JP2023025122A - 研削装置 - Google Patents
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- 230000032258 transport Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
2 ・・・保持手段
21 ・・・インデックステーブル
22 ・・・チャック
24 ・・・可動支持部
25 ・・・固定支持部
26 ・・・チルトテーブル
3 ・・・コラム
41 ・・・粗研削砥石
51 ・・・中研削砥石
61 ・・・精研削砥石
7 ・・・第1のガイド
8 ・・・第2のガイド
9 ・・・第3のガイド
L1 ・・・チルト軸
L2 ・・・垂線
O1 ・・・(チャックの)回転中心
O2 ・・・(インデックステーブルの)回転中心
W ・・・ウェハ
a1 ・・・(インデックステーブルの)回転軸
a2 ・・・(チャックの)回転軸
Claims (1)
- ウェハを複数の研削手段で連続して研削する研削装置であって、
前記ウェハを吸着保持する複数のチャックと、
前記複数のチャックを配置し、前記複数のチャックを前記複数の研削手段の間で搬送するインデックステーブルと、
を備え、
前記複数の研削手段は、
前記ウェハを研削する粗研削砥石を備えている粗研削機構と、
前記ウェハを研削する中研削砥石を備えている中研削機構と、
前記ウェハを研削する精研削砥石を備えている精研削機構と、
を少なくとも含み、
平面から視て、前記粗研削砥石が前記ウェハに接触する領域であって前記ウェハの周方向に向けて凸の円弧と前記中研削砥石が前記ウェハに接触する領域であって前記ウェハの周方向に向けて凸の円弧とが前記ウェハの被研削面内において互いに向き合うように、前記チャックに対して前記粗研削機構及び前記中研削機構が配置され、
平面から視て、前記中研削砥石が前記ウェハに接触する領域であって前記ウェハの周方向に向けて凸の円弧と前記精研削砥石が前記ウェハに接触する領域であって前記ウェハの周方向に向けて凸の円弧とが前記ウェハの被研削面内において互いに向き合うように、前記チャックに対して前記中研削機構及び前記精研削機構が配置されている、
ことを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022189700A JP7469440B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-11-28 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018044790A JP7082505B2 (ja) | 2018-03-12 | 2018-03-12 | 加工装置 |
JP2022086602A JP7358560B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-05-27 | 加工装置 |
JP2022189700A JP7469440B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-11-28 | 研削装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022086602A Division JP7358560B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-05-27 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023025122A true JP2023025122A (ja) | 2023-02-21 |
JP7469440B2 JP7469440B2 (ja) | 2024-04-16 |
Family
ID=67995479
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018044790A Active JP7082505B2 (ja) | 2018-03-12 | 2018-03-12 | 加工装置 |
JP2022086602A Active JP7358560B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-05-27 | 加工装置 |
JP2022189700A Active JP7469440B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-11-28 | 研削装置 |
JP2023166032A Pending JP2023179574A (ja) | 2018-03-12 | 2023-09-27 | 加工装置 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018044790A Active JP7082505B2 (ja) | 2018-03-12 | 2018-03-12 | 加工装置 |
JP2022086602A Active JP7358560B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-05-27 | 加工装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023166032A Pending JP2023179574A (ja) | 2018-03-12 | 2023-09-27 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP7082505B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7082505B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-06-08 | 株式会社東京精密 | 加工装置 |
JP2021030647A (ja) | 2019-08-28 | 2021-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | 記録条件の決定方法および記録装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4455750B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2010-04-21 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2008264913A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削加工装置 |
JP6283081B1 (ja) * | 2016-09-28 | 2018-02-21 | 株式会社東京精密 | 加工装置のセッティング方法 |
JP7082505B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-06-08 | 株式会社東京精密 | 加工装置 |
-
2018
- 2018-03-12 JP JP2018044790A patent/JP7082505B2/ja active Active
-
2022
- 2022-05-27 JP JP2022086602A patent/JP7358560B2/ja active Active
- 2022-11-28 JP JP2022189700A patent/JP7469440B2/ja active Active
-
2023
- 2023-09-27 JP JP2023166032A patent/JP2023179574A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023179574A (ja) | 2023-12-19 |
JP2022122942A (ja) | 2022-08-23 |
JP7469440B2 (ja) | 2024-04-16 |
JP7358560B2 (ja) | 2023-10-10 |
JP7082505B2 (ja) | 2022-06-08 |
JP2019155525A (ja) | 2019-09-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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