CN109817842B - 一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法，涉及显示技术领域，可以使冷凝板上液体流入槽体中，避免现有技术中液化后的液体再次滴到待干燥物上，影响待干燥物的性能。一种真空干燥装置，包括腔体、设置于所述腔体的顶壁上的冷凝板；所述冷凝板包括多个间隔设置且向所述腔体的底部凸出的凸起；所述真空干燥装置还包括多个槽体，每个所述槽体与一个所述凸起对应且二者正对设置，所述槽体的开口朝向所述冷凝板；所述槽体与所述冷凝板之间具有间距。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法。
背景技术
有机电致发光显示器(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)相对于液晶显示器具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，被认为是下一代显示技术。
OLED器件中发光层的沉积方法主要有真空蒸镀和溶液制程两种。真空蒸镀适用于有机小分子，其成膜均匀好、技术相对成熟、但是设备投资大、材料利用率低、大尺寸产品掩模板(Mask)对位精度低；溶液制程包括旋涂、喷墨打印、喷嘴涂覆法等，适用于聚合物材料和可溶性小分子，其特点是设备成本低，在大规模、大尺寸生产上优势突出，特别是喷墨打印技术，能有将溶液精准的喷墨到像素区中，形成有机薄膜。
现有技术中，喷墨打印完的溶液会先在真空干燥装置(Vacuum Dry，简称VCD)中进行干燥，然后再进行烘烤。然而，干燥的过程中，溶液挥发，溶液中的溶剂挥发成气态，并附着于真空干燥装置的内侧上壁上；溶质留在基板上并逐渐形成发光层，气化后的溶剂遇到冰凉的上壁后液化在返滴到溶质上，一方面，使得溶质位于各个位置处的厚度不一致；另一方面，因无法掌握先气化后液化后的溶剂滴落的时间，所以无法将真空干燥装置的干燥条件设置为最佳干燥条件，从而影响最终形成的发光层低于预期。基于上述原因，现有技术的干燥过程将会影响OLED显示器的最终显示效果，导致显示画面具有斑点(mura)现象。
发明内容
本发明的实施例提供一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法，可以使冷凝板上液体流入槽体中，避免现有技术中液化后的液体再次滴到待干燥物上，影响待干燥物的性能。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
一方面，提供一种真空干燥装置，包括腔体、设置于所述腔体的顶壁上的冷凝板；所述冷凝板包括多个间隔设置且向所述腔体的底部凸出的凸起；所述真空干燥装置还包括多个槽体，每个所述槽体与一个所述凸起对应且二者正对设置，所述槽体的开口朝向所述冷凝板；所述槽体与所述冷凝板之间具有间距。
可选的，所述槽体与所述冷凝板固定连接。
可选的，所述凸起呈条状，并由所述冷凝板的一侧延伸至相对的另一侧。
进一步可选的，任意相邻所述凸起的中心之间的间距为子像素距离的整数倍。
可选的，所述槽体的个数为x个，子像素的个数为M×N，每个所述槽体的容积范围为
可选的，沿所述顶壁指向所述冷凝板的方向，所述凸起的纵截面的形状为矩形、三角形、梯形；其中，在所述凸起的纵截面的形状为梯形的情况下，所述凸起中背离所述顶壁的表面的尺寸，小于所述凸起中靠近所述顶壁的表面的尺寸。
另一方面，提供一种显示用基板的制备方法，包括：向显示用基板的显示区喷射用于喷墨打印的溶液，以形成所述显示区的子像素；采用真空干燥装置对所述显示用基板进行干燥；所述真空干燥装置包括腔体、设置于所述腔体的顶壁上的冷凝板；所述冷凝板包括多个间隔设置且向所述腔体的底部凸出的凸起；所述真空干燥装置还包括多个槽体，每个所述槽体与一个所述凸起对应且二者正对设置，所述槽体的开口朝向所述冷凝板；所述槽体与所述冷凝板之间具有间距。
可选的，所述显示区包括多个子像素区域；所述槽体在所述显示用基板上的正投影落入相邻所述子像素区域之间的区域。
可选的，所述显示用基板还包括位于所述显示区外围的非显示区；所述槽体在所述显示用基板上的正投影落入所述非显示区。
可选的，在采用真空干燥装置对所述显示用基板进行干燥之后，所述方法还包括：对所述显示用基板进行烘烤。
本发明实施例提供一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法，通过在腔体的上壁上设置冷凝板，并使得冷凝板包括多个间隔设置且向腔体的底部凸出的凸起，并在每个凸起靠近腔体的底部一侧设置与凸起对应的槽体，在运用真空干燥装置对待干燥物进行干燥时，溶剂挥发成气态后附着于冷凝板上，由于冷凝板的温度较低，附着于冷凝板上的气态液化成液体，因重力作用，液体最终从凸起流入槽体中，避免现有技术中液化后的液体再次滴到待干燥物上，影响待干燥物的性能。
在此基础上，若待干燥物为显示用基板，可避免液体在此滴落到显示用基板上，从而影响显示用基板的显示效果，避免显示画面出现mura现象。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种真空干燥装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种冷凝板的纵截面示意图；
图3为本发明实施例提供的一种冷凝板的纵截面示意图；
图4为本发明实施例提供的一种冷凝板的纵截面示意图；
图5为本发明实施例提供的一种冷凝板的纵截面示意图；
图6为本发明实施例提供的一种子像素距离的示意图；
图7为本发明实施例提供的一种显示用基板的制备流程示意图；
图8为本发明实施例提供的一种显示用基板与槽体的位置关系图；
图9为本发明实施例提供的一种显示用基板与槽体的位置关系图。
附图标记：
11-顶壁；12-冷凝板；121-凸起；13-槽体；20-显示用基板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种真空干燥装置，如图1所示，包括腔体、设置于腔体的顶壁11上的冷凝板12；冷凝板12包括多个间隔设置且向腔体的底部凸出的凸起121；真空干燥装置还包括多个槽体13，每个槽体13与一个凸起121对应且二者正对设置，槽体13的开口朝向冷凝板12；槽体13与冷凝板12之间具有间距。
需要说明的是，第一，冷凝板12包括凸起121、以及相对于凸起121凹陷的部分，其中不对凸起121的形状进行限定，只要位于凹陷的部分的液体可流向凸起121，并最终流进槽体13中即可。
示例的，沿顶壁11指向冷凝板12的方向，如图3所示，凸起121的纵截面的形状为矩形；如图4所示，凸起121的纵截面的形状为三角形；如图5所示，凸起121的纵截面的形状为梯形，且凸起121中背离顶壁11的表面的尺寸，小于凸起121中靠近顶壁11的表面的尺寸。
示例的，如图2所示，冷凝板12靠近腔体的底部的一侧表面为曲面。
第二，不对多个凸起121的排列方式进行限定，多个凸起121可以无规则排布，多个凸起121也可以呈条状，并由冷凝板12的一侧延伸至相对的另一侧。
此处，优选多个凸起121呈条状，并由冷凝板12的一侧延伸至相对的另一侧，这样一来，可以简化冷凝板12的制备工艺。
第三，不对凸起121的个数进行限定，由于每个槽体13与一个凸起121对应，因此，槽体13的个数与凸起121的个数相等。
同时，槽体13的容积与槽体13的个数有关，所有槽体13的总容积应足以容纳待干燥物中的所有溶剂。
示例的，在采用喷墨打印工艺制备显示用基板上的发光层时，利用喷墨打印工艺在衬底上形成用于制作发光层的溶液，所有槽体13的总溶剂应足以容纳用于制作发光层的溶液中的溶剂。
第四，不对槽体13与冷凝板12之间的间距大小进行限定，只要不影响真空干燥装置对待干燥物进行干燥即可。
本发明实施例提供一种真空干燥装置，通过在腔体的上壁11上设置冷凝板12，并使得冷凝板12包括多个间隔设置且向腔体的底部凸出的凸起121，并在每个凸起121靠近腔体的底部一侧设置与凸起121对应的槽体13，在运用真空干燥装置对待干燥物进行干燥时，溶剂挥发成气态后附着于冷凝板12上，由于冷凝板12的温度较低，附着于冷凝板12上的气态液化成液体，因重力作用，液体最终从凸起121流入槽体13中，避免现有技术中液化后的液体再次滴到待干燥物上，影响待干燥物的性能。
在此基础上，若待干燥物为显示用基板，可避免液体在此滴落到显示用基板上，从而影响显示用基板的显示效果，避免显示画面出现mura现象。
可选的，如图1所示，槽体13与冷凝板12固定连接。
需要说明的是，不对槽体13与冷凝板12的连接方式进行限定，只要槽体13与冷凝板12之间具有间距即可。
示例的，槽体13可以通过连接件与冷凝板12固定连接。
本发明实施例中，由于每个槽体13均与一个凸起121对应，因此，相较于将多个槽体13固定于真空干燥装置的其他位置(例如腔体的侧壁)，将多个槽体13固定于冷凝板12上更加容易操作。
可选的，在凸起121为条状的情况下，任意相邻凸起121的中心之间的间距为子像素距离的整数倍。
其中，真空干燥装置对显示用基板进行干燥时，显示用基板包括多个子像素。
需要说明的是，第一，如图6所示，相邻子像素之间具有一定间距，子像素距离D是指：沿相邻凸起121的距离方向，一个子像素的宽度和相邻子像素之间的距离之和。
第二，任意相邻凸起121的中心之间的间距与子像素距离之间的倍数，与待干燥的溶液中的溶剂的含量、每个槽体13的容积等有关，具体的根据实际应用决定所述倍数。
本发明实施例中，真空干燥装置在对显示用基板进行干燥时，通过使任意相邻凸起121的中心之间的间距为子像素距离的整数倍，可使得冷凝板12上的液体未滴落进槽体13中时，滴落到相邻子像素区域之间的区域，以避免液体影响子像素区域的膜层。
可选的，槽体13的个数为x个，子像素的个数为M×N，每个所述槽体13的容积范围为
具体的，在采用喷墨打印工艺制备显示用基板上的发光层、或空穴注入层、或空穴传输层时，通常在一个子像素区域打印18～25pL的溶液，而由于溶液中的溶质非常少，溶质相较于溶剂来说可以忽略不计，因此，一个子像素中溶剂的含量可看作与溶液的含量相同，即，一个子像素中溶剂的含量为18～25pL。
以制备显示用基板上的发光层为例，假设显示用基板包括1924×1080个子像素，则制备发光层所需干燥的溶剂的体积为1924×1080×18～1924×1080×25pL。
溶剂被干燥后挥发到冷凝板12上，遇冷液化成液体，假设溶剂全部挥发至冷凝板12上、并全部挥发呈液体，则x个槽体13应足以容纳1924×1080×18～1924×1080×25pL的液体，因此，每个槽体13的容积为
本发明实施例中，槽体13足以容纳液体，可避免液体滴落到显示用基板上。
对于上述任一实施例，真空干燥装置还包括设置于腔体内的承载基板，承载基板位于冷凝板12与腔体的底部之间；承载基板用于承载该干燥的待干燥物。
其中，待干燥物例如可以是显示用基板。
本发明实施例还提供一种显示用基板的制备方法，如图7所示，具体可通过如下步骤实现：
S11、向显示用基板的显示区喷射用于喷墨打印的溶液，以形成显示区的子像素。
其中，在对显示区喷射用于喷墨打印的溶液时，溶液最终仅位于子像素所在的区域，因此，用此工艺来形成显示区的子像素。
需要说明的是，显示用基板包括多层结构，只要形成于子像素区域、且可以采用喷墨打印工艺制备即可。例如，可以分别采用喷墨打印工艺制备显示用基板上的发光层、空穴传输层、空穴注入层。
S12、采用真空干燥装置对显示用基板进行干燥；如图1所示，真空干燥装置包括腔体、设置于腔体的顶壁11上的冷凝板12；冷凝板12包括多个间隔设置且向腔体的底部凸出的凸起121；真空干燥装置还包括多个槽体13，每个槽体13与一个凸起121对应且二者正对设置，槽体13的开口朝向冷凝板12；槽体13与冷凝板12之间具有间距。
此处，显示用基板可以放置在承载基板上，承载基板位于冷凝板12与腔体的底部之间。
需要说明的是，采用真空干燥装置对显示用基板进行干燥，实际是对显示用基板上的溶液进行干燥。
本发明实施例提供一种显示用基板的制备方法，在采用喷墨打印工艺形成显示区的子像素之后，利用真空干燥装置对显示用基板进行干燥，其中真空干燥装置的腔体的上壁11上设置有冷凝板12，冷凝板12包括多个间隔设置且向腔体的底部凸出的凸起121，每个凸起121靠近腔体的底部一侧设置有与凸起121对应的槽体13，在运用真空干燥装置对显示用基板进行干燥时，溶剂挥发成气态后附着于冷凝板12上，由于冷凝板12的温度较低，附着于冷凝板12上的气态液化成液体，因重力作用，液体最终从凸起121流入槽体13中，避免现有技术中液化后的液体再次滴到显示用基板上，从而影响显示用基板的显示效果，避免显示画面出现mura现象。
可选的，如图8所示，显示区包括多个子像素区域；槽体13在显示用基板20上的正投影落入相邻子像素区域之间的区域。
需要说明的是，槽体13在显示用基板20上的正投影可以落入每相邻两个子像素区域之间的区域；或者，如图8所示，槽体13在显示用基板20上的正投影也可以落入部分相邻两个子像素区域之间的区域。其中，图8示出了仅包括一个槽体13的情况。
此处，本领域的技术人员应该知道，显示用基板20中应包括上千甚至上万个子像素区域，图8仅示出两个子像素区域，且为了方便示意，图8中的每个子像素区域的尺寸较实际应用的显示用基板20中的子像素区域大得多。
本发明实施例中，通过使槽体13在显示用基板20上的正投影落入相邻子像素区域之间的区域，可使得冷凝板12上的液体未滴落进槽体13中时，滴落到相邻子像素区域之间的区域，以避免液体影响子像素区域的膜层。
进一步可选的，如图9所示，显示用基板20还包括位于显示区外围的非显示区；槽体13在显示用基板20上的正投影落入非显示区。
本发明实施例中，通过使槽体13在显示用基板20上的正投影落入非显示区，可使得冷凝板12上的液体未滴落进槽体13中时，滴落到非显示区，以避免液体影响显示区的膜层。
可选的，在采用真空干燥装置对显示用基板20进行干燥之后，所述方法还包括：对显示用基板20进行烘烤。
需要说明的是，在显示用基板20上的多个膜层均采用喷墨打印工艺制备的情况下，对于形成任一膜层，均先进行喷墨打印；再对喷墨打印的溶液进行干燥；最后，对干燥后的保留下来的溶质进行烘烤。
之后，再形成下一个膜层。
本发明实施例中，在对显示用基板20进行干燥后，再对显示用基板20进行烘烤，一方面，可以去除显示用基板20中残留的溶剂；另一方面，对于相邻两个膜层均采用喷墨打印工艺的显示用基板20，先在显示用基板20的衬底上利用喷墨打印、干燥工艺形成的第一膜层，之后，若未对第一膜层进行烘烤，而是直接在第一膜层背离衬底一侧喷墨打印用于形成第二膜层的溶液时，用于形成第二膜层的溶液中的溶剂渗透到第一膜层中，导致第一膜层中的溶质被溶解，从而影响第一膜层的膜材，因此，本发明实施例先对第一膜层进行烘烤，以使得第一膜层中的分子发生交联，以避免第二膜层中的溶剂影响第一膜层的膜材。
此外，对于用于对显示用基板20进行烘烤的装置，可以与真空干燥装置为不同的两个装置；也可以在烘烤条件不影响真空干燥装置的性能的情况下，与真空干燥装置为同一的装置，即真空干燥装置既可以对显示用基板20进行干燥，也可以对显示用基板20进行烘烤。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (7)
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括腔体、设置于所述腔体的顶壁上的冷凝板；
所述冷凝板包括多个间隔设置且向所述腔体的底部凸出的凸起；
所述真空干燥装置还包括多个槽体，每个所述槽体与一个所述凸起对应且二者正对设置，所述槽体的开口朝向所述冷凝板；所述槽体与所述冷凝板之间具有间距；
任意相邻所述凸起的中心之间的间距为子像素距离的整数倍；所述槽体在所述腔体的底部上的正投影落入相邻所述子像素区域之间的区域；
所述槽体的个数为x个，子像素的个数为M×N，每个所述槽体的容积范围为
2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述槽体与所述冷凝板固定连接。
3.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述凸起呈条状，并由所述冷凝板的一侧延伸至相对的另一侧。
4.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，沿所述顶壁指向所述冷凝板的方向，所述凸起的纵截面的形状为矩形、三角形、梯形；
其中，在所述凸起的纵截面的形状为梯形的情况下，所述凸起中背离所述顶壁的表面的尺寸，小于所述凸起中靠近所述顶壁的表面的尺寸。
5.一种显示用基板的制备方法，其特征在于，包括：
向显示用基板的显示区喷射用于喷墨打印的溶液，以形成所述显示区的子像素；
采用真空干燥装置对所述显示用基板进行干燥；所述真空干燥装置包括腔体、设置于所述腔体的顶壁上的冷凝板；所述冷凝板包括多个间隔设置且向所述腔体的底部凸出的凸起；所述真空干燥装置还包括多个槽体，每个所述槽体与一个所述凸起对应且二者正对设置，所述槽体的开口朝向所述冷凝板；所述槽体与所述冷凝板之间具有间距；
所述显示区包括多个子像素区域；
所述槽体在所述显示用基板上的正投影落入相邻所述子像素区域之间的区域。
6.根据权利要求5所述的显示用基板的制备方法，其特征在于，所述显示用基板还包括位于所述显示区外围的非显示区；
所述槽体在所述显示用基板上的正投影落入所述非显示区。
7.根据权利要求5所述的显示用基板的制备方法，其特征在于，在采用真空干燥装置对所述显示用基板进行干燥之后，所述方法还包括：
对所述显示用基板进行烘烤。
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