JP2015501379A - 真空蒸着によって薄膜を堆積させる装置のための噴射システム - Google Patents
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Abstract
Description
また、真空蒸着チャンバの運転停止期間を最小にして蒸着デバイスの効率を改善することが望ましい。
−噴射モジュールは同一構造であり、噴射装置は、該噴射装置の端部をしっかり閉じるように構成されたシャッターモジュールをさらに備え、
−コンテナは、噴射装置の第1の開口端において第1の噴射モジュールに取り付けられるように構成された少なくとも1つの第1の円筒形コンテナモジュール及び/又は噴射装置の第2の開口端で最後の噴射モジュールに取り付けられるように構成された第2の円筒形コンテナモジュールから形成され、
−噴射モジュールの材質は、アルミナ(Al2O3)、黒鉛状炭素、ガラス状炭素、熱分解黒鉛被覆炭素、純化炭素、炭化ケイ素被覆炭素、又は熱分解窒化ホウ素(PBN)のうちの1つである。
−圧縮時にノズルの位置合わせを保証するように構成される少なくとも1つの圧縮シールガスケットを更に備え、
−少なくとも1つのシールガスケットは、可撓性黒鉛で作られ、
−少なくとも1つのシールガスケットは、2つの隣接する噴射モジュールの間、及び/又はコンテナモジュールと第1の噴射モジュールとの間、及び/又は最後の噴射モジュールとシャッターモジュールとの間に配置され、
噴射システムは、
−噴射モジュールのそれぞれ及びコンテナモジュールを覆うように構成される2つの半円形のハーフシェルフを含む、各噴射モジュール及び/又はコンテナモジュールに関連する独立した加熱手段と、
−加熱手段の周りに配置されている熱シールド手段と、熱シールド手段の周りに配置されている冷却手段と、
−フレームと、複数の噴射モジュール及び/又はコンテナモジュールをフレームに対して機械的に固定する手段と、
を更に備え、
−フレームは、1つ又は複数の直線棒を備え、固定手段は、直線棒に沿ってスライド可能に取り付けられる。
2a 噴射モジュール
2b 噴射モジュール
2c 噴射モジュール
2d 噴射モジュール
2e 噴射モジュール
3 噴射ノズル
4 コンテナ
5 長手方向軸線
6 シャッターモジュール
7 ねじ山
8 シールガスケット
10 基板
Claims (11)
- 真空蒸着チャンバに配置することが意図された、真空蒸着によって薄膜を堆積するデバイスのための噴射システムであって、該噴射システムは、
蒸着材料を収容するためのコンテナ(4)と、
前記材料を蒸発させるように構成されたコンテナ加熱手段と、
前記コンテナ(4)からの蒸着材料を受け入れるように前記コンテナ(4)に接続する内部導管と、各々が前記蒸着材料を前記真空蒸着チャンバ内に拡散するための前記内部導管と前記装置の外部との間の少なくとも1つの連通チャネルを含む複数のノズル(3)とを含む少なくとも1つの噴射装置(1)と、
を備え、
前記噴射装置(1)は、長手方向(5)に沿って互いに機械的に直列に結合され、各々が複数の噴射ノズル(3)を有する複数の噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)を含み、
前記噴射装置(1)は、前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)の前記噴射ノズル(3)を、前記噴射装置(1)の長手方向(5)に平行な軸線に沿って位置合わせするために、前記長手方向(5)についての前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)の方向を調節する手段を含むことを特徴とする噴射システム。 - 前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)は円筒形であり、前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)の前記噴射ノズル(3)は、前記円筒の母線に沿って配置されている、請求項1に記載の噴射システム。
- 前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)は同一構造であり、前記噴射装置は、前記噴射装置の端部をしっかり閉じるように構成されたシャッターモジュール(6)をさらに備える、請求項2に記載の噴射システム。
- 前記コンテナは、前記噴射装置の第1の開口端において第1の噴射モジュールに取り付けられるように構成された少なくとも1つの第1の円筒形コンテナモジュール及び/又は前記噴射装置の第2の開口端で最後の噴射モジュールに取り付けられるように構成された第2の円筒形コンテナモジュールから形成される、請求項1から3のいずれかに記載の噴射システム。
- 前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)の材質は、アルミナ(Al2O3)、黒鉛状炭素、ガラス状炭素、熱分解黒鉛被覆炭素、純化炭素、炭化ケイ素被覆炭素、又は熱分解窒化ホウ素のうちの1つである、請求項1から4のいずれかに記載の噴射システム。
- 2つの隣接する噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)の間、及び/又は前記コンテナモジュール(4)と前記第1の噴射モジュール(2a)との間、及び/又は前記最後の噴射モジュール(2e)とシャッターモジュール(6)との間に配置された少なくとも1つ圧縮シールガスケットを更に備え、前記少なくとも1つのシールガスケットは、圧縮時に前記ノズルの位置合わせを保証するように構成されている、請求項1から5のいずれかに記載の噴射システム。
- 各噴射モジュール及び/又は前記コンテナモジュールに関連する独立した加熱手段(14)を更に備え、前記加熱手段(14)は、前記噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)のそれぞれ及び前記コンテナモジュール(4)を覆うように構成されている2つの半円形のハーフシェルフを備える、請求項1から6のいずれかに記載の噴射システム。
- 前記ハーフシェルは、前記加熱手段(14)の周りに配置されている熱シールド手段(15)と、該熱シールド手段(15)の周りに配置されている冷却手段(16)とを更に備える、請求項7に記載の噴射システム。
- フレーム(11)と、前記複数の噴射モジュール(2a、2b、2c、2d、2e)及び/又は前記コンテナモジュール(4)を前記フレームに対して機械的に固定する手段(13)を更に備える、請求項1から8のいずれかに記載の噴射システム。
- 前記フレームは、1つ又は複数の直線棒(11)を備え、前記固定手段は、前記直線棒(11)に沿ってスライド可能に取り付けられる、請求項9に記載の噴射システム。
- 複数の噴射装置を備え、該噴射装置の長手方向軸線(5)は互いに平行であり、材料の均一な同時蒸着が可能になっている、請求項1から10のいずれかに記載の噴射システム。
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