JPH01121802A - カラーフィルタの製造法 - Google Patents
カラーフィルタの製造法Info
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- JPH01121802A JPH01121802A JP62281248A JP28124887A JPH01121802A JP H01121802 A JPH01121802 A JP H01121802A JP 62281248 A JP62281248 A JP 62281248A JP 28124887 A JP28124887 A JP 28124887A JP H01121802 A JPH01121802 A JP H01121802A
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Links
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は液晶用カラーテレビ等のカラーフィルタの製造
法に関するものである。
法に関するものである。
従来の技術
カラーフィルりの製造法として、古くから用いられてい
るものには染色法があるが、最近これに代わり、着色さ
れたレジスト材料（例えば顔料をレジスト材に混ぜたも
の）を用いる方法が提案されている。この製造方法を第
３図を用いて説明する。第３図は、４色（黒、赤、緑、
青色）からなるカラーフィルタの製造プロセスを示した
ものである。まず、黒色に着色されたレジスト材をガラ
ス等の透明基板にスピンナーで均一に塗布し、ホットプ
レートで乾燥する。
るものには染色法があるが、最近これに代わり、着色さ
れたレジスト材料（例えば顔料をレジスト材に混ぜたも
の）を用いる方法が提案されている。この製造方法を第
３図を用いて説明する。第３図は、４色（黒、赤、緑、
青色）からなるカラーフィルタの製造プロセスを示した
ものである。まず、黒色に着色されたレジスト材をガラ
ス等の透明基板にスピンナーで均一に塗布し、ホットプ
レートで乾燥する。
次に、先に着けられた膜と酸素を遮断するだめの溶液（
例えばポリビニールアルコ−／Ｉ／）を塗布乾燥し、所
定のパターンマスクを当て露光を行なったのちホットブ
レートで加熱する。例えばレジスト材がネガ型の場合で
あれば、露光された部分が硬化し、露光されていない部
分が次の現像、水洗工程で洗い流され、所定のパターン
が残シ、こレヲコンペクションオープンで加熱し、レジ
スト材と透明基板との密着性を高め、黒色のパターン形
成を行なっていた。また、赤色、緑色、青色のパターン
（画素）形成も黒色と同様に行ないカラーフィルタを製
造するものである。
例えばポリビニールアルコ−／Ｉ／）を塗布乾燥し、所
定のパターンマスクを当て露光を行なったのちホットブ
レートで加熱する。例えばレジスト材がネガ型の場合で
あれば、露光された部分が硬化し、露光されていない部
分が次の現像、水洗工程で洗い流され、所定のパターン
が残シ、こレヲコンペクションオープンで加熱し、レジ
スト材と透明基板との密着性を高め、黒色のパターン形
成を行なっていた。また、赤色、緑色、青色のパターン
（画素）形成も黒色と同様に行ないカラーフィルタを製
造するものである。
発明が解決しようとする問題点
しかし、上記の製造法のなかで、レジスト材と透明基板
の密着性を高めるための加熱工程での加熱温度が高いと
、画素が縮小するという問題があった。つまシ、高温で
加熱されるほど、冷却時のレジスト材の熱収縮が大きく
、所定の寸法よシ小さくなる。これは、加熱工程を多く
受けるもの、つまシ先に塗布される色はど、この傾向が
大きく、画素間の光のモレ（白ヌケ）の原因となってい
た。
の密着性を高めるための加熱工程での加熱温度が高いと
、画素が縮小するという問題があった。つまシ、高温で
加熱されるほど、冷却時のレジスト材の熱収縮が大きく
、所定の寸法よシ小さくなる。これは、加熱工程を多く
受けるもの、つまシ先に塗布される色はど、この傾向が
大きく、画素間の光のモレ（白ヌケ）の原因となってい
た。
本発明はかかる点に鑑み、画素の縮小のないカラーフィ
ルタの製造法を提供することを目的としている。
ルタの製造法を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するため、上記レジスト材を
加熱処理して硬化させるに際し、加熱温度を一定温度以
下にすることを特徴とするものである。
加熱処理して硬化させるに際し、加熱温度を一定温度以
下にすることを特徴とするものである。
作 用
この技術的手段による作用は次のようになる。
すなわち、レジスト材を加熱処理することによりレジス
ト材の重合硬化を完結し、かつレジスト材中の溶剤が完
全に除去され、レジスト材と透明基板の密着性が高めら
れる。しかし、加熱温度が一定温度以上であると、冷却
時に周囲との温度差が大きい為、急激に冷却され、熱収
縮が起こシ画素が縮小してしまう。従って、加熱温度を
一定温度以下に管理することにより、熱収縮をおこさず
、レジスト材と透明基板との密着性を高めるものである
。
ト材の重合硬化を完結し、かつレジスト材中の溶剤が完
全に除去され、レジスト材と透明基板の密着性が高めら
れる。しかし、加熱温度が一定温度以上であると、冷却
時に周囲との温度差が大きい為、急激に冷却され、熱収
縮が起こシ画素が縮小してしまう。従って、加熱温度を
一定温度以下に管理することにより、熱収縮をおこさず
、レジスト材と透明基板との密着性を高めるものである
。
実施例
以下、本発明の一実施例を、第２図の製造プロセス図に
従いながら、第１図の工程断面図を参照して説明する。
従いながら、第１図の工程断面図を参照して説明する。
第１図において、ガラス基板１に黒色顔料の入ったレジ
スト材（以下、黒色着色レジスト材２．他の色について
も同じく呼称、富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー社製カラーモザイクＫ）をスピンナーで約１μｍの厚
さになるように塗布し、ホットプレートで乾燥させた（
（ａ））。
スト材（以下、黒色着色レジスト材２．他の色について
も同じく呼称、富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー社製カラーモザイクＫ）をスピンナーで約１μｍの厚
さになるように塗布し、ホットプレートで乾燥させた（
（ａ））。
次に黒色着色レジスト材２が酸素と重合するのを防ぐた
め、ポリビニールアルコール溶液３を黒色着色レジスト
材２の上にスピンナで塗布し、ホットプレートで乾燥さ
せた（ （ｂ） ）。その後、黒色用フォトマスク４を
当て紫外線で露光したのちホットプレートで加熱を行な
い（（Ｃ） ）、１ ％ Ｎ ａ ２ Ｃｏ ｓ゛
溶液で現像、純水で洗浄したのち、コンベクションオー
プンで加熱硬化させた。このとき、第１図に示すように
、常にコンベクションオープン内の温度が一定温以下に
なるように管理した。今回使用した、着色レジスト材で
は、その温度は２００℃であシ、２ｏＯ℃を越えて加熱
したものは画素の熱収縮が見られたが、２００℃以下で
は熱収縮が見られなかった。尚、１００℃近辺から硬化
しはじめるが、低温では硬化時間が長くなり、できるだ
け高い方が望ましい。このようにして、黒色パターン５
を形成した（ｄ））。全く同様にして、赤色着色レジス
ト材としてカラーモザイクＲ１緑色着色レジスト材とし
て力２ニモザイクＧ、青色着色レジスト材としてカラー
モザイクＢ（いずれも富士ハントエレクトロニクステク
ノロジー社製）を使い赤色パターン６（（ｅ））、緑色
パター７７ （（ｆ））、青色パターン８ （（ｑ）
）を形成し、カラーフィルタを製作した。これは、所定
の寸法通りで画素の縮小は見られなかった。
め、ポリビニールアルコール溶液３を黒色着色レジスト
材２の上にスピンナで塗布し、ホットプレートで乾燥さ
せた（ （ｂ） ）。その後、黒色用フォトマスク４を
当て紫外線で露光したのちホットプレートで加熱を行な
い（（Ｃ） ）、１ ％ Ｎ ａ ２ Ｃｏ ｓ゛
溶液で現像、純水で洗浄したのち、コンベクションオー
プンで加熱硬化させた。このとき、第１図に示すように
、常にコンベクションオープン内の温度が一定温以下に
なるように管理した。今回使用した、着色レジスト材で
は、その温度は２００℃であシ、２ｏＯ℃を越えて加熱
したものは画素の熱収縮が見られたが、２００℃以下で
は熱収縮が見られなかった。尚、１００℃近辺から硬化
しはじめるが、低温では硬化時間が長くなり、できるだ
け高い方が望ましい。このようにして、黒色パターン５
を形成した（ｄ））。全く同様にして、赤色着色レジス
ト材としてカラーモザイクＲ１緑色着色レジスト材とし
て力２ニモザイクＧ、青色着色レジスト材としてカラー
モザイクＢ（いずれも富士ハントエレクトロニクステク
ノロジー社製）を使い赤色パターン６（（ｅ））、緑色
パター７７ （（ｆ））、青色パターン８ （（ｑ）
）を形成し、カラーフィルタを製作した。これは、所定
の寸法通りで画素の縮小は見られなかった。
発明の効果
以上述べてきたように；本発明によれば、画素の収縮の
ない、即ち光のモレのないカラーフィルタが安定して生
産でき、実用上極めて有用である。
ない、即ち光のモレのないカラーフィルタが安定して生
産でき、実用上極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例におけるカラーフィルタの工
程断面図、第２図は本発明の一実施例におけるカラーフ
ィルタの製造プロセス図、第３図は従来のカラーフィル
タの製造プロセス図である。 １・・・・・・ガラス基板、５・・・・・・黒色パター
ン、６・・・・・・赤色パターン、７・・・・・・緑色
パターン、８・・・・・・青色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第１図
程断面図、第２図は本発明の一実施例におけるカラーフ
ィルタの製造プロセス図、第３図は従来のカラーフィル
タの製造プロセス図である。 １・・・・・・ガラス基板、５・・・・・・黒色パター
ン、６・・・・・・赤色パターン、７・・・・・・緑色
パターン、８・・・・・・青色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第１図
Claims (1)
- 透明基板上に顔料を分散させたレジスト材を塗布・乾燥
し第１の被膜を形成する工程、前記第１の被膜上に酸素
遮断の為の第２の被膜を形成する工程、前記第１と第２
の被膜を所定パターンのフォトマスクを介し紫外線によ
り露光後、加熱する工程、前記第１の被膜のうちで紫外
線が遮断され未露光の部分と第２の被膜を現像液で溶解
除去する工程、前記第１の被膜を水洗する工程、前記第
１の被膜を一定温度以下で加熱処理して硬化させる工程
により第１の色パターンを形成し、以下、同じ工程を繰
り返すことにより、多色パターンを形成するカラーフィ
ルタの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281248A JPH01121802A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | カラーフィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281248A JPH01121802A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | カラーフィルタの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01121802A true JPH01121802A (ja) | 1989-05-15 |
Family
ID=17636422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62281248A Pending JPH01121802A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | カラーフィルタの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01121802A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02187701A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-23 | Sony Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
| JPH04214530A (ja) * | 1990-03-08 | 1992-08-05 | Stanley Electric Co Ltd | 液晶表示装置のブラックマスク形成方法 |
| US5457153A (en) * | 1993-08-12 | 1995-10-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Liquid coating composition |
| JPH10239863A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-09-11 | Mitsubishi Chem Corp | 黒色レジストパターンの形成方法およびカラーフィルターの製造方法 |
| US7479939B1 (en) | 1991-02-16 | 2009-01-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60129707A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Agency Of Ind Science & Technol | カラーフィルター，カラー液晶表示装置およびそれらの製造方法 |
| JPS60129738A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Agency Of Ind Science & Technol | 透明な着色画像 |
| JPS60237441A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色画像の形成法 |
| JPS62206546A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-11 | Nec Corp | Ｘ線レジストの被膜形成方法 |
| JPS62223747A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-10-01 | Toyobo Co Ltd | 画像形成板 |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP62281248A patent/JPH01121802A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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