JP5137418B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態を、図1、図2(A)〜図2(B)、図3(A)〜図3(B)、図4(A)〜図4(B)、図5(A)〜図5(B)、図6、図7、図8(A)〜図8(B)、図9(A)〜図9(B)、図12、並びに図18(A)〜図18(D)を用いて説明する。
本実施の形態では、実施の形態1とは違う構成の半導体装置の例を示す。ただし実施の形態1と同じものは同じ符号を用い、特に言及しないものに関するものの説明は、実施の形態1を援用する。
本実施の形態では、図10に示す構成にさらに、下地膜202と層間絶縁膜204との間にカラーフィルタ133を設けた構成について図11及び図21を用いて説明する。
101 電極
102 電極
103 カラーフィルタ
104 オーバーコート層
105 光電変換層
105p p型半導体膜
105i i型半導体膜
105n n型半導体膜
106 端部
107 端部
108 端部
109 端部
111 光電変換装置
112 光電変換装置
113 電極
114 電極
115 電極
116 電極
121 電極
122 電極
123 カラーフィルタ
123R カラーフィルタ
123G カラーフィルタ
123B カラーフィルタ
124 オーバーコート層
125 光電変換層
125p p型半導体膜
125i i型半導体膜
125n n型半導体膜
133 カラーフィルタ
134 カラーフィルタ
135 オーバーコート層
136 オーバーコート層
141 半導体装置
142 増幅回路
143 光電変換装置
144 薄膜トランジスタ
145 薄膜トランジスタ
146 端子
147 端子
151 絶縁膜
153 電極
155 電極
161 絶縁膜
165 電極
166 電極
201 基板
202 下地膜
203 層間絶縁膜
204 層間絶縁膜
211 薄膜トランジスタ
212 薄膜トランジスタ
213 層間絶縁膜
221 ソース電極またはドレイン電極
222 ソース電極またはドレイン電極
701 本体(A)
702 本体(B)
703 筐体
704 操作キー
705 音声出力部
706 音声入力部
707 回路基板
708 表示パネル(A)
709 表示パネル(B)
710 蝶番
711 透光性材料部
712 半導体装置
721 本体
722 筐体
723 表示パネル
724 操作キー
725 音声出力部
726 音声入力部
727 半導体装置
728 半導体装置
731 本体
732 筐体
733 表示部
734 キーボード
735 外部接続ポート
736 ポインティングマウス
741 筐体
742 支持台
743 表示部
761 筐体
751a 基板
751b 基板
752 液晶層
755a 偏光フィルタ
755b 偏光フィルタ
753 バックライト
754 半導体装置
762 液晶パネル
801 リリースボタン
802 メインスイッチ
803 ファインダ窓
804 フラッシュ
805 レンズ
806 鏡胴
807 筺体
811 ファインダ接眼窓
812 モニタ
813 操作ボタン
1001 絶縁表面
1002 電極
1003 カラーフィルタ
1004 オーバーコート層
1005 半導体膜
1005p p型半導体膜
1005i i型半導体膜
1005n n型半導体膜
1014 オーバーコート層
1015 光電変換層
1015p p型半導体膜
1015i i型半導体膜
1015n n型半導体膜
1021 絶縁表面
1022 電極
1023 カラーフィルタ
1024 オーバーコート層
1025 光電変換層
1025p p型半導体膜
1025i i型半導体層
1025n n型半導体膜
1034 オーバーコート層
Claims (16)
- 絶縁表面上に形成された第1の電極及び第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間にカラーフィルタと、
前記カラーフィルタを覆うオーバーコート層と、
前記オーバーコート層上に、一導電型を有する第1の半導体膜と、第2の半導体膜と、前記第1の半導体膜とは逆の導電型を有する第3の半導体膜とを有する光電変換層とを有し、
前記光電変換層の一方の端部は、前記第1の電極と接しており、
前記第1の電極は、少なくとも、前記光電変換層の一方の端部、前記カラーフィルタの一方の端部、及び前記オーバーコート層の一方の端部と重なり、
前記第2の電極は、少なくとも、前記光電変換層の他方の端部、前記カラーフィルタの他方の端部、及び前記オーバーコート層の他方の端部と重なり、
前記カラーフィルタの他方の端部は、前記光電変換層の他方の端部より内側にあることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1の半導体膜は前記オーバーコート層に接して設けられ、
前記第2の半導体膜は前記第1の半導体膜に接して設けられ、
前記第3の半導体膜は前記第2の半導体膜に接して設けられ、
前記第1の電極と前記第1の半導体膜は電気的に接していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2において、
前記絶縁表面とは基板表面であり、
前記基板は、透光性を有するガラス基板または可撓性基板であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2において、
前記絶縁表面とは、基板上に設けられた絶縁膜の表面であり、
前記絶縁膜は、酸化珪素膜、窒化珪素膜、窒素を含む酸化珪素膜、酸素を含む窒化珪素膜のうちのいずれか1つであることを特徴とする半導体装置。 - 基板上に形成された遮光層と、
前記遮光層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された電極と、
前記絶縁膜上に形成され、前記電極に一部が接するカラーフィルタと、
前記カラーフィルタを覆うオーバーコート層と、
前記オーバーコート層上に一導電型を有する第1の半導体膜と、第2の半導体膜と、前記第1の半導体膜とは逆の導電型を有する第3の半導体膜とを有する光電変換層とを有し、
前記光電変換層の一方の端部は、前記電極と接しており、
前記電極は、少なくとも、前記光電変換層の一方の端部、前記カラーフィルタの一方の端部、及び前記オーバーコート層の一方の端部と重なり、
前記遮光層は、少なくとも、前記光電変換層の他方の端部、前記カラーフィルタの他方の端部、及び前記オーバーコート層の他方の端部と重なり、
前記カラーフィルタの他方の端部は、前記光電変換層の他方の端部より内側にあることを特徴とする半導体装置。 - 基板上に形成された第1及び第2の遮光層と、
前記第1及び第2の遮光層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタを覆う層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された電極と、
前記層間絶縁膜上に形成され、前記電極に一部が接するカラーフィルタと、
前記カラーフィルタを覆うオーバーコート層と、
前記オーバーコート層上に一導電型を有する第1の半導体膜と、第2の半導体膜と、前記第1の半導体膜とは逆の導電型を有する第3の半導体膜とを有する光電変換層とを有し、
前記光電変換層の一方の端部は、前記電極と接しており、
前記電極は、少なくとも、前記光電変換層の一方の端部、前記カラーフィルタの一方の端部、及び前記オーバーコート層の一方の端部と重なり、
前記第1の遮光層は、少なくとも前記薄膜トランジスタと重なり、
前記第2の遮光層は、少なくとも、前記光電変換層の他方の端部、前記カラーフィルタの他方の端部、及び前記オーバーコート層の他方の端部と重なり、
前記カラーフィルタの他方の端部は、前記光電変換層の他方の端部より内側にあることを特徴とする半導体装置。 - 請求項6において、
前記第1の遮光層は、前記薄膜トランジスタの少なくともチャネル部と重なることを特徴とする半導体装置。 - 請求項5乃至7のいずれか1項において、
前記第1の半導体膜は前記オーバーコート層に接して設けられ、
前記第2の半導体膜は前記第1の半導体膜に接して設けられ、
前記第3の半導体膜は前記第2の半導体膜に接して設けられ、
前記電極と前記第1の半導体膜は電気的に接していることを特徴とする半導体装置。 - 基板上に形成された第1及び第2の遮光層、前記第1及び第2の遮光層に接するカラーフィルタ、及び薄膜トランジスタと、
前記カラーフィルタを覆うオーバーコート層と、
前記第1及び第2の遮光層、前記カラーフィルタ、及び前記薄膜トランジスタを覆う層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された電極と、
前記層間絶縁膜上に形成され、前記電極に一部が接する光電変換層とを有し、
前記光電変換層は、一導電型を有する第1の半導体膜、第2の半導体膜、及び前記第1の半導体膜とは逆の導電型を有する第3の半導体膜を有し、
前記光電変換層の一方の端部は、前記電極と接しており、
前記電極は、少なくとも、前記光電変換層の一方の端部と重なり、
前記第1の遮光層は、少なくとも、前記カラーフィルタの一方の端部及び前記オーバーコート層の一方の端部と重なり、
前記第2の遮光層は、少なくとも、前記光電変換層の他方の端部、前記カラーフィルタの他方の端部、及び前記オーバーコート層の他方の端部と重なり、
前記カラーフィルタの他方の端部は、前記光電変換層の他方の端部より内側にあることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9において、
前記第1の半導体膜は前記層間絶縁膜に接して設けられ、
前記第2の半導体膜は前記第1の半導体膜に接して設けられ、
前記第3の半導体膜は前記第2の半導体膜に接して設けられることを特徴とする半導体装置。 - 請求項5乃至10のいずれか1項において、
前記基板は、透光性を有するガラス基板または可撓性基板であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至11のいずれか1項において、
前記光電変換層の一方の端部及び他方の端部は、前記カラーフィルタの一方の端部及び他方の端部より外側にあることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至12のいずれか1項において、
前記オーバーコート層は、有機樹脂絶縁材料を含む層、無機絶縁材料を含む層、又は、有機絶縁材料と無機絶縁材料とを含む層であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項13において、
前記有機樹脂絶縁材料は、アクリル又はポリイミドであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項13において、
前記無機絶縁材料は、窒化珪素、酸化珪素、窒素を含む酸化珪素、又は、酸素を含む窒化珪素のいずれか1つであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至15のいずれか1項において、
前記第1の半導体膜、前記第2の半導体膜、及び、前記第3の半導体膜のそれぞれは、アモルファス半導体膜、又は、セミアモルファス半導体膜であることを特徴とする半導体装置。
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