JP7469440B2 - 研削装置 - Google Patents
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
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Description
2 ・・・保持手段
21 ・・・インデックステーブル
22 ・・・チャック
24 ・・・可動支持部
25 ・・・固定支持部
26 ・・・チルトテーブル
3 ・・・コラム
41 ・・・粗研削砥石
51 ・・・中研削砥石
61 ・・・精研削砥石
7 ・・・第1のガイド
8 ・・・第2のガイド
9 ・・・第3のガイド
L1 ・・・チルト軸
L2 ・・・垂線
O1 ・・・(チャックの)回転中心
O2 ・・・(インデックステーブルの)回転中心
W ・・・ウェハ
a1 ・・・(インデックステーブルの)回転軸
a2 ・・・(チャックの)回転軸
Claims (1)
- ウェハを複数の研削手段で連続して研削する研削装置であって、
前記ウェハを吸着保持し、各チルト機構によりチルト軸を基準として傾斜する複数のチャックと、
前記複数のチャックを配置し、前記複数のチャックを前記複数の研削手段の間で搬送するインデックステーブルと、
を備え、
前記複数の研削手段は、
前記ウェハを研削する粗研削砥石を備えている粗研削機構と、
前記ウェハを研削する中研削砥石を備えている中研削機構と、
前記ウェハを研削する精研削砥石を備えている精研削機構と、
を少なくとも含み、
平面から視て、前記粗研削砥石が前記チャックに吸着保持された前記ウェハの接触面に接触することにより前記接触面に形成される前記ウェハの回転中心と前記チルト軸が前記チャックの外周に交わる2つの交点の一方とを端点とする第1円弧と、前記中研削砥石が前記接触面に接触することにより前記接触面に形成される前記回転中心と前記チルト軸が前記チャックの外周に交わる2つの交点の一方とを端点とする第2円弧と、が前記接触面内において前記回転中心を通り前記チルト軸に対する垂線に対して互いに線対称に形成されて前記ウェハが回転して研削加工された際に互いに交差するように、前記インデックステーブルに対して前記粗研削機構及び前記中研削機構が配置され、
平面から視て、前記第2円弧と、前記精研削砥石が前記接触面に接触することにより前記接触面に形成される前記回転中心と前記チルト軸が前記チャックの外周に交わる2つの交点の一方とを端点とする第3円弧と、が前記接触面内において前記垂線に対して互いに線対称に形成されて前記ウェハが回転して研削加工された際に互いに交差するように、前記インデックステーブルに対して前記中研削機構及び精研削機構が配置されている、
ことを特徴とする研削装置。
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