JP2018085537A - 加工装置のセッティング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ・・・ 保持手段
2a・・・ 回転軸
21・・・ インデックステーブル
22・・・ チャック
22a・・・チャック面
23・・・ 仕切板
24・・・ 第1の可動支持部(第1の傾斜手段)
24a・・・スライドブロック
24b・・・固定ブロック
24c・・・調整ネジ
25・・・ 第1の固定支持部(第1の傾斜手段)
3 ・・・ メインユニット
4 ・・・ コラム
4a・・・ 前面
4b・・・ (粗研削手段を収容する)溝
4c・・・ (精研削手段を収容する)溝
41・・・ 基部
41a・・・支柱
42・・・ 中央柱部
5 ・・・ 粗研削手段
51・・・ 粗研削砥石
52・・・ 第1のスピンドル
53・・・ 第1のスピンドル送り機構
6 ・・・ 精研削手段
61・・・ 精研削砥石
62・・・ 第2のスピンドル
63・・・ 第2のスピンドル送り機構
7 ・・・ 第1のガイド
71・・・ 前方ガイド
71a・・・スライダ
72・・・ 後方ガイド
8 ・・・ 第2のガイド
81・・・ 前方ガイド
82・・・ 後方ガイド
9 ・・・ 第2の傾斜手段
91・・・ 第2の可動支持部
91a・・・スライドブロック
91b・・・固定ブロック
91c・・・調整ネジ
92・・・ 第2の固定支持部
93・・・ チルトテーブル
H ・・・ 水平方向
S1・・・ アライメントステージ
S2・・・ 粗研削ステージ
S3・・・ 精研削ステージ
V ・・・ 鉛直方向
W ・・・ ウェハ
Claims (1)
- 保持手段の上方にコラムを跨設し、該コラムに粗研削手段及び精研削手段を設け、前記保持手段に保持されたウェハを前記粗研削手段及び精研削手段で研削加工する加工装置を用いて研削加工を実施する前に行う加工装置のセッティング方法であって、
前記保持手段は、前記ウェハを保持する複数のチャックと、前記チャックを傾斜させる第1の傾斜手段と、を備え、
前記粗研削手段は、前記ウェハを研削する粗研削砥石と、前記粗研削砥石を傾斜させる第2の傾斜手段と、を備え、
前記精研削手段の精研削砥石で前記チャックのチャック面を平坦且つ前記チャックの回転軸に対して垂直に形成し、
前記精研削砥石の回転軸に対して前記チャックの回転軸が所定範囲内に収まるように、前記第1の傾斜手段で前記チャックの回転軸を傾斜させ、
前記チャックの回転軸に対して前記粗研削砥石の回転軸が所定範囲内に収まるように、前記第2の傾斜手段で前記粗研削砥石の回転軸を傾斜させることを特徴とする加工装置のセッティング方法。
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-
2018
- 2018-01-25 JP JP2018010915A patent/JP6748660B2/ja active Active
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