーフィルターの歩留りも従来に
較べ約０．５％の向上が認められた。また、セラミック
ヒーターの表面温度を２００℃に下げてもその効果はほ
とんど変わらず、良好なものであった。
【００２０】
【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、基板上に、パターン化され
た着色レジスト膜を有する基板材料を搬入する搬入開口
部と焼成された基板材料を搬出する搬出開口部とを有す
る着色レジスト焼成用オーブンにおいて、該搬入開口部
および搬出開口部もしくはいずれか一方の近傍に加熱用
ヒーターを具備してなる着色レジスト焼成用オーブンと
し、その加熱用ヒーターを昇温して前記基板材料の搬出
入する焼成を行うことにより、オーブン内部に発生浮遊
する着色レジストの昇華ガスの固化による異物が各開口
部近傍に付着することがないので、最終製品である有機
カラーフィルター上の異物付着もなく歩留り向上に貢献
する効果があり、さらに各開口部近傍の異物除去の作業
時間を極端に減少させ生産性を向上することができる。
示す如き効果がある。即ち、基板上に、パターン化され
た着色レジスト膜を有する基板材料を搬入する搬入開口
部と焼成された基板材料を搬出する搬出開口部とを有す
る着色レジスト焼成用オーブンにおいて、該搬入開口部
および搬出開口部もしくはいずれか一方の近傍に加熱用
ヒーターを具備してなる着色レジスト焼成用オーブンと
し、その加熱用ヒーターを昇温して前記基板材料の搬出
入する焼成を行うことにより、オーブン内部に発生浮遊
する着色レジストの昇華ガスの固化による異物が各開口
部近傍に付着することがないので、最終製品である有機
カラーフィルター上の異物付着もなく歩留り向上に貢献
する効果があり、さらに各開口部近傍の異物除去の作業
時間を極端に減少させ生産性を向上することができる。
【００２１】従って本発明は、有機カラーフィルターの
焼成工程において、優れた実用上の効果を発揮するもの
である。
焼成工程において、優れた実用上の効果を発揮するもの
である。
【図１】本発明の一実施例を示す着色レジスト焼成用オ
ーブンの正面を模式的に表した説明図である。
ーブンの正面を模式的に表した説明図である。
【図２】本発明の一実施例を示すオーブンの搬入開口部
と搬出開口部を側断面で表した説明図である。
と搬出開口部を側断面で表した説明図である。
【図３】本発明の他の実施例を示すオーブンの搬入開口
部と搬出開口部を側断面で表した説明図である。
部と搬出開口部を側断面で表した説明図である。
【図４】本発明に関わる従来の着色レジスト焼成用オー
ブンの各開口部の状態を模式的に示した説明図である。
ブンの各開口部の状態を模式的に示した説明図である。
１‥‥着色レジスト焼成用オーブン １ａ‥‥オーブン内部 １０‥‥基板 １２‥‥基板材料 １４‥‥着色レジスト膜 １４ａ‥‥昇華ガス １４ｂ‥‥異物 ２０‥‥ロボットアーム ３０‥‥搬入開口部 ３６‥‥冷却部 ３７‥‥冷却水管 ３８‥‥排気口 ４０‥‥搬出開口部 ５０‥‥加熱用ヒーター ６０‥‥シャッター ６２‥‥昇降用シリンダー
Claims (2)
- 【請求項１】基板上に、パターン化された着色レジスト
膜を有する基板材料を搬入する搬入開口部と焼成された
基板材料を搬出する搬出開口部とを有する着色レジスト
焼成用オーブンにおいて、該搬入開口部および搬出開口
部もしくはいずれか一方の近傍に加熱用ヒーターを具備
してなることを特徴とする着色レジスト焼成用オーブ
ン。 - 【請求項２】前記加熱用ヒーターを、前記搬入開口部お
よび搬出開口部を開閉するシャッター自体に備えてなる
ことを特徴とする請求項１記載の着色レジスト焼成用オ
ーブン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7076398A JPH11264665A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 着色レジスト焼成用オーブン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7076398A JPH11264665A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 着色レジスト焼成用オーブン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11264665A true JPH11264665A (ja) | 1999-09-28 |
Family
ID=13440887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7076398A Pending JPH11264665A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 着色レジスト焼成用オーブン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11264665A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024378A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Espec Corp | 熱処理装置 |
| JP2008096003A (ja) * | 2006-10-07 | 2008-04-24 | Showa Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
| JP2008215652A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Espec Corp | 熱処理装置 |
| KR20100090185A (ko) * | 2009-02-05 | 2010-08-13 | 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 | 열처리장치 |
-
1998
- 1998-03-19 JP JP7076398A patent/JPH11264665A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024378A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Espec Corp | 熱処理装置 |
| JP2008096003A (ja) * | 2006-10-07 | 2008-04-24 | Showa Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
| JP2008215652A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Espec Corp | 熱処理装置 |
| KR20100090185A (ko) * | 2009-02-05 | 2010-08-13 | 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 | 열처리장치 |
| JP2010181091A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
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