KR101149977B1 - 유기박막 제작용 선형도가니 노즐부 교체형 증발원 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 박막 제작에 있어 진공 상태에서 얇은 박막을 형성하는 데 사용되는 증착 공정용 증발원에 관한 것으로서 특히, 기존 점증발원이 용량이 작아 실제 양산 시에는 다수개의 점증발원을 리벌버라는 회전체에 수용하고 하나의 점증발원 내의 유기물질을 소진한 후 리벌버를 돌려 다음 점증발원으로 교체하여 증착해야 하는 복잡한 제어와 각 점증발원들의 유기물 증착 분포 차이에 의해 발생하는 기판 사이의 박막 두께의 불균일성과 리벌버의 크기로 인해 증착 챔버가 불필요하게 커야 하는 등의 문제점들을 해결하는 발명으로 용량이 큰 선형도가니를 사용하여 양산 시 잦은 유기물질 재충전 없이 1주일의 장시간동안 증착이 가능하고 기체 분출구인 노즐부를 교체할 수 있어 소면적 기판에서 대면적 기판까지 다양한 기판에 사용할 수 있고 균일한 박막 두께를 형성하는 효과가 있는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원에 관한 발명이다.
도가니, 증발원, 증착
Description
도 1은 기존의 점증발원의 실시예를 나타내는 사시도,
도 2는 기존의 점증발원이 양산에 사용되는 실시예를 나타내는 평면도,
도 3은 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 선형도가니 장치를 나타내는 사시도,
도 4는 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 선형도가니 장치의 결합 방법을 나타내는 단면도,
도 5는 본 발명의 금속원판을 나타내는 사시도,
도 6은 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 단면도,
도 7은 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원이 양산에 사용되는 실시예를 나타내는 평면도,
도 8는 본 발명의 사각 노즐부를 나타내는 사시도,
도 9은 본 발명의 면 노즐부를 나타내는 사시도,
도 10은 본 발명의 U자형 노즐부가 연결된 선형도가니 장치가 기판에 유기박막을 증착하는 모습을 나타내는 사시도.
< 도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명 >
1. 기판 2. 점증발원
3. 증착챔버 4. 리벌버(회전체)
5. 박막두께 측정센서 6. 유기물질
7. 열선 8. 하우징
9. 물관 10. 선형도가니 장치
11. 마스크 20. 노즐부
21. 노즐 30. 선형도가니 덮개
40. 선형도가니 50. 금속원판
70. 사각 노즐부 80. 면 노즐부
90. U자형 노즐부
본 발명은 유기 박막 제작에 있어 진공 상태에서 얇은 박막을 형성하는 데 사용되는 증착 공정용 증발원에 관한 것으로서, 특히 용량이 큰 선형도가니를 사용하여 양산시 잦은 유기물질 재충전 없이 1주일의 장시간동안 증착이 가능하고 기체 분출구인 노즐부를 교체할 수 있어 소면적 기판에서 대면적 기판까지 다양한 기판에 사용할 수 있고 균일한 박막 두께를 형성하는 효과가 있는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원에 관한 것이다.
통상적인 유기박막 제작 방식 중 증발원을 사용하는 저항 가열 방식은 고진공 상태의 증착챔버 내에 증발원을 설치하고 증발원 내의 도가니 주위에 설치된 열선에 전류를 흘려 가열하고 열선으로부터의 복사열이 도가니 내의 유기물질을 기체 상태로 만들고 기체 상태의 유기물질이 기판에 날아가 박막을 형성하는 기술이다.
현재에는 도 1에 도시된 바와 같은 점증발원(2)이 주로 사용되고 있는데 양산 시에는 유기물질을 담을 수 있는 용량이 작은 단점이 있다. 이에 도 2에 도시된 바와 같은 리벌버(4)라는 회전체에 여러 개의 점증발원(2)들을 설치하여 유기물질을 다 사용한 점증발원(2)을 새로운 점증발원(2)으로 교체해 가며 유기박막을 제작하고 있다.
통상적인 유기박막 제작 방식 중 증발원을 사용하는 저항 가열 방식은 고진공 상태의 증착챔버 내에 증발원을 설치하고 증발원 내의 도가니 주위에 설치된 열선에 전류를 흘려 가열하고 열선으로부터의 복사열이 도가니 내의 유기물질을 기체 상태로 만들고 기체 상태의 유기물질이 기판에 날아가 박막을 형성하는 기술이다.
현재에는 도 1에 도시된 바와 같은 점증발원(2)이 주로 사용되고 있는데 양산 시에는 유기물질을 담을 수 있는 용량이 작은 단점이 있다. 이에 도 2에 도시된 바와 같은 리벌버(4)라는 회전체에 여러 개의 점증발원(2)들을 설치하여 유기물질을 다 사용한 점증발원(2)을 새로운 점증발원(2)으로 교체해 가며 유기박막을 제작하고 있다.
구체적으로 설명하면, 도 1은 기존의 점증발원(2)을 사용하여 기판(1)에 유기박막을 형성하는 모습의 실시예로서, 하부에 위치한 점증발원(2)의 도가니(미도시)에 유기물질을 담은 후 가열하여 도가니 내에 담긴 유기물질을 기체상태로 증발시켜 상부의 기판(1)에 증착되도록 하고, 기판(1)에 증착되는 유기박막이 기판(1) 전면에 걸쳐 균일한 두께를 갖도록 점증발원(2)을 기판(1) 중심 바로 아래에서 일정 거리로 떨어뜨려 설치한 상태에서 기판(1)을 회전시키는 모습이다.
또한, 도 2의 2a 및 2b는 이와 같은 점증발원(2)을 사용하여 유기박막을 양산하고자 할 때 여러 개의 점증발원(2)을 수용하는 리벌버(4)라는 회전체를 설치하여 유기박막을 제작하는 것을 보여주는 실시예로서, 리벌버(4)는 증착에 사용하던 점증발원(2)의 유기물질이 다 사용되면 새로운 점증발원(2)으로 교체해 주는 역할을 한다. 이 때 박막두께 측정 센서(5)는 시간당 유기물 증착량을 측정하고 온도 제어기와 함께 연동하여 원하는 증착 속도를 얻기 위해 사용되는 것으로, 새로운 점증발원(2)이 이전의 점증발원(2)과 동일한 증착 속도를 내야 하므로 한 리벌버(4) 당 2개 이상의 박막두께 측정 센서(5)가 사용된다. 또한 각 점증발원(2)마다 열전대(미도시)와 전원 연결선 등이 필요하므로 증착챔버(3) 외부와의 선의 연결 구성도 매우 복잡해진다.
이와 같이 종래의 유기박막 양산과정은 점증발원(2)의 교체과정에서 동일한 증착 속도를 얻기 위한 복잡한 온도 제어를 필요로 할 뿐만 아니라, 한 증착챔버(3) 내에서 2 가지 이상의 유기물질을 증착해야 하는 경우(도 2b 참조)는 제어를 위해 충분한 시간을 필요로 하게 된다. 그러나, 양산시 다수개의 증착챔버(3) 내에서 행해지는 이러한 제어에 소요되는 시간으로 인해 원하는 택타임(Tack Time)을 얻기 어려운 것으로 알려지고 있다. 또한 각 점증발원(2)의 유기물 증착 분포 차이가 존재하여 점증발원(2)을 교체할 때마다 동일한 유기물 증착 분포를 얻기 어렵고, 결과적으로 각 점증발원별로 유기박막의 두께가 상이하게 되어 유기박막 품질이 일정하게 유지되기 어렵다. 게다가 증착챔버(3)에 리벌버(4)와 같은 큰 장치를 설치해야 하므로 증착챔버(3)도 커져야 하며, 기판(1)이 대면적으로 갈수록 이들 문제들은 더욱 심각해진다.
또한, 도 2에 도시된 리벌버 사용 이외에도, 점증발원(2)의 경우 양산시의 유기물질을 담을 수 있는 용량이 작은 단점을 극복하는 방법으로는 유기물질을 담을 수 있는 도가니의 높이를 늘리거나 도가니의 지름을 늘려 도가니의 용량을 늘리는 것이다. 그러나, 도가니의 높이를 늘리는 방법은 열선 및 증발원과 기판과의 거리 등으로 한계가 있으며, 또한 도가니의 지름을 늘리는 방법은 도가니의 지름이 일정이상 커졌을 때 증착 시간이 흘러가면서 도가니 중심부에 있는 유기물질이 도가니 벽에서 열을 직접적으로 받지 못해 남아있게 되고 이를 증발시키기 위해 더 높은 열을 가하면 도가니 중심부분에 남아있던 유기물이 증발하지만 도가니 벽의 온도가 상당히 높아져 있기 때문에 증발하던 유기물이 도가니 벽에 닿으면서 열적 변형을 일으키는 문제를 발생시킨다. 이와 같은 문제들로 단순히 점증발원(2)의 크기를 키우는 방법은 적절치 못하다.
또한, 도 2에 도시된 리벌버 사용 이외에도, 점증발원(2)의 경우 양산시의 유기물질을 담을 수 있는 용량이 작은 단점을 극복하는 방법으로는 유기물질을 담을 수 있는 도가니의 높이를 늘리거나 도가니의 지름을 늘려 도가니의 용량을 늘리는 것이다. 그러나, 도가니의 높이를 늘리는 방법은 열선 및 증발원과 기판과의 거리 등으로 한계가 있으며, 또한 도가니의 지름을 늘리는 방법은 도가니의 지름이 일정이상 커졌을 때 증착 시간이 흘러가면서 도가니 중심부에 있는 유기물질이 도가니 벽에서 열을 직접적으로 받지 못해 남아있게 되고 이를 증발시키기 위해 더 높은 열을 가하면 도가니 중심부분에 남아있던 유기물이 증발하지만 도가니 벽의 온도가 상당히 높아져 있기 때문에 증발하던 유기물이 도가니 벽에 닿으면서 열적 변형을 일으키는 문제를 발생시킨다. 이와 같은 문제들로 단순히 점증발원(2)의 크기를 키우는 방법은 적절치 못하다.
본 발명은 상기의 문제들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 제1 목적은 유기물질을 담는 도가니 용량이 큼과 동시에 유기물질에 열적 변형을 일으키지 않으면서 유기물질을 안정적으로 증착시킬 수 있는 유기박막 제작용 선형도가니 노즐부 교체형 증발원을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 제2 목적은 종래의 리벌버를 사용할 필요 없는 새로운 증발원으로 유기박막 제작에 있어 1주일 간 중단 없는 양산을 가능하게 하며 기존의 복잡한 리벌버를 대체하여 보다 단순한 제어를 통해 양산이 이루어지도록 하고, 소면적 기판에서 대면적 기판의 다양한 기판에 사용 가능하며 균일한 두께의 대면적 유기박막을 얻을 수 있는 유기박막 제작용 선형도가니 노즐부 교체형 증발원을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 제3 목적은 교체가 가능한 다양한 노즐부의 사용으로 기판의 회전운동을 필요 없게 할 뿐만 아니라, 초기에 설치된 소면적용 유기 박막 제작 장치를 대면적용 유기 박막 제작 장치로 향상시키는데 용이한 유기박막 제작용 선형도가니 노즐부 교체형 증발원을 제공하는 것이다..
또한, 본 발명의 제3 목적은 교체가 가능한 다양한 노즐부의 사용으로 기판의 회전운동을 필요 없게 할 뿐만 아니라, 초기에 설치된 소면적용 유기 박막 제작 장치를 대면적용 유기 박막 제작 장치로 향상시키는데 용이한 유기박막 제작용 선형도가니 노즐부 교체형 증발원을 제공하는 것이다..
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은,
긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;
상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및
상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 선형도가니는 긴 직육면체 모양으로, 내부공간이 하부벽과 4개의 측벽들로 형성되고 상부는 뚫려있으며 유기물질이 담기는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 선형도가니 덮개는 긴 직육면체 모양으로 상부벽과 4개의 측벽들로 구성되고 상기 상부벽 중앙에는 상기 노즐부 삽입구가 뚫려있으며, 상기 노즐부 삽입구에는 삽입구 나사홈과 원형의 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 상부벽 내측면은 상기 노즐부 삽입구에서 양 끝 측벽으로 경사지도록 형성되며, 상기 4개의 측벽들 하부의 안쪽에는 돌출부가 아래로 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 선형도가니 장치는 상기 선형도가니 덮개에 형성된 상기 노즐부 삽입구 내에 끼워지는 금속원판을 더 포함할 수 있으며,
상기 금속원판은 일정두께의 원판으로 다수개의 구멍이 뚫려있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐부는 원통관 형상으로 내부에 기체인입부가 뚫려있고 하부 외곽에 노즐부 나사홈이 형성되어, 상기 노즐부 삽입구의 삽입구 나사홈에 맞물려 끼워져 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열선은 상기 선형도가니 장치의 4개의 측벽들의 외부를 따라 상하로 번갈아가며 둘러싸서 설치되며, 선의 형태를 갖거나 판의 형태를 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하우징은 하부벽과 4개의 측벽들과 구멍이 뚫려 있는 상부벽으로 되어 있는 긴 직육면체 모양으로 측벽들 내부에 상기 물관이 세로 또는 가로로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐부는 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능한 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 선형 사각형상의 노즐부는 다수개의 노즐들이 상부에 형성된 사각 노즐부 덮개; 및 원통관이 하부에 형성된 사각 노즐부 베이스;가 일체로 형성된 일체형 또는 별개로 형성되어 결합된 분리형이며,
상기 사각 노즐부 덮개의 상부면은 0도에서 90도 각도로 비스듬히 경사져 있으며, 상기 경사진 면상에 다수개의 상기 노즐들이 장축방향으로 형성되어 상기 원통관의 기체인입부와 연결되고 상기 원통관의 외곽 하면에는 노즐부 나사홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 선형 사각형상의 노즐부 중 분리형 노즐부의 상기 사각 노즐부 덮개의 하면 둘레에는 덮개돌출부가 아래로 형성되어 있고, 상기 사각 노즐부 베이스의 상면 둘레에는 일정깊이의 홈을 가진 베이스 이음새가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 면형상의 노즐부는 평평한 정사각형의 상부면에는 다수개의 노즐들이 형성되어 있고 하부면 둘레에는 면 덮개 돌출부가 돌출되어 있는 면 노즐부 덮개; 및 정사각형의 상부면 둘레에는 면 베이스 이음새가 일정깊이의 홈으로 파여 있으며 원통관이 하부에 형성된 면 노즐부 베이스;로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 면 노즐부 베이스의 상부면 중심상에 상기 원통관의 기체인입부가 형성되며, 상기 기체인입부로부터 상기 면 노즐부 덮개에 있는 각 노즐들과 연결되는 기체 관로가 방사형으로 일정깊이로 형성되고, 상기 원통관 하부 외곽에 노즐부 나사홈이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 U자형 노즐부는 내부에 기체인입부가 뚫려있는 U자 모양의 원통관으로, 관의 한 쪽이 길게 형성되어 짧은 쪽은 상기 선형도가니 덮개와 연결되고 긴 쪽에는 노즐이 있으며, 외부에는 열선고정홈이 나선으로 형성된 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;
상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및
상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 선형도가니는 긴 직육면체 모양으로, 내부공간이 하부벽과 4개의 측벽들로 형성되고 상부는 뚫려있으며 유기물질이 담기는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 선형도가니 덮개는 긴 직육면체 모양으로 상부벽과 4개의 측벽들로 구성되고 상기 상부벽 중앙에는 상기 노즐부 삽입구가 뚫려있으며, 상기 노즐부 삽입구에는 삽입구 나사홈과 원형의 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 상부벽 내측면은 상기 노즐부 삽입구에서 양 끝 측벽으로 경사지도록 형성되며, 상기 4개의 측벽들 하부의 안쪽에는 돌출부가 아래로 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 선형도가니 장치는 상기 선형도가니 덮개에 형성된 상기 노즐부 삽입구 내에 끼워지는 금속원판을 더 포함할 수 있으며,
상기 금속원판은 일정두께의 원판으로 다수개의 구멍이 뚫려있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐부는 원통관 형상으로 내부에 기체인입부가 뚫려있고 하부 외곽에 노즐부 나사홈이 형성되어, 상기 노즐부 삽입구의 삽입구 나사홈에 맞물려 끼워져 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 열선은 상기 선형도가니 장치의 4개의 측벽들의 외부를 따라 상하로 번갈아가며 둘러싸서 설치되며, 선의 형태를 갖거나 판의 형태를 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하우징은 하부벽과 4개의 측벽들과 구멍이 뚫려 있는 상부벽으로 되어 있는 긴 직육면체 모양으로 측벽들 내부에 상기 물관이 세로 또는 가로로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐부는 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능한 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 선형 사각형상의 노즐부는 다수개의 노즐들이 상부에 형성된 사각 노즐부 덮개; 및 원통관이 하부에 형성된 사각 노즐부 베이스;가 일체로 형성된 일체형 또는 별개로 형성되어 결합된 분리형이며,
상기 사각 노즐부 덮개의 상부면은 0도에서 90도 각도로 비스듬히 경사져 있으며, 상기 경사진 면상에 다수개의 상기 노즐들이 장축방향으로 형성되어 상기 원통관의 기체인입부와 연결되고 상기 원통관의 외곽 하면에는 노즐부 나사홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 선형 사각형상의 노즐부 중 분리형 노즐부의 상기 사각 노즐부 덮개의 하면 둘레에는 덮개돌출부가 아래로 형성되어 있고, 상기 사각 노즐부 베이스의 상면 둘레에는 일정깊이의 홈을 가진 베이스 이음새가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 면형상의 노즐부는 평평한 정사각형의 상부면에는 다수개의 노즐들이 형성되어 있고 하부면 둘레에는 면 덮개 돌출부가 돌출되어 있는 면 노즐부 덮개; 및 정사각형의 상부면 둘레에는 면 베이스 이음새가 일정깊이의 홈으로 파여 있으며 원통관이 하부에 형성된 면 노즐부 베이스;로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 면 노즐부 베이스의 상부면 중심상에 상기 원통관의 기체인입부가 형성되며, 상기 기체인입부로부터 상기 면 노즐부 덮개에 있는 각 노즐들과 연결되는 기체 관로가 방사형으로 일정깊이로 형성되고, 상기 원통관 하부 외곽에 노즐부 나사홈이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 U자형 노즐부는 내부에 기체인입부가 뚫려있는 U자 모양의 원통관으로, 관의 한 쪽이 길게 형성되어 짧은 쪽은 상기 선형도가니 덮개와 연결되고 긴 쪽에는 노즐이 있으며, 외부에는 열선고정홈이 나선으로 형성된 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 선형도가니 장치를 나타내는 사시도, 도 4는 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 선형도가니 장치의 결합 방법을 나타내는 단면도, 도 5는 본 발명의 금속원판을 나타내는 사시도, 도 6은 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 단면도, 도 7은 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원이 양산에 사용되는 실시예를 나타내는 평면도, 도 8는 본 발명의 사각 노즐부를 나타내는 사시도, 도 9은 본 발명의 면 노즐부를 나타내는 사시도, 도 10은 본 발명의 U자형 노즐부가 연결된 선형도가니 장치가 기판에 유기박막을 증착하는 모습을 나타내는 사시도이다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은, 긴 직육면체 모양의 선형도가니(40); 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개(30); 및 상기 선형도가니 덮개(30)에 형성된 노즐부 삽입구(31)에 결합되는 노즐부(20);를 포함하여 구성된 선형도가니 장치(10); 상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선(7); 및 상기 선형도가니 장치(10)와 상기 열선(7)을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관(9)을 구비한 하우징(8);으로 구성된다.
특히, 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 선형도가니 장치(10)는, 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31) 내에 들어가는 금속원판(50)을 더 포함할 수 있다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은, 긴 직육면체 모양의 선형도가니(40); 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개(30); 및 상기 선형도가니 덮개(30)에 형성된 노즐부 삽입구(31)에 결합되는 노즐부(20);를 포함하여 구성된 선형도가니 장치(10); 상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선(7); 및 상기 선형도가니 장치(10)와 상기 열선(7)을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관(9)을 구비한 하우징(8);으로 구성된다.
특히, 본 발명의 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 선형도가니 장치(10)는, 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31) 내에 들어가는 금속원판(50)을 더 포함할 수 있다.
여기서, 선형도가니(40)는 하부벽(42)과 4개의 측벽(43)들로 형성된 긴 직육면체 모양으로 상부가 개방되어 있으며, 내부에는 유기물질(6)을 담는 약실 공간이 형성되어 있다. 이와 같은 형상의 선형도가니는 충분한 용량의 유기물질을 갖도록 길쭉하여 양산시 6일 이상을 끊임없이 증착할 수 있으며, 또한 선형도가니(40)의 폭이 충분히 좁아 선형도가니(40) 내에 담긴 유기물질(6)에 고르게 열이 전달되어 유기물질(6)이 적게 남아 있어도 이전과 동일한 증착 속도를 유지하도록 하는데 온도 변화가 적어 유기물질(6)의 열적 변형이 발생하지 않게 된다.
또한, 선형도가니(40)의 하부벽(42) 하단 중앙에는 도가니 내의 온도 측정을 위한 열전대를 삽입할 수 있는 열전대 삽입홈(41)이 형성될 수 있다.
또한, 선형도가니(40)의 하부벽(42) 하단 중앙에는 도가니 내의 온도 측정을 위한 열전대를 삽입할 수 있는 열전대 삽입홈(41)이 형성될 수 있다.
또한, 선형도가니 덮개(30)는 상부벽(35)과 4개의 측벽(36)들로 형성된 긴 직육면체 모양이며, 4개의 측벽(36)들 하부의 안쪽에 돌출부(33)가 아래로 형성되어 있어 선형도가니(40)와 밀접하게 결합할 수 있도록 한다.
또한, 선형도가니 덮개(30)의 상부벽(35) 중앙에는 노즐부 삽입구(31)가 뚫려 있고 노즐부 삽입구(31)내에 삽입구 나사홈(32)이 형성되어 있으며 삽입구 나사홈(32)이 끝나는 하부 부분에는 걸림턱(34)이 노즐부 삽입구(31)의 직경보다 작게 형성되어 있다. 또한, 상부벽(35)의 내측면은 노즐부 삽입구(31)에서 양 끝 측벽(36)으로 경사지도록 형성된다. 이와 같이 상부벽(35)의 내측면이 경사진 것은 선형도가니(40)에 담겨 있는 유기물질(6)이 가열되어 기체로 증발할 때 유기물 기체가 노즐부 삽입구(31)로 빠져 나가는데 용이하도록 하기 위함이다.
또한, 선형도가니 덮개(30)의 상부벽(35) 중앙에는 노즐부 삽입구(31)가 뚫려 있고 노즐부 삽입구(31)내에 삽입구 나사홈(32)이 형성되어 있으며 삽입구 나사홈(32)이 끝나는 하부 부분에는 걸림턱(34)이 노즐부 삽입구(31)의 직경보다 작게 형성되어 있다. 또한, 상부벽(35)의 내측면은 노즐부 삽입구(31)에서 양 끝 측벽(36)으로 경사지도록 형성된다. 이와 같이 상부벽(35)의 내측면이 경사진 것은 선형도가니(40)에 담겨 있는 유기물질(6)이 가열되어 기체로 증발할 때 유기물 기체가 노즐부 삽입구(31)로 빠져 나가는데 용이하도록 하기 위함이다.
노즐부(20)는 노즐부 삽입구(31)에 끼움결합되는 것으로, 원통관 형상이며 원통관 내부에 기체 인입부(23)가 뚫려있고 하부 외곽에 노즐부 나사홈(22)이 형성되어 있어 선형도가니 덮개(30) 상의 노즐부 삽입구(31) 내의 삽입구 나사홈(32)과 맞물려 결합된다. 선형도가니(40)에 담긴 유기물질(6)은 가열되어 유기물 기체가 되고 유기물 기체는 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31)에 끼워진 후술하는 금속원판(50)의 구멍(51)들을 지나 노즐부(20)의 기체 인입부(23)를 거쳐 노즐부(20) 상부의 노즐(21)을 통해 기판(1)으로 날아간다. 도 4에서는 원통형 노즐부만을 도시하였으나, 이에 국한되는 것은 아니며 다양한 형태의 노즐부를 구비할 수 있음은 물론이며, 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능하다.
또한, 선형도가니 덮개(30) 내의 걸림턱(34)에는 도 5에 도시된 바와 같은 금속원판(50)이 결합될 수 있다. 이와 같은 금속원판(50)은 일정두께의 얇은 원판으로 원판상에 다수개의 구멍(51)이 뚫려 있어 튀어나온 유기물 기체 덩어리가 직접 기판에 닿지 않도록 방지하기 위한 것이다. 통상적으로 유기물질(6)이 가열되어 유기물 기체가 될 때 유기물 기체 덩어리가 튀는 현상이 발생하는데 이렇게 튀어 나온 유기물 기체 덩어리는 일반적으로 증착되는 유기물 기체보다 크기가 크기 때문에 기판(1)에 증착되면 기판(1)의 유기박막 품질을 떨어뜨리는 원인이 되기 때문이다.
이와 같은 금속원판(50)은 노즐부 삽입구(31)에 끼워지는 노즐부(20)와 밀착되어 선형도가니 덮개(30)와 노즐부(20)가 열적 평형을 쉽게 이루도록 해준다. 이와 같이 선형도가니 덮개(30)와 노즐부(20)의 열적평형에 의해 선형도가니 덮개(30)와 노즐부(20)의 온도를 동일하게 유지함으로써, 노즐부(20)의 온도가 상대적으로 낮게 되어 유기물 기체가 노즐부(20)에 달라붙어 노즐(21)을 막게 되는 현상을 방지한다.
이와 같은 금속원판(50)은 노즐부 삽입구(31)에 끼워지는 노즐부(20)와 밀착되어 선형도가니 덮개(30)와 노즐부(20)가 열적 평형을 쉽게 이루도록 해준다. 이와 같이 선형도가니 덮개(30)와 노즐부(20)의 열적평형에 의해 선형도가니 덮개(30)와 노즐부(20)의 온도를 동일하게 유지함으로써, 노즐부(20)의 온도가 상대적으로 낮게 되어 유기물 기체가 노즐부(20)에 달라붙어 노즐(21)을 막게 되는 현상을 방지한다.
도 6은 본 발명에 따른 유기박막 제작용 선형도가니 노즐부 교체형 증발원의 일실시예가 도시되어 있다. 본 발명의 증발원은, 선형도가니(40), 선형도가니 덮개(30), 금속원판 및 원통형 노즐부(20)가 결합된 선형도가니 장치(10)와 선형도가니장치(10)에 열을 가하도록 구비된 열선(7)과 물관(9)을 구비한 하우징(8)으로 구성된다.
선형도가니 장치(10)는 상술한 바와 같으며,
열선(7)은 외부에서 공급된 전류로 발열되어 선형도가니(40) 내에 담긴 유기물질(6)에 열을 가하는 것으로, 열선(7)으로는 와이어로 된 열선(7)을 사용하거나 긴 직사각형의 판을 상하에서 엇갈리게 연결한 형태의 판 열선을 사용할 수 있다. 이와 같은 열선(7)에 의한 선형도가니(40) 내의 온도는 선형도가니(40)의 열전대 삽입홈(41)에 끼워진 열전대(TC)를 통해 측정하고 적당한 온도가 될 때까지 전류를 제어하여 온도를 조절한다. 열선(7)으로부터의 열은 복사열로 선형도가니 장치(10)에 전달될 뿐만 아니라, 증착 챔버(3)와 기판(1)에도 전달된다.
이러한 복사열은 기판(1)을 휘어지게 하거나 증착된 유기박막의 품질에 나쁜 영향을 주게 되는데, 이를 방지하고 열선(7)의 복사열이 선형도가니 장치(10) 외의 밖으로 전달되는 것을 막기 위해 도 6에 도시된 바와 같이, 선형도가니 장치(10)와 열선(7)을 감싸는 구조로 하부벽(12)과 4개의 측벽(13)과 노즐부(20)를 위해 원형의 구멍이 있는 상부벽(14)으로 구성된 하우징(8)을 구비한다.
하우징의 측벽(13)에는 열선(7)의 복사열에 의해 하우징(8)이 가열되는 것을 막기 위해 물관(9)이 형성되어 있으며, 세로 또는 가로로 형성될 수 있다.
선형도가니 장치(10)는 상술한 바와 같으며,
열선(7)은 외부에서 공급된 전류로 발열되어 선형도가니(40) 내에 담긴 유기물질(6)에 열을 가하는 것으로, 열선(7)으로는 와이어로 된 열선(7)을 사용하거나 긴 직사각형의 판을 상하에서 엇갈리게 연결한 형태의 판 열선을 사용할 수 있다. 이와 같은 열선(7)에 의한 선형도가니(40) 내의 온도는 선형도가니(40)의 열전대 삽입홈(41)에 끼워진 열전대(TC)를 통해 측정하고 적당한 온도가 될 때까지 전류를 제어하여 온도를 조절한다. 열선(7)으로부터의 열은 복사열로 선형도가니 장치(10)에 전달될 뿐만 아니라, 증착 챔버(3)와 기판(1)에도 전달된다.
이러한 복사열은 기판(1)을 휘어지게 하거나 증착된 유기박막의 품질에 나쁜 영향을 주게 되는데, 이를 방지하고 열선(7)의 복사열이 선형도가니 장치(10) 외의 밖으로 전달되는 것을 막기 위해 도 6에 도시된 바와 같이, 선형도가니 장치(10)와 열선(7)을 감싸는 구조로 하부벽(12)과 4개의 측벽(13)과 노즐부(20)를 위해 원형의 구멍이 있는 상부벽(14)으로 구성된 하우징(8)을 구비한다.
하우징의 측벽(13)에는 열선(7)의 복사열에 의해 하우징(8)이 가열되는 것을 막기 위해 물관(9)이 형성되어 있으며, 세로 또는 가로로 형성될 수 있다.
도 7은 도 6의 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원이 양산에 사용되는 경우의 실시예(도7a, 도7b)로서, 기존의 점증발원(2)을 사용하는 리벌버(4)를 대신하여 고진공 증착 챔버내에 설치된 평면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 원통형 노즐부(20)를 사용한 것으로 선형도가니(40)에 종래기술의 점증발원(2)의 노즐을 연결한 것과 같은 모양이나 종래의 점증발원(2)을 사용한 리벌버(4)와 비교하면, 박막 두께 측정 센서(5)와 열전대, 전원 연결선 등이 선형도가니 노즐부 교체형 증발원 하나에 하나씩 설치되고 차지하는 공간이 작아 증착챔버(3)의 크기가 커질 필요가 없으며 복잡한 제어 없이 한 번의 증착 조건을 설정하여 장기간 사용할 수 있는 장점이 있다. 이러한 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 양산 시 기존의 리벌버(4)의 사용으로 인한 복잡성과 양산 수율의 저하를 막고 양산 수율을 크게 향상시킬 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 원통형 노즐부(20)를 사용한 것으로 선형도가니(40)에 종래기술의 점증발원(2)의 노즐을 연결한 것과 같은 모양이나 종래의 점증발원(2)을 사용한 리벌버(4)와 비교하면, 박막 두께 측정 센서(5)와 열전대, 전원 연결선 등이 선형도가니 노즐부 교체형 증발원 하나에 하나씩 설치되고 차지하는 공간이 작아 증착챔버(3)의 크기가 커질 필요가 없으며 복잡한 제어 없이 한 번의 증착 조건을 설정하여 장기간 사용할 수 있는 장점이 있다. 이러한 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 양산 시 기존의 리벌버(4)의 사용으로 인한 복잡성과 양산 수율의 저하를 막고 양산 수율을 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 도 8은 본 발명에 따른 선형도가니장치(10)에 사용되는 노즐부의 다른 실시예로서, 선형 사각형상의 노즐부(70)가 도시되어 있다.
선형 사각형상의 노즐부(70)는 도 8에 도시된 바와 같이, 다수개의 노즐들이 상부에 형성된 사각 노즐부 덮개(71); 및 원통관이 하부에 형성된 사각 노즐부 베이스(72);가 일체로 형성된 일체형(도 8a) 또는 별개로 형성되어 결합된 분리형(도 8b)이 될 수 있다.
여기서, 사각 노즐부 덮개(71)의 상부면은 0도에서 90도 각도로 비스듬히 경사져 있으며, 경사진 면상에는 다수개의 노즐들(21)이 장축방향으로 중앙선을 따라형성되어 원통관의 기체인입부(23)와 연결되고 원통관의 외곽 하면에는 노즐부 나사홈(22)이 형성되어 있다.
도 8b에 도시된 분리형 선형 사각형상의 노즐부(70)를 구체적으로 설명하면, 긴 직육면체의 선형의 사각 노즐부 덮개(71)가 있고 사각 노즐부 덮개(71)의 상부에 다수 개의 노즐(21)들이 장축방향으로 중앙선을 따라 일직선으로 뚫려 있으며 하부에는 덮개 돌출부(73)가 아래로 돌출되어 있다.
또한, 사각 노즐부 덮개(71)의 덮개 돌출부(73)는 사각 노즐부 베이스(72) 상의 베이스 이음새(74)에 삽입되는 구조이다. 사각 노즐부 베이스(72)는 긴 직육면체 모양의 상부와 원통관의 하부로 되어 있으며, 상부에는 둘레를 따라 사각 노즐부 덮개(71)와 연결되는 베이스 이음새(74)가 일정 깊이로 파여 있고, 기체인입부(23)가 하부에서 상부까지 뚫려 있으며, 기체관로(75)가 장축방향으로 길게 일정깊이로 파여 있다.
덮개 돌출부(73)와 베이스 이음새(74)는 덮개 돌출부(73)가 베이스 이음새(74)에 삽입되어 유기물 기체가 사각 노즐부 덮개(71)와 사각 노즐부 베이스(72) 사이로 빠져나가지 못하도록 한다. 원통관 하부에는 노즐부 나사홈(22)이 나 있어 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31)에 끼워지도록 되어 있다. 사각 노즐부(70)는 기판이 회전운동이 아닌 직선왕복 운동을 하는 증착챔버(3)에서 사용하는데 유용하며 기판(1)의 크기에 따라 사각 노즐부(70)의 길이를 길게 하여 사용할 수 있다.
이와 같은 사각 노즐부(70)를 노즐부에 연결하게 되면, 선형도가니(40)의 유기물 기체는 기체인입부(23)를 통과해 기체관로(75)를 지나 사각 노즐부 덮개(71) 상의 노즐(21)들을 통해 기판(1)에 증착하게 된다.
선형 사각형상의 노즐부(70)는 도 8에 도시된 바와 같이, 다수개의 노즐들이 상부에 형성된 사각 노즐부 덮개(71); 및 원통관이 하부에 형성된 사각 노즐부 베이스(72);가 일체로 형성된 일체형(도 8a) 또는 별개로 형성되어 결합된 분리형(도 8b)이 될 수 있다.
여기서, 사각 노즐부 덮개(71)의 상부면은 0도에서 90도 각도로 비스듬히 경사져 있으며, 경사진 면상에는 다수개의 노즐들(21)이 장축방향으로 중앙선을 따라형성되어 원통관의 기체인입부(23)와 연결되고 원통관의 외곽 하면에는 노즐부 나사홈(22)이 형성되어 있다.
도 8b에 도시된 분리형 선형 사각형상의 노즐부(70)를 구체적으로 설명하면, 긴 직육면체의 선형의 사각 노즐부 덮개(71)가 있고 사각 노즐부 덮개(71)의 상부에 다수 개의 노즐(21)들이 장축방향으로 중앙선을 따라 일직선으로 뚫려 있으며 하부에는 덮개 돌출부(73)가 아래로 돌출되어 있다.
또한, 사각 노즐부 덮개(71)의 덮개 돌출부(73)는 사각 노즐부 베이스(72) 상의 베이스 이음새(74)에 삽입되는 구조이다. 사각 노즐부 베이스(72)는 긴 직육면체 모양의 상부와 원통관의 하부로 되어 있으며, 상부에는 둘레를 따라 사각 노즐부 덮개(71)와 연결되는 베이스 이음새(74)가 일정 깊이로 파여 있고, 기체인입부(23)가 하부에서 상부까지 뚫려 있으며, 기체관로(75)가 장축방향으로 길게 일정깊이로 파여 있다.
덮개 돌출부(73)와 베이스 이음새(74)는 덮개 돌출부(73)가 베이스 이음새(74)에 삽입되어 유기물 기체가 사각 노즐부 덮개(71)와 사각 노즐부 베이스(72) 사이로 빠져나가지 못하도록 한다. 원통관 하부에는 노즐부 나사홈(22)이 나 있어 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31)에 끼워지도록 되어 있다. 사각 노즐부(70)는 기판이 회전운동이 아닌 직선왕복 운동을 하는 증착챔버(3)에서 사용하는데 유용하며 기판(1)의 크기에 따라 사각 노즐부(70)의 길이를 길게 하여 사용할 수 있다.
이와 같은 사각 노즐부(70)를 노즐부에 연결하게 되면, 선형도가니(40)의 유기물 기체는 기체인입부(23)를 통과해 기체관로(75)를 지나 사각 노즐부 덮개(71) 상의 노즐(21)들을 통해 기판(1)에 증착하게 된다.
또한, 도 9는 본 발명에 따른 선형도가니장치(10)에 사용되는 노즐부의 또 다른 실시예로서, 면형상의 노즐부(80)로 면 노즐부 덮개(81)와 면 노즐부 베이스(82)로 구성된다.
면 노즐부 덮개(81)의 상부면은 정사각형 형태로 되어 있고 상부면 상에 다수 개의 노즐(21)들이 뚫려 있으며, 면 노즐부 덮개(81)의 하부면에는 면 노즐부 베이스(82)의 둘레를 따라 일정 깊이로 파여있는 베이스 이음새(74)에 삽입되도록 아래로 돌출되어 있는 덮개 돌출부(73)가 형성되어 있다.
면 노즐부 베이스(82)는 정사각형 형태의 상부면과 원통관으로 된 하부가 연결되어 있는 구조로 상부면에는 중심부에 기체인입부(23) 구멍이 뚫려있고 기체인입부와 연통되도록 방사형으로 형성된 기체 관로(75)가 뚫려 있으며, 원통관에는 기체인입부(23)와 연결된 관통로가 뚫려 있고 원통관 아래에는 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31)에 끼워지도록 노즐부 나사홈(22)이 형성되어 있다.
면 노즐부 베이스(82)의 상부면에 방사형으로 형성된 기체 관로(75)는 기체인입부(23)에서 방사형으로 면 노즐부 덮개(81) 상의 각 노즐(21)들 위치까지 뻗어 있는 형태이다.
이와 같은 면형상의 노즐부(80)를 노즐부에 연결하게 되면, 선형도가니(40)에 담겨 있는 유기물질(6)은 가열되어 기체가 되어 면 노즐부(80)의 기체인입부(23)를 통해 면 노즐부 덮개(81) 상의 노즐(21)들을 통해 기판(1)에 증착되는데 기체인입부(23)에서 각 노즐(21)들까지 기체 관로(75)를 통해 이동한다. 면 노즐부(80)는 대면적 기판에 유기박막을 형성하는 경우에 기판(1)의 회전 없이 균일한 두께의 유기박막을 얻는데 사용될 수 있다.
면 노즐부 덮개(81)의 상부면은 정사각형 형태로 되어 있고 상부면 상에 다수 개의 노즐(21)들이 뚫려 있으며, 면 노즐부 덮개(81)의 하부면에는 면 노즐부 베이스(82)의 둘레를 따라 일정 깊이로 파여있는 베이스 이음새(74)에 삽입되도록 아래로 돌출되어 있는 덮개 돌출부(73)가 형성되어 있다.
면 노즐부 베이스(82)는 정사각형 형태의 상부면과 원통관으로 된 하부가 연결되어 있는 구조로 상부면에는 중심부에 기체인입부(23) 구멍이 뚫려있고 기체인입부와 연통되도록 방사형으로 형성된 기체 관로(75)가 뚫려 있으며, 원통관에는 기체인입부(23)와 연결된 관통로가 뚫려 있고 원통관 아래에는 선형도가니 덮개(30)의 노즐부 삽입구(31)에 끼워지도록 노즐부 나사홈(22)이 형성되어 있다.
면 노즐부 베이스(82)의 상부면에 방사형으로 형성된 기체 관로(75)는 기체인입부(23)에서 방사형으로 면 노즐부 덮개(81) 상의 각 노즐(21)들 위치까지 뻗어 있는 형태이다.
이와 같은 면형상의 노즐부(80)를 노즐부에 연결하게 되면, 선형도가니(40)에 담겨 있는 유기물질(6)은 가열되어 기체가 되어 면 노즐부(80)의 기체인입부(23)를 통해 면 노즐부 덮개(81) 상의 노즐(21)들을 통해 기판(1)에 증착되는데 기체인입부(23)에서 각 노즐(21)들까지 기체 관로(75)를 통해 이동한다. 면 노즐부(80)는 대면적 기판에 유기박막을 형성하는 경우에 기판(1)의 회전 없이 균일한 두께의 유기박막을 얻는데 사용될 수 있다.
또한, 도 10은 본 발명에 따른 선형도가니장치(10)에 사용되는 노즐부의 또 다른 실시예로서, U자형 노즐부(90)가 연결된 선형도가니 장치(10)가 기판(1)에 유기박막을 증착하는 모습을 나타낸다.
도 10에 도시된 바와 같이, U자형 노즐부(90)는 기체인입부(23)가 내부에 뚫려있는 U자 모양의 원통관으로, 관의 한 쪽이 길게 형성되어 짧은 쪽은 선형도가니 덮개(30)와 연결되고 긴 쪽에는 노즐(21)이 있으며, 외부에는 열선(7)이 설치되는 열선고정홈이 나선으로 형성된다. U자형 노즐부는 유기물질(6) 기체가 아래로 분출되도록 하는 것으로 기판(1)과 마스크(11)가 아래에 놓여지게 된다. 이와 같은 도 10에서와 같은 증착 방식은 하향식 증착방식으로 기판(1)과 마스크(11)가 아래에 놓여있어 고정이나 취급이 용이한 장점이 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, U자형 노즐부(90)는 기체인입부(23)가 내부에 뚫려있는 U자 모양의 원통관으로, 관의 한 쪽이 길게 형성되어 짧은 쪽은 선형도가니 덮개(30)와 연결되고 긴 쪽에는 노즐(21)이 있으며, 외부에는 열선(7)이 설치되는 열선고정홈이 나선으로 형성된다. U자형 노즐부는 유기물질(6) 기체가 아래로 분출되도록 하는 것으로 기판(1)과 마스크(11)가 아래에 놓여지게 된다. 이와 같은 도 10에서와 같은 증착 방식은 하향식 증착방식으로 기판(1)과 마스크(11)가 아래에 놓여있어 고정이나 취급이 용이한 장점이 있다.
본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 용량이 큰 선형도가니를 사용하므로 유기박막 제작에 있어 1주일 간 중단 없는 양산을 가능하게 하며 기존의 복잡한 리벌버를 대체하여 보다 단순한 제어를 통해 양산이 이루어지도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 다양한 노즐부의 사용으로 기판의 회전운동을 필요 없게 하거나 균일한 두께를 갖는 대면적 유기박막을 얻게 하거나 경우에 따라 하향식 증착방법을 사용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 노즐부의 교체가 가능하므로 초기에 설치된 소면적용 유기 박막 제작 장치를 대면적용 유기 박막 제작 장치로 향상시키는데 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 다양한 노즐부의 사용으로 기판의 회전운동을 필요 없게 하거나 균일한 두께를 갖는 대면적 유기박막을 얻게 하거나 경우에 따라 하향식 증착방법을 사용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 선형도가니 노즐부 교체형 증발원은 노즐부의 교체가 가능하므로 초기에 설치된 소면적용 유기 박막 제작 장치를 대면적용 유기 박막 제작 장치로 향상시키는데 용이한 효과가 있다.
Claims (16)
- 긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 선형도가니 덮개는 긴 직육면체 모양으로 상부벽과 4개의 측벽들로 구성되고 상기 상부벽 중앙에는 상기 노즐부 삽입구가 뚫려있으며, 상기 노즐부 삽입구에는 삽입구 나사홈과 원형의 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 상부벽 내측면은 상기 노즐부 삽입구에서 양 끝 측벽으로 경사지도록 형성되며, 상기 4개의 측벽들 하부의 안쪽에는 돌출부가 아래로 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
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- 긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 선형도가니 장치는 상기 선형도가니 덮개에 형성된 상기 노즐부 삽입구 내에 끼워지는 금속원판을 더 포함할 수 있으며,상기 금속원판은 일정두께의 원판으로 다수개의 구멍이 뚫려있는 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 제1항에 있어서,상기 노즐부는 원통관 형상으로 내부에 기체인입부가 뚫려있고 하부 외곽에 노즐부 나사홈이 형성되어, 상기 노즐부 삽입구의 삽입구 나사홈에 맞물려 끼워져 결합되는 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
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- 제1항에 있어서,상기 열선은 상기 선형도가니 장치의 4개의 측벽들의 외부를 따라 상하로 번갈아가며 둘러싸서 설치되며, 선의 형태를 갖거나 판의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 제1항에 있어서,상기 하우징은 하부벽과 4개의 측벽들과 구멍이 뚫려 있는 상부벽으로 되어 있는 긴 직육면체 모양으로 측벽들 내부에 상기 물관이 세로 또는 가로로 형성된 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 제1항에 있어서,상기 노즐부는 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
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- 긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 노즐부는 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능하고,상기 선형 사각형상의 노즐부는 다수개의 노즐들이 상부에 형성된 사각 노즐부 덮개; 및 원통관이 하부에 형성된 사각 노즐부 베이스;가 일체로 형성된 일체형 또는 별개로 형성되어 결합된 분리형이며,상기 사각 노즐부 덮개의 상부면은 0도에서 90도 각도로 비스듬히 경사져 있으며, 상기 경사진 면상에 다수개의 상기 노즐들이 장축방향으로 형성되어 상기 원통관의 기체인입부와 연결되고 상기 원통관의 외곽 하면에는 노즐부 나사홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 제12항에 있어서,상기 선형 사각형상의 노즐부 중 분리형 노즐부의 상기 사각 노즐부 덮개의 하면 둘레에는 덮개돌출부가 아래로 형성되어 있고, 상기 사각 노즐부 베이스의 상면 둘레에는 일정깊이의 홈을 가진 베이스 이음새가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 노즐부는 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능하고,상기 면형상의 노즐부는 평평한 정사각형의 상부면에는 다수개의 노즐들이 형성되어 있고 하부면 둘레에는 면 덮개 돌출부가 돌출되어 있는 면 노즐부 덮개; 및 정사각형의 상부면 둘레에는 면 베이스 이음새가 일정깊이의 홈으로 파여 있으며 원통관이 하부에 형성된 면 노즐부 베이스;로 구성된 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 제 14항에 있어서,상기 면 노즐부 베이스의 상부면 중심상에 상기 원통관의 기체인입부가 형성되며, 상기 기체인입부로부터 상기 면 노즐부 덮개에 있는 각 노즐들과 연결되는 기체 관로가 방사형으로 일정깊이로 형성되고, 상기 원통관 하부 외곽에 노즐부 나사홈이 형성된 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
- 긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치;상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 노즐부는 원통관 형상의 노즐부, 선형 사각형상의 노즐부, 면형상의 노즐부, 또는 U자형 노즐부 중 어느 하나의 노즐부로 교체 가능하고,상기 U자형 노즐부는 내부에 기체인입부가 뚫려있는 U자 모양의 원통관으로, 관의 한 쪽이 길게 형성되어 짧은 쪽은 상기 선형도가니 덮개와 연결되고 긴 쪽에는 노즐이 있으며, 외부에는 열선고정홈이 나선으로 형성된 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.
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| JP2004018997A (ja) | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Eiko Engineering Co Ltd | 薄膜堆積用分子線源セル |
| JP2004307877A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Nippon Biitec:Kk | 薄膜堆積用分子線源とそれを使用した薄膜堆積方法 |
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2005
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