JP2010172999A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】略矩形状の配置面31aを有する基台31と、配置面31aに配置され、回転可能に配設されたターンテーブル37と、ターンテーブル37に回転可能に配置され、半導体ウェーハWを保持する保持面54aを有するチャックテーブル51と、保持面54aに保持された半導体ウェーハWを加工する加工ユニット33、34、35と、保持面54aに向けて加工ユニット33、34、35を進退可能に支持すると共に、配置面31aの角側においてターンテーブル37に近接配置された側方支柱部42、43、44とを備えた。
【選択図】図5
Description
2 搬入搬出ユニット
3 ウェーハ加工ユニット
31 基台
31a 配置面
31b 開口部
33 荒研削ユニット(加工ユニット)
34 研削ユニット(加工ユニット)
35 研磨ユニット(加工ユニット)
37 ターンテーブル
37a 開口部
41 中央支柱部
42、43、44 側方支柱部(支柱部)
46、47、48 連結部
51 チャックテーブル
52 テーブル部
53 傾斜機構
54 吸着保持部
54a 保持面
55、56 可動支持部
57 固定支持部
62、72、82 ガイドレール(ガイド部)
64、74、84 ボールネジ
66、76 研削砥石(砥石)
86 研磨砥石(砥石)
W 半導体ウェーハ(ワーク)
Claims (11)
- 略多角形状の配置面を有する基台と、
前記配置面に配置され、回転可能に配設されたターンテーブルと、
前記ターンテーブルに回転可能に配置され、ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、
前記保持面に保持されたワークを加工する加工ユニットと、
前記保持面に向けて前記加工ユニットを進退可能に支持すると共に、前記配置面の角側において前記ターンテーブルに近接配置された支柱部とを備えたことを特徴とする加工装置。 - 前記ターンテーブルには中央に開口部が形成されており、
前記開口部の内側に中央支柱部が配置され、
前記支柱部は、連結部により前記中央支柱部に連結され、前記連結部を介して前記加工ユニットを支持することを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 前記支柱部は、2以上であり、それぞれ前記加工ユニットを支持し、
一の支柱部と中央支柱部とを結ぶ直線と、残りの支柱部と中央支柱部とを結ぶ直線とが直交する位置関係となるように、前記支柱部が前記ターンテーブルに近接配置されることを特徴とする請求項2に記載の加工装置。 - 前記加工ユニットを進退方向にガイドする3つ以上のガイド部を備え、
前記加工ユニットの進退方向に対して垂直な平面上において、前記加工ユニットによる前記ワークの加工部分が、前記3つ以上のガイド部の設置位置を頂点とした仮想面の重心位置を含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の加工装置。 - 前記加工ユニットを進退方向にガイドする一対のガイド部を備え、
前記加工ユニットの進退方向に対して垂直な平面上において、前記加工ユニットによる前記ワークの加工部分が、前記一対のガイド部の設置位置を結ぶ直線の一部を含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の加工装置。 - 前記加工ユニットは、リング状の加工面を有する砥石を有し、
前記加工ユニットの進退方向に対して垂直な平面上において、前記砥石の加工面と前記ワークとが接触する加工部分が円弧状領域であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の加工装置。 - 駆動力を受けて前記加工ユニットを前記進退方向に直動させるボールネジ機構を備え、
前記ボールネジ機構は、前記加工ユニットの進退方向に対して垂直な平面上において、前記加工ユニットによる前記ワークの加工部分に近接して配置されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の加工装置。 - 前記ターンテーブルは、外周縁部側において基台に支持されており、
前記チャックテーブルは、テーブル部と前記テーブル部の傾きを調整する傾斜機構を有し、
前記傾斜機構は、前記加工ユニットの進退方向に対して垂直な平面上における前記テーブル部の中心を重心位置とした三角形の3つの頂点のうち、2点に対応する位置において前記テーブル部の支持位置を前記進退方向に移動可能とする第1の可動支持部および第2の可動支持部と、残りの1点に対応する位置において前記テーブル部の支持位置を固定とする固定支持部とを有し、
前記固定支持部は、前記第1の可動支持部および前記第2の可動支持部よりも前記ターンテーブルの外周縁部側に位置することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の加工装置。 - 前記固定支持部は、前記加工ユニットの進退方向に対して垂直な平面上において、前記第1の可動支持部および前記第2の可動支持部よりも前記加工ユニットによる前記ワークの加工部分に近接配置されていることを特徴とする請求項8に記載の加工装置。
- 前記チャックテーブルは、回転中心を頂点とした円錐形状の保持面を有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の加工装置。
- 前記配置面は、略矩形状であることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれかに記載の加工装置。
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