CN109943806A - 一种线性蒸发源装置及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及显示技术领域，公开了一种线性蒸发源装置及蒸镀装置，该线性蒸发源装置包括：壳体；安装于壳体内的存储部件；安装于壳体内的加热组件；安装于壳体内的热吸收组件，热吸收组件包括热吸收部和冷却部，热吸收部位于存储部件外侧、且与存储部件的底部配合以吸收存储部件的底部多余的热，冷却部与热吸收部连接以对热吸收部吸收的热量进行冷却；喷嘴部。上述线性蒸发源装置中，热吸收组件中的热吸收部将存储部件底部多余的热量吸收，并传递至冷却部中，通过冷却部将存储部件底部多余的热量进行冷却，防止出现存储部件局部高温导致有机物变性，进而提高了基板上形成的有机膜的实用性、提高了由有机膜制备的显示装置的亮度和寿命。

Description

一种线性蒸发源装置及蒸镀装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种线性蒸发源装置及蒸镀装置。

背景技术

有机电场发光显示装置的有机半导体装置需要形成有机膜，当形成有机膜的物质为低分子时，由于低分子在200℃至400℃的较低温度中可以进行蒸发，现有技术中通常采用蒸发源装置对低分子有机物进行蒸发和喷射，在基板上形成有机膜。

但是，在长时间的蒸镀工艺期间，蒸发源内部温度较高、压力较大，且蒸发源内的有机物在蒸镀过程中极易受热不均，从而出现有机物变性的现象，导致由变性有机物形成的有机膜制备的显示装置的亮度和寿命降低。

发明内容

本发明提供了一种线性蒸发源装置及蒸镀装置，通过在存储部件的底部设置热吸收组件，将存储部件中多余的热量排出，避免存储部件内部有机物温度过高出现有机物变性的现象，提高基板上形成的有机膜的实用性、提高显示装置的亮度和寿命。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种线性蒸发源装置，包括：

壳体，所述壳体的顶部设有开口；

安装于所述壳体内的存储部件，所述存储部件的内部形成有用于放置有机物的腔室，且所述存储部件的顶部形成有开口；

安装于所述壳体内以对所述存储部件加热的加热组件；

安装于所述壳体内的热吸收组件，所述热吸收组件包括热吸收部和冷却部，所述热吸收部位于所述存储部件外侧、且与所述存储部件的底部配合以吸收所述存储部件的底部多余的热，所述冷却部与所述热吸收部连接以对所述热吸收部吸收的热量进行冷却；

喷嘴部，所述喷嘴部的一端自所述壳体顶部设置的开口探出所述壳体、且另一端与所述存储部件的开口连通。

上述线性蒸发源装置在工作过程中，加热组件为存储部件加热，使存储部件中的有机物蒸发，蒸发的有机物通过喷嘴部喷射至基板上，并在基板上形成有机膜，为避免存储部件内温度过高而导致有机物变性，在存储部件的底部配合设置有热吸收组件，其中，热吸收组件中的热吸收部将存储部件底部多余的热量吸收，并传递至冷却部中，通过冷却部将存储部件底部多余的热量进行冷却，从而降低存储部件底部的温度，防止出现存储部件局部高温导致有机物变性，进而提高了基板上形成的有机膜的实用性、提高了由有机膜制备的显示装置的亮度和寿命。

优选地，所述热吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件的底面；或者，

所述热吸收部包括多个用于将所述存储部件的底部局部多余热量进行吸收的子吸收部，多个所述子吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件底面的一部分区域。

优选地，所述壳体的内壁上设有热反射板。

优选地，所述热吸收部由至少一层金属导热板制成。

优选地，所述金属导热板的材料为钛、不锈钢或者铝。

优选地，所述冷却部为水冷系统。

优选地，所述壳体外套设有用于防止热量传递到基板上的冷却系统。

优选地，所述热吸收组件还包括设置于所述热吸收部与所述冷却部之间的热分散部；所述热分散部与所述热吸收部连接以将所述热吸收部吸收的热量进行扩散，所述冷却部通过所述热分散部与所述热吸收部连接，以将所述热分散部分散的热量进行冷却。

优选地，当所述热吸收部包括多个子吸收部时：

所述热分散部包括与所述子吸收部一一对应的子热分散部，每一对相互对应的子热分散部与子吸收部中，所述子热分散部安装于所述子吸收部与所述冷却部之间；或者，

所述热分散部一个热分散板，各所述子吸收部安装于所述热分散板上，所述热分散板安装于所述冷却部。

优选地，所述热分散板上未被所述子吸收部覆盖的部位设有至少一个通孔。

优选地，所述存储部件的底部朝向所述热吸收部的表面形成有多个凸起，所述热吸收部朝向所述存储部件的表面形成有与所述凸起一一对应的凹陷，每一对相互对应的凸起和凹陷中，所述凸起的表面与所述凹陷的内壁接触。

本发明还提供了一种蒸镀装置，包括上述技术方案中所述的任意一种线性蒸发源装置，还包括本体和用于移动所述线性蒸发源装置的移送装置，所述本体内、与所述移送装置相对设置有用于放置基板的架体；

当所述线性蒸发源装置工作时，所述本体内的工作环境为真空。

附图说明

图1为本发明提供的线性蒸发装置的结构示意图；

图2为图1中I-I处的剖面图；

图3为本发明提供的热吸收组件的结构示意图；

图4为本发明提供的热吸收组件的一种实施方式的结构示意图；

图5为本发明提供的热吸收组件的第二种实施方式的结构示意图；

图6为本发明提供的热吸收组件的第三种实施方式的结构示意图；

图7为本发明提供的蒸镀装置的结构示意图。

图标：1-有机物；2-存储部件；21-喷嘴部；3-热吸收组件；31-热吸收部；32-热分散部；33-冷却部；4-加热组件；5-冷却系统；100-线性蒸发装置；150-移送装置；200-基板；250-架体；300-本体。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1至图3，本发明实施例提供的线性蒸发源装置，包括：

壳体，壳体的顶部设有开口；

安装于壳体内的存储部件2，存储部件2的内部形成有用于放置有机物1的腔室，且存储部件2的顶部形成有开口；

安装于壳体内以对存储部件2加热的加热组件4；

安装于壳体内的热吸收组件3，热吸收组件3包括热吸收部31和冷却部33，热吸收部31位于存储部件2外侧、且与存储部件2的底部配合以吸收存储部件2的底部多余的热，冷却部33与热吸收部31连接以对热吸收部31吸收的热量进行冷却；

喷嘴部21，喷嘴部21的一端自壳体顶部设置的开口探出壳体、且另一端与存储部件2的开口连通。

上述线性蒸发源装置在工作过程中，加热组件4为存储部件2加热，使存储部件2中的有机物1蒸发，蒸发的有机物1通过喷嘴部21喷射至基板200上，并在基板200上形成有机膜，为避免存储部件2内温度过高而导致有机物1变性，在存储部件2的底部配合设置有热吸收组件3，其中，热吸收组件3中的热吸收部31将存储部件2底部多余的热量吸收，并传递至冷却部33中，通过冷却部33将存储部件2底部多余的热量进行冷却，从而降低存储部件2底部的温度，防止出现存储部件2局部高温导致有机物1变性，进而提高了基板200上形成的有机膜的实用性、提高了由有机膜制备的显示装置的亮度和寿命。

参照图4至图6，具体地，热吸收部31在存储部件2的底面上的投影覆盖存储部件2的底面；或者，

热吸收部31包括多个用于将存储部件2的底部局部多余热量进行吸收的子吸收部，多个子吸收部在存储部件2的底面上的投影覆盖存储部件2底面的一部分区域。

上述热吸收部31在存储部件2底面上的投影覆盖存储部件2的底面时，热吸收部31与存储部件2的接触面积较大，热吸收部31可及时将存储部件2中多余的热进行吸收，热传递效率较高，可有效避免存储部件2底部高温使得有机物1变性；

当热吸收部31包括多个子吸收部时，可将存储部件2底部局部的热量传递至热分散部32中，以避免存储部件2局部温度过高，导致有机物1变性；

通过设置一个或多个子吸收部，实现了单一或多重路径对冷却速度进行调节的效果。

具体地，壳体的内壁上设有热反射板。

上述热反射板可将壳体内的热量反射，降低壳体内热量的流失，提高壳体内热能的利用率。

具体地，热吸收部31由至少一层金属导热板制成。

上述热吸收部31采用金属导热板制成，可提高存储部件2底部热量的传递效率，保证存储部件2底部多余的热量及时传递至热吸收组件3中。

具体地，金属导热板的材料为钛、不锈钢或者铝。

作为上述冷却部33的一种实施方式，冷却部33为水冷系统。

作为上述线性蒸发装置100的一种实施方式，壳体外套设有用于防止热量传递到基板200上的冷却系统5。

上述冷却系统5将传递至冷却系统5的热量吸收，以防止热量传递至基板200上，提高了基板200上形成有机膜的效率。

具体地，热吸收组件3还包括设置于热吸收部31与冷却部33之间的热分散部32；热分散部32与热吸收部31连接以将热吸收部31吸收的热量进行扩散，冷却部33通过热分散部32与热吸收部31连接，以将热分散部32分散的热量进行冷却。

上述热分散部32设置在热吸收部31与冷却部33之间，将热吸收部31吸收的热量进行分散，便于冷却部33对存储部多余的热量进行快速冷却，有效提高了热吸收组件3对存储部多余热量的吸收效率，避免了存储部件2内产生局部高温导致有机物1变性，同时，通过冷却水降低存储部件2的温度，避免了存储部件2的热传递至基板200上。

具体地，上述热分散部32由防热板构造。

作为上述热分散部32的一种实施方式，当热吸收部31包括多个子吸收部时：

热分散部32包括与子吸收部一一对应的子热分散部32，每一对相互对应的子热分散部32与子吸收部中，子热分散部32安装于子吸收部与冷却部33之间；或者，

热分散部32包括一个热分散板，各子吸收部安装于热分散板上，热分散板安装于冷却部33。

上述热分散部包括一个或多个热分散板，存储部件中多余的热量可通过单一或多重路径对冷却速度进行调节。

具体地，热分散板上未被子吸收部覆盖的部位设有至少一个通孔。

参照图7，本发明实施例还提供了一种蒸镀装置，包括上述实施例中的任意一种线性蒸发源装置，还包括本体300和用于移动线性蒸发源装置的移送装置150，本体300内、与移送装置150相对设置有用于放置基板200的架体250；

当线性蒸发源装置工作时，本体300内的工作环境为真空。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (12)

1.一种线性蒸发源装置，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体的顶部设有开口；

安装于所述壳体内的存储部件，所述存储部件的内部形成有用于放置有机物的腔室，且所述存储部件的顶部形成有开口；

安装于所述壳体内以对所述存储部件加热的加热组件；

安装于所述壳体内的热吸收组件，所述热吸收组件包括热吸收部和冷却部，所述热吸收部位于所述存储部件外侧、且与所述存储部件的底部配合以吸收所述存储部件的底部多余的热，所述冷却部与所述热吸收部连接以对所述热吸收部吸收的热量进行冷却；

喷嘴部，所述喷嘴部的一端自所述壳体顶部设置的开口探出所述壳体、且另一端与所述存储部件的开口连通。

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件的底面；或者，

所述热吸收部包括多个用于将所述存储部件的底部局部多余热量进行吸收的子吸收部，多个所述子吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件底面的一部分区域。

3.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述壳体的内壁上设有热反射板。

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热吸收部由至少一层金属导热板制成。

5.根据权利要求4所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述金属导热板的材料为钛、不锈钢或者铝。

6.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述冷却部为水冷系统。

7.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述壳体外套设有用于防止热量传递到基板上的冷却系统。

8.根据权利要求1-7任一项所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热吸收组件还包括设置于所述热吸收部与所述冷却部之间的热分散部；所述热分散部与所述热吸收部连接以将所述热吸收部吸收的热量进行扩散，所述冷却部通过所述热分散部与所述热吸收部连接，以将所述热分散部分散的热量进行冷却。

9.根据权利要求8所述的线性蒸发源装置，其特征在于，当所述热吸收部包括多个子吸收部时：

所述热分散部包括与所述子吸收部一一对应的子热分散部，每一对相互对应的子热分散部与子吸收部中，所述子热分散部安装于所述子吸收部与所述冷却部之间；或者，

所述热分散部一个热分散板，各所述子吸收部安装于所述热分散板上，所述热分散板安装于所述冷却部。

10.根据权利要求9所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热分散板上未被所述子吸收部覆盖的部位设有至少一个通孔。

11.根据权利要求1-7任一项所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述存储部件的底部朝向所述热吸收部的表面形成有多个凸起，所述热吸收部朝向所述存储部件的表面形成有与所述凸起一一对应的凹陷，每一对相互对应的凸起和凹陷中，所述凸起的表面与所述凹陷的内壁接触。

12.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1-11任一项所述的线性蒸发源装置，还包括本体和用于移动所述线性蒸发源装置的移送装置，所述本体内、与所述移送装置相对设置有用于放置基板的架体；

当所述线性蒸发源装置工作时，所述本体内的工作环境为真空。