JP2010180067A - アルゴン精製方法およびアルゴン精製装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のアルゴン精製方法では、原料ガスG0を貯留槽10に取り込み、また、吸着剤が充填された吸着塔31A,31B,31Cに向けて貯留槽10から混合ガスG1を供給する。そして、吸着工程と脱着工程を含むサイクルを各吸着塔にて繰り返し行う。吸着工程では、塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔にガスG1を導入してガスG1中の不純物を吸着剤に吸着させ、且つ、アルゴンが富化されたガスG2を当該吸着塔から導出する。脱着工程では、塔内を降圧して吸着剤から不純物を脱着させ、且つ、当該吸着塔からガスを導出する。また、脱着工程は、当該工程の開始から途中までにおいて吸着塔からガスG5を導出する第1脱着工程と、吸着塔からガスG6を導出する第2脱着工程とを含み、ガスG5を貯留槽10に戻す。
【選択図】図1
Description
1 貯留系
2 前処理系
3 PSA系
4 リサイクルライン
10 バッファタンク
12 昇圧ブロア
13 流量計
14 貯留量検知計
15 濃度分析計
16 流量制御部
20A,20B,20C 前処理槽
23 水素供給量制御部
24A,24B,24C 酸素供給量制御部
27 水素濃度分析計
28A,28B,28C,28D ライン
30 PSA装置
31A,31B,31C 吸着塔
31a,31b ガス通過口
32 昇圧機
33,34,35,36 ライン
Claims (19)
- アルゴンを含む混合ガスを貯留槽に取り込み、
前記貯留槽から、吸着剤が充填された吸着塔に向けて、前記混合ガスを供給し、
前記吸着塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔に前記混合ガスを導入して当該混合ガス中の不純物を前記吸着剤に吸着させ且つアルゴンが富化された精製ガスを当該吸着塔から導出する吸着工程と、前記吸着塔内を降圧して前記吸着剤から前記不純物を脱着させ且つ当該吸着塔からガスを導出する脱着工程と、を含むサイクルを前記吸着塔において繰り返し行い、
前記脱着工程は、当該脱着工程の開始から途中までにおいて前記吸着塔から第1ガスを導出する第1脱着工程と、前記吸着塔から第2ガスを導出する、前記第1脱着工程の後の第2脱着工程とを含み、前記第1ガスを前記貯留槽に導入する、アルゴン精製方法。 - アルゴンを含む混合ガスを貯留槽に取り込み、
前記貯留槽から、吸着剤が充填された複数の吸着塔から選択された吸着塔に向けて、前記混合ガスを供給し、
吸着塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔に前記混合ガスを導入して当該混合ガス中の不純物を前記吸着剤に吸着させ且つアルゴンが富化された精製ガスを当該吸着塔から導出する吸着工程と、吸着塔内を降圧して当該吸着塔からガスを導出する減圧工程と、吸着塔内を降圧して前記吸着剤から前記不純物を脱着させ且つ当該吸着塔からガスを導出する脱着工程と、吸着塔に洗浄ガスを導入し且つ当該吸着塔からガスを導出する洗浄工程と、吸着塔内の圧力を上昇させる昇圧工程と、を含むサイクルを前記複数の吸着塔のそれぞれにおいて繰り返し行い、
前記洗浄工程の前記洗浄ガスは、前記減圧工程にある吸着塔から導出されたガスであり、
前記洗浄工程は、当該洗浄工程の開始から途中までにおいて吸着塔から第1ガスを導出する第1洗浄工程と、当該吸着塔から第2ガスを導出する、前記第1洗浄工程の後の第2洗浄工程とを含み、前記第2ガスを前記貯留槽に導入する、アルゴン精製方法。 - 前記脱着工程は、当該脱着工程の開始から途中までにおいて吸着塔から第3ガスを導出する第1脱着工程と、当該吸着塔から第4ガスを導出する、前記第1脱着工程の後の第2脱着工程とを含み、前記第4ガスを前記貯留槽に導入する、請求項2に記載のアルゴン精製方法。
- 前記減圧工程は、当該減圧工程の開始から途中までにおいて吸着塔から第5ガスを導出する第1減圧工程と、当該吸着塔から第6ガスを導出する、前記第1減圧工程の後の第2減圧工程とを含み、前記第5ガスを前記洗浄ガスとして前記洗浄工程にある吸着塔に導入し、前記第6ガスを前記昇圧工程にある吸着塔に導入する、請求項2または3に記載のアルゴン精製方法。
- 前記脱着工程にある吸着塔の内部の最低圧力を0%とし且つ前記吸着工程にある吸着塔の内部の最高圧力を100%とする場合、前記第1減圧工程の終了時における吸着塔の内部の第1中間圧力は35〜80%の範囲にあり、且つ、前記第2減圧工程の終了時における吸着塔の内部の第2中間圧力は前記第1中間圧力より小さい限りにおいて15〜50%の範囲にある、請求項4に記載のアルゴン精製方法。
- 前記昇圧工程は、前記第2減圧工程にある吸着塔から導出された前記第6ガスを昇圧対象の吸着塔に導入する第1昇圧工程と、当該吸着塔に前記精製ガスを導入する、前記第1昇圧工程の後の第2昇圧工程とを含む、請求項4または5に記載のアルゴン精製方法。
- 前記脱着工程にある吸着塔の内部の最低圧力は大気圧以上である、請求項1から6のいずれか一つに記載のアルゴン精製方法。
- 前記貯留槽から前記吸着塔に向けて供給する前記混合ガスの流量は、前記吸着塔にて前記吸着工程が開始する時に更新する、請求項1から7のいずれか一つに記載のアルゴン精製方法。
- 前記貯留槽における貯留量について上側設定量および当該上側設定量より小さい下側設定量を設定し、
混合ガス供給流量の更新時において、
前記貯留槽内の前記混合ガスの貯留量が前記上側設定量以上である場合、混合ガス供給流量を増大し、
前記貯留槽内の前記混合ガスの貯留量が前記上側設定量を下回り且つ前記下側設定量を上回る場合、前記混合ガス供給流量を変更せず、
前記貯留槽内の前記混合ガスの貯留量が前記下側設定量以下である場合、前記混合ガス供給流量を低減する、請求項8に記載のアルゴン精製方法。 - 前記貯留槽における貯留量について上側設定量および当該上側設定量より小さい下側設定量を設定し、
混合ガス供給流量の更新時より前に前記貯留槽に取り込まれる前記混合ガスの流量を得て基準流量とし、
混合ガス供給流量の更新時において、
前記貯留槽内の前記混合ガスの貯留量が前記上側設定量以上である場合、前記基準流量より大きな流量を混合ガス供給流量とし、
前記貯留槽内の前記混合ガスの貯留量が前記上側設定量を下回り且つ前記下側設定量を上回る場合、前記基準流量を混合ガス供給流量とし、
前記貯留槽内の前記混合ガスの貯留量が前記下側設定量以下である場合、前記基準流量より小さな流量を混合ガス供給流量とする、請求項8に記載のアルゴン精製方法。 - 前記混合ガスを前記吸着塔に供給する前に、前記貯留槽からの前記混合ガスに対して、当該混合ガスに含まれる不純物の少なくとも一部を除去または変成するための前処理を施す、請求項1から10のいずれか一つに記載のアルゴン精製方法。
- 前記前処理は複数段に分けて行う、請求項11に記載のアルゴン精製方法。
- 前記混合ガスは、前記アルゴンに加えて少なくとも一酸化炭素および水素を含み、
前記前処理は、一酸化炭素を酸素と反応させて二酸化炭素を生じさせる第1処理と、水素を酸素と反応させて水を生じさせる、前記第1処理の後に行う第2処理とを含む、請求項12に記載のアルゴン精製方法。 - 第1ガス通過口および第2ガス通過口を有し当該第1および第2ガス通過口の間において吸着剤が充填された吸着塔と、
アルゴンを含む混合ガスを前記吸着塔に供給するより前に貯留するための貯留槽と、
前記貯留槽から前記吸着塔の前記第1ガス通過口側に前記混合ガスを供給可能に前記貯留槽および前記吸着塔の間を連結する第1ラインと、
前記吸着塔の前記第1ガス通過口側に接続され且つガス排出端を有する第2ラインと、
前記第2ラインおよび前記貯留槽を連結する第3ラインと、を備えるアルゴン精製装置。 - 第1ガス通過口および第2ガス通過口を有し当該第1および第2ガス通過口の間において吸着剤が充填された複数の吸着塔と、
アルゴンを含む混合ガスを前記吸着塔に供給するより前に貯留するための貯留槽と、
前記貯留槽から各吸着塔の前記第1ガス通過口側に前記混合ガスを供給可能に前記貯留槽および前記各吸着塔の間を連結する第1ラインと、
ガス排出端を有する主幹路、および、前記吸着塔ごとに設けられて当該吸着塔の前記第1ガス通過口側に接続された複数の分枝路、を有する第2ラインと、
主幹路、および、前記吸着塔ごとに設けられて当該吸着塔の前記第2ガス通過口側に接続された複数の分枝路、を有する第3ラインと、
前記第2ラインおよび前記貯留槽を連結する第4ラインと、を備えるアルゴン精製装置。 - 前記貯留槽における貯留量を検知するための手段と、前記貯留槽に供給される混合ガスの流量を検知するための手段と、前記貯留槽から前記吸着塔に向けて供給する前記混合ガスの流量を制御するための手段とを更に備える、請求項14または15に記載のアルゴン精製装置。
- 前記混合ガスに含まれる不純物の少なくとも一部を除去または変成するための前処理を実行する前処理系が前記第1ラインに設けられている、請求項14から16のいずれか一つに記載のアルゴン精製装置。
- 前記前処理系は、前記前処理を複数段に分けて行うための複数の処理槽を含む、請求項17に記載のアルゴン精製装置。
- 前記混合ガスは、前記アルゴンに加えて少なくとも一酸化炭素および水素を含み、
前記前処理系は、一酸化炭素を酸素と反応させて二酸化炭素を生じさせる第1処理を実行するための第1処理槽と、前記第1処理の後に水素を酸素と反応させて水を生じさせる第2処理を実行するための第2処理槽とを含む、請求項18に記載のアルゴン精製装置。
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