JPH02287402A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH02287402A JPH02287402A JP1109356A JP10935689A JPH02287402A JP H02287402 A JPH02287402 A JP H02287402A JP 1109356 A JP1109356 A JP 1109356A JP 10935689 A JP10935689 A JP 10935689A JP H02287402 A JPH02287402 A JP H02287402A
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はカラーテレビ、カラーカメラ及びカラー表示デ
バイス、カラー撮像デバイス等に使用されるカラーフィ
ルタの製造方法に関するものである。
バイス、カラー撮像デバイス等に使用されるカラーフィ
ルタの製造方法に関するものである。
従来の技術
一般にカラーテレビ、カラーカメラ等に使用されるカラ
ーフィルタは、赤、緑、青等の三色よりなる画素がスト
ライプ状またはマトリックス状に定められたピッチで配
列されており、特にコントラストを高めるために三色の
画素の間に黒色の細いストライプまたは、グリッド（直
交格子）を用いている。
ーフィルタは、赤、緑、青等の三色よりなる画素がスト
ライプ状またはマトリックス状に定められたピッチで配
列されており、特にコントラストを高めるために三色の
画素の間に黒色の細いストライプまたは、グリッド（直
交格子）を用いている。
従来用いられているカラーフィルタの製法としては、ガ
ラス基板上に光硬化性樹脂を塗布し乾燥させた試料を、
転写したいパターンを描画したマスクを用いて露光し、
所望のパターン部（画素）を光硬化させて硬化樹脂部を
得、後に染料によつて着色する方法（染色法）が−数的
であった。
ラス基板上に光硬化性樹脂を塗布し乾燥させた試料を、
転写したいパターンを描画したマスクを用いて露光し、
所望のパターン部（画素）を光硬化させて硬化樹脂部を
得、後に染料によつて着色する方法（染色法）が−数的
であった。
又、この染色工程に付帯する不良回避もしくはコスト低
減の為、予め染料または顔料を前記光硬化性樹脂（レジ
スト）に添加した材料を用いる方法（着色レジスト法）
が提案されている。これは、光重合開始材としてハロメ
チルオキサジアゾール系化合物及びハロメチル−８−）
リアジン系化合物から選択された一種からなるものを用
いた高感度の感光性樹脂をバインダーとしたもので、ス
ピンナー等で塗布・乾燥させたのち、さらにポリビニー
ルアルコール（ＰＶＡ）をその上に塗布・乾燥させる。
減の為、予め染料または顔料を前記光硬化性樹脂（レジ
スト）に添加した材料を用いる方法（着色レジスト法）
が提案されている。これは、光重合開始材としてハロメ
チルオキサジアゾール系化合物及びハロメチル−８−）
リアジン系化合物から選択された一種からなるものを用
いた高感度の感光性樹脂をバインダーとしたもので、ス
ピンナー等で塗布・乾燥させたのち、さらにポリビニー
ルアルコール（ＰＶＡ）をその上に塗布・乾燥させる。
そして露光機により所望パターンを光硬化させ、硬化部
以外を現像液により溶解・除去したのち、パターン部を
オーブン炉等により熱硬化させ一色の製膜を完了する。
以外を現像液により溶解・除去したのち、パターン部を
オーブン炉等により熱硬化させ一色の製膜を完了する。
これを複数回繰り返しカラーフィルタを形成している。
発明が解決しようとする課題
しかしその光重合開始材は、光によってラジカルを生成
し多官能アクリレート等の光重合可能なモノマーの重合
を開始する時、酸素が存在すると重合反応を停止しパタ
ーン形成に耐え得る重合体を作ることができない。その
ため露光時の酸素遮断用にＰＶＡを塗布していた。その
後オーブン炉等により熱重合させ重合をより強固なもの
にしていたが、カラーフィルタの表面洗浄に使用するア
セトン等の薬品が接触すると、表面層が膨潤するという
問題があった。これは熱重合時にも存在するラジカルが
酸素と結合するため、十分な熱重合が図られないためで
ある。
し多官能アクリレート等の光重合可能なモノマーの重合
を開始する時、酸素が存在すると重合反応を停止しパタ
ーン形成に耐え得る重合体を作ることができない。その
ため露光時の酸素遮断用にＰＶＡを塗布していた。その
後オーブン炉等により熱重合させ重合をより強固なもの
にしていたが、カラーフィルタの表面洗浄に使用するア
セトン等の薬品が接触すると、表面層が膨潤するという
問題があった。これは熱重合時にも存在するラジカルが
酸素と結合するため、十分な熱重合が図られないためで
ある。
本発明はかかる点に鑑み、アセトン等の薬品に接触して
も膨潤の無いカラーフィルタの製造法を提供することを
目的とするものである。
も膨潤の無いカラーフィルタの製造法を提供することを
目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するため、本発明のカラーフィルタの製
造方法は、透明な基板の上に黒、赤、緑、青色のうち一
色の色素材料を分散させた光硬化性フォトレジストを塗
布、乾燥しフォトマスクを用いて露光し、現像したのち
、無酸素雰囲気中で熱硬化させて画素パターンまたは遮
光パターンを形成し、残りの色についても同様の工程を
繰り返して、画素パターンまたは遮光パターンを形成す
ることである。
造方法は、透明な基板の上に黒、赤、緑、青色のうち一
色の色素材料を分散させた光硬化性フォトレジストを塗
布、乾燥しフォトマスクを用いて露光し、現像したのち
、無酸素雰囲気中で熱硬化させて画素パターンまたは遮
光パターンを形成し、残りの色についても同様の工程を
繰り返して、画素パターンまたは遮光パターンを形成す
ることである。
作 用
本発明の上記方法によれば、オーブン炉により熱硬化さ
せる際、無酸素雰囲気とするためラジカルは酸素と結合
すること・なく熱重合が完了する。
せる際、無酸素雰囲気とするためラジカルは酸素と結合
すること・なく熱重合が完了する。
そのため重合が強固となり、アセトン等の薬品と接触し
ても薬品が内部に侵入することなく膨潤も生じない。
ても薬品が内部に侵入することなく膨潤も生じない。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面に基ずいて説明する
。第１図は本実施例におけるカラーフィルタの製造方法
の工程図であり、第２図は同カラーフィルタの断面構造
図である。
。第１図は本実施例におけるカラーフィルタの製造方法
の工程図であり、第２図は同カラーフィルタの断面構造
図である。
第１図において、塗布工程でガラス等の透明な材料より
なる基材１に黒、赤、緑、青色のうち一色の顔料（例え
ば黒色）を分散させたもので、光重合開始材としてハロ
メチルオキサジアゾール系化合物及びへロメチルーＳ−
）リアジン系化合物から選択された一種からなるものを
用いた高感度の感光性樹脂をバインダーとした光硬化性
フォトレジスト２（例えば商品名ＣＫ；富士ハントエレ
クトロニクステケノａシ゛−（株）１１）をスピンナー
で塗布しくレジスト塗布工程Ａ）、プリベーク工程Ｂで
ホットプレートを使い１００℃・１分間で溶剤を蒸発・
乾燥させる。次にＰＶＡ塗布工程ＣでＰＶＡ３をフォト
レジスト２上にスピンナーで塗布し、プリベーク工程り
でホットプレートを使い８０℃・１分間でＰＶＡ３を乾
燥させる。露光工程Ｅで所望のパターンが描画されたマ
スク４を介して、高圧水銀ランプより出射され光学系に
より′均一露光パワーで平行化された紫外光線を１００
ｍＪ／ａｍ２の強度で照射しマスクのパターンをフォト
レジスト２に焼き付ける。ついで現像工程Ｆで、現像液
として１重量％炭酸ナトリウムを用い非照射部のレジス
トをエツチングして剥離させる。そして無酸素雰囲気熱
硬化工程Ｇでは、窒素ガスを導入して酸素を除去したオ
ーブン炉で２００℃・１５分間、熱的に硬化させること
によって第１の画素が形成される。
なる基材１に黒、赤、緑、青色のうち一色の顔料（例え
ば黒色）を分散させたもので、光重合開始材としてハロ
メチルオキサジアゾール系化合物及びへロメチルーＳ−
）リアジン系化合物から選択された一種からなるものを
用いた高感度の感光性樹脂をバインダーとした光硬化性
フォトレジスト２（例えば商品名ＣＫ；富士ハントエレ
クトロニクステケノａシ゛−（株）１１）をスピンナー
で塗布しくレジスト塗布工程Ａ）、プリベーク工程Ｂで
ホットプレートを使い１００℃・１分間で溶剤を蒸発・
乾燥させる。次にＰＶＡ塗布工程ＣでＰＶＡ３をフォト
レジスト２上にスピンナーで塗布し、プリベーク工程り
でホットプレートを使い８０℃・１分間でＰＶＡ３を乾
燥させる。露光工程Ｅで所望のパターンが描画されたマ
スク４を介して、高圧水銀ランプより出射され光学系に
より′均一露光パワーで平行化された紫外光線を１００
ｍＪ／ａｍ２の強度で照射しマスクのパターンをフォト
レジスト２に焼き付ける。ついで現像工程Ｆで、現像液
として１重量％炭酸ナトリウムを用い非照射部のレジス
トをエツチングして剥離させる。そして無酸素雰囲気熱
硬化工程Ｇでは、窒素ガスを導入して酸素を除去したオ
ーブン炉で２００℃・１５分間、熱的に硬化させること
によって第１の画素が形成される。
以上の工程を繰り返し、第２図のように基材１上に黒色
遮光部５、赤色画素６、緑色画素７、青色画素８を形成
することによってカラーフィルタ９が得られる。このカ
ラーフィルタ９をアセトン洗浄液に３０分間浸漬したの
ち、その表面を光学顕微鏡で観察したが、膨潤等の異常
はみられなかった。
遮光部５、赤色画素６、緑色画素７、青色画素８を形成
することによってカラーフィルタ９が得られる。このカ
ラーフィルタ９をアセトン洗浄液に３０分間浸漬したの
ち、その表面を光学顕微鏡で観察したが、膨潤等の異常
はみられなかった。
次に本実施例の構成における作用を説明する。
光重合開始材としてハロメチルオキサジアゾール系化合
物及びハロメチル−８−）リアジン系化合物から選択さ
れた一種からなるものを用いた高感度の感光性樹脂をバ
インダーとしたものは、光によってラジカルを生成する
。このラジカルは多官能アクリレート等の光重合可能な
モノマーの重合を開始する時、酸素が存在すると重合反
応を停止する。しかし本実施例ではこのラジカルは、光
重合をする際にはＰＶＡにより、また熱重合する際には
窒素ガスにより酸素と遮断されるため、重合反応は十分
進みパターン部はアセトン等の薬品にも膨潤しなくなる
。
物及びハロメチル−８−）リアジン系化合物から選択さ
れた一種からなるものを用いた高感度の感光性樹脂をバ
インダーとしたものは、光によってラジカルを生成する
。このラジカルは多官能アクリレート等の光重合可能な
モノマーの重合を開始する時、酸素が存在すると重合反
応を停止する。しかし本実施例ではこのラジカルは、光
重合をする際にはＰＶＡにより、また熱重合する際には
窒素ガスにより酸素と遮断されるため、重合反応は十分
進みパターン部はアセトン等の薬品にも膨潤しなくなる
。
なお上記実施例では酸素濃度１％以下であったが３％以
下まで同様の効果があることを確認している。
下まで同様の効果があることを確認している。
発明の効果
以上述べてきたように本発明によれば、アセトン等の耐
薬品、性にも優れた信頼性の高いカラーフィルタの製造
ができる。
薬品、性にも優れた信頼性の高いカラーフィルタの製造
ができる。
第１図は本発明の一実施例におけるカラーフィルタの製
造方法の各工程の説明図、第２図は同製造方法によるカ
ラーフィルタの断面構造図である。 １００．基材、２１０．フォトレジスト、 ３．、、Ｐ
ＶＡ１４．、、マスク、９．、、カラーフィルタ。
造方法の各工程の説明図、第２図は同製造方法によるカ
ラーフィルタの断面構造図である。 １００．基材、２１０．フォトレジスト、 ３．、、Ｐ
ＶＡ１４．、、マスク、９．、、カラーフィルタ。
Claims (3)
- （１）透明な基板の上に黒、赤、緑、青色のうち一色の
色素材料を分散させた光硬化性フォトレジストを塗布、
乾燥しフォトマスクを用いて露光し、現像したのち、無
酸素雰囲気中で熱硬化させて画素パターンまたは遮光パ
ターンを形成し、残りの色についても同様の工程を繰り
返して、画素パターンまたは遮光パターンを形成するこ
とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - （２）光硬化性フォトレジストとして、多官能アクリレ
ートモノマー、有機重合体結合材及びトリハロメチル−
ｓ−トリアジン系化合物からなる光重合材を用いる請求
項１記載のカラーフィルタの製造方法。 - （３）無酸素雰囲気中で熱硬化させて画素パターンまた
は遮光パターンを形成するのに、窒素ガスを導入した密
閉オーブン炉を用いる請求項１記載のカラーフィルタの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1109356A JPH02287402A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1109356A JPH02287402A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287402A true JPH02287402A (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=14508151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1109356A Pending JPH02287402A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02287402A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994018274A1 (en) * | 1993-02-02 | 1994-08-18 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Azo color for color filter and process for producing color filter |
| JP2007240818A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385603A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Minolta Camera Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS63314501A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フイルタ |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1109356A patent/JPH02287402A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385603A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Minolta Camera Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS63314501A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フイルタ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994018274A1 (en) * | 1993-02-02 | 1994-08-18 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Azo color for color filter and process for producing color filter |
| US5686585A (en) * | 1993-02-02 | 1997-11-11 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Azo dyes for use in color filters and method for production of color filters |
| US5731110A (en) * | 1993-02-02 | 1998-03-24 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Photoresist composition for use in color filters |
| JP2007240818A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
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