JP2018027594A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
するとともにカセット5bに研削後のウエーハを搬入する搬出入手段6が配設されている。搬出入手段6の可動範囲には、研削前のウエーハを仮置きするための仮置きテーブル7と、
研削後のウエーハを洗浄する洗浄手段9とが配設されている。
少なくとも研削手段及びY方向移動手段13を制御する制御手段70とを備えている。Y方向移動手段13は、保持テーブルを±Y方向に直線移動させることにより保持テーブル10に対してウエーハを搬入出する搬入出位置P1と保持テーブル10に保持されたウエーハを研削手段により研削する研削位置P2とにそれぞれ位置づけることが可能となっている。
5a,5b:カセット 6:搬出入手段 7:仮置きテーブル
8a:第1の搬送手段 8b:第2の搬送手段 9:洗浄手段
10:保持テーブル 10a:保持面 11:モータ 12:カバー
13,13A:Y方向移動手段
14:厚み測定手段 14a:第1のハイトゲージ 14b:第2のハイトゲージ
15:固定軸
20:第1の回転手段 21:スピンドル 22:モータ
23:スピンドルハウジング 24:ホルダ 25:マウント 26:粗研削ホイール
27:粗研削砥石 28a,28b:調整軸 29:固定軸
30:第2の回転手段 31:スピンドル 32:モータ
33:スピンドルハウジング 34:ホルダ 35:マウント
36:仕上げ研削ホイール 37:仕上げ研削砥石
38a,38b:調整軸 39:固定軸
40:第1の研削送り手段 41:ボールネジ 42:モータ
43:ガイドレール 44:昇降板
50:第2の研削送り手段 51:ボールネジ 52:モータ
53:ガイドレール 54:昇降板
60:X方向移動手段 61:ボールネジ 62:モータ 63:ガイドレール
64,65:可動部 70,70A:制御手段
80:第3の研削送り手段 81:ボールネジ 82:モータ 83:ガイドレール
84:昇降部
90:X方向移動手段 91:ボールネジ 92:モータ 93:ガイドレール
94:可動部
Claims (3)
- ウエーハを保持する回転可能な保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたウエーハを研削砥石で研削する研削手段と、該保持テーブルをY方向に直線移動させることにより該保持テーブルに対してウエーハを搬入出する搬入出位置と該保持テーブルに保持されたウエーハを該研削手段により研削する研削位置とにそれぞれ位置づけるY方向移動手段と、少なくとも該研削手段及び該Y方向移動手段を制御する制御手段とを備える研削装置であって、
該研削手段は、研削砥石を環状に配設した研削ホイールが回転可能に装着される回転手段と、
該回転手段を該保持テーブルに対して垂直方向となるZ方向に研削送りする研削送り手段と、
該研削送り手段を該Z方向及び該Y方向に直交するX方向に移動させるX方向移動手段と、を備え、
該制御手段は、ウエーハが保持された該保持テーブルを該Y方向移動手段により該研削位置に位置づけた後、該X方向移動手段により該回転手段に装着された該研削砥石を該保持テーブルに保持されたウエーハの中心を通過する位置に位置づけたのち該研削送り手段によって該回転手段を研削送りすることによりウエーハを研削する研削装置。 - 前記研削手段は、粗研削砥石を環状に配設した粗研削ホイールが回転可能に装着される第1の回転手段と、
該第1の回転手段を前記保持テーブルに対して垂直方向となる前記Z方向に研削送りする第1の研削送り手段と、
仕上げ研削砥石を環状に配設した仕上げ研削ホイールが回転可能に装着される第2の回転手段と、
該第2の回転手段を該保持テーブルに対して垂直方向となる該Z方向に研削送りする第2の研削送り手段と、
該第1の研削送り手段及び該第2の研削送り手段をともに該Z方向及び前記Y方向に直交する前記X方向に移動させる前記X方向移動手段と、を備え、
前記制御手段は、ウエーハが保持された該保持テーブルを前記Y方向移動手段により前記研削位置に位置づけた後、該X方向移動手段により該粗研削砥石又は該仕上げ研削砥石を該保持テーブルに保持されたウエーハの中心を通過する位置に位置づけたのち該第1の研削送り手段又は該第2の研削送り手段によって該第1の回転手段又は該第2の回転手段を研削送りすることによりウエーハを研削する請求項1記載の研削装置。 - 前記研削手段は、前記第1の回転手段と前記第2の回転手段とをともに前記保持テーブルに対して垂直方向となる前記Z方向に研削送りする第3の研削送り手段と、
該第3の研削送り手段を該Z方向及び前記Y方向に直交する前記X方向に移動させる前
記X方向移動手段と、を備え、
該第1の回転手段と該第2の回転手段とは、該粗研削砥石又は該仕上げ研削砥石の一方が該保持テーブルに保持されたウエーハの中心を通過し他方がウエーハに接触しない距離だけ該X方向に離間して配設され、
前記制御手段は、ウエーハが保持された該保持テーブルを前記Y方向移動手段により前記研削位置に位置づけた後、該X方向移動手段により該粗研削砥石又は該仕上げ研削砥石を該保持テーブルに保持されたウエーハの中心を通過する位置に位置づけたのち該第3の研削送り手段によって該第1の回転手段及び該第2の回転手段をともに研削送りすることによりウエーハを研削する請求項2記載の研削装置。
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