JP2010177689A - 半導体装置及びその作製方法 - Google Patents
半導体装置及びその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010177689A JP2010177689A JP2010076765A JP2010076765A JP2010177689A JP 2010177689 A JP2010177689 A JP 2010177689A JP 2010076765 A JP2010076765 A JP 2010076765A JP 2010076765 A JP2010076765 A JP 2010076765A JP 2010177689 A JP2010177689 A JP 2010177689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- semiconductor layer
- semiconductor
- taper angle
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 400
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 225
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 108
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 854
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 67
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 57
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 27
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 27
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 72
- 239000010408 film Substances 0.000 description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 description 40
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 27
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 21
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 16
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 15
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 13
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 12
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 12
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 11
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 11
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 10
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 9
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 8
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 6
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- -1 polyethylene naphthalate Polymers 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 4
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 101100489584 Solanum lycopersicum TFT1 gene Proteins 0.000 description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N azanylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#N GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 2
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 2
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 2
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910002808 Si–O–Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100214488 Solanum lycopersicum TFT2 gene Proteins 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000005499 laser crystallization Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0352—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
- H01L31/035272—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/035281—Shape of the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
- H01L21/32137—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas of silicon-containing layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
有する光電変換素子を提供する。
【解決手段】pin型の光電変換素子はpn型と比べて応答速度が高速であるが、暗電流
が大きいという欠点がある。この暗電流の一因は、エッチングで発生したエッチング残渣
が光電変換層の端部の側面に堆積し、このエッチング残渣を介して導通することによるも
のだと考えられる。そこで、従来は単一面のテーパ形状であった端部の側面を二段階のテ
ーパ形状にし、光電変換層のp層の端部の側面とn層の端部の側面が同一面上に存在しな
い構成とすることで、光電変換素子のリーク電流を低減する。
【選択図】図1
Description
膜半導体素子を有する光電変換装置及びその作製方法に関する。また、光電変換素子を搭
載した半導体装置及び電子機器に関する。
の積層体をいい、光電変換装置とは一又は複数の光電変換素子の集合体又はその他の素子
と組み合わせて構成される半導体装置をいう。
電変換装置は総括して光センサと呼ばれる。特に、波長400nm〜700nmの可視光
領域に感度を持つものは可視光センサと呼ばれ、環境に応じた照度の調整、又はオン/オ
フ制御が必要な機器に数多く用いられている(特許文献1を参照。)。
る。なぜなら、周囲の明るさを検出し、適切な表示輝度に調整することによって消費電力
を低減させ、視認性を向上させることが可能だからである。例えば、携帯電話の表示部や
パーソナルコンピューターの表示部にそのような輝度調整用の光センサが用いられている
。携帯電話では表示部のみならず、キー照明の消費電力も低減するとよい。
表示部の輝度の調整も可能になる。具体的には、液晶表示装置のバックライトの輝度を光
センサにより検出し、表示画面の輝度を調整する。
ンス調整を行なっている。コンバージェンス調整とはRGBの各色の映像がずれを生じな
いように、映像を調整することである。光センサを用いて各色の映像の位置を検出して、
正しい位置に映像を配置している。
型、pin型、ショットキー型、アバランシェ型である。pn型フォトダイオードはp型
半導体とn型半導体を接合した光電変換素子である。pin型フォトダイオードはpn型
のp型半導体とn型半導体の間に真性半導体(i型半導体)を挟んだ構成の光電変換素子
である。pn型は暗電流が小さいが、応答速度が低速である。pin型は応答速度が高速
であるが、暗電流が大きい。
孔(ホール)が用いられる半導体であり、n型半導体とは電子が過剰に存在することで電
荷の輸送に用いるキャリアとして主に電子が用いられる半導体であり、真性半導体とは高
純度の半導体材料から構成される半導体である。ショットキー型フォトダイオードとは、
p型半導体層の代わりに金の薄膜層を形成してn層と接合した光電変換素子であり、アバ
ランシェ型フォトダイオードとは、逆バイアスの電圧をかけることで光電流が倍増される
高速且つ高感度の光電変換素子である。なお、p型半導体層をp層、i型半導体層をi層
、n型半導体層をn層という。
0上に下地層115を有し、下地層115上に第1の導電層112を有し、第1の導電層
112上に半導体層103Dを有し、半導体層103Dは第1の半導体層103Aと第2
の半導体層103Bと第3の半導体層103Cにより構成され、第1の導電層112と第
1の半導体層103Aが接続され、第3の半導体層103C上に開口部を有する絶縁層1
07を有し、絶縁層107上に第2の導電層117を有し、第2の導電層117は絶縁層
107の開口部において第3の半導体層103Cと接続され、これらの積層構造を覆い、
且つ、開口部を有する絶縁層109を有し、絶縁層109上に第3の導電層111を有し
、第3の導電層111は絶縁層109の開口部を介して第1の導電層112及び第2の導
電層117と接続されている。そして、第1の半導体層103Aと第2の半導体層103
Bと第3の半導体層103Cの端部の側面は同一平面上に存在している。第1の半導体層
103Aは一導電型の不純物元素が添加されており、第3の半導体層103Cは第1の半
導体層103Aとは逆の導電型の不純物元素が添加されている。第2の半導体層103B
は真性半導体である。
ついても同様である。このリーク電流の発生の一因として、光電変換層である半導体層(
p層からi層を経て、n層まで連続的に連なる半導体層)の端部の側面に堆積するエッチ
ング残渣が考えられる。エッチング残渣はエッチング工程にて発生する。エッチング工程
にて発生したエッチング残渣が半導体層103Dの端部である、被エッチング面(図4中
点線で囲まれた領域114A〜114D)に堆積し、このエッチング残渣を介して導通す
ることで、リーク電流が発生すると考えられる。
低減し、高い信頼性の光電変換装置を歩留まりよく作製することを課題とする。
体層103Cと第2の半導体層103Bの一部の端部の側面がエッチングにより除去され
ている。そのため、半導体層103Dの端部の側面は、異なるテーパ角を有する2つの面
を有する。
た一導電型の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上に接して設けられ
た第2の半導体層と、第2の半導体層上に接して設けられた前記第1の半導体層とは逆の
導電型の不純物元素を有する第3の半導体層と、が積層された光電変換層を有し、該光電
変換層の端部の側面は、第1のテーパ角を有する面と、第2のテーパ角を有する面と、を
有し、第1のテーパ角を有する面は、第1の半導体層が有する端部の側面と、第2の半導
体層が有する端部の側面の一部と、を有し、第2のテーパ角を有する面は、第2の半導体
層が有する端部の側面の一部と、第3の半導体層が有する端部の側面と、を有し、第1の
テーパ角を有する面と第2のテーパ角を有する面は異なるテーパ角を有する。また、第1
のテーパ角を有する面のテーパ角は第2のテーパ角を有する面のテーパ角よりも大きいこ
とが好ましい。
ても良い。
電変換素子が有する第1の半導体層はp型半導体層であり、第3の半導体層はn型半導体
層であり、光電変換素子はガラス基板等の透光性を有する基板上に形成されていることが
好ましい。
い。より好ましくは、導電層の端部を覆うように保護層が設けられ、保護層上に半導体層
が設けられる。保護層がカラーフィルター層を有していてもよい。この場合には、カラー
フィルター層と光電変換層の間にはオーバーコート層が設けられていることが好ましい。
シ樹脂のいずれか一又は複数の材料からなることが好ましく、更に好適には下地層上であ
って、光電変換素子と重畳しない領域には凹凸形状を有し、凹凸形状の領域上には下地層
と同一の材料からなる層が設けられている。
チタンからなることが好ましい。
る。好ましくは、光電変換素子に接続された、出力を増幅する電流増幅回路を有し、電流
増幅回路は複数のトランジスタを有するカレントミラー回路である。
が有する半導体層のチャネル形成領域と重畳する基板側に遮光層が設けられているとよい
。
上に導電層を選択的に形成し、導電層の少なくとも端部を覆う保護層を選択的に形成し、
保護層上に、導電層の一部又は全部に接して設けられた一導電型の不純物元素を有する第
1の半導体層を形成し、第1の半導体層上に接して第2の半導体層を形成し、第2の半導
体層上に接して第1の半導体層とは逆の導電型の不純物元素を有する第3の半導体層を形
成し、第1乃至第3の半導体層上にテーパ形状を有するレジストを選択的に形成し、レジ
ストを用いて、第3の半導体層と第2の半導体層の一部をドライエッチングする第1のエ
ッチングを行い、第1のエッチングに用いたガスよりも第2の半導体層に対するエッチン
グレートが低く、且つO2を含むガスにより、第3の半導体層と第2の半導体層の残存部
分をドライエッチングする第2のエッチングを行いつつ、第3の半導体層の表面の一部に
酸化物層を形成し、第2の半導体層に対するエッチングレートよりも酸化物層に対するエ
ッチングレートの高いガスにより、酸化物層をドライエッチングする第3のエッチングを
行う。必要のない場合には保護層は形成しなくてもよい。第1乃至第3の半導体層はシリ
コンを主成分とすることが好ましい。また、更に好ましくは、第1のエッチングにはCF
4とCl2の混合ガスを用い、第2のエッチングにはCF4とO2の混合ガスを用い、第
3のエッチングにはCHF3とHeの混合ガスを用いる。
側面と底面がなす傾斜角(内角)をいう。側面が丸みを帯びているときには、側面と底面
の交点における接線と底面がなす角をいう。また、レジストに施すハードベークとは所定
の温度による熱処理である。ハードベークを施すことによりレジストのサイズが縮小し、
テーパ角を小さくすることができる。
るエッチング量のことである。
層をエッチング除去するに際して、エッチングが完了する平均時間に所定の時間を追加し
て行うエッチングをいう。追加する所定の時間は、基板面内分布を考慮して決定する。オ
ーバーエッチングを行うことによりエッチング残りを防ぐことができる。
である。したがって、本明細書中にて開示する構成では、所定の接続関係に加え、その間
に電気的な接続を可能とする他の素子(例えば、スイッチやトランジスタや容量素子やイ
ンダクタや抵抗素子やダイオード等)が配置されていてもよい。
i型半導体層(真性半導体層)では、半導体層に含まれるp型又はn型を付与する不純物
の濃度が1×1020cm−3以下であり、酸素及び窒素が5×1019cm−3以下で
ある半導体層を指す。なお、光伝導度は暗伝導度に対して1000倍以上であることが好
ましい。またi型半導体層には、ホウ素(B)が10〜1000ppm程度添加されてい
てもよい。
等の密着性が向上する。
ことが可能になる。また、信頼性の高い、pin型光電変換素子を搭載する電子機器を歩
留まりよく作製することができる。
の異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱すること
なくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従っ
て本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
本実施の形態では、本発明を適用した光電変換素子及び該光電変換素子の作製工程につ
いて、図1、図2、及び図5乃至図7を参照して説明する。図1及び図2は本発明の光電
変換素子の断面図を示す。図5乃至図7は本発明の光電変換素子の作製工程を説明するた
めの断面図を示す。
層115を有し、下地層115上に第1の導電層101と、第1の導電層101の端部を
覆う保護層102を有し、第1の導電層101及び保護層102上に半導体層103Dを
有し、半導体層103D上に、開口部を有する絶縁層109を有し、絶縁層109上に第
3の導電層111を有する。半導体層103Dは第1の半導体層103A、第2の半導体
層103B、及び第3の半導体層103Cが積層して形成されており、第1の半導体層1
03Aは第1の導電層101と電気的に接続され、第3の半導体層103Cは第3の導電
層111と電気的に接続されている。第1の半導体層103Aは一導電型の不純物元素を
有し、第3の半導体層103Cは、第1の半導体層103Aとは逆の導電型の不純物元素
を有する。半導体層103Dの端部の側面は、第1の半導体層103Aから第2の半導体
層103Bまで一定のテーパ角(図1中の角度α)で面が連続する第1のテーパ角を有す
る面と、第2の半導体層103Bから第3の半導体層103Cまで一定のテーパ角(図1
中の角度β)で面が連続する第2のテーパ角を有する面と、を有し、第1のテーパ角を有
する面と第2のテーパ角を有する面は異なるテーパ角を有する。また、第1のテーパ角を
有する面のテーパ角は第2のテーパ角を有する面のテーパ角よりも大きい。
本実施の形態では基板100上に光電変換素子を形成する。
あってもよい。可撓性基板としては、プラスチック等を用いることができる。基板100
がガラス基板である場合には、面積や形状に大きな制限はない。そのため、基板100と
して、例えば、1辺が1メートル以上であって、矩形状のガラス基板を用いることで、円
形の単結晶シリコン基板を用いる場合よりも生産性を向上させることができる。また、基
板100がプラスチック基板である場合には、薄型、軽量で、曲げることが可能であるた
めデザイン性に優れた半導体装置を作製することができる。また、様々な形状への加工が
容易である。プラスチック基板を用いることで、耐衝撃性に優れた光電変換装置を作製す
ることが可能になる。更には、光電変換装置を様々な物品に貼り付けたり、埋め込んだり
することが容易になり、多種多様な分野への応用が可能になる。また、基板100がプラ
スチック基板の場合には、作製工程の処理温度に耐えうる、耐熱性を有するプラスチック
を用いる必要がある。そのため、好適には、ガラス基板上に薄膜トランジスタ(Thin
Film Transistor。以下、TFTという。)を設けた後、当該TFTを
剥離して、剥離したTFTをプラスチック基板上に転置することにより設ける。可撓性基
板として、具体的にはポリエチレンナフタレート(PEN)のフィルムを用いることがで
きる。ポリエチレンナフタレートの他にも、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポ
リブチレンナフタレート(PBN)、ポリイミド(PI)、ポリアミド(PA)等のフィ
ルムを用いてもよい。
はポリイミド、アクリル、エポキシ樹脂等の有機樹脂により形成される。下地層115は
、後の工程にて形成される積層膜の各層よりも厚い膜を形成することが好ましい。好適に
は樹脂ペーストのような液体を用いて、スピンコート法や液滴吐出法により形成する。
の導電層101は単層でも積層でもよい。第1の導電層101を単層で形成する場合には
、チタン(Ti)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、ネオ
ジウム(Nd)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、亜鉛(Zn)、ルテニウム
(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、オスミウム(Os)、イリジウム(
Ir)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)か
ら選ばれた元素、または前記元素を主成分とする合金材料若しくは化合物材料からなる膜
、或いは、これらの窒化物(例えば、窒化チタン、窒化タングステン、窒化タンタル、窒
化モリブデン)からなる膜を用いることができる。第1の導電層101を積層で形成する
場合には、これらの元素を組み合わせて用いればよい。形成にはCVD法やスパッタ法、
液滴吐出法等を用いればよい。本実施の形態ではTiを単層で形成する。
有する、第1の導電層101を形成する。第1の導電層101のエッチングには塩素系ガ
スを用いればよい。本実施の形態では、BCl3とCl2の混合ガスを用いてドライエッ
チングを行う。ガスの流量比を60:20(sccm)とし、チャンバー内の圧力を1.
9Pa、温度を70℃にして、コイル型の電極に450WのRF(13.56MHz)電
力を投入してプラズマを生成し、基板側に100WのRF(13.56MHz)電力を投
入し、実質的に負のバイアスパワーを加えることで、自己バイアス電圧を生成してエッチ
ングを行う。ここで形成されたテーパ形状のテーパ角は30°前後となるように形成する
。なお、レジストにハードベークを施すことで、テーパ角を小さくすることができる。ま
た、エッチング方法について特に限定は無く、誘導結合型プラズマ(ICP:Induc
tively Coupled Plasma)方式の他、容量結合型プラズマ(CCP
:Capacitively Coupled Plasma)方式、電子サイクロトン
共鳴プラズマ(ECR:Electron Cyclotron Resonance)
方式、又は反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etchin
g)方式等を用いることができる。
電層101をエッチングできる条件であれば、そのガス種、ガスの流量比、チャンバー内
の圧力若しくは温度、又は投入する電力等については特に限定されない。
れた第1の導電層101の端部を覆い、光電変換層として機能する半導体層103Dを電
極として機能する第1の導電層101の端部において良好に被覆せしめ、電極(第1の導
電層101)の端部における電界の集中を防止する。保護層102は絶縁性材料でも、導
電性材料でもよいが、保護層102の導電性が高い場合には、静電気に対する耐性が低下
するため、保護層102の抵抗は高い方が好ましい。また、ポリイミド等の有機樹脂を用
いた場合には、感光性材料を用いて、塗布、露光、現像、焼成のみで容易に形成でき、テ
ーパ角が小さくなるため、後の工程にて形成される膜の被覆性を高めることができる。な
お、光が基板100側から入射する場合には、保護層102は光の透過率が高い材料によ
り形成することが望ましい。本実施の形態では、保護層102としてポリイミドを用いる
。
3の半導体層103Cを順次積層し、半導体層103Dを形成する(図5(C)を参照)
。
モルファスシリコン膜により形成する。第1の半導体層103Aの形成には、13属の不
純物元素(例えばボロン(B))を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマCVD法によ
り形成する。半導体材料ガスとしてはシラン(SiH4)を用いればよい。または、Si
2H6、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。また
、不純物元素を含まないアモルファスシリコン膜を形成した後に、拡散法やイオン注入法
を用いて該アモルファスシリコン膜に不純物元素を導入してもよい。イオン注入法等によ
り不純物元素を導入した後に加熱等を行うことで、不純物元素を拡散させるとよい。この
場合にアモルファスシリコン膜を形成する方法としては、LPCVD法、気相成長法、又
はスパッタリング法等を用いればよい。第1の半導体層103Aの膜厚は10nm以上5
0nm以下となるよう形成することが好ましい。
コン膜により形成する。第2の半導体層103Bの形成には、半導体材料ガスを用いて、
アモルファスシリコン膜をプラズマCVD法により形成する。半導体材料ガスとしては、
シラン(SiH4)を用いればよい。または、Si2H6、SiH2Cl2、SiHCl
3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。第2の半導体層103Bの形成は、LPC
VD法、気相成長法、スパッタリング法等により行っても良い。第2の半導体層103B
の膜厚は200nm以上1000nm以下となるように形成することが好ましい。
モルファスシリコン膜により形成する。第3の半導体層103Cの形成には、15族の不
純物元素(例えばリン(P))を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマCVD法により
形成する。半導体材料ガスとしてはシラン(SiH4)を用いればよい。または、Si2
H6、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。また、
不純物元素を含まないアモルファスシリコン膜を形成した後に、拡散法やイオン注入法を
用いて該アモルファスシリコン膜に不純物元素を導入してもよい。イオン注入法等により
不純物元素を導入した後に加熱等を行うことで、不純物元素を拡散させるとよい。この場
合にアモルファスシリコン膜を形成する方法としては、LPCVD法、気相成長法、又は
スパッタリング法等を用いればよい。第3の半導体層103Cの膜厚は20nm以上20
0nm以下となるよう形成することが好ましい。
いてもよい。すなわち、第1の半導体層103Aがn型半導体で形成され、第2の半導体
層103Bがi型半導体で形成され、第3の半導体層103Cがp型半導体で形成されて
いてもよい。この場合には、光は基板とは逆の方向から、つまり、薄膜が積層されている
方から入射することが好ましい。一般に、pin型フォトダイオードにおいては、光がp
型半導体層側から入射する構造であることが好ましい。
Cは、アモルファス半導体ではなく、多結晶半導体を用いて形成してもよいし、セミアモ
ルファス半導体(Semi Amorphous Semiconductor。以下、
SASという。)を用いて形成してもよい。
の中間的な構造の半導体である。SASは、自由エネルギー的に安定な第3の状態を有す
る半導体であって、短距離秩序を持ち、格子歪みを有する結晶質であり、その粒径を0.
5〜20nmとして非単結晶半導体膜中に分散させて存在せしめることが可能である。S
ASは、ラマンスペクトルが520cm−1よりも低波数側にシフトしており、また、X
線回折ではSi結晶格子に由来するとされる(111)、(220)の回折ピークが観測
される。また、未結合手(ダングリングボンド)を終端させるために、水素又はハロゲン
を少なくとも1原子%以上含ませている。本明細書では便宜上、このような半導体をSA
Sと呼ぶ。さらに、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオン等の希ガス元素を含ませて
格子歪みをさらに助長させることで、安定性が増し良好な特性を有することができる。な
お微結晶半導体(マイクロクリスタル半導体)もSASに含まれる。SASはシリコンを
含む気体をグロー放電分解することにより得ることができる。代表的なシリコンを含む気
体としては、シラン(SiH4)であり、その他にもSi2H6、SiH2Cl2、Si
HCl3、SiCl4、SiF4等を用いることができる。また水素や、水素にヘリウム
、アルゴン、クリプトン、ネオンから選ばれた少なくとも一種の希ガス元素を含ませたガ
スにより、これらのシリコンを含む気体を希釈して用いることで、SASの形成を容易な
ものとすることができる。シリコンを含む気体は、希釈率が2倍〜1000倍になるよう
に希釈されることが好ましい。さらには、シリコンを含む気体中に、CH4、C2H6等
の炭化物気体、GeH4、GeF4等のゲルマニウム化気体、F2等を混入させることで
、エネルギーバンド幅を1.5〜2.4eV、又は0.9〜1.1eVに調節することが
できる。
する(図5(C)を参照)。現在の量産ラインにて使用されるレジストとして、ノボラッ
ク樹脂を主成分とするものが挙げられる。ノボラック樹脂を主成分とするレジストは、ド
ライエッチング耐性が高いため、好ましい。また、ポリエチレン系樹脂を主成分とするレ
ジストもドライエッチングに対する耐性が優れているため、ポリエチレン系樹脂を主成分
とするレジストを用いてもよい。
ングにより除去する。パターンの形成は3段階のエッチングにより行い、これらをそれぞ
れ、第1乃至第3のエッチングとよぶ。
4とCl2の混合ガスを用いることが好ましい。ここでは、一例として、ガスの流量比を
40:40(sccm)とし、チャンバー内の圧力を2.0Pa、温度を70℃にして、
コイル型の電極に450WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し
、基板側に100WのRF(13.56MHz)電力を投入することで、実質的に負のバ
イアスパワーを加え、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行う。このような条件を
用いることで、厚膜形成された半導体層103Dのエッチングを短時間で行うことができ
る。また、上述のように半導体層103Dが厚いため、エッチング時間を調整して、第2
の半導体層103Bの一部と第1の半導体層103Aを残すようにエッチングを行うこと
が可能である(図6(A)を参照)。または第1の半導体層103Aの一部のみを残すよ
うにエッチングを行ってもよい。
103Dをエッチングできる条件であれば、そのガス種、ガスの流量比、チャンバー内の
圧力若しくは温度、又は投入する電力等については特に限定されない。
105をエッチングにより除去するために第2のエッチングを行う。第2のエッチングは
O2を含むガスにより行うことが好ましく、より好ましくはCF4とO2の混合ガスを用
いる。第1の導電層101にTiを用いる場合には、一例として、ガスの流量比を45:
55(sccm)とし、チャンバー内の圧力を2.5Pa、温度を70℃にして、コイル
型の電極に500WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し、基板
側に200WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアスパワーを
加え、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行うことで、第1の導電層101を除去
することなく、半導体層103D内の点線で囲まれた領域105のみをエッチング除去す
ることができる。
れて後退し、マスクされる領域が小さくなる。また、第3の半導体層103Cの表面のマ
スクから露出された領域は酸化されるため、酸化珪素層106が形成される(図6(B)
を参照)。このとき、下層に存在する第1の導電層101はエッチングされない。
れた領域116に示すように、凹凸を形成するまでエッチングを行うことが好ましい。下
地層115の表面を凹凸形状にすることで、後の工程で下地層115上に形成される絶縁
膜の密着性が向上する。
ッチングには、CHF3とHeの混合ガスを用いたドライエッチングを行うとよい。一例
として、ガスの流量比を7.5:142.5(sccm)とし、チャンバー内の圧力を5
.5Pa、温度を70℃にして、コイル型の電極に475WのRF(13.56MHz)
電力を投入してプラズマを生成し、基板側に300WのRF(13.56MHz)電力を
投入することで、実質的に負のバイアスパワーを加え、自己バイアス電圧を生成してエッ
チングを行うとよい。このような条件でエッチングを行うことにより、シリコンのエッチ
ングレートを抑えて酸化珪素のエッチングレートを高くすることができ、第2の半導体層
103Bを残し、酸化珪素層106を除去することができる。ただし、ここでエッチング
除去される領域は必ずしも酸化珪素層106だけではなく、第2の半導体層103Bの一
部が除去されていてもよい。
導体層103Cのレジスト104から露出された領域と第2の半導体層103Bの一部、
又は第3の半導体層103Cのレジスト104から露出された領域のみをエッチングでき
る条件であれば、そのガス種、ガスの流量比、チャンバー内の圧力若しくは温度、又は投
入する電力等については特に限定されない。
第2の半導体層103Bの一部、又は第3の半導体層103Cのレジスト104から露出
された領域のみを除去することにより、半導体層103Dがテーパ角の異なる2つのテー
パ角を有する面を有するように形成することができる。なお、端部の側面の一方にはn層
が存在しない。
剥離して除去する。
定の材料や形成方法に限定されず、例えばCVD法等により形成すればよい。形成に用い
る材料としては酸化珪素系材料、窒化珪素系材料、シロキサン樹脂等が挙げられる。なお
、酸化珪素系材料とは、酸素と珪素を主成分とする酸化珪素、酸化珪素が窒素を含み、且
つ酸素の含有量が窒素の含有量よりも多い酸化窒化珪素をいう。窒化珪素系材料とは、窒
素と珪素を主成分とする窒化珪素、窒化珪素が酸素を含み、窒素の含有量が酸素の含有量
よりも多い窒化酸化珪素をいう。シロキサン樹脂とは、Si−O−Si結合を含む樹脂で
ある。シロキサンは、シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成される。
好ましくは、感光性ポリイミド等の感光性樹脂を用いる。なお、光が基板100と逆方向
から入射する場合は、光の透過率が高い絶縁膜を用いることが好ましい。本実施の形態で
は絶縁層107には感光性ポリイミド樹脂を用いて、露光によりパターンを形成する。絶
縁層107は全面に形成しても良いが、好ましくは下地層115の凹凸が形成された領域
を避けて形成する(図6(C)を参照)。絶縁層107は、後に形成される第2の導電層
108が第3の半導体層103Cと接続される箇所に開口部を有するように形成する。
第2の導電層108の材料には、第1の導電層101と同様の材料を用いればよい。つま
り、単層にする場合には、チタン(Ti)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、モ
リブデン(Mo)、ネオジウム(Nd)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、亜
鉛(Zn)、ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、オスミウム
(Os)、イリジウム(Ir)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、金(Au)、銀
(Ag)、銅(Cu)ニッケル(Ni)から選ばれた元素、又は前記元素を主成分とする
合金材料若しくは化合物材料、或いは、これらの窒化物(例えば、窒化チタン、窒化タン
グステン、窒化タンタル、窒化モリブデン)からなる膜を用いることができる。第2の導
電層108を積層で形成する場合には、これらの元素を組み合わせて用いればよい。形成
にはCVD法、スパッタ法、又は液滴吐出法等を用いればよい。ここではTiを用いて単
層で形成する。第2の導電層108を形成後、第1の導電層101と同様に、必要に応じ
てエッチング等を行うことで、所望のパターンを有する導電層となるように形成する。
材料、酸化珪素系材料、BSG(Boron Silicate Glass)、PSG
(Phosphorus Silicate Glass)、BPSG(Boron P
housphorus Silicate Glass)、又は樹脂材料等を用いること
ができる。好適には有機樹脂材料(ポリイミド、アクリル)やシロキサン樹脂を用いる。
形成には液滴吐出法(方式によってはインクジェット法とも呼ばれる。また、吐出には噴
出等も含む。以下、同じ。)、スクリーン印刷法、スピンコート法等を用いることができ
る。CVD法等を用いてもよい。ここでは、エポキシ樹脂をスクリーン印刷法により形成
する。下地層115の表面には凹凸が形成されているため、絶縁層109は下地層115
に密着し、良好に被覆することができる。特に、絶縁層109と下地層115を同種の材
料にて形成すると、密着性が向上するため特に好ましい。
を参照。)。絶縁層109の形成にスクリーン印刷法や液滴吐出法等を用いることで、絶
縁層109を既に所望のパターンで形成している場合には、この工程は必ずしも行わなく
てよい。絶縁層109を全面に形成した後に所定の位置を除去することでパターンを形成
する方法を採用する場合であっても、感光性材料を用いることで、塗布、露光、現像、焼
成のみでパターンを形成することができる。また、第2のテーパ角が緩やかになるため、
後の工程において形成される層を良好に被覆させることができる。開口部110Aは第1
の導電層101に達するように形成し、開口部110Bは第2の導電層108に達するよ
うに形成する。
B)を参照)。第3の導電層111は導電性ペーストにより、スクリーン印刷法又は液滴
吐出法等を用いて形成することができる。本実施の形態ではスクリーン印刷法を用いる。
導電性ペーストとしては、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)等の
金属材料を含む導電性ペースト又は導電性カーボンペーストを用いることができる。第3
の導電層111は第1の導電層101及び第2の導電層108と接続されるように形成す
る。
保護層102は第1の導電層101の端部のみに形成されている。図2(B)では、保護
層102は図2(A)において第1の半導体層103Aが基板に接していた領域、および
第1の導電層101の端部を覆うように形成され、基板100と半導体層103Aが接触
しない構造になっている。図2(C)では、保護層102は膜厚が等しくなるように形成
されている。図2(C)に示す保護層102は、絶縁性の無機材料等により、CVD法等
を用いて形成される。第3の半導体層103Cのレジスト104から露出された領域と第
2の半導体層103Bの端部の側面の一部、又は第3の半導体層103Cのレジスト10
4から露出された領域のみを除去することにより、テーパ角の異なる2つのテーパ形状部
を形成することができる。第1の半導体層103Aから第3の半導体層103Cまでの端
部の側面における距離を長くすることができ、エッチング残渣を介在して導通する恐れを
低減することができる。
素子を得ることができる。そのため、信頼性が高いpin型光電変換素子を作製すること
ができる。また信頼性の高い、pin型光電変換素子を搭載する電子機器を作製すること
ができる。
とができる。
本実施の形態では、実施の形態1とは異なる構造の光電変換素子について図3及び図4
を参照して説明する。図3は本発明の光電変換素子の断面を示す。図4は従来の光電変換
素子の断面を示す。
す光電変換素子と異なる点は、透光性を有する導電性材料により第1の導電層112を形
成していることである。なお、本実施の形態では第2の導電層117には透光性を有する
導電性材料を用いていないが、第2の導電層117は透光性を有する導電性材料を用いて
形成しても良い。
(ZnO)を含むインジウム酸化物)、ZnO(酸化亜鉛)を用いることができる。好ま
しくは、ITOに酸化珪素が2〜10重量%含まれたターゲットを用いてスパッタリング
法により形成した、ITSO(酸化珪素(SiO2)を含むインジウム錫酸化物)を用い
る。なお、IZOとは酸化珪素を含み、酸化インジウムにZnOが2〜20重量%含まれ
たターゲットを用いてスパッタリング法により形成した酸化物導電性材料である。この他
、ZnOにガリウム(Ga)をドープした導電性材料、SnO2(酸化錫)、Ga2O3
をドープしたZnO、Al2O3をドープしたZnO、SiO2をドープしたZnOを用
いてもよい。
光が入射する光電変換装置を作製する場合に図3(A)に示す構造を採用することが可能
となる。この場合、第2の導電層117には透光性を有する導電性材料を用いなくてもよ
い。
に起因する破壊が生じやすいという欠点があった。また、図4(B)に示す構造では、半
導体層の端部である、点線で囲まれた領域114C及び領域114Dに、エッチング工程
において発生したエッチング残渣が堆積しやすいため、リーク電流が発生しやすいという
問題があった。
合の断面図を示す。このように第1の導電層101のテーパ角を小さくすることで、第1
の導電層101上に形成される膜が良好に被覆する。これにより、第1の導電層101と
半導体層103Dが良好に被覆しないことを原因として発生しうるクラック等を防止し、
リーク電流を低減することができる。図3(B)に示すように、第1の導電層の端部の側
面のテーパ角の小さい光電変換素子に本発明を適用することで、第1の導電層上に保護層
が設けられていなくても、信頼性の高いpin型光電変換素子を作製することができる。
。一例として、ガスの流量比を70:10(sccm)とし、圧力を1.35Paで、コ
イル型の電極に600WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し、
基板側に200WのRF(13.56MHz)電力を投入することで、実質的に負のバイ
アスパワーを加え、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行うと、第1の導電層10
1のテーパ角が30°前後となり、好ましい。ここでも、レジストにはハードベークを施
す。
と第2の半導体層103Bの端部の側面の一部、又は第三の半導体層103Cの端部の側
面のマスクから露出された領域のみを除去することにより、半導体層103Dの端部の側
面を、テーパ角の異なる2つのテーパ形状部を有し、一方のテーパ形状部にn層が残存し
ないように加工することで、上述の問題点を解決することができる。
ように加工することで、第1の半導体層から第3の半導体層までの端部の側面における距
離を長くすることができ、エッチング残渣を介在して導通することによるリーク電流を低
減することができる。また、半導体層端部の側面に、テーパ角の異なる2つのテーパ形状
部を有し、且つ一方のテーパ形状部にn層が残存しないように加工するに際して、第3の
半導体層のマスクから露出された領域と第2の半導体層の端部の側面の一部、又は第3の
半導体層のマスクから露出された領域のみを除去するエッチング工程でオーバーエッチン
グを施し、且つ、下地層に凹凸を形成するようにエッチングを行うことで、この上に形成
され、この凹凸の深さよりも厚く形成される樹脂膜等の密着性を向上させることができる
。
角を小さくすることで、第1の導電層の端部の側面を覆う保護膜を設けない構造とするこ
とが可能になり、作製工程が簡略になる。更には、本発明を適用することでリーク電流が
低減されるため、第1の半導体層の下層の全面に第1の導電層が設けられた構造とするこ
とも可能である。
子を得ることができる。そのため、信頼性が高いpin型光電変換素子を作製することが
できる。また信頼性の高い、pin型光電変換素子を搭載する電子機器を作製することが
できる。
とができる。
本実施の形態では本発明を適用して作製したカラーセンサーについて、図8乃至図13
、及び図19を参照して説明する。なお、図8乃至図13に示した構造は必ずしもこれに
限定されるものではなく、例えば、図8乃至図13では導電層及び絶縁層を単層で形成し
ているが、これに限定されるものではない。本実施の形態で示す導電層及び絶縁層は積層
であっても良い。また、遮光層及びオーバーコート層についても単層であっても良いし、
積層であってもよい。
限定されない。例えば、カーボン系材料又は顔料を分散させた遮光性を有する絶縁膜であ
ってもよいし、金属膜であってもよい。例えば、クロム(Cr)、酸化クロム、及び窒化
クロムが積層された膜により形成することができる。
層203上に形成された光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bを有し、光
電変換素子部202A及び光電変換素子部202B内にカラーフィルター層204A及び
カラーフィルター層204Bを有し、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202
Bにおける第1の導電層205A及び第1の導電層205Bと同種の材料からなる遮光層
205C及び遮光層205Dを有する光電変換装置の断面図を示す。第1の導電層205
A、遮光層205C、第1の導電層205B、及び遮光層205Dが遮光することで、光
電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bの端部から各々の光電変換層に入射す
る光を遮断することができ、各々の光電変換層にはカラーフィルター層204A及びカラ
ーフィルター層204Bを通過した光のみが入射する。このため、光電変換素子部202
A及び光電変換素子部202Bはカラーセンサーとして機能することができる。カラーフ
ィルター層204Aとカラーフィルター層204Bは、異なる色にすることができる。ま
た、カラーフィルター層204Aとオーバーコート層206A、及びカラーフィルター層
204Bとオーバーコート層206Bが実施の形態1で述べた保護層102と同様に機能
する。オーバーコート層206A及びオーバーコート層206Bはカラーフィルター層2
04A及びカラーフィルター層204Bに含まれる各種不純物元素が各々の光電変換層に
拡散しないよう、保護する機能を有する。また、絶縁層209上の導電層210は接点電
極212と接続されている。接点電極212の露出部以外は樹脂211に覆われている。
なお、導電層210と、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bは他の導電
層を介して接続されていても良い。導電層210と、導電層2019が他の導電層を介し
て接続されていても良い。
層203上に形成された光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bを有し、光
電変換素子部202A及び光電変換素子部202B内にカラーフィルター層204A及び
カラーフィルター層204Bを有し、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202
Bが設けられた層間絶縁層203より下に遮光層207A、遮光層207B、遮光層20
7C、及び遮光層205Dを有する光電変換装置の断面図を示す。遮光層207A、遮光
層207C、遮光層207B、及び遮光層205Dが遮光することで、光電変換素子部2
02A及び光電変換素子部202Bの端部から各々の光電変換層に入射する光を遮断する
ことができ、各々の光電変換層にはカラーフィルター層204A又はカラーフィルター層
204Bを通過した光のみが入射する。このため、光電変換素子部202A及び光電変換
素子部202Bはカラーセンサーとして機能する。カラーフィルター層204Aとカラー
フィルター層204Bは、異なる色にすることができる。また、カラーフィルター層20
4Aとオーバーコート層206A、及びカラーフィルター層204Bとオーバーコート層
206Bが実施の形態1で述べた保護層102と同様に機能する。オーバーコート層20
6A及びオーバーコート層206Bはカラーフィルター層204A及びカラーフィルター
層204Bに含まれる各種不純物元素が各々の光電変換層に拡散しないよう、保護する機
能を有する。また、絶縁層209上の導電層210が接点電極212と接続されている。
接点電極212の露出部以外は樹脂211に覆われている。なお、導電層210と、光電
変換素子部202A及び光電変換素子部202Bは他の導電層を介して接続されていても
良い。導電層210と、導電層2019が他の導電層を介して接続されていても良い。な
お、遮光層207A、遮光層207B、遮光層207C、及び遮光層207DはTFT2
01A及びTFT201Bが有する導電層等と同種の材料により、同一工程にて形成して
も良い。
縁層203上に形成された光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bを有し、
光電変換素子部202A及び光電変換素子部202B内にカラーフィルター層204A及
びカラーフィルター層204Bを有し、TFT201A及びTFT201Bの下に遮光層
208を有し、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bが設けられた層間絶
縁層203より下に遮光層207A、遮光層207B、遮光層207C、及び遮光層20
7Dを有する光電変換装置の断面図を示す。遮光層207A、遮光層207C、遮光層2
07B、及び遮光層207Dが遮光することで光電変換素子部202A及び光電変換素子
部202Bの端部から各々の光電変換層に入射する光を遮断することができ、各々の光電
変換層にはカラーフィルター層204A又はカラーフィルター層204Bを通過した光の
みが入射する。このため、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bはカラー
センサーとして機能する。カラーフィルター層204Aとカラーフィルター層204Bは
、異なる色にすることができる。また、カラーフィルター層204Aとオーバーコート層
206A、及びカラーフィルター層204Bとオーバーコート層206Bが実施の形態1
で述べた保護層102と同様に機能する。オーバーコート層206A及びオーバーコート
層206Bはカラーフィルター層204A及びカラーフィルター層204Bに含まれる各
種不純物元素が各々の光電変換層に拡散しないよう、保護する機能を有する。また、絶縁
層209上の導電層210が接点電極212と接続されている。接点電極212の露出部
以外は樹脂211に覆われている。TFT201A及びTFT201Bが遮光層208を
有するため、信頼性の高いTFTを得ることができる。なお、導電層210と、光電変換
素子部202A及び光電変換素子部202Bは他の導電層を介して接続されていても良い
。導電層210と、導電層2019が他の導電層を介して接続されていても良い。なお、
遮光層207A、遮光層207B、遮光層207C、及び遮光層207DはTFT201
A及びTFT201Bが有する導電層等と同種の材料により、同一工程にて形成しても良
い。
縁層203上に形成された光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bを有し、
光電変換素子部202A及び光電変換素子部202B内にカラーフィルター層204A及
びカラーフィルター層204Bを有し、TFT201A及びTFT201Bの下に遮光層
208Eを有し、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bが設けられた層間
絶縁層203の下に遮光層208A、遮光層208B、遮光層208C、及び遮光層20
8Dを有する光電変換装置の断面図を示す。遮光層208A、遮光層208C、遮光層2
08B、及び遮光層208Dが遮光することで光電変換素子部202A及び光電変換素子
部202Bの端部から各々の光電変換層に入射する光を遮断することができ、各々の光電
変換層にはカラーフィルター層204A又はカラーフィルター層204Bを通過した光の
みが入射する。このため、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bはカラー
センサーとして機能する。カラーフィルター層204Aとカラーフィルター層204Bは
、異なる色にすることができる。また、カラーフィルター層204Aとオーバーコート層
206A、及びカラーフィルター層204Bとオーバーコート層206Bが実施の形態1
で述べた保護層102と同様に機能する。オーバーコート層206A及びオーバーコート
層206Bはカラーフィルター層204A及びカラーフィルター層204Bに含まれる各
種不純物元素が各々の光電変換層に拡散しないよう、保護する機能を有する。また、絶縁
層209上の導電層210が接点電極212と接続されている。接点電極212の露出部
以外は樹脂211に覆われている。TFT201A及びTFT201Bが遮光層208E
を有するため、信頼性の高いTFTを得ることができる。遮光層208Eは遮光層208
A、遮光層208B、遮光層208C、及び遮光層208Dと同種の材料により、同一工
程にて形成されることが好ましい。なお、導電層210と、光電変換素子部202A及び
光電変換素子部202Bは他の導電層を介して接続されていても良い。導電層210と、
導電層2019が他の導電層を介して接続されていても良い。
縁層203上に形成された光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bを有し、
層間絶縁層203の下にカラーフィルター層204を有し、光電変換素子部202A及び
光電変換素子部202Bが設けられた層間絶縁層203及びカラーフィルター層204よ
り下に遮光層207A及び遮光層207Bを有する光電変換装置の断面図を示す。光電変
換素子部202A及び光電変換素子部202Bにおける第1の導電層205A、第1の導
電層205B、遮光層207A、及び遮光層207Bが遮光することで光電変換素子部2
02A及び光電変換素子部202Bの端部から各々の光電変換層に入射する光を遮断する
ことができる。このため、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bはカラー
センサーとして機能する。また、層間絶縁層203はカラーフィルター層204に含まれ
る各種不純物元素が光電変換素子部202A及び光電変換素子部202B内の光電変換層
に拡散しないよう、保護する機能を有している。また、絶縁層209上の導電層210が
接点電極212と接続されている。接点電極212の露出部以外は樹脂211に覆われて
いる。また、図12には図示していないが、図10及び図11と同様に、TFT201A
及びTFT201Bが遮光層を有していてもよい。なお、図12ではカラーフィルター層
204は一色であるため、必要のない場合には遮光層207Aは形成しなくとも良い。な
お、導電層210と、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bは他の導電層
を介して接続されていても良い。導電層210と、導電層2019が他の導電層を介して
接続されていても良い。
縁層203上に形成された光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bを有し、
層間絶縁層203の下にカラーフィルター層204A及びカラーフィルター層204Bを
有し、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bが設けられた層間絶縁層20
3及びカラーフィルター層204A及びカラーフィルター層204Bより下に遮光層20
7A、遮光層207C、遮光層207B、及び遮光層207Dを有する光電変換装置の断
面図を示す。光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bにおける第1の導電層
205A及び第1の導電層205Bを有する。遮光層207A、遮光層207C、遮光層
207B、及び遮光層207Dが遮光することで光電変換素子部202A及び光電変換素
子部202Bの端部から各々の光電変換層に入射する光を遮断することができ、各々の光
電変換層にはカラーフィルター層204A及びカラーフィルター層204Bを通過した光
のみが入射する。このため、光電変換素子部202A及び光電変換素子部202Bはカラ
ーセンサーとして機能する。カラーフィルター層204Aとカラーフィルター層204B
は、異なる色にすることができる。また、層間絶縁層203はカラーフィルター層204
に含まれる各種不純物元素が光電変換素子部202A及び光電変換素子部202B内の光
電変換層に拡散しないよう、保護する機能を有する。また、絶縁層209上の導電層21
0が接点電極212と接続されている。接点電極212の露出部以外は樹脂211に覆わ
れている。また、図13には図示していないが、図10及び図11と同様に、TFT20
1A及びTFT201Bが遮光層を有していてもよい。なお、導電層210と、光電変換
素子部202A及び光電変換素子部202Bは他の導電層を介して接続されていても良い
。導電層210と、導電層2019が他の導電層を介して接続されていても良い。なお、
遮光層207A、遮光層207B、遮光層207C、及び遮光層205DはTFT201
A及びTFT201Bが有する導電層等と同種の材料により、同一工程にて形成しても良
い。
、図8を参照して説明する。
トランジスタを含む層を形成する。続いて、複数のトランジスタを含む層上に、絶縁層2
018と層間絶縁層203を形成する。次に、複数のトランジスタ内の絶縁層2015、
絶縁層2018、及び層間絶縁層203に設けられた開口部を介して、複数のトランジス
タの各々のソース領域又はドレイン領域に接続された導電層2019を形成する。
11は、スパッタリング法やプラズマCVD法等により、酸化珪素系膜又は窒化珪素系膜
を、単層又は積層で形成する。なお、絶縁層2011は、必要のない場合には、設けなく
てもよい。
して機能する導電層2016を有する。ここでは半導体層2012に珪素を用いる。半導
体層2012は、シラン(SiH4)等の半導体材料ガスにより、LPCVD法、プラズ
マCVD法、気相成長法やスパッタリング法を用いて非晶質半導体として形成することが
できる。他にも、該非晶質半導体をレーザー結晶化法、熱結晶化法、またはニッケル等の
結晶化を助長する元素を用いた熱結晶化法等で結晶化させた多結晶半導体、或いはSAS
等を用いてもよい。ここでは多結晶珪素を用いる。
及びチャネル形成領域2014を有する。不純物領域2013には、N型を付与する不純
物元素(15族に属する元素、例えばリン、砒素)又はP型を付与する不純物元素(例え
ば硼素、アルミニウム)が添加されている。不純物の導入には、拡散源を用いる方法やイ
オン注入法等を用いればよい。不純物を導入する際には、ソース領域又はドレイン領域と
チャネル形成領域との間にLDD(Lightly Doped Drain)領域を設
けることが好ましいが、必要のない場合にはLDD領域は特に設けなくとも良い。
的として形成される領域である。半導体層が多結晶珪素であるTFTでは、オフ電流を抑
えることは重要であり、特に、画素回路等のアナログスイッチとして用いる場合には十分
に低いオフ電流が要求される。しかし、ドレイン接合部の逆バイアス強電界により、オフ
時にも欠陥を介するリーク電流が存在する。LDD領域が設けられていると、ドレイン端
近傍の電界が緩和されるため、オフ電流を低減させることができる。また、ドレイン接合
部の逆バイアス電界をチャネル領域とLDD領域の接合部、LDD領域とドレイン領域の
接合部に分散させることができ、電界が緩和されるため、リーク電流が低減される。
DD領域を形成することができる。
同様に、スパッタリング法又はプラズマCVD法等により、酸化珪素系材料又は窒化珪素
系材料を単層又は積層して形成すればよい。
又はスクリーン印刷法等を用いて、無機材料又は有機材料により、単層又は積層で形成す
る。例えば、絶縁層2018は酸化窒化珪素により形成し、層間絶縁層203は窒化酸化
珪素により形成すればよい。また、絶縁層2011及び絶縁層2015と同様に、スパッ
タリング法又はプラズマCVD法等により形成してもよい。
、液滴吐出法等を用いればよい。導電層2019は単層で形成してもよいし、積層で形成
してもよい。また、光電変換素子部の第1の導電層205Aも同一の工程にて形成すると
よい。
を有することが好ましい。すなわち、接点電極212は端部から中央部にかけて膜厚が増
加するなだらかなテーパ角を有する面と、中央部に該テーパ角を有する面から連続した形
状の突起部を有する。このような形状にすることで、接点電極が接続される外部回路と光
電変換素子を搭載した半導体装置の接続を従来よりも確実に行うことができ、歩留まりが
向上する。
ず、様々な形態のものを用いることができる。例えば、図示したTFTはトップゲート型
であるが、バックチャネルエッチ型であっても良いし、チャネル保護型であっても良い。
が同一基板上に形成されていることが好ましい。図19にその構成の一例を回路図で示す
。図19に示す半導体装置は、光電変換素子、及びTFTにより構成される電流増幅回路
を有する。図19(A)はn型TFTを用いた例を示し、図19(B)はp型TFTを用
いた例を示す。以下の説明では図19(A)を参照するが、p型TFTを用いる場合につ
いても同様である。
流増幅回路182Aを備えている。電流増幅回路182Aとしてはさまざまな回路構成を
適用することができるが、ここではn型TFT184Aとn型TFT185Aにより電流
増幅回路182Aがカレントミラー回路を構成している。n型TFT184A及びn型T
FT185Aのソース電極又はドレイン電極の一方は外部電源端子187Aに接続されて
おり、定電圧(例えば、接地電圧)に保たれている。n型TFT185Aのソース電極又
はドレイン電極の他方は出力端子186Aに接続されている。n型TFT184Aのソー
ス電極又はドレイン電極の他方はn型TFT184A及びn型TFT185Aのゲート電
極に接続されている。光電変換素子183Aにpin型フォトダイオードを用いる場合に
は、陽極(p型半導体側)はn型TFT184Aのソース電極又はドレイン電極の他方と
接続され、陰極(n型半導体側)は出力端子186Aに接続されている。
体側)に光電流が流れる。これによって、電流増幅回路182Aのn型TFT184Aに
電流が流れ、その電流を流すために必要な電圧がゲート電極で生成される。n型TFT1
85Aのゲート長L、及びチャネル幅Wがn型TFT184Aと等しく、飽和領域で動作
するのであれば、n型TFT184Aとn型TFT185Aのゲート電圧が等しいため、
同じ大きさの電流が流れる。出力電流を増幅したい場合には、n型TFT185Aとして
、n個のTFTを並列接続したものを用いれば良い。その場合、並列した数(n個)に比
例して電流が増幅される。
流増幅回路182Bを備えている。電流増幅回路182Bとしてはさまざまな回路構成を
適用することができるが、ここではp型TFT184Bとp型TFT185Bにより電流
増幅回路182Bがカレントミラー回路を構成している。p型TFT184B及びp型T
FT185Bのソース電極又はドレイン電極の一方は外部電源端子187Bに接続されて
おり、定電圧(例えば、接地電圧)に保たれている。p型TFT185Bのソース電極又
はドレイン電極の他方は出力端子186Bに接続されている。p型TFT184Bのソー
ス電極又はドレイン電極の他方はp型TFT184B及びp型TFT185Bのゲート電
極に接続されている。光電変換素子183Bにpin型フォトダイオードを用いる場合に
は、陽極(p型半導体側)はp型TFT184Bのソース電極又はドレイン電極の他方と
接続され、陰極(n型半導体側)は出力端子186Bに接続されている。
体側)に光電流が流れる。これによって、電流増幅回路182Bのp型TFT184Bに
電流が流れ、その電流を流すために必要な電圧がゲート電極で生成される。p型TFT1
85Bのゲート長L、及びチャネル幅Wがp型TFT184Bと等しく、飽和領域で動作
するのであれば、p型TFT184Bとp型TFT185Bのゲート電圧が等しいため、
同じ大きさの電流が流れる。出力電流を増幅したい場合には、p型TFT185Bとして
、n個のTFTを並列接続したものを用いれば良い。その場合、並列した数(n個)に比
例して電流が増幅される。
等の密着性が高い半導体素子を得ることができる。そのため、信頼性が高いpin型光電
変換素子を作製することができる。また信頼性の高い、pin型光電変換素子を搭載する
半導体装置を作製することができる。
とができる。
の半導体層の端部の側面と第3の半導体層の端部の側面が同一平面上に存在しないように
加工した試料を、走査型電子顕微鏡(以下、SEM(Scanning Electro
n Microscope)という。)及び透過型電子顕微鏡(以下、TEM(Tran
smission Electron Microscope)という。)により観察し
た。図20に示す走査型電子顕微鏡像(以下、SEM像という。)及び図21に示す透過
型電子顕微鏡像(以下、TEM像という。)を参照して、以下に説明する。なお、TEM
像の取得にはSTEM(Scanning Transmission Electro
n Microscope)を用いた。
が形成され、感光性ポリイミド上に感光性アクリルが形成され、感光性アクリル上にp型
半導体層、i型半導体層、及びn型半導体層が順次積層して形成されている。i型半導体
層にはアモルファスシリコンを、p型半導体層及びn型半導体層にはSASを用いた。
200nmとなるように形成した。なお、ここで形成する膜は、酸化珪素膜以外の酸化珪
素系膜、又は窒化珪素系膜でもよい。
して形成した。
(SiH4)を用いてプラズマCVD法により行った。
CVD法により行った。
を用いてプラズマCVD法により行った。その後、レジストを形成した。
ッチング)を行った。
を40:40(sccm)とし、チャンバー内の圧力を2.0Pa、温度を70℃にして
、コイル型の電極に450WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成
し、基板側に100WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアス
パワーを加えることで、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行った。
(sccm)とし、チャンバー内の圧力を2.5Pa、温度を70℃にして、コイル型の
電極に500WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し、基板側に
200WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアスパワーを加え
ることで、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行った。
142.5(sccm)とし、チャンバー内の圧力を5.5Pa、温度を70℃にして、
コイル型の電極に475WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し
、基板側に300WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアスパ
ワーを加えることで、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行った。
端部の側面とn層の端部の側面が同一平面上に存在しない形状のpin層が得られた。後
処理として、アッシングを行った後に所定の薬液を用いてレジストを剥離して除去した。
ここで、所定の薬液には、使用したレジストに適する薬液を用いればよい。
0(B)は第3のエッチングを行わなかった場合の積層構造の断面についてのSEM像を
示す。図21は本発明の積層構造の断面TEM像を示し、図20(A)に対応する。なお
、SEM像については、レジストを除去する前に観察を行った。図20(A)中にはp層
2000、i層2001、及びn層2002が示され、図20(B)中にはp層2003
、i層2004、及びn層2005が示されている。
行っていないため、p層2003の端部の側面を含むテーパ角を有する面は、n層200
5の端部の側面を含むテーパ角を有する面と同一面上に存在する。しかし、本発明を適用
して第3のエッチングまで行った図20(A)ではp層2000の端部の側面を含むテー
パ角を有する面は、n層2002の端部の側面を含むテーパ角を有する面とは異なる面上
に存在する。
クリル2100上にp層2101が設けられ、p層2101上にi層2102が設けられ
、i層2102上にn層2103が設けられている。p層2101、i層2102、及び
n層2103が積層された半導体層の端部の側面はテーパ角の異なる二つの面を有する。
p層の端部の側面とn層の端部の側面が同一平面上に存在しない積層構造を得ることがで
きる。光電変換素子を図20(A)及び図21に示す構造にすることで、リーク電流が低
減された、信頼性の高いpin型光電変換素子を作製することができる。
できる。
とができる。下地に凹凸を形成することで、上に形成される樹脂膜等の密着性を向上させ
ることができる。
イミドが形成され、感光性ポリイミド上に感光性アクリルが形成され、感光性アクリル上
にp型半導体層、i型半導体層、及びn型半導体層が順次積層されて形成されている。半
導体層にはすべてアモルファスシリコンを用いた。
200nmとなるように形成した。なお、酸化珪素膜以外の酸化珪素系膜、又は窒化珪素
系膜でもよい。
積層して形成した。
(SiH4)を用いてプラズマCVD法により行った。
法により行った。
を用いてプラズマCVD法により行った。その後、レジストを形成した。
ッチング)を行った。
を40:40(sccm)とし、チャンバー内の圧力を2.0Pa、温度を70℃にして
コイル型の電極に450WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し
、基板側に100WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアスパ
ワーを加えることで、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行った。
(sccm)とし、チャンバー内の圧力を2.5Pa、温度を70℃にして、コイル型の
電極に500WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し、基板側に
200WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアスパワーを加え
ることで、自己バイアス電圧を生成してオーバーエッチングを含むエッチングを行った。
なお、第2のエッチングはオーバーエッチングを含むように調整する。
142.5(sccm)とし、チャンバー内の圧力を5.5Pa、温度を70℃にして、
コイル型の電極に475WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成し
、基板側に300WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負のバイアスパ
ワーを加えることで、自己バイアス電圧を生成してエッチングを行った。
の端部の側面とn層の端部の側面が同一平面上に存在しない形状のpin層が得られた。
これをSEMにより観察した。図22は本発明の積層構造の断面についてのSEM像を示
す。図22(A)及び図22(B)は基板の端近傍にて取得したSEM像であり、図22
(C)及び図22(D)は基板の中央部にて取得したSEM像である。図22(B)中に
は下地層2200A、半導体層2201A、及びレジスト2202Aが示されている。図
22(D)中には下地層2200B、半導体層2201B、及びレジスト2202Bが示
されている。下地層2200A及び下地層2200Bは、それぞれ凹凸形状の領域220
3A又は領域2203Bを有する。図22より明らかなように、基板の端近傍及び基板の
中央部のどちらにおいても、下地層には凹凸が形成されている。
樹脂膜等の密着性が向上する。密着性が向上することで、信頼性の高いpin型光電変換
素子を歩留まりよく作製することができる。
できる。
至図18を参照して説明する。本発明の光電変換装置を搭載した電子機器としては、コン
ピュータ、ディスプレイ、携帯電話機、又はテレビ等が挙げられる。
筐体703、操作キー704、音声出力部705、音声入力部706、回路基板707、
表示パネル(A)708、表示パネル(B)709、蝶番710、透光性材料部711を
有し、光電変換装置を含む半導体装置712が筐体703の内側に設けられている。
に合わせて表示パネル(A)708及び表示パネル(B)709の輝度の制御、及び半導
体装置712で得られる照度に合わせて操作キー704の照明の制御等を行う。外部光の
照度に合わせて表示パネルの輝度を調整することで、携帯電話機の消費電力を低減するこ
とができ、携帯電話機の特性を向上させることができる。
5(B)に示す携帯電話機の本体721は、筐体722、表示パネル723、操作キー7
24、音声出力部725、音声入力部726、光電変換装置を含む半導体装置727を有
する。更に、図15(B)に示す携帯電話機は光電変換装置を含む半導体装置728を有
する。
体装置727により外部の光を検知し、表示パネル723及び操作キー724の輝度を制
御することが可能である。
光電変換装置を有する半導体装置728が設けられている。光電変換装置を有する半導体
装置728により、表示パネル723に設けられているバックライトの輝度を検出するこ
とも可能となる。
備えた光電変換装置が用いられているので、回路基板に実装する部品点数を削減すること
ができ、携帯電話機本体の小型化を図ることができる。
示部733、キーボード734、外部接続ポート735、及びポインティングデバイス7
36等を有する。
体741、支持台742、表示部743等を有する。
装置の表示部743として、液晶パネルを用いた場合の詳しい構成を図17に示す。
、基板751a、基板751b、基板751aと基板751bに挟まれた液晶層752、
偏光板755a、偏光板755b、及びバックライト753等を有する。また、筐体76
1には光電変換装置を有する半導体装置754が搭載されている。
らなるバックライト753からの光量をRGBそれぞれに対して検知して、その情報がフ
ィードバックされて液晶パネル762の輝度が調節される。具体的には、RGBそれぞれ
のLEDの温度依存性が異なるので、RGBのLEDバックライトの光量をそれぞれ検知
して、LEDのばらつきの補正を行う。また、LEDの劣化の補正を行うことにより、ホ
ワイトバランスを調節する。
導体装置をカメラ(例えばデジタルカメラ)に組み込んだ例を示す。図18(A)は、デ
ジタルカメラの前面方向から見た斜視図であり、図18(B)は、後面方向から見た斜視
図である。図18(A)及び(B)に示すデジタルカメラは、リリースボタン801、メ
インスイッチ802、ファインダ窓803、フラッシュ804、レンズ805、鏡胴80
6、筺体807、ファインダ接眼窓811、モニタ812、及び操作ボタン813を有す
る。リリースボタン801は、半分の位置まで押下されると、焦点調整機構および露出調
整機構が作動し、最下部まで押下されるとシャッターが開く。メインスイッチ802は、
押下又は回転によりデジタルカメラの電源のオンとオフを切り替える。
、図18(B)に示すファインダ接眼窓811から撮影する範囲やピントの位置を確認す
るための装置である。フラッシュ804は、デジタルカメラの前面上部に配置され、被写
体輝度が低いときに、リリースボタンが押下されてシャッターが開くと同時に補助光を照
射する。レンズ805は、デジタルカメラの正面に配置されている。レンズは、フォーカ
シングレンズ、又はズームレンズ等により構成され、図示しないシャッター及び絞りと共
に撮影光学系を構成する。また、レンズの後方には、CCD(Charge Coupl
ed Device)等の撮像素子が設けられている。
ンズの位置を移動するものであり、撮影時には、鏡胴を繰り出すことにより、レンズ80
5を手前に移動させる。また、携帯時には、レンズ805を沈胴させてコンパクトな形態
にする。なお、本実施例においては、鏡胴を繰り出すことにより被写体をズーム撮影する
ことができる構造としているが、この構造に限定されるものではなく、筺体807内での
撮影光学系の構成により鏡胴を繰り出さずともズーム撮影が可能なデジタルカメラに本発
明の光電変換装置を搭載していてもよい。
囲やピントの位置を確認する際に接眼するために設けられた窓である。操作ボタン813
は、デジタルカメラの後面に設けられた各種の機能ボタンであり、セットアップボタン、
メニューボタン、ディスプレイボタン、機能ボタン、及び選択ボタン等を有する。
性の高い電子機器を作製することができる。更には、本発明はこれに限定されず、光を検
出する必要のあるものであれば、いかなるものにも用いることが可能である。
できる。
101 第1の導電層
102 保護層
104 レジスト
105 領域
106 酸化珪素層
107 絶縁層
108 第2の導電層
109 絶縁層
111 第3の導電層
112 第1の導電層
115 下地層
116 領域
117 第2の導電層
200 基板
203 層間絶縁層
204 カラーフィルター層
208 遮光層
209 絶縁層
210 導電層
211 樹脂
212 接点電極
701 本体(A)
702 本体(B)
703 筐体
704 操作キー
705 音声出力部
706 音声入力部
707 回路基板
708 表示パネル(A)
709 表示パネル(B)
710 蝶番
711 透光性材料部
712 半導体装置
721 本体
722 筐体
723 表示パネル
724 操作キー
725 音声出力部
726 音声入力部
727 半導体装置
728 半導体装置
731 本体
732 筐体
733 表示部
734 キーボード
735 外部接続ポート
736 ポインティングデバイス
741 筐体
742 支持台
743 表示部
752 液晶層
753 バックライト
754 半導体装置
761 筐体
762 液晶パネル
801 リリースボタン
802 メインスイッチ
803 ファインダ窓
804 フラッシュ
805 レンズ
806 鏡胴
807 筺体
811 ファインダ接眼窓
812 モニタ
813 操作ボタン
103A 半導体層
103B 半導体層
103C 半導体層
103D 半導体層
110A 開口部
110B 開口部
114A 領域
114C 領域
114D 領域
181A 半導体装置
182A 電流増幅回路
183A 光電変換素子
184A n型TFT
185A n型TFT
186A 出力端子
187A 外部電源端子
181B 半導体装置
182B 電流増幅回路
183B 光電変換素子
184B p型TFT
185B p型TFT
186B 出力端子
187B 外部電源端子
2000 p層
2001 i層
2002 n層
2003 p層
2004 i層
2005 n層
2011 絶縁層
2012 半導体層
2013 不純物領域
2014 チャネル形成領域
2015 絶縁層
2016 導電層
2017 絶縁層
2018 絶縁層
2019 導電層
201A TFT
201B TFT
202A 光電変換素子部
202B 光電変換素子部
204A カラーフィルター層
204B カラーフィルター層
205A 第1の導電層
205B 第1の導電層
205C 遮光層
205D 遮光層
206A オーバーコート層
206B オーバーコート層
207A 遮光層
207B 遮光層
207C 遮光層
207D 遮光層
208A 遮光層
208B 遮光層
208C 遮光層
208D 遮光層
208E 遮光層
2100 感光性アクリル
2101 p層
2102 i層
2103 n層
751a 基板
751b 基板
755a 偏光板
755b 偏光板
2200A 下地層
2200B 下地層
2201A 半導体層
2201B 半導体層
2202A レジスト
2202B レジスト
2203A 領域
2203B 領域
Claims (18)
- 一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有し、
前記第2の半導体層の下部は、第1のテーパ角を有する面を有し、
前記第2の半導体層の上部は、第2のテーパ角を有する面を有し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きく、
前記第2のテーパ角を有する面は、前記第2の半導体層の上部が除去されることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電層と、前記第1の導電層の端部を覆う絶縁層と、前記第1の導電層上及び前記絶縁層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、前記第3の半導体層上の第2の導電層と、を有し、
前記第2の半導体層の下部は、第1のテーパ角を有する面を有し、
前記第2の半導体層の上部は、第2のテーパ角を有する面を有し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きく、
前記第2のテーパ角を有する面は、前記第2の半導体層の上部が除去されることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電層と、前記第1の導電層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、前記第3の半導体層上の第2の導電層と、を有し、
前記第2の半導体層の下部は、第1のテーパ角を有する面を有し、
前記第2の半導体層の上部は、第2のテーパ角を有する面を有し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きく、
前記第2のテーパ角を有する面は、前記第2の半導体層の上部が除去されることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置。 - 一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する光電変換素子を複数有し、
前記第2の半導体層の下部は、第1のテーパ角を有する面を有し、
前記第2の半導体層の上部は、第2のテーパ角を有する面を有し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きく、
前記第2のテーパ角を有する面は、前記第2の半導体層の上部が除去されることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電層と、前記第1の導電層の端部を覆う絶縁層と、前記第1の導電層上及び前記絶縁層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、前記第3の半導体層上の第2の導電層と、を有する光電変換素子を複数有し、、
前記第2の半導体層の下部は、第1のテーパ角を有する面を有し、
前記第2の半導体層の上部は、第2のテーパ角を有する面を有し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きく、
前記第2のテーパ角を有する面は、前記第2の半導体層の上部が除去されることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電層と、前記第1の導電層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、前記第3の半導体層上の第2の導電層と、を有する光電変換素子を複数有し、
前記第2の半導体層の下部は、第1のテーパ角を有する面を有し、
前記第2の半導体層の上部は、第2のテーパ角を有する面を有し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きく、
前記第2のテーパ角を有する面は、前記第2の半導体層の上部が除去されることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2又は請求項5において、
前記絶縁層は、カラーフィルター層と前記カラーフィルタ層上のオーバーコート層とが積層された構造を有することを特徴とする半導体装置。 - 一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する構造を形成し、
前記第1乃至第3の半導体層をエッチングして前記第1乃至第3の半導体層の側面に第1のテーパ角を有する面を形成し、
前記第3の半導体層の端部及び前記第2の半導体層の端部をエッチングすることにより前記第1のテーパ角を有する面の上部を除去して第2のテーパ角を有する面を形成し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きいことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1の導電層と、前記第1の導電層の端部を覆う絶縁層と、前記第1の導電層上及び前記絶縁層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する構造を形成し、
前記第1乃至第3の半導体層をエッチングして前記第1乃至第3の半導体層の側面に第1のテーパ角を有する面を形成し、
前記第3の半導体層の端部及び前記第2の半導体層の端部をエッチングすることにより前記第1のテーパ角を有する面の上部を除去して第2のテーパ角を有する面を形成し、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きいことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する構造を形成し、
前記第3の半導体層上にレジストを形成し、
前記レジストをマスクとして第1のエッチングを行うことによって、前記第3の半導体層と前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストをマスクとして酸素を含むガスを用いた第2のエッチングを行うことによって、前記第2の半導体層の一部と前記第3の半導体層とを除去し、前記レジストを後退させ、前記レジストが後退することによって露出した第3の半導体層の表面を酸化し、
第3のエッチングを行うことによって、第3の半導体層及び前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストを除去することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1の導電層と、前記第1の導電層の端部を覆う絶縁層と、前記第1の導電層上及び前記絶縁層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する構造を形成し、
前記第3の半導体層上にレジストを形成し、
前記レジストをマスクとして第1のエッチングを行うことによって、前記第3の半導体層と前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストをマスクとして酸素を含むガスを用いた第2のエッチングを行うことによって、前記第2の半導体層の一部と前記第3の半導体層とを除去し、前記レジストを後退させ、前記レジストが後退することによって露出した第3の半導体層の表面を酸化し、
第3のエッチングを行うことによって、第3の半導体層及び前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストを除去することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項10又は請求項11において、
前記第1及び第2のエッチングにより第1のテーパー角を有する面が形成され、
前記第3のエッチングにより第2のテーパー角を有する面が形成され、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きいことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 下地層と、下地層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する構造を形成し、
前記第3の半導体層上にレジストを形成し、
前記レジストをマスクとして第1のエッチングを行うことによって、前記第3の半導体層と前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストをマスクとして酸素を含むガスを用いた第2のエッチングを行うことによって、前記第2の半導体層の一部と前記第3の半導体層とを除去し、前記レジストを後退させ、前記レジストが後退することによって露出した第3の半導体層の表面を酸化し、
第3のエッチングを行うことによって、第3の半導体層及び前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストを除去することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 下地層と、前記下地層上の第1の導電層と、前記第1の導電層の端部を覆う絶縁層と、前記第1の導電層上及び前記絶縁層上の一導電型の第1の不純物元素を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上の第2の半導体層と、第2の半導体層の第1の不純物元素と逆の導電型の第2の不純物元素を有する第3の半導体層と、を有する構造を形成し、
前記第3の半導体層上にレジストを形成し、
前記レジストをマスクとして第1のエッチングを行うことによって、前記第3の半導体層と前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストをマスクとして酸素を含むガスを用いた第2のエッチングを行うことによって、前記第2の半導体層の一部と前記第3の半導体層とを除去し、前記レジストを後退させ、前記レジストが後退することによって露出した第3の半導体層の表面を酸化し、
第3のエッチングを行うことによって、第3の半導体層及び前記第2の半導体層の一部を除去し、
前記レジストを除去することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項13又は請求項14において、
前記第1及び第2のエッチングにより第1のテーパー角を有する面が形成され、
前記第3のエッチングにより第2のテーパー角を有する面が形成され、
前記第2のテーパ角は前記第1のテーパ角よりも大きいことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項13乃至請求項15のいずれか一項において、
前記第2のエッチングにおいてオーバーエッチングを施し、前記下地層の表面に凹凸を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項9乃至請求項16のいずれか一項において、
前記レジストを除去した後に前記第1乃至第3の半導体層を覆い開口部を有する保護層を形成し、
前記保護層上に前記開口部において前記第3の半導体層と接続する第2の導電層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項17において、
前記第2の導電層を形成した後に前記第2の導電層を覆う有機樹脂膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010076765A JP5433483B2 (ja) | 2006-04-28 | 2010-03-30 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125830 | 2006-04-28 | ||
JP2006125830 | 2006-04-28 | ||
JP2010076765A JP5433483B2 (ja) | 2006-04-28 | 2010-03-30 | 半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007117904A Division JP4739274B2 (ja) | 2006-04-28 | 2007-04-27 | 光電変換素子並びに半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010177689A true JP2010177689A (ja) | 2010-08-12 |
JP5433483B2 JP5433483B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=38655458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010076765A Expired - Fee Related JP5433483B2 (ja) | 2006-04-28 | 2010-03-30 | 半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7622785B2 (ja) |
JP (1) | JP5433483B2 (ja) |
KR (2) | KR101384247B1 (ja) |
CN (2) | CN101438418B (ja) |
WO (1) | WO2007125932A1 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8120023B2 (en) | 2006-06-05 | 2012-02-21 | Udt Sensors, Inc. | Low crosstalk, front-side illuminated, back-side contact photodiode array |
US7279731B1 (en) * | 2006-05-15 | 2007-10-09 | Udt Sensors, Inc. | Edge illuminated photodiodes |
US8519503B2 (en) | 2006-06-05 | 2013-08-27 | Osi Optoelectronics, Inc. | High speed backside illuminated, front side contact photodiode array |
US8686529B2 (en) | 2010-01-19 | 2014-04-01 | Osi Optoelectronics, Inc. | Wavelength sensitive sensor photodiodes |
US7709921B2 (en) | 2008-08-27 | 2010-05-04 | Udt Sensors, Inc. | Photodiode and photodiode array with improved performance characteristics |
JP4894752B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2012-03-14 | 日本電気株式会社 | 半導体受光素子及びその製造方法 |
KR100769444B1 (ko) * | 2006-06-09 | 2007-10-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광표시장치 |
US9178092B2 (en) | 2006-11-01 | 2015-11-03 | Osi Optoelectronics, Inc. | Front-side illuminated, back-side contact double-sided PN-junction photodiode arrays |
JP5266645B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2013-08-21 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタと該薄膜トランジスタを用いた表示装置 |
JP2009033002A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
BRPI0919221A2 (pt) | 2008-09-15 | 2015-12-08 | Osi Optoelectronics Inc | fotodiodo de espinha de peixe de camada ativa fina com uma camada n+ rasa e método de fabricação do mesmo |
JP4728386B2 (ja) * | 2008-12-17 | 2011-07-20 | Nttエレクトロニクス株式会社 | アバランシ・フォトダイオード |
US8399909B2 (en) | 2009-05-12 | 2013-03-19 | Osi Optoelectronics, Inc. | Tetra-lateral position sensing detector |
JP5335562B2 (ja) | 2009-06-02 | 2013-11-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | メサ型フォトダイオード及びその製造方法 |
US8232617B2 (en) | 2009-06-04 | 2012-07-31 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Flexible lateral pin diodes and three-dimensional arrays and imaging devices made therefrom |
JP5439984B2 (ja) * | 2009-07-03 | 2014-03-12 | ソニー株式会社 | 光電変換装置および放射線撮像装置 |
JP5553707B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-07-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 光検出装置 |
TWI523240B (zh) * | 2009-08-24 | 2016-02-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 光檢測器和顯示裝置 |
KR101840622B1 (ko) * | 2009-12-21 | 2018-05-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 박막 트랜지스터와 그 제작 방법 |
IT1403137B1 (it) * | 2010-06-28 | 2013-10-04 | Selex Sistemi Integrati Spa | Metodo di fabbricazione di diodi pin verticali |
CN101964366A (zh) * | 2010-08-11 | 2011-02-02 | 友达光电股份有限公司 | 光电转换元件 |
KR101793534B1 (ko) * | 2011-01-05 | 2017-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 포토센서 및 그의 제조방법 |
CN103681701B (zh) * | 2012-09-24 | 2016-12-21 | 上海天马微电子有限公司 | 光电转换元件、x射线平板探测装置及其制作方法 |
JP6099035B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2017-03-22 | Nltテクノロジー株式会社 | 光電変換装置及びその製造方法並びにx線画像検出装置 |
US8912615B2 (en) | 2013-01-24 | 2014-12-16 | Osi Optoelectronics, Inc. | Shallow junction photodiode for detecting short wavelength light |
JP2015177155A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光電変換装置および電子機器 |
KR102205856B1 (ko) * | 2014-06-11 | 2021-01-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 센서를 포함하는 유기 발광 표시 장치 |
CN104393008B (zh) * | 2014-11-12 | 2019-03-19 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 具有斜面pn结结构的像元单元及其制造方法 |
KR102471593B1 (ko) * | 2015-06-09 | 2022-11-29 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 수직 전송 게이트를 갖는 이미지 센서 및 그 제조방법 |
WO2017169757A1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器 |
US10217878B2 (en) * | 2016-04-01 | 2019-02-26 | Sunpower Corporation | Tri-layer semiconductor stacks for patterning features on solar cells |
CN105789324B (zh) * | 2016-04-15 | 2019-05-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传感器及其制造方法、电子设备 |
CN109065558B (zh) | 2018-08-09 | 2021-10-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种背板及其制作方法、检测装置 |
CN110676340B (zh) * | 2019-09-29 | 2021-05-04 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 一种紫外探测器 |
CN111599879B (zh) * | 2020-06-11 | 2022-05-31 | 武汉华星光电技术有限公司 | Pin感光器件及其制作方法、及显示面板 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH021184A (ja) * | 1988-02-08 | 1990-01-05 | Ricoh Co Ltd | イメージセンサー |
WO1997048137A1 (fr) * | 1996-06-13 | 1997-12-18 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Photodetecteur de type guide d'ondes a semi-conducteur et procede de fabrication de ce dernier |
JPH1065201A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-03-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体導波路型受光素子とその製造方法 |
JPH10112551A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体導波路型受光素子 |
WO2004068582A1 (ja) * | 2003-01-08 | 2004-08-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 半導体装置及びその作製方法 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5642481A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-20 | Canon Inc | Color picture detector |
JPS5897862A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-10 | Nec Corp | 密着型イメ−ジセンサ |
JPS5897862U (ja) | 1981-12-25 | 1983-07-02 | 東芝ケミカル株式会社 | フレキシブル回路板 |
US4862237A (en) | 1983-01-10 | 1989-08-29 | Seiko Epson Corporation | Solid state image sensor |
JPS60186066A (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 絶縁ゲイト型電界効果半導体装置およびその作製方法 |
JPS60241260A (ja) | 1984-05-16 | 1985-11-30 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JPS63269570A (ja) | 1987-04-27 | 1988-11-07 | Seiko Epson Corp | カラ−イメ−ジセンサ |
JP2735200B2 (ja) | 1987-12-01 | 1998-04-02 | 大日本印刷株式会社 | グラビア輪転機の版胴交換方法及び装置 |
DE3903699A1 (de) | 1988-02-08 | 1989-08-17 | Ricoh Kk | Bildsensor |
JPH0737323Y2 (ja) * | 1988-03-28 | 1995-08-23 | 京セラ株式会社 | カラーセンサー |
JP2717015B2 (ja) | 1990-03-16 | 1998-02-18 | シャープ株式会社 | カラーセンサ |
JPH05167056A (ja) | 1991-12-17 | 1993-07-02 | Olympus Optical Co Ltd | 積層型固体撮像装置 |
JP2711049B2 (ja) * | 1992-07-06 | 1998-02-10 | 日本電信電話株式会社 | 半導体導波路型光検出器およびその製造方法 |
JP3268369B2 (ja) | 1993-02-23 | 2002-03-25 | 株式会社河合楽器製作所 | 高精度板厚の圧延金属板の製造装置 |
US6670599B2 (en) * | 2000-03-27 | 2003-12-30 | Aegis Semiconductor, Inc. | Semitransparent optical detector on a flexible substrate and method of making |
US20030119480A1 (en) * | 2001-02-26 | 2003-06-26 | Jahangir Mohammed | Apparatus and method for provisioning an unlicensed wireless communications base station for operation within a licensed wireless communications system |
US7133669B2 (en) * | 2002-08-02 | 2006-11-07 | Pctel, Inc. | Systems and methods for seamless roaming between wireless networks |
US7008805B2 (en) * | 2002-12-10 | 2006-03-07 | Triquint Technology Holding Co. | Optical device and method of manufacture thereof |
US7485579B2 (en) * | 2002-12-13 | 2009-02-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a semiconductor device |
US6780782B1 (en) * | 2003-02-04 | 2004-08-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Bi-level resist structure and fabrication method for contact holes on semiconductor substrates |
JP4247017B2 (ja) * | 2003-03-10 | 2009-04-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器の製造方法 |
KR101102370B1 (ko) | 2003-03-26 | 2012-01-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 다방향으로부터의 빛을 검출하는 광센서, 휴대용 통신기기및 표시 방법 |
JP2005129909A (ja) | 2003-09-19 | 2005-05-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光センサー装置および電子機器 |
US7253391B2 (en) | 2003-09-19 | 2007-08-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Optical sensor device and electronic apparatus |
US7495272B2 (en) | 2003-10-06 | 2009-02-24 | Semiconductor Energy Labortaory Co., Ltd. | Semiconductor device having photo sensor element and amplifier circuit |
EP1523043B1 (en) | 2003-10-06 | 2011-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Optical sensor and method for manufacturing the same |
JP4827396B2 (ja) | 2003-10-06 | 2011-11-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US7081628B2 (en) * | 2003-11-10 | 2006-07-25 | Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc | Spatially patterned light-blocking layers for radiation imaging detectors |
US7492028B2 (en) | 2005-02-18 | 2009-02-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and manufacturing method of the same, and a semiconductor device |
DE602006001686D1 (de) * | 2005-05-23 | 2008-08-21 | Semiconductor Energy Lab | Photoelektrische Umwandleranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US20070264989A1 (en) * | 2005-10-03 | 2007-11-15 | Rajesh Palakkal | Rendezvous calling systems and methods therefor |
WO2007058183A1 (en) | 2005-11-18 | 2007-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device |
-
2007
- 2007-04-17 WO PCT/JP2007/058887 patent/WO2007125932A1/en active Application Filing
- 2007-04-17 KR KR1020087029183A patent/KR101384247B1/ko active IP Right Grant
- 2007-04-17 CN CN2007800151705A patent/CN101438418B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-17 CN CN2010105713257A patent/CN102082189B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-17 KR KR1020127009194A patent/KR101384248B1/ko active IP Right Grant
- 2007-04-19 US US11/737,477 patent/US7622785B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-10-08 US US12/575,910 patent/US7791154B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010076765A patent/JP5433483B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-12 US US12/834,040 patent/US8154096B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH021184A (ja) * | 1988-02-08 | 1990-01-05 | Ricoh Co Ltd | イメージセンサー |
WO1997048137A1 (fr) * | 1996-06-13 | 1997-12-18 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Photodetecteur de type guide d'ondes a semi-conducteur et procede de fabrication de ce dernier |
JPH1065201A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-03-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体導波路型受光素子とその製造方法 |
JPH10112551A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体導波路型受光素子 |
WO2004068582A1 (ja) * | 2003-01-08 | 2004-08-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 半導体装置及びその作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7622785B2 (en) | 2009-11-24 |
CN101438418A (zh) | 2009-05-20 |
CN102082189A (zh) | 2011-06-01 |
KR20120054646A (ko) | 2012-05-30 |
US20070278606A1 (en) | 2007-12-06 |
CN102082189B (zh) | 2012-11-28 |
KR101384247B1 (ko) | 2014-04-14 |
US20100019337A1 (en) | 2010-01-28 |
US7791154B2 (en) | 2010-09-07 |
US8154096B2 (en) | 2012-04-10 |
US20100276773A1 (en) | 2010-11-04 |
CN101438418B (zh) | 2011-01-26 |
JP5433483B2 (ja) | 2014-03-05 |
WO2007125932A1 (en) | 2007-11-08 |
KR101384248B1 (ko) | 2014-04-11 |
KR20090021269A (ko) | 2009-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5433483B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR101282803B1 (ko) | 반도체 장치 | |
KR101389808B1 (ko) | 광전변환장치 | |
US8138004B2 (en) | Photoelectric conversion device, manufacturing method thereof and semiconductor device | |
JP5844858B2 (ja) | 半導体装置の作製方法、及び、半導体装置 | |
TWI464808B (zh) | 薄膜電晶體陣列基板及其製作方法 | |
JP2009147203A (ja) | フォトセンサー、及びフォトセンサーの製造方法 | |
JP2008263182A (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US10629834B2 (en) | Thin film transistor, method for preparing the same, and display device | |
JP4739274B2 (ja) | 光電変換素子並びに半導体装置 | |
JP5137418B2 (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130501 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5433483 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |