JP2020063511A - 蒸発した材料を堆積させるための蒸発源、及び蒸発した材料を堆積させるための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本願は以下に記載する態様を含む。
(態様1)
基板上に蒸発した原料物質を堆積させるための蒸発源(20)であって、
複数のノズル(22)を有する1以上の分配管(106)であって、前記複数のノズル(22)の各ノズルが、蒸発した原料物質のプルームを前記基板(10)へ向けるように構成された、分配管(106)、及び
複数の開孔(32)を備えた遮蔽デバイス(30)であって、前記複数の開孔(32)のうちの少なくとも1つの開孔が、単一の関連付けられたノズルから放出された前記蒸発した原料物質のプルーム(318)を個別に形作るように構成された、遮蔽デバイス(30)を備える、蒸発源。
(態様2)
前記少なくとも1つの開孔が、円周壁(34)によって取り囲まれた前記プルーム(318)のための通路として構成され、前記円周壁(34)が、第1の断面内で、主たる放出方向(X)に対して第1の最大放出角度(θ)よりも大きい放出角度を有する、前記プルーム(318)の前記蒸発した原料物質を遮断するように構成され、前記円周壁(34)が、前記第1の断面と垂直な第2の断面内で、前記主たる放出方向(X)に対して第2の最大放出角度(β)よりも大きい放出角度を有する、前記プルーム(318)の前記蒸発した原料物質を遮断するように構成されている、態様1に記載の蒸発源。
(態様3)
前記第1の断面が水平面であり、前記第2の断面が垂直面であり、前記第1の最大放出角度(θ)が10度から45度までの角度であり、前記第2の最大放出角度が15度から60度までの角度であり、特に、前記第1の最大放出角度(θ)が前記第2の最大放出角度よりも小さい、態様2に記載の蒸発源。
(態様4)
前記単一の関連付けられたノズルの出口が、特に、前記遮蔽デバイス(30)と接触することなしに、前記遮蔽デバイス(30)の中へ少なくとも部分的に突出する、態様1から3のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様5)
前記少なくとも1つの開孔が、円周壁(34)によって取り囲まれた前記プルーム(318)のための通路として構成され、主たる放出方向(X)における前記円周壁の長さが、周方向において変動し、特に、前記円周壁(34)が、前記主たる放出方向(X)を含む第1の断面において第1の長さ(T1)を有し、前記円周壁(34)が、前記主たる放出方向(X)を含み且つ前記第1の断面と垂直に延在する第2の断面において、前記第1の長さ(T1)よりも小さい第2の長さ(T2)を有する、態様1から4のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様6)
前記円周壁(34)の前記長さが、前記第1の断面における前記第1の長さ(T1)から前記第2の断面における前記第2の長さ(T2)へ連続的に変動し、特に、前記円周壁(34)の前端(35)が、周方向において起伏のある形状を有する、態様5に記載の蒸発源。
(態様7)
前記少なくとも1つの開孔が、丸い通路として、円形状の通路として、又は卵型の通路として構成され、特に、前記少なくとも1つの開孔が、3mm以上且つ25mm以下の直径を有する、態様1から6のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様8)
前記遮蔽デバイス(30)が、複数の分離した遮蔽ユニット(60)を備え、前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)の各遮蔽ユニットが、前記複数の開孔(32)のうちの1以上の開孔を備える、態様1から7のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様9)
前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの少なくとも1つの遮蔽ユニットが、特に、それぞれ、隣接する開孔の間に1cm以上且つ5cm以下の距離を有する、直線的な配置で支持構造体によって連結された、前記複数の開孔(32)のうちの2つ、3つ、4つ、又は5つ以上の開孔を備える、態様8に記載の蒸発源。
(態様10)
前記少なくとも1つの遮蔽ユニットが、前記1以上の分配管(106)のうちの単一の分配管の長さ方向において、前記単一の分配管の熱膨張及び収縮に従うように、前記単一の分配管に連結されている、態様9に記載の蒸発源。
(態様11)
互いに隣り合って延在する2以上の分配管(106)を備え、前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)の各遮蔽ユニットが、前記1以上の分配管のうちの単一の分配管と機械的に固定され、前記複数のノズル(22)のうちの2つ又は3つ以上の隣接するノズルの前記蒸発した原料物質のプルームを個別に形作るために、前記複数の開孔(32)のうちの2つ又は3つ以上の開孔を備える、態様8から10のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様12)
前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの少なくとも1つの遮蔽ユニットが、前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの残りの遮蔽ユニットに対して移動可能なように、前記残りの遮蔽ユニットから機械的に連結解除されている、態様8から11のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様13)
前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの少なくとも1つの遮蔽ユニットが、前記1以上の分配管から熱的に分離され、特に、前記少なくとも1つの遮蔽ユニットが、1以上のスペーサ要素(411)によって前記1以上の分配管(106)からある距離において保持されている、態様8から12のいずれか一項に記載の蒸発源。
(態様14)
基板(10)上に蒸発した原料物質を堆積させるための蒸発源(20)、特に、態様1から13のいずれか一項に記載の蒸発源(20)、のための遮蔽デバイス(30)であって、
複数の分離した遮蔽ユニット(60)であって、各遮蔽ユニットが、それぞれ、円周壁(34)によって取り囲まれた通路として構成された1以上の開孔を備え、各開孔が、前記蒸発源の単一の関連付けられたノズルから放出された蒸発した原料物質のプルーム(318)を個別に形作るように構成された、遮蔽ユニット(60)を備える、遮蔽デバイス。
(態様15)
真空チャンバ内の基板(10)上に蒸発した原料物質を堆積させるための方法であって、
蒸発源(20)の1以上の分配管(106)の複数のノズル(22)であって、各々が前記基板(10)に向けて伝播する蒸発した原料物質のプルームを生成する、複数のノズル(22)を通して蒸発した原料物質を誘導すること、及び
遮蔽デバイス(30)の複数の開孔(32)によって、前記蒸発した原料物質のプルームを個別に形作ることを含む、方法。
Claims (15)
- 基板上に蒸発した原料物質を堆積させるための蒸発源(20)であって、
複数のノズル(22)を有する1以上の分配管(106)であって、前記複数のノズル(22)の各ノズルが、蒸発した原料物質のプルームを前記基板(10)へ向けるように構成された、分配管(106)、及び
複数の開孔(32)を備えた遮蔽デバイス(30)であって、前記複数の開孔(32)のうちの少なくとも1つの開孔が、単一の関連付けられたノズルから放出された前記蒸発した原料物質のプルーム(318)を個別に形作るように構成された、遮蔽デバイス(30)を備える、蒸発源。 - 前記少なくとも1つの開孔が、円周壁(34)によって取り囲まれた前記プルーム(318)のための通路として構成され、前記円周壁(34)が、第1の断面内で、主たる放出方向(X)に対して第1の最大放出角度(θ)よりも大きい放出角度を有する、前記プルーム(318)の前記蒸発した原料物質を遮断するように構成され、前記円周壁(34)が、前記第1の断面と垂直な第2の断面内で、前記主たる放出方向(X)に対して第2の最大放出角度(β)よりも大きい放出角度を有する、前記プルーム(318)の前記蒸発した原料物質を遮断するように構成されている、請求項1に記載の蒸発源。
- 前記第1の断面が水平面であり、前記第2の断面が垂直面であり、前記第1の最大放出角度(θ)が10度から45度までの角度であり、前記第2の最大放出角度が15度から60度までの角度であり、特に、前記第1の最大放出角度(θ)が前記第2の最大放出角度よりも小さい、請求項2に記載の蒸発源。
- 前記単一の関連付けられたノズルの出口が、特に、前記遮蔽デバイス(30)と接触することなしに、前記遮蔽デバイス(30)の中へ少なくとも部分的に突出する、請求項1から3のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 前記少なくとも1つの開孔が、円周壁(34)によって取り囲まれた前記プルーム(318)のための通路として構成され、主たる放出方向(X)における前記円周壁の長さが、周方向において変動し、特に、前記円周壁(34)が、前記主たる放出方向(X)を含む第1の断面において第1の長さ(T1)を有し、前記円周壁(34)が、前記主たる放出方向(X)を含み且つ前記第1の断面と垂直に延在する第2の断面において、前記第1の長さ(T1)よりも小さい第2の長さ(T2)を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 前記円周壁(34)の前記長さが、前記第1の断面における前記第1の長さ(T1)から前記第2の断面における前記第2の長さ(T2)へ連続的に変動し、特に、前記円周壁(34)の前端(35)が、周方向において起伏のある形状を有する、請求項5に記載の蒸発源。
- 前記少なくとも1つの開孔が、丸い通路として、円形状の通路として、又は卵型の通路として構成され、特に、前記少なくとも1つの開孔が、3mm以上且つ25mm以下の直径を有する、請求項1から6のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 前記遮蔽デバイス(30)が、複数の分離した遮蔽ユニット(60)を備え、前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)の各遮蔽ユニットが、前記複数の開孔(32)のうちの1以上の開孔を備える、請求項1から7のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの少なくとも1つの遮蔽ユニットが、特に、それぞれ、隣接する開孔の間に1cm以上且つ5cm以下の距離を有する、直線的な配置で支持構造体によって連結された、前記複数の開孔(32)のうちの2つ、3つ、4つ、又は5つ以上の開孔を備える、請求項8に記載の蒸発源。
- 前記少なくとも1つの遮蔽ユニットが、前記1以上の分配管(106)のうちの単一の分配管の長さ方向において、前記単一の分配管の熱膨張及び収縮に従うように、前記単一の分配管に連結されている、請求項9に記載の蒸発源。
- 互いに隣り合って延在する2以上の分配管(106)を備え、前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)の各遮蔽ユニットが、前記1以上の分配管のうちの単一の分配管と機械的に固定され、前記複数のノズル(22)のうちの2つ又は3つ以上の隣接するノズルの前記蒸発した原料物質のプルームを個別に形作るために、前記複数の開孔(32)のうちの2つ又は3つ以上の開孔を備える、請求項8から10のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの少なくとも1つの遮蔽ユニットが、前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの残りの遮蔽ユニットに対して移動可能なように、前記残りの遮蔽ユニットから機械的に連結解除されている、請求項8から11のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 前記複数の分離した遮蔽ユニット(60)のうちの少なくとも1つの遮蔽ユニットが、前記1以上の分配管から熱的に分離され、特に、前記少なくとも1つの遮蔽ユニットが、1以上のスペーサ要素(411)によって前記1以上の分配管(106)からある距離において保持されている、請求項8から12のいずれか一項に記載の蒸発源。
- 基板(10)上に蒸発した原料物質を堆積させるための蒸発源(20)、特に、請求項1から13のいずれか一項に記載の蒸発源(20)、のための遮蔽デバイス(30)であって、
複数の分離した遮蔽ユニット(60)であって、各遮蔽ユニットが、それぞれ、円周壁(34)によって取り囲まれた通路として構成された1以上の開孔を備え、各開孔が、前記蒸発源の単一の関連付けられたノズルから放出された蒸発した原料物質のプルーム(318)を個別に形作るように構成された、遮蔽ユニット(60)を備える、遮蔽デバイス。 - 真空チャンバ内の基板(10)上に蒸発した原料物質を堆積させるための方法であって、
蒸発源(20)の1以上の分配管(106)の複数のノズル(22)であって、各々が前記基板(10)に向けて伝播する蒸発した原料物質のプルームを生成する、複数のノズル(22)を通して蒸発した原料物質を誘導すること、及び
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