JP2010150662A - 直線状堆積供給源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】堆積供給源100であって、a)堆積材料を収容する複数の坩堝102と、b)複数のコンダクタンスチャネルを備える本体112と、c)坩堝とコンダクタンスチャネルと熱的な連通をするように配置されたヒータと、d)複数の坩堝のうちの少なくとも1つに、部分的な熱分離を提供する熱シールドと、e)複数のノズルからなり、該ノズルの各々の入力は該複数のコンダクタンスチャネルの出力に連結され、蒸発した堆積材料は、該複数の坩堝から、該コンダクタンスチャネルを通って該ノズルまで移送され、該蒸発した堆積材料は該ノズルから排出され堆積フラックスを形成する。
【選択図】図1
Description
本願は、2009年2月27日に出願された米国仮特許出願第61/156,348号(名称「Deposition Sources, Systems, and Related Methods for Co−Depositing Copper, Indium, and Gallium」)および2008年12月18日に出願された米国仮特許出願第61/138,932号(名称「Deposition Sources, Systems, and Related Methods for Co−Depositing Copper, Indium, and Gallium」)の両出願に対する優先権を主張する。米国仮特許出願第61/156,348号および米国仮特許出願第61/138,932号の明細書の全てが本明細書において参照により援用される。
広領域の基板堆積システムは、非常に多くの種類の基板材料の可撓性ウェブ基板および剛性のパネル基板を処理するために、長年にわたり使用されてきた。多くの公知のシステムは、可塑性のウェブ基板および剛性のパネルガラス基板を処理するように設計されている。ウェブ基板または剛性のパネルは、直線状堆積供給源のすぐ上を通過する。ウェブ基板または剛性のパネル基板上に材料を蒸発させることに適した公知の直線状堆積供給源は、ボート形状の坩堝を含み、該ボート形状の坩堝は典型的には堆積供給源材料を収容するための耐火性材料から形成される。坩堝は蒸気出口管の内部に配置される。蒸気出口管は、蒸発空間として、そして蒸気を散布する空間として同時に機能する。1つ以上の蒸気出口開口部が、供給源に沿って直線状に配列される。
(項目1)
堆積供給源であって、
a)堆積材料を収容する複数の坩堝と、
b)複数のコンダクタンスチャネルを備えている本体であって、該複数のコンダクタンスチャネルの各々の入力は、該複数の坩堝のそれぞれ1つの坩堝の出力と連結されている、本体と、
c)該複数の坩堝と該複数のコンダクタンスチャネルと熱的な連通をするように配置されたヒータであって、該ヒータは、該複数の坩堝の各々が該堆積材料を該複数のコンダクタンスチャネルに蒸発させるように、該複数の坩堝の温度を増加させる、ヒータと、
d)該複数の坩堝のうちの少なくとも1つに、少なくとも部分的な熱分離を提供する熱シールドと、
e)複数のノズルであって、該複数のノズルの各々の入力は該複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つの出力に連結され、蒸発した堆積材料は、該複数の坩堝から、該複数のコンダクタンスチャネルを通って該複数のノズルまで移送され、該蒸発した堆積材料は該複数のノズルから排出され堆積フラックスを形成する、複数のノズルと
を備えている、堆積供給源。
(項目2)
上記複数の坩堝のうちの少なくとも一部が、外側坩堝の内部に配置された内側坩堝を備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目3)
上記複数の坩堝は、Cuを含む第1の坩堝と、Inを含む第2の坩堝と、Gaを含む第3の坩堝とを備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目4)
上記複数の坩堝は、同一の堆積材料を含む、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目5)
上記ヒータはRF誘導ヒータ、抵抗ヒータおよび赤外線ヒータのうちの少なくとも1つを備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目6)
上記ヒータは複数の個々に制御可能なヒータを備え、該複数のヒータのそれぞれは上記複数の坩堝のそれぞれと熱的な連通をする、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目7)
上記ヒータは上記複数のコンダクタンスチャネルの各々の温度を、上記堆積材料の凝結点の上まで上昇させる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目8)
上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つの温度を、該複数のコンダクタンスチャネルの別のコンダクタンスチャネルに対して制御する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目9)
上記熱シールドは、上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つに、少なくとも部分的な熱分離を提供する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目10)
上記熱シールドは、複数の熱シールドタイルを備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目11)
上記熱シールドは、熱シールド材料の複数の層を備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目12)
上記熱シールドは拡張リンクを用いて上記本体に取り付けられる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目13)
上記熱シールドは低放射率を有する少なくとも1つの表面を備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目14)
上記熱シールドは複数の熱シールドを備え、該複数の熱シールドのそれぞれは上記複数の坩堝のそれぞれを囲む、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目15)
上記熱シールドは上記複数のコンダクタンスチャネルを囲む、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目16)
上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つが該複数のコンダクタンスチャネルの少なくとも1つの他のコンダクタンスチャネルとは異なる動作温度であるように、上記熱シールドが配置される、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目17)
上記複数のノズルの間隔は不均一である、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目18)
上記複数のノズルの間隔は、上記本体の中心部の近位の該複数のノズルの間隔より、該本体のエッジの近位において短い、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目19)
上記複数のノズルの間隔は、実質的に均一な堆積材料フラックスを達成するように選ばれる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目20)
上記複数のノズルの間隔は、堆積材料の利用率を増加させるように選ばれる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目21)
上記複数のノズルの間隔は、該複数のノズルから所望の重なりの堆積フラックスを提供するように選ばれる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目22)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、上記複数のコンダクタンスチャネルの上部表面に対する垂直角度に対してある角度で配置され、該角度は該複数のノズルから所望の重なりの堆積フラックスを提供するように選ばれる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目23)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、不均一の堆積フラックスを通過させるような形状のアパーチャを備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目24)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、低放射率のコーティングを備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目25)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、均一な動作温度をもたらすことにより、該複数のノズルからの堆積材料のスピッティングを低減させる熱伝導性を有する材料から形成される、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目26)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、上記コンダクタンスチャネルの近位に配置される管を備え、該管は対応するノズルに供給される堆積材料の量を制限する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目27)
上記管の長さは、上記複数のノズルの対応する1つのノズルを通る所定の堆積フラックスを達成するように選ばれる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目28)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、少なくとも部分的に上記コンダクタンスチャネル内に配置される管を備え、該管は対応するノズルに供給される堆積材料の量を制限する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目29)
上記複数のノズルのうちの少なくとも2つは、対応するノズルに供給される材料の量を制限する管を備え、該複数のノズルのうちの1つのノズルに対応する該管の長さは、該複数のノズルのうちの少なくとも1つの他のノズルに対応する該管の長さとは異なる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目30)
上記複数のノズルのうちの少なくとも2つは、対応するノズルに供給される材料の量を制限する管を備え、該複数のノズルのうちの1つのノズルに対応する該管の幾何学形状は、該複数のノズルのうちの少なくとも1つの他のノズルに対応する該管の幾何学形状とは異なる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目31)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つのノズルの上部は、上記複数のコンダクタンスチャネルの上方に延びる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目32)
上記複数のノズルのうちの少なくとも1つのノズルの上部は、上記複数のコンダクタンスチャネルの下方に延びる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目33)
上記本体の少なくとも1つのエッジの近位に配置された流体冷却チャネルをさらに備えている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目34)
堆積フラックスを生成する方法であって、該方法は、
a)複数の坩堝を加熱することであって、該複数の坩堝の各々が本体内の複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つを通って移送する堆積材料を蒸発させるように複数の坩堝の各々が堆積材料を含む、ことと、
b)該複数のコンダクタンスチャネルの各々から該複数のノズルのうちの1つのノズルに該蒸発した堆積材料を移送することであって、該複数のノズルは蒸発した堆積材料を通過させることにより堆積フラックスを形成することと
を包含する、方法。
(項目35)
上記蒸発した堆積材料を、上記複数のコンダクタンスチャネルの各々から、複数の管のうちのそれぞれ1つを通って、該複数のノズルのそれぞれ1つに移送することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目36)
上記複数のノズルから均一な堆積フラックスを達成するために、上記複数の管のうちの少なくとも1つの管の寸法を選択することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目37)
高い堆積材料利用率を達成するために、上記複数の管のうちの少なくとも1つの管の寸法を選択することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目38)
上記複数の坩堝および上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも一部の温度を独立して制御することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目39)
上記複数の坩堝のうちの少なくとも1つの坩堝によって生成された熱を遮蔽して、少なくとも1つの坩堝の温度を少なくとも1つの他の坩堝の温度に対して制御することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目40)
上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つのコンダクタンスチャネルによって生成された熱を遮蔽して、少なくとも1つのコンダクタンスチャネルの温度を少なくとも1つの他のコンダクタンスチャネルの温度に対して制御することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目41)
上記複数の坩堝および上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つの近位に、熱シールド材料の熱膨張のための空間を提供することをさらに包含する、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目42)
堆積供給源であって、
a)少なくとも1つの堆積材料を含む坩堝と、
b)該坩堝に連結された複数のコンダクタンスチャネルを備えている本体と、
c)該坩堝と熱的な連通をして配置されるヒータであって、該ヒータは、該坩堝が該少なくとも1つの堆積材料を、該複数のコンダクタンスチャネルに蒸発させるように、該坩堝の温度を増加させる、ヒータと、
d)該坩堝に対して少なくとも部分的な熱分離を提供する熱シールドと、
e)該複数のコンダクタンスチャネルに連結された複数のノズルであって、蒸発した堆積材料が、該坩堝から、該複数のコンダクタンスチャネルを通って、該複数のノズルに移送され、該蒸発した堆積材料は該複数のノズルから排出され堆積フラックスを形成する、複数のノズルと
を備えている、堆積供給源。
(項目43)
上記坩堝は複数の部分的に分離された区画を備え、該部分的に分離された区画は、複数の堆積材料のうちの1つを配置するように寸法があわせられている、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目44)
上記複数の部分的に分離された区画のうち少なくとも2つは異なる堆積材料を収容する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目45)
上記複数のコンダクタンスチャネルの各々の入力が上記複数の部分的に分離された区画のうちの1つの近位に配置される、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目46)
上記熱シールドは、上記坩堝の別の区画に対する該坩堝の1つの区画の温度を制御する熱分離を提供する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目47)
上記ヒータは上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つと熱的な連通をし、該ヒータは、該複数のコンダクタンスチャネルのうちの別の1つに対して、該複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つの温度を上昇させる、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
(項目48)
上記熱シールドは、上記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つに対して熱分離を提供する、上記項目のいずれかに記載の堆積供給源。
それぞれが堆積材料を収容する複数の坩堝を含む堆積供給源。熱シールドは複数の坩堝のうちの少なくとも1つに対して少なくとも部分的な熱分離を提供する。本体は複数のコンダクタンスチャネル内に含まれる。複数のコンダクタンスチャネルの各々の入力は複数の坩堝のそれぞれの出力に連結される。ヒータは、各坩堝が堆積材料を複数のコンダクタンスチャネルに蒸発させるように、該複数の坩堝の温度を上昇させる。複数のノズルの各々の入力は、複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つの出力と連結される。蒸発した堆積材料は、坩堝から、コンダクタンスチャネルを通ってノズルまで移送され、ここで蒸発した堆積材料は複数のノズルから排出され堆積フラックスを形成する。
明細書における「一実施形態」または「実施形態」への言及は、実施形態に関連する特定の特徴、構造、または特性が、本願の教示の少なくとも1つの実施形態に含まれていることを意味する。明細書における様々な場所での「一実施形態において」との言い回しの出現は、必ずしも全て同じ実施形態を参照しているとは限らない。
出願人の教示が様々な実施形態と関連して記載されているが、出願人の教示がこのような実施形態に制限されることは意図されない。反対に、出願人の教示は、当照射によって認識されるような様々な代替物、修正物および均等物を包含し、これらは、本教示の精神および範囲から逸脱することなしに、この教示においてなされ得る。
102 坩堝
104 コンダクタンスチャネル
106 ノズル
108 ハウジング
110 シーリングフランジ
112 本体
Claims (48)
- 堆積供給源であって、
a)堆積材料を収容する複数の坩堝と、
b)複数のコンダクタンスチャネルを備えている本体であって、該複数のコンダクタンスチャネルの各々の入力は、該複数の坩堝のそれぞれ1つの坩堝の出力と連結されている、本体と、
c)該複数の坩堝と該複数のコンダクタンスチャネルと熱的な連通をするように配置されたヒータであって、該ヒータは、該複数の坩堝の各々が該堆積材料を該複数のコンダクタンスチャネルに蒸発させるように、該複数の坩堝の温度を増加させる、ヒータと、
d)該複数の坩堝のうちの少なくとも1つに、少なくとも部分的な熱分離を提供する熱シールドと、
e)複数のノズルであって、該複数のノズルの各々の入力は該複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つの出力に連結され、蒸発した堆積材料は、該複数の坩堝から、該複数のコンダクタンスチャネルを通って該複数のノズルまで移送され、該蒸発した堆積材料は該複数のノズルから排出され堆積フラックスを形成する、複数のノズルと
を備えている、堆積供給源。 - 前記複数の坩堝のうちの少なくとも一部が、外側坩堝の内部に配置された内側坩堝を備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数の坩堝は、Cuを含む第1の坩堝と、Inを含む第2の坩堝と、Gaを含む第3の坩堝とを備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数の坩堝は、同一の堆積材料を含む、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記ヒータはRF誘導ヒータ、抵抗ヒータおよび赤外線ヒータのうちの少なくとも1つを備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記ヒータは複数の個々に制御可能なヒータを備え、該複数のヒータのそれぞれは前記複数の坩堝のそれぞれと熱的な連通をする、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記ヒータは前記複数のコンダクタンスチャネルの各々の温度を、前記堆積材料の凝結点の上まで上昇させる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つの温度を、該複数のコンダクタンスチャネルの別のコンダクタンスチャネルに対して制御する、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは、前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つに、少なくとも部分的な熱分離を提供する、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは、複数の熱シールドタイルを備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは、熱シールド材料の複数の層を備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは拡張リンクを用いて前記本体に取り付けられる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは低放射率を有する少なくとも1つの表面を備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは複数の熱シールドを備え、該複数の熱シールドのそれぞれは前記複数の坩堝のそれぞれを囲む、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは前記複数のコンダクタンスチャネルを囲む、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つが該複数のコンダクタンスチャネルの少なくとも1つの他のコンダクタンスチャネルとは異なる動作温度であるように、前記熱シールドが配置される、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルの間隔は不均一である、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルの間隔は、前記本体の中心部の近位の該複数のノズルの間隔より、該本体のエッジの近位において短い、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルの間隔は、実質的に均一な堆積材料フラックスを達成するように選ばれる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルの間隔は、堆積材料の利用率を増加させるように選ばれる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルの間隔は、該複数のノズルから所望の重なりの堆積フラックスを提供するように選ばれる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、前記複数のコンダクタンスチャネルの上部表面に対する垂直角度に対してある角度で配置され、該角度は該複数のノズルから所望の重なりの堆積フラックスを提供するように選ばれる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、不均一の堆積フラックスを通過させるような形状のアパーチャを備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、低放射率のコーティングを備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、均一な動作温度をもたらすことにより、該複数のノズルからの堆積材料のスピッティングを低減させる熱伝導性を有する材料から形成される、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、前記コンダクタンスチャネルの近位に配置される管を備え、該管は対応するノズルに供給される堆積材料の量を制限する、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記管の長さは、前記複数のノズルの対応する1つのノズルを通る所定の堆積フラックスを達成するように選ばれる、請求項26に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つは、少なくとも部分的に前記コンダクタンスチャネル内に配置される管を備え、該管は対応するノズルに供給される堆積材料の量を制限する、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも2つは、対応するノズルに供給される材料の量を制限する管を備え、該複数のノズルのうちの1つのノズルに対応する該管の長さは、該複数のノズルのうちの少なくとも1つの他のノズルに対応する該管の長さとは異なる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも2つは、対応するノズルに供給される材料の量を制限する管を備え、該複数のノズルのうちの1つのノズルに対応する該管の幾何学形状は、該複数のノズルのうちの少なくとも1つの他のノズルに対応する該管の幾何学形状とは異なる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つのノズルの上部は、前記複数のコンダクタンスチャネルの上方に延びる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記複数のノズルのうちの少なくとも1つのノズルの上部は、前記複数のコンダクタンスチャネルの下方に延びる、請求項1に記載の堆積供給源。
- 前記本体の少なくとも1つのエッジの近位に配置された流体冷却チャネルをさらに備えている、請求項1に記載の堆積供給源。
- 堆積フラックスを生成する方法であって、該方法は、
a)複数の坩堝を加熱することであって、該複数の坩堝の各々が本体内の複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つを通って移送する堆積材料を蒸発させるように複数の坩堝の各々が堆積材料を含む、ことと、
b)該複数のコンダクタンスチャネルの各々から該複数のノズルのうちの1つのノズルに該蒸発した堆積材料を移送することであって、該複数のノズルは蒸発した堆積材料を通過させることにより堆積フラックスを形成することと
を包含する、方法。 - 前記蒸発した堆積材料を、前記複数のコンダクタンスチャネルの各々から、複数の管のうちのそれぞれ1つを通って、該複数のノズルのそれぞれ1つに移送することをさらに包含する、請求項34に記載の方法。
- 前記複数のノズルから均一な堆積フラックスを達成するために、前記複数の管のうちの少なくとも1つの管の寸法を選択することをさらに包含する、請求項35に記載の方法。
- 高い堆積材料利用率を達成するために、前記複数の管のうちの少なくとも1つの管の寸法を選択することをさらに包含する、請求項35に記載の方法。
- 前記複数の坩堝および前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも一部の温度を独立して制御することをさらに包含する、請求項34に記載の方法。
- 前記複数の坩堝のうちの少なくとも1つの坩堝によって生成された熱を遮蔽して、少なくとも1つの坩堝の温度を少なくとも1つの他の坩堝の温度に対して制御することをさらに包含する、請求項34に記載の方法。
- 前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つのコンダクタンスチャネルによって生成された熱を遮蔽して、少なくとも1つのコンダクタンスチャネルの温度を少なくとも1つの他のコンダクタンスチャネルの温度に対して制御することをさらに包含する、請求項34に記載の方法。
- 前記複数の坩堝および前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つの近位に、熱シールド材料の熱膨張のための空間を提供することをさらに包含する、請求項34に記載の方法。
- 堆積供給源であって、
a)少なくとも1つの堆積材料を含む坩堝と、
b)該坩堝に連結された複数のコンダクタンスチャネルを備えている本体と、
c)該坩堝と熱的な連通をして配置されるヒータであって、該ヒータは、該坩堝が該少なくとも1つの堆積材料を、該複数のコンダクタンスチャネルに蒸発させるように、該坩堝の温度を増加させる、ヒータと、
d)該坩堝に対して少なくとも部分的な熱分離を提供する熱シールドと、
e)該複数のコンダクタンスチャネルに連結された複数のノズルであって、蒸発した堆積材料が、該坩堝から、該複数のコンダクタンスチャネルを通って、該複数のノズルに移送され、該蒸発した堆積材料は該複数のノズルから排出され堆積フラックスを形成する、複数のノズルと
を備えている、堆積供給源。 - 前記坩堝は複数の部分的に分離された区画を備え、該部分的に分離された区画は、複数の堆積材料のうちの1つを配置するように寸法があわせられている、請求項42に記載の堆積供給源。
- 前記複数の部分的に分離された区画のうち少なくとも2つは異なる堆積材料を収容する、請求項43に記載の堆積供給源。
- 前記複数のコンダクタンスチャネルの各々の入力が前記複数の部分的に分離された区画のうちの1つの近位に配置される、請求項43に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは、前記坩堝の別の区画に対する該坩堝の1つの区画の温度を制御する熱分離を提供する、請求項43に記載の堆積供給源。
- 前記ヒータは前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つと熱的な連通をし、該ヒータは、該複数のコンダクタンスチャネルのうちの別の1つに対して、該複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つの温度を上昇させる、請求項42に記載の堆積供給源。
- 前記熱シールドは、前記複数のコンダクタンスチャネルのうちの少なくとも1つに対して熱分離を提供する、請求項42に記載の堆積供給源。
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