KR20180067463A - 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체, 증발 소스, 증착 장치, 및 이를 위한 방법 - Google Patents
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Abstract
증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체(100)가 설명된다. 측정 조립체(100)는, 증착 레이트를 측정하기 위한 제1 발진 크리스털(110); 증착 레이트를 측정하기 위한 제2 발진 크리스털(120); 및 이동가능한 셔터(140)를 포함한다. 이동가능한 셔터(140)는 제1 측정 배출구(151)로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성되고, 제1 측정 배출구는 제1 발진 크리스털(110)에 증발된 재료를 제공하도록 지향된다. 추가로, 이동가능한 셔터(140)는 제2 측정 배출구(152)로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성되고, 제2 측정 배출구는 제2 발진 크리스털(120)에 증발된 재료를 제공하도록 지향된다.
Description
[0001] 본 개시내용은, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체, 재료의 증발을 위한 증발 소스, 기판에 재료를 적용(applying)하기 위한 증착 장치, 및 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 개시내용은 특히, 증발된 유기 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체 및 이를 위한 방법에 관한 것이다. 추가로, 본 개시내용은 특히, 유기 재료들을 내부에 포함하는 디바이스들, 예컨대 유기 재료를 위한 증착 장치 및 증발 소스에 관한 것이다.
[0002] 유기 증발기(organic evaporator)들은 유기 발광 다이오드(OLED)들의 생산을 위한 툴이다. OLED들은 방출 층이 특정한 유기 화합물들의 박막을 포함하는 특수한 타입의 발광 다이오드이다. 유기 발광 다이오드(OLED)들은 정보를 디스플레이하기 위한, 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 다른 핸드-헬드 디바이스들 등의 제조에서 사용된다. OLED들은 또한, 일반적인 공간 조명을 위해 사용될 수 있다. OLED 디스플레이들을 이용하여 가능한 컬러들, 휘도, 및 시야각의 범위는 종래의 LCD 디스플레이들의 컬러들, 휘도, 및 시야각의 범위보다 더 큰데, 이는 OLED 픽셀들이 직접적으로 발광하고, 백 라이트를 수반하지 않기 때문이다. 따라서, OLED 디스플레이들의 에너지 소비는 종래의 LCD 디스플레이들의 에너지 소비보다 상당히 더 적다. 추가로, OLED들이 가요성 기판들 상에 제조될 수 있다는 사실은 추가적인 애플리케이션들을 발생시킨다.
[0003] OLED의 기능성은 유기 재료의 코팅 두께에 따라 좌우된다. 그 두께는 미리 결정된 범위 내에 있어야만 한다. OLED들의 생산에서, 유기 재료를 이용한 코팅이 실시되는 증착 레이트는 미리 결정된 허용오차 범위 내에 놓이도록 제어된다. 즉, 유기 증발기의 증착 레이트는 생산 프로세스에서 철저히 제어되어야만 한다.
[0004] 따라서, OLED 애플리케이션들의 경우뿐만 아니라 다른 증발 프로세스들의 경우에, 비교적 긴 시간에 걸친 증착 레이트의 높은 정확도가 요구된다. 증발기들의 증착 레이트를 측정하기 위한 복수의 측정 시스템들이 이용가능하다. 그러나, 이들 측정 시스템들은 요구되는 시간 기간에 걸친 불충분한 정확도 및/또는 불충분한 안정성의 문제를 갖는다.
[0005] 따라서, 개선된 증착 레이트 측정 시스템들, 증착 레이트 측정 방법들, 증발기들, 및 증착 장치들을 제공하는 것에 대한 요구가 계속되고 있다.
[0006] 상기된 바를 고려하면, 독립 청구항들에 따른, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체, 증발 소스, 증착 장치, 및 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법이 제공된다.
[0007] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체가 제공된다. 측정 조립체는, 증착 레이트를 측정하기 위한 제1 발진 크리스털(oscillation crystal); 증착 레이트를 측정하기 위한 제2 발진 크리스털; 및 이동가능한 셔터를 포함한다. 이동가능한 셔터는 제1 측정 배출구로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성되고, 제1 측정 배출구는 제1 발진 크리스털에 증발된 재료를 제공하도록 지향된다. 추가로, 이동가능한 셔터는 제2 측정 배출구로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성되고, 제2 측정 배출구는 제2 발진 크리스털에 증발된 재료를 제공하도록 지향된다.
[0008] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 재료의 증발을 위한 증발 소스가 제공된다. 증발 소스는, 재료를 증발시키도록 구성된 증발 도가니; 증발된 재료를 제공하기 위한 하나 또는 그 초과의 배출구들을 갖는 분배 조립체를 포함한다. 분배 조립체는 증발 도가니와 유체 연통한다. 추가로, 증발 소스는 본원에서 설명되는 임의의 실시예에 따른 측정 조립체를 포함한다.
[0009] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 챔버에서 증착 레이트로 기판에 재료를 적용하기 위한 증착 장치가 제공된다. 증착 장치는 본원에서 설명되는 임의의 실시예에 따른 적어도 하나의 증발 소스를 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법이 제공된다. 방법은, 재료를 증발시키는 단계; 증발된 재료의 제1 부분을 기판에 적용하는 단계; 증발된 재료의 제2 부분을 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털로 방향 전환시키는 단계; 및 본원에서 설명되는 임의의 실시예에 따른 측정 조립체를 사용함으로써 증착 레이트를 측정하는 단계를 포함한다.
[0011] 추가적인 이점들, 특징들, 양상들, 및 세부사항들은 종속 청구항들, 상세한 설명, 및 도면들로부터 명백하게 된다.
[0012] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들과 관련되고, 아래에서 설명된다.
도 1a 내지 도 1c는 상이한 상태들에 있는, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체의 개략도들을 도시한다.
도 2a 내지 도 2d는 상이한 상태들에 있는, 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체의 개략도들을 도시한다.
도 3은 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른 측정 조립체의 부분의 개략도를 도시한다.
도 4a 및 도 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스의 개략적인 측면도들을 도시한다.
도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스의 개략적인 사시도를 도시한다.
도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 기판에 재료를 적용하기 위한 증착 장치의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 7a 및 도 7b는 본원에서 설명되는 바와 같은, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법의 실시예들을 예시하는 블록도들을 도시한다.
도 1a 내지 도 1c는 상이한 상태들에 있는, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체의 개략도들을 도시한다.
도 2a 내지 도 2d는 상이한 상태들에 있는, 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체의 개략도들을 도시한다.
도 3은 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른 측정 조립체의 부분의 개략도를 도시한다.
도 4a 및 도 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스의 개략적인 측면도들을 도시한다.
도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스의 개략적인 사시도를 도시한다.
도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 기판에 재료를 적용하기 위한 증착 장치의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 7a 및 도 7b는 본원에서 설명되는 바와 같은, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법의 실시예들을 예시하는 블록도들을 도시한다.
[0013] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에서 예시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 아래에서, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 추가로, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들이, 더 추가적인 실시예를 산출하기 위해, 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 설명은 그러한 변형들 및 변화들을 포함하도록 의도된다.
[0014] 본 개시내용의 다양한 실시예들이 더 상세히 설명되기 전에, 본원에서 사용되는 몇몇 용어들에 대한 몇몇 양상들이 설명된다.
[0015] 본 개시내용에서, "증착 레이트를 측정하기 위한 발진 크리스털"은, 발진 크리스털 공진자(oscillation crystal resonator)의 주파수의 변화를 측정함으로써, 단위 면적 당 발진 크리스털 상의 증착된 재료의 질량 변화를 측정하기 위한 발진 크리스털로서 이해될 수 있다. 구체적으로, 본 개시내용에서, 발진 크리스털은 석영 크리스털 공진자(quartz crystal resonator)로서 이해될 수 있다. 더 구체적으로, "증착 레이트를 측정하기 위한 발진 크리스털"은 QCM(quartz crystal microbalance)으로서 이해될 수 있다.
[0016] 본 개시내용에서, "이동가능한 셔터"는 측정 조립체와, 측정 조립체에 증발된 재료를 제공하기 위한 측정 배출구 사이에 배열된 이동가능한 엘리먼트로서 이해될 수 있다. 특히, "이동가능한 셔터"는 측정 조립체와 측정 배출구 사이의 공간에서 이동되도록 구성된 엘리먼트로서 이해될 수 있다. 예컨대, 이동가능한 셔터는 횡단 방향을 따라 이동가능하도록 구성될 수 있다. 다른 예에 따르면, 이동가능한 셔터는 회전가능하도록 구성될 수 있다. 전형적으로, 이동가능한 셔터는, 이동가능한 셔터의 제1 상태에서, 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 유동을 차단할 뿐만 아니라, 이동가능한 셔터의 제2 상태에서, 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 유동을 차단해제하도록 구성된다. 따라서, 이동가능한 셔터는 측정 조립체로의 증발된 재료의 접근을 제어하도록 구성된다.
[0017] 본 개시내용에서, "재료의 증발을 위한 증발 소스"는 기판 상에 증착될 재료를 제공하도록 구성된 어레인지먼트(arrangement)로서 이해될 수 있다. 특히, 증발 소스는 진공 증착 장치의 진공 증착 챔버와 같은 진공 챔버에서 기판 상에 증착될 재료를 제공하도록 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에 따르면, 증발 소스는, 기판 상에 증착될 재료를 증발시키는 증발기 또는 도가니, 및 분배 조립체, 예컨대 수직 축을 따라 배열될 수 있는 하나 또는 그 초과의 포인트 소스들 또는 분배 파이프를 포함할 수 있다. 예컨대, 분배 조립체는, 예컨대 배출구 또는 노즐을 통해 기판을 향하는 방향으로 증발된 재료를 방출하도록 구성될 수 있다.
[0018] 본 개시내용에서, "도가니"는 증착될 재료를 제공하거나 또는 수용하는 디바이스 또는 레저부아(reservoir)로서 이해될 수 있다. 전형적으로, 도가니는 기판 상에 증착될 재료를 증발시키도록 가열될 수 있다. 도가니는 분배 조립체와 유체 연통하고 있을 수 있고, 도가니에 의해 증발되고 있는 재료가 분배 조립체에 전달될 수 있다. 일 예에서, 도가니는 유기 재료들, 예컨대 약 100 ℃ 내지 약 600 ℃의 증발 온도를 갖는 유기 재료들을 증발시키기 위한 도가니일 수 있다.
[0019] 본 개시내용에서, "유체 연통"이라는 용어는, 유체 연통하고 있는 2개의 엘리먼트들이, 2개의 엘리먼트들 사이에 유체가 유동하게 허용하는 연결을 통해, 유체를 교환할 수 있는 것으로 이해된다. 일 예에서, 유체 연통하고 있는 엘리먼트들은 유체가 유동할 수 있는 중공 구조를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에 따르면, 유체 연통하고 있는 엘리먼트들 중 적어도 하나는 파이프-형 엘리먼트일 수 있다.
[0020] 본 개시내용에서, "분배 조립체"는, 증발된 재료를 가이딩하고 분배하기 위한 분배 파이프로서, 또는 수직 축을 따라 배열될 수 있는 하나 또는 그 초과의 포인트 소스들로서 이해될 수 있다. 특히, 분배 파이프, 또는 하나 또는 그 초과의 포인트 소스들은, 증발기로부터의 증발된 재료를, 분배 파이프, 또는 하나 또는 그 초과의 포인트 소스들에서의 배출구(이를테면, 노즐들 또는 개구들)에 제공하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 분배 파이프의 형태의 분배 조립체의 경우에서, 분배 파이프는 길이 방향으로 연장되는 선형 분배 파이프일 수 있다. 예컨대, 분배 파이프는 원통의 형상을 갖는 파이프를 포함할 수 있고, 여기에서, 원통은 원형, 삼각형 또는 정사각형 바닥 형상, 또는 임의의 다른 적합한 바닥 형상을 가질 수 있다.
[0021] 도 1a 내지 도 1c를 예시적으로 참조하면, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체(100)는 증착을 측정하기 위한 제1 발진 크리스털(110), 증착 레이트를 측정하기 위한 제2 발진 크리스털(120), 및 이동가능한 셔터(140)를 포함한다. 이동가능한 셔터(140)는 제1 발진 크리스털(110)에 증발된 재료를 제공하기 위한 제1 측정 배출구(151)로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성된다. 특히, 제1 측정 배출구(151)는 제1 발진 크리스털(110)에 증발된 재료를 제공하도록 지향된다. 추가로, 이동가능한 셔터(140)는 제2 측정 배출구(152)로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성된다. 특히, 제2 측정 배출구(152)는 제2 발진 크리스털(120)에 증발된 재료를 제공하도록 지향된다.
[0022] 특히, 도 1a는 제1 상태에 있는 측정 조립체를 도시하는데, 제1 상태에서, 제2 측정 배출구(152)는, 제2 발진 크리스털(120)로의 제2 측정 배출구(152)를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 차단되도록, 이동가능한 셔터(140)에 의해 차단된다. 추가로, 도 1a에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 측정 조립체는, 제2 측정 배출구(152)가 차단되어 있는 동안에, 제1 발진 크리스털(110)로의 제1 측정 배출구(151)를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 제공되도록 구성될 수 있다. 따라서, 제2 발진 크리스털(120)이 세정될 수 있는 동안에, 제1 발진 크리스털(110)에 의해 증착 레이트가 측정될 수 있다. 예컨대, 제2 발진 크리스털(120)은 가열에 의해, 특히 제2 발진 크리스털(120) 상에 증착되는 증발된 재료의 증발 온도에 대응하는 가열 온도를 제공함으로써 세정될 수 있다. 예컨대, 가열 온도는 이동가능한 셔터(140)에 제공된 가열 엘리먼트 및/또는 제2 발진 크리스털(120)을 위해 홀더에 제공된 가열 엘리먼트에 의해 제공될 수 있다.
[0023] 도 1b는 측정 조립체의 제2 상태를 도시하는데, 제2 상태에서, 이동가능한 셔터(140)는, 제1 발진 크리스털(110) 및 제2 발진 크리스털(120) 양자 모두로의 증발된 재료의 접근을 제공하도록, 제1 측정 배출구(151)뿐만 아니라 제2 측정 배출구(152)가 개방되는 포지션으로 이동되었다. 따라서, 제1 발진 크리스털(110) 및 제2 발진 크리스털(120)이 증착 레이트를 측정하기 위해 채용될 수 있고, 그에 따라, 중복적인(redundant) 측정이 수행될 수 있다.
[0024] 도 1c에서, 측정 조립체의 제3 상태가 도시되는데, 제3 상태에서, 이동가능한 셔터(140)는, 제1 발진 크리스털(110)로의 제1 측정 배출구(151)를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 차단되는 포지션으로 이동되었다. 따라서, 도 1c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 발진 크리스털(110)이 세정될 수 있는 동안에, 제2 발진 크리스털(120)에 의해 증착 레이트가 측정될 수 있다. 예컨대, 제1 발진 크리스털(110)은 가열에 의해, 특히 제1 발진 크리스털(110) 상에 증착되는 증발된 재료의 증발 온도에 대응하는 가열 온도를 제공함으로써 세정될 수 있다. 예컨대, 가열 온도는 이동가능한 셔터(140)에 제공된 가열 엘리먼트 및/또는 제1 발진 크리스털(110)을 위해 홀더에 제공된 가열 엘리먼트에 의해 제공될 수 있다.
[0025] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이동가능한 셔터는, 도 1a 및 도 1c에서 이동가능한 셔터(140) 상에 화살표에 의해 예시적으로 표시된, 이동가능한 셔터의 병진 이동을 제공하도록 구성된 구동부, 예컨대 선형 구동부에 연결될 수 있다. 특히, 구동부는 제1 측정 배출구가 차단되는 상태와 제2 측정 배출구가 차단되는 제2 상태 사이에서 이동가능한 셔터를 이동시키도록 구성될 수 있다. 따라서, 도 1a 내지 도 1c를 예시적으로 참조하면, 구동부가 제1 측정 배출구 및 제2 측정 배출구를 차단/차단해제하기 위한 선형 횡단 교번 이동을 위해 구성될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0026] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 조립체는 증발된 재료의 증착 레이트를 연속적으로 측정할 수 있는 가능성을 제공한다. 특히, 제2 발진 크리스털이 세정될 수 있는 동안에 제1 발진 크리스털에 의해 증착 레이트가 측정될 수 있는 측정 조립체를 제공함으로써, 개선된 측정 조립체가 제공된다. 예컨대, 증착 레이트 측정의 정확도에 대한 증착된 재료의 부정적인 영향이 감소될 수 있거나 또는 심지어 제거될 수 있는데, 이는 제1 발진 크리스털 및 제2 발진 크리스털이 교번 방식으로 세정될 수 있기 때문이다. 추가로, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 조립체는 중복적인 증착 레이트 측정을 실시할 수 있는 가능성을 제공한다. 예컨대, 제1 측정 배출구 및 제2 측정 배출구가 개방된, 즉 제1 측정 배출구 및 제2 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 제1 발진 크리스털뿐만 아니라 제2 발진 크리스털에 대해 제공되는, 측정 조립체의 상태에서, 발진 크리스털들 양자 모두가 증착 레이트 측정을 위해 사용될 수 있고, 이는 측정 정확도를 증가시키는데 유익하다.
[0027] 도 2a 내지 도 2d를 예시적으로 참조하면, 추가적인 실시예들에 따른, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체(100)가 설명된다. 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이동가능한 셔터(140)는 적어도 하나의 구멍(160)을 갖는 회전가능한 엘리먼트일 수 있다. 도 2a에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 구멍(160)은, 회전가능한 엘리먼트가 제1 상태에 있는 경우에, 제1 발진 크리스털(110)로의 제1 측정 배출구로부터 제공되는 증발된 재료를 위한 접근을 제공하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 회전가능한 엘리먼트는 도 2a 내지 도 2d에서 예시적으로 도시된 바와 같은 실질적으로 원형 형상을 갖는 회전가능한 디스크일 수 있다. 대안적으로, 회전가능한 엘리먼트는 타원형, 직사각형, 또는 임의의 다른 적합한 형상을 갖는 회전가능한 플레이트일 수 있다.
[0028] 예컨대, 도 2a 내지 도 2d에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 회전가능한 엘리먼트는, 회전가능한 엘리먼트의 회전 축을 중심으로 하는 회전 이동을 제공하도록 구성된 구동부에 연결될 수 있다.
[0029] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 구멍(160)은, 회전가능한 엘리먼트가 제2 상태에 있는 경우에, 제2 발진 크리스털(120)로의 제2 측정 배출구로부터 제공되는 증발된 재료를 위한 접근을 제공하도록 구성된다. 예컨대, 제2 발진 크리스털(120)로의 제2 측정 배출구로부터 제공되는 증발된 재료를 위한 접근은, 적어도 하나의 구멍을 갖는 회전가능한 엘리먼트가 도 2a에서 예시적으로 도시된 바와 같은 제1 상태로부터 제2 상태로 180°만큼 터닝되는 경우에, 제공될 수 있다.
[0030] 도 2a 내지 도 2d를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 구멍(160)은 제1 구멍(161) 및 제2 구멍(162)을 포함할 수 있고, 제1 구멍(161) 및 제2 구멍(162)은 직경 방향으로 서로 반대편에 배열된다. 그러한 구성은 특히, 중복적인 증착 레이트 측정이 수행될 수 있도록 제1 발진 크리스털 및 제2 발진 크리스털로의 증발된 재료의 동시적인 접근을 제공하는데 유익하다.
[0031] 추가로, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 2a 내지 도 2c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 구멍(160)은 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)을 포함할 수 있고, 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)은 제1 구멍(161)의 반대되는 측들 상에 배열될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)은 제2 구멍(162)의 반대되는 측들 상에 배열될 수 있다(명시적으로 도시되지 않음). 특히, 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)은 제1 구멍(161)의 반경방향 포지션(radial position) 및/또는 제2 구멍(162)의 반경방향 포지션에 실질적으로 대응하는 반경방향 포지션에 배열될 수 있다. 적어도 하나의 구멍의 반경방향 포지션, 예컨대 제1 구멍(161), 제2 구멍(162), 제3 구멍(163), 및 제4 구멍(164)의 반경방향 포지션은 화살표(R) 및 점선 원에 의해 도 2a 내지 도 2d에서 예시적으로 표시된다.
[0032] 예컨대, 도 2c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)은 제1 구멍(161)의 포지션에 대하여 α = 45°의 각도(α)로 제공될 수 있다. 명시적으로 도시되지 않았지만, 부가적으로 또는 대안적으로, 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)은 제2 구멍(162)의 포지션에 대하여 α = 45°의 각도(α)로 제공될 수 있다. 따라서, 도 2a 내지 도 2d에서 볼 수 있는 바와 같이, 4개의 상이한 상태들이 실현될 수 있게 하는 이동가능한 셔터가 제공될 수 있다: 도 2a에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 제2 발진 크리스털(120)로의 제2 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 차단되는 동안에, 제1 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 제1 발진 크리스털(110)에 대해 제공되는 제1 상태; 도 2b에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 측정 배출구 및 제2 측정 배출구가 차단되는 제2 상태; 도 2c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 발진 크리스털(110)로의 제1 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 차단되는 동안에, 제2 발진 크리스털(120)로의 제2 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 제공되는 제3 상태; 및 제2 발진 크리스털(120)로의 제2 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근 및 제1 발진 크리스털(110)로의 제1 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료의 접근이 제공되는 제4 상태.
[0033] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 조립체의 이동가능한 셔터는 제1 측정 배출구로부터 제1 발진 크리스털에 제공되는 증발된 재료를 차단/차단해제할 뿐만 아니라 제2 측정 배출구로부터 제2 발진 크리스털에 제공되는 증발된 재료를 차단/차단해제하도록 구성된다. 그 결과로서, 제1 측정 배출구가 차단되는 경우에, 제1 발진 크리스털이, 예컨대 가열에 의해 세정될 수 있는 한편, 동시에, 제2 발진 크리스털을 이용하여 증착 레이트 측정이 수행될 수 있고, 그 반대도 마찬가지이다. 따라서, 연속적인 증착 레이트 측정이 수행될 수 있게 하는 개선된 측정 조립체가 제공된다. 추가로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 측정 조립체는 측정을 위해 사용되는 발진 크리스털의 인-시튜(in-situ) 세정의 가능성을 제공한다.
[0034] 도 2a 내지 도 2d에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 발진 크리스털(110) 및 제2 발진 크리스털(120)은 홀더(150)에 고정될 수 있다. 도 2c를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 홀더(150)는 적어도 하나의 가열 엘리먼트(170)를 포함할 수 있고, 그 가열 엘리먼트(170)는 셔터 상에 증착된 재료, 특히 홀더를 향하는 셔터의 측 상에 증착된 재료가 열을 가함으로써 증발될 수 있도록 구성 및 배열된다. 따라서, 셔터 상에 증착된 재료가 셔터로부터 세정될 수 있다. 예컨대, 도 2c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 가열 엘리먼트(170)는 제1 가열 엘리먼트(171) 및/또는 제2 가열 엘리먼트(172) 및/또는 제3 가열 엘리먼트(173) 및/또는 제4 가열 엘리먼트(174) 및/또는 제5 가열 엘리먼트(175) 및/또는 제6 가열 엘리먼트(176)를 포함할 수 있다. 특히, 가열 엘리먼트들은 홀더(150) 상에서 원형 방식으로, 예컨대 이동가능한 셔터(140)에서 적어도 하나의 구멍(160)이 제공되는 반경(R)에 실질적으로 대응하는 반경(R)을 갖는 원 상에 배열될 수 있다. 예시적인 구현에 따르면, 도 2c에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 가열 엘리먼트들은, 예컨대 이웃하는 가열 엘리먼트들 사이에 45°의 각도로 서로 동일하게 이격되어 배열된다. 대안적으로, 도 2d에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 가열 엘리먼트(170)는, 적어도, 도 2d에서 예시적으로 도시된 바와 같은, 적어도 하나의 구멍(160)의 개구에 대응하는 폭을 갖는 링 세그먼트 엘리먼트로서 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 링 세그먼트 가열 엘리먼트(177) 및 제2 링 세그먼트 가열 엘리먼트(178)가 제공될 수 있다. 추가로, 적어도 하나의 가열 엘리먼트(170)가 임의의 적합한 형상 또는 구성을 가질 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0035] 도 3을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 측정 조립체는, 제1 발진 크리스털(110) 및/또는 제2 발진 크리스털(120) 상에 증착된 재료가 증발될 수 있도록, 제1 발진 크리스털(110) 및/또는 제2 발진 크리스털(120)에 열을 가하도록 구성된 가열기(114)를 포함할 수 있다. 예컨대, 가열기(114)는 제1 발진 크리스털(110) 및/또는 제2 발진 크리스털(120)이 배열될 수 있는 홀더(150)에 제공될 수 있다. 홀더(150)는, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위해, 증발된 재료가 제1 발진 크리스털(110) 및/또는 제2 발진 크리스털(120) 상에 증착될 수 있도록 구성 및 배열될 수 있는 측정 개구(122)를 포함할 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 도 3에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 추가적인 가열기(115)가 이동가능한 셔터(140), 예컨대 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명된 바와 같은 이동가능한 셔터, 또는 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 설명된 바와 같은 이동가능한 셔터에 제공될 수 있다. 특히, 이동가능한 셔터(140)에 제공된 추가적인 가열기(115)는 이동가능한 셔터 상에 증착된 재료가 증발될 수 있도록 이동가능한 셔터에 열을 가하도록 구성된다. 전형적으로, 가열기(114) 및/또는 추가적인 가열기(115)는, 적어도, 발진 크리스털 상에 증착되는 그리고/또는 셔터 상에 증착되는 재료의 증발 온도에 대응하는 가열 온도를 제공하도록 구성된다. 따라서, 발진 크리스털은 본원에서 설명되는 바와 같이 가열에 의해 세정될 수 있다. 추가로, 또한, 셔터는 셔터를 가열함으로써 세정될 수 있다.
[0036] 도 3을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 이동가능한 셔터(140)는 열 보호 실드(116)를 포함할 수 있다. 도 3에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 열 보호 실드(116)는 측정 배출구, 예컨대 제1 측정 배출구(151) 또는 제2 측정 배출구(152)를 향하는 이동가능한 셔터(140)의 측 상에 배열될 수 있다. 특히, 열 보호 실드(116)는 측정 배출구를 통해 제공되는 증발된 재료에 의해 제공되는 열 에너지를 반사하도록 구성될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 열 보호 실드(116)는 플레이트, 예컨대 시트 금속일 수 있다. 대안적으로, 열 보호 실드(116)는, 예컨대 0.1 mm 또는 그 초과의 갭만큼 서로에 대하여 이격될 수 있는 2개 또는 그 초과의 플레이트들, 예컨대 시트 금속들을 포함할 수 있다. 예컨대, 시트 금속은 0.1 mm 내지 3.0 mm의 두께를 가질 수 있다. 특히, 열 보호 실드는 철계 또는 비-철계 재료, 예컨대, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 구리 합금, 알루미늄 합금, 황동, 철, 티타늄(Ti), 세라믹, 및 다른 적합한 재료들로 구성된 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 재료를 포함한다.
[0037] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이동가능한 셔터(140)의 추가적인 가열기(115)는 발진 크리스털, 예컨대 제1 발진 크리스털(110) 또는 제2 발진 크리스털(120)을 향하는 이동가능한 셔터(140)의 측 상에 제공될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 가열기를, 예컨대 홀더 또는 셔터에 제공함으로써, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 조립체의 발진 크리스털은, 가열기에 의해 열을 가하여 발진 크리스털 상의 증착된 재료를 증발시킴으로써, 인 시튜로 세정될 수 있다. 이는 발진 크리스털의 전체 수명 및 달성가능한 측정 정확도에 대해 유익할 수 있다.
[0038] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 측정 조립체(100)는 열 교환기(132)를 포함할 수 있다. 특히, 열 교환기는 홀더에서, 예컨대 발진 크리스털 바로 옆에 또는 그 근처에, 그리고/또는 가열기(114) 바로 옆에 또는 그 근처에 배열될 수 있다. 열 교환기(132)는 발진 크리스털 및/또는 홀더(150) 및/또는 가열기(114)와 열을 교환하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 열 교환기는 튜브들을 포함할 수 있고, 그 튜브들을 통해 냉각 유체가 제공될 수 있다. 냉각 유체는 액체, 예컨대 물일 수 있거나, 또는 가스, 예컨대 공기일 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 열 교환기는 하나 또는 그 초과의 펠티에(Peltier) 엘리먼트(들)를 포함할 수 있다. 전형적으로, 열 교환기는 발진 크리스털의 측정 동안에 이용되고, 가열기에 의해 발진 크리스털을 가열함으로써 실시되는 세정 절차 동안에 스위치 오프된다. 따라서, 측정 조립체에 열 교환기(132)를 제공함으로써, 증착 레이트 측정의 품질, 정확도, 및 안정성에 대한 높은 온도의 부정적인 영향들이 감소될 수 있거나 또는 심지어 제거될 수 있다. 특히, 측정 조립체에 열 교환기를 제공하는 것은, 증착 레이트 측정 디바이스로부터 증착된 재료를 증발시키도록 가열함으로써 측정 디바이스가 세정된 후에 측정 디바이스를 냉각시키는데 유익할 수 있다.
[0039] 도 3을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 측정 조립체(100)는 발진 크리스털 및/또는 홀더(150)의 온도를 측정하기 위한 온도 센서(117)를 포함할 수 있다. 측정 조립체(100)에 온도 센서(117)를 제공함으로써, 측정 조립체의 온도에 관한 정보가 획득될 수 있고, 그에 따라, 발진 크리스털이 부정확하게 측정하는 경향이 있는 임계 온도가 검출될 수 있다. 따라서, 발진 크리스털의 임계 온도가 온도 센서에 의해 검출되는 경우에, 적절한 반응, 예컨대 열 교환기를 이용하는 것에 의한 냉각이 개시될 수 있다.
[0040] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 특히 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체(100)는 발진 크리스털의 온도 및/또는 홀더의 온도를 제어하기 위한 온도 제어 시스템을 포함할 수 있다. 특히, 온도 제어 시스템은 온도 센서(117), 열 교환기(132), 가열기(114), 및 센서 제어기(133) 중 하나 또는 그 초과를 포함할 수 있다. 도 3에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 센서 제어기(133)는 온도 센서(117)에 의해 측정된 데이터를 수신하기 위해 온도 센서(117)에 연결될 수 있다. 추가로, 센서 제어기(133)는 홀더(150) 및/또는 발진 크리스털의 온도를 제어하기 위해 열 교환기(132)에 연결될 수 있다. 추가로, 센서 제어기(133)는, 예컨대 본원에서 설명되는 바와 같은 세정 동안에, 홀더(150) 및/또는 발진 크리스털의 가열 온도를 제어하기 위해 가열기(114) 및/또는 추가적인 가열기(115)에 연결될 수 있다.
[0041] 도 4a 및 도 4b는 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들에 따른 증발 소스(200)의 개략적인 측면도들을 도시한다. 실시예들에 따르면, 증발 소스(200)는 증발 도가니(210)를 포함하고, 여기에서, 증발 도가니는 재료, 예컨대 유기 재료를 증발시키도록 구성된다. 추가로, 증발 소스(200)는, 도 4b에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 증발된 재료를 제공하기 위해 분배 조립체의 길이를 따라 제공된 하나 또는 그 초과의 배출구들(222)을 갖는 분배 조립체, 예컨대 분배 파이프(220)를 포함한다. 실시예들에 따르면, 분배 파이프(220)는, 예컨대 증기 도관을 통해 증발 도가니(210)와 유체 연통한다. 증기 도관은 분배 파이프의 하부 단부에 제공될 수 있다. 추가로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스(200)는, 예컨대 도 1a 내지 도 3을 참조하여 설명된 바와 같은, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 측정 조립체(100)를 포함한다.
[0042] 도 4a 및 도 4b에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발 소스(200)는 증발 소스(200) 및 측정 조립체(100)에 연결된 제어기(250)를 포함할 수 있다. 본원에서 설명되는 바와 같이, 제어기(250)는 증착 레이트를 조정하기 위해 증발 소스(200), 특히 증발 도가니(210)에 제1 제어 신호(251)를 제공할 수 있다. 전형적으로, 제어기(250)는 측정 조립체(100)에 의해 획득된 측정 데이터를 수신하고 분석하도록 구성된다. 추가로, 제어기(250)는, 예컨대 증착 레이트 측정 조립체의 셔터의 포지션을 제어하기 위해 증착 레이트 측정 조립체에 제2 제어 신호(252)를 제공할 수 있다. 예컨대, 셔터의 포지션은, 제1 발진 크리스털에 증발된 재료를 제공하기 위한 제1 측정 배출구가 셔터에 의해 차단될 수 있도록, 그리고/또는 제2 발진 크리스털에 증발된 재료를 제공하기 위한 제2 측정 배출구가 셔터에 의해 차단될 수 있도록, 제어될 수 있다. 따라서, 측정 조립체의 제1 발진 크리스털과 제2 발진 크리스털 중 하나는 다른 발진 크리스털이 증착 레이트 측정을 위해 사용될 수 있는 동안에 세정될 수 있다.
[0043] 도 4a에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 분배 조립체는 가열 엘리먼트(215)를 포함하는 세장형 큐브, 예컨대 분배 파이프(220)일 수 있다. 증발 도가니(210)는 도가니 가열 유닛(225)을 이용하여 증발될 재료, 예컨대 유기 재료를 위한 레저부아일 수 있다. 예컨대, 도가니 가열 유닛(225)은 증발 도가니(210)의 인클로저(enclosure) 내에 제공될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 분배 조립체, 특히 분배 파이프(220)는 라인 소스를 제공할 수 있다. 예컨대, 도 4b에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 노즐들과 같은 복수의 배출구들(222)이 적어도 하나의 라인을 따라 배열될 수 있다. 대안적인 실시예(미도시)에 따르면, 적어도 하나의 라인을 따라 연장되는 하나의 세장형 개구, 예컨대 슬릿이 제공될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 라인 소스는 본질적으로 수직으로 연장될 수 있다.
[0044] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 분배 파이프의 길이는, 증착 장치에서 재료가 상부에 증착될 기판의 높이에 대응할 수 있다. 대안적으로, 분배 파이프의 길이는, 재료가 상부에 증착될 기판의 높이보다, 예컨대 적어도 10 % 또는 심지어 20 %만큼 더 길 수 있다. 따라서, 기판의 상부 단부 및/또는 기판의 하부 단부에서의 균일한 증착이 제공될 수 있다. 예컨대, 분배 파이프의 길이는 1.3 m 또는 그 초과, 예컨대 2.5 m 또는 그 초과일 수 있다.
[0045] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 4a에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 증발 도가니(210)는 분배 파이프의 하부 단부에 제공될 수 있다. 재료, 예컨대 유기 재료가 증발 도가니(210)에서 증발될 수 있다. 증발된 재료는 분배 파이프의 바닥에서 분배 파이프에 진입할 수 있고, 분배 파이프(220)에서의 복수의 배출구들(222)을 통해, 예컨대 본질적으로 수직인 기판을 향하여 본질적으로 옆으로 가이딩될 수 있다. 도 2b를 예시적으로 참조하면, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 측정 조립체(100)가 분배 파이프(220)의 상부 부분, 예컨대 분배 파이프(220)의 상부 단부에 제공될 수 있다.
[0046] 도 4b를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 측정 배출구(151) 및 제2 측정 배출구(152)는 분배 조립체의 벽, 예컨대 분배 파이프의 배면(224A)에서의 벽에, 특히 배면(224A)에서의 벽의 상부 부분에 제공될 수 있다. 명시적으로 도시되어 있지 않지만, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 측정 배출구(151) 및 제2 측정 배출구(152)가 분배 조립체의 상단 벽(224C), 특히 분배 조립체의 상부 수평 상단 벽에 제공될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 도 4b에서 화살표들에 의해 예시적으로 표시된 바와 같이, 증발 재료는 분배 파이프(220)의 내부로부터 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)를 통해 측정 조립체(100)에 제공될 수 있다. 따라서, 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)는 증발된 재료가 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털에 제공될 수 있도록 배열 및 지향된다. 예컨대, 측정 조립체(100)는 분배 조립체의 배면(224A), 특히 분배 조립체, 예컨대 분배 파이프(220)의 상부 단부 부분의 배면(224A)에 배열될 수 있다. 전형적으로, 분배 조립체의 단부 부분의 배면은 증착 방향을 등진다. 몇몇 실시예들에 따르면, 측정 조립체(100)는 분배 조립체, 특히 분배 파이프(220)의 상부 단부 부분의 배면(224A) 상에 탑재될 수 있다.
[0047] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)는 0.5 mm 내지 4 mm의 개구를 가질 수 있다. 추가로, 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)는 노즐을 포함할 수 있다. 예컨대, 노즐은 측정 조립체(100)에 제공되는 증발된 재료의 유동을 조정하기 위한 조정가능한 개구를 포함할 수 있다. 특히, 노즐은, 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/70의 하한, 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/60의 하한, 더 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/50의 하한과, 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/40의 상한, 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/30의 상한, 더 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/25의 상한 사이의 범위로부터 선택되는 측정 유동을 제공하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 노즐은 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/54의 측정 유동을 제공하도록 구성될 수 있다.
[0048] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스(200)의 사시도를 도시한다. 도 5에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 분배 파이프(220)는 삼각형 형상으로 설계될 수 있다. 위에서 설명된 바와 같이, 분배 파이프(220)의 삼각형 형상은 2개 또는 그 초과의 분배 파이프들이 서로 바로 옆에 배열되는 경우에 유익할 수 있다. 특히, 분배 파이프(220)의 삼각형 형상은 이웃하는 분배 파이프들의 배출구들이 서로 가능한 근접하게 되는 것을 가능하게 한다. 이는, 예컨대 2개, 3개, 또는 한층 더 많은 상이한 재료들의 공동-증발의 경우에 대해, 상이한 분배 파이프들로부터의 상이한 재료들의 개선된 혼합을 달성하게 허용한다. 추가로, 도 5에서 도시된 실시예는, 도 4a 및 도 4b를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 전형적으로, 측정 조립체(100)의 제1 발진 크리스털에 증발된 재료를 제공하기 위한 제1 측정 배출구(151) 및 측정 조립체(100)의 제2 발진 크리스털에 증발된 재료를 제공하기 위한 제2 측정 배출구(152)가, 예컨대 분배 파이프의 상부 단부에 제공된 것을 예시한다.
[0049] 도 5를 예시적으로 참조하면, 분배 파이프(220)는 벽들, 예컨대 측벽들(224B) 및 분배 파이프의 배면(224A)에서의 벽을 포함할 수 있다. 도 5에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 측정 배출구(151) 및 제2 측정 배출구(152)는 분배 파이프(220)의 배면(224A)에서의 벽에 제공될 수 있다. 추가로, 측벽들(224B) 및 배면(224A)에서의 벽은 가열 엘리먼트(215)에 의해 가열될 수 있다. 예컨대, 도 5에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 가열 엘리먼트(215)는 분배 파이프(220)의 벽들에 탑재 또는 부착될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예와 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 증발 소스(200)는 실드(204)를 포함할 수 있다. 실드(204)는 증착 영역을 향하는 열 복사를 감소시킬 수 있다. 추가로, 실드(204)는 냉각 엘리먼트(216)에 의해 냉각될 수 있다. 예컨대, 냉각 엘리먼트(216)는 실드(204)에 탑재될 수 있고, 냉각 유체를 위한 도관을 포함할 수 있다.
[0050] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버(310)에서 기판(333)에 재료를 적용하기 위한 증착 장치(300)의 개략적인 평면도를 도시한다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증착 장치(300)는 본원에서 설명되는 바와 같은 증발 소스(200)를 포함한다. 특히, 증발 소스(200)는, 증착 장치(300)의 진공 챔버(310)에서, 예컨대 트랙, 예를 들어 선형 가이드(320) 또는 루프형 트랙 상에 제공될 수 있다. 트랙 또는 선형 가이드(320)는 증발 소스(200)의 병진 이동을 위해 구성될 수 있다. 따라서, 병진 이동을 위한 구동부가 진공 챔버(310) 내에서 트랙 및/또는 선형 가이드(320)에 증발 소스(200)를 위해 제공될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 인접한 진공 챔버(도 6에서 도시되지 않음)에 대한 진공 밀봉을 허용하는 제1 밸브(305), 예컨대 게이트 밸브가 제공될 수 있다. 제1 밸브는 진공 챔버(310) 내로의 또는 진공 챔버(310) 밖으로의 기판(333) 또는 마스크(332)의 운송을 위해 개방될 수 있다.
[0051] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 도 6에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 추가적인 진공 챔버, 이를테면 유지보수 진공 챔버(311)가 진공 챔버(310) 근처에 제공될 수 있다. 따라서, 진공 챔버(310) 및 유지보수 진공 챔버(311)는 제2 밸브(307)를 이용하여 연결될 수 있다. 제2 밸브(307)는 진공 챔버(310)와 유지보수 진공 챔버(311) 사이의 진공 밀봉을 개방 및 폐쇄하도록 구성될 수 있다. 증발 소스(200)는 제2 밸브(307)가 개방된 상태에 있는 동안에 유지보수 진공 챔버(311)로 이송될 수 있다. 그 후에, 제2 밸브(307)는 진공 챔버(310)와 유지보수 진공 챔버(311) 사이의 진공 밀봉을 제공하기 위해 폐쇄될 수 있다. 제2 밸브(307)가 폐쇄되는 경우에, 유지보수 진공 챔버(311)는, 진공 챔버(310)에서의 진공을 파괴하지 않으면서, 증발 소스(200)의 유지보수를 위해 통기 및 개방될 수 있다.
[0052] 도 6에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 2개의 기판들이 진공 챔버(310) 내에서 각각의 운송 트랙들 상에 지지될 수 있다. 추가로, 마스크들을 상부에 제공하기 위한 2개의 트랙들이 제공될 수 있다. 따라서, 코팅 동안에, 기판(333)은 각각의 마스크들에 의해 마스킹될 수 있다. 예컨대, 마스크는 마스크(332)를 미리 결정된 포지션에서 홀딩하기 위한 마스크 프레임(331)에 제공될 수 있다.
[0053] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 기판(333)은 정렬 유닛(312)에 연결될 수 있는 기판 지지부(326)에 의해 지지될 수 있다. 정렬 유닛(312)은 마스크(332)에 대하여 기판(333)의 포지션을 조정할 수 있다. 도 6에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 기판 지지부(326)는 정렬 유닛(312)에 연결될 수 있다. 따라서, 재료의 증착 동안의 기판과 마스크 사이의 적절한 정렬을 제공하기 위해, 기판이 마스크(332)에 대하여 이동될 수 있고, 이는 고 품질 디스플레이 제조에 대해 유익할 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 마스크(332), 및/또는 마스크(332)를 홀딩하는 마스크 프레임(331)이 정렬 유닛(312)에 연결될 수 있다. 따라서, 마스크(332)가 기판(333)에 대하여 포지셔닝될 수 있거나, 또는 마스크(332)와 기판(333) 양자 모두가 서로에 대하여 포지셔닝될 수 있다.
[0054] 도 6에서 도시된 바와 같이, 선형 가이드(320)는 증발 소스(200)의 병진 이동의 방향을 제공할 수 있다. 증발 소스(200)의 양 측들 상에 마스크(332)가 제공될 수 있다. 마스크들은 병진 이동의 방향과 본질적으로 평행하게 연장될 수 있다. 추가로, 증발 소스(200)의 반대되는 측들에서의 기판들이 또한, 병진 이동의 방향과 본질적으로 평행하게 연장될 수 있다. 도 6에서 예시적으로 도시된 바와 같이, 증착 장치(300)의 진공 챔버(310)에 제공된 증발 소스(200)는 선형 가이드(320)를 따르는 병진 이동을 위해 구성될 수 있는 지지부(202)를 포함할 수 있다. 예컨대, 지지부(202)는 2개의 증발 도가니들, 및 각각의 증발 도가니 위에 제공된 2개의 분배 파이프들(220)을 지지할 수 있다. 몇몇 실시예들에 따르면, 지지부(202)는 3개의 증발 도가니들, 및 각각의 증발 도가니 위에 제공된 3개의 분배 파이프들(220)을 지지할 수 있다. 따라서, 증발 도가니에서 생성되는 증기는 상방으로, 그리고 분배 파이프의 하나 또는 그 초과의 배출구들 밖으로 이동할 수 있다. 증발 소스의 분배 파이프들은 실질적으로 삼각형인 단면을 가질 수 있다. 분배 파이프의 삼각형 형상은, 이웃하는 분배 파이프들의, 기판 상에 증발된 재료를 증착하기 위한 배출구들, 예컨대 노즐들이 서로 가능한 근접하게 되는 것을 가능하게 한다. 이는, 예컨대 2개, 3개, 또는 한층 더 많은 상이한 재료들의 공동-증발의 경우에 대해, 상이한 분배 파이프들로부터의 상이한 재료들의 개선된 혼합을 달성하게 허용한다.
[0055] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 증착 장치의 실시예들은 개선된 품질의 디스플레이 제조, 특히 OLED 제조를 제공한다.
[0056] 도 7a 및 도 7b에서 도시된 블록도들을 예시적으로 참조하여, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법의 실시예들이 설명된다. 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법(400)은, 재료, 예컨대 유기 재료를 증발시키는 단계(410), 증발된 재료의 제1 부분을 기판에 적용하는 단계(420), 증발된 재료의 제2 부분을 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털로 방향 전환시키는 단계(430), 및 본원에서 설명되는 임의의 실시예들에 따른 측정 조립체(100)를 사용함으로써 증착 레이트를 측정하는 단계(440)를 포함한다.
[0057] 따라서, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법을 채용함으로써, 증착 레이트가 매우 정확하게 측정될 수 있다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법을 채용함으로써, 측정 정확도를 감소시킬 수 있는, 발진 크리스털에 대한 열 영향들이 감소될 수 있다. 특히, 증착 레이트 측정의 품질, 정확도, 및 안정성에 대한 높은 온도의 부정적인 영향들이 감소될 수 있거나 또는 심지어 제거될 수 있다. 추가로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법은 중복적으로 증착 레이트를 측정하는 것을 제공하는데, 이는 측정 결과의 품질 및 정확도를 더 개선할 수 있다. 더욱이, 본원에서 설명되는 바와 같은, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법은, 제1 발진 크리스털과 제2 발진 크리스털 중 하나의 발진 크리스털을, 다른 발진 크리스털이 증착 레이트 측정을 위해 사용될 수 있는 동안에, 세정할 수 있는 가능성을 제공한다.
[0058] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 재료를 증발시키는 단계(410)는 본원에서 설명되는 바와 같은 증발 도가니(210)를 사용하는 단계를 포함한다. 추가로, 증발된 재료의 제1 부분을 기판에 적용하는 단계(420)는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 증발 소스(200)를 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발된 재료의 제2 부분을 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털로 방향 전환시키는 단계(430)는, 본원에서 설명되는 바와 같은, 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)를 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 특히, 증발된 재료의 제2 부분을 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)로 방향 전환시키는 단계(430)는, 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/70의 하한, 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/60의 하한, 더 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/50의 하한과, 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/40의 상한, 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/30의 상한, 더 구체적으로는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/25의 상한 사이의 범위로부터 선택되는 측정 유동을 제공하는 단계를 포함할 수 있다. 예컨대, 증발된 재료의 제2 부분을 제1 측정 배출구(151) 및/또는 제2 측정 배출구(152)로 방향 전환시키는 단계(430)는 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/54의 측정 유동을 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
[0059] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증착 레이트를 측정하는 단계(440)는, 본원에서 설명되는 바와 같은 온도 제어 시스템에 의해, 측정 조립체(100), 특히 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털과 열을 교환하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 조립체, 특히 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털과 열을 교환함으로써, 증착 레이트 측정의 품질, 정확도, 및 안정성에 대한 높은 온도의 부정적인 영향들이 감소될 수 있거나 또는 심지어 제거될 수 있다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 조립체와 열을 교환함으로써, 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털의 열적 변동(thermal fluctuation)들이 감소될 수 있거나 또는 심지어 제거될 수 있고, 이는 증착 레이트 측정 정확도에 대해 유익할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은, 증착 레이트를 측정하기 위한 방법을 채용하는 것은 고 품질의 디스플레이 제조, 특히 OLED 제조에 대해 유익할 수 있다.
[0060] 도 7b를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법(400)은, 제1 발진 크리스털로의 증발된 재료의 접근이 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 이동가능한 셔터에 의해 차단되는 경우에, 제1 발진 크리스털에 열을 가함으로써 제1 발진 크리스털을 세정하는 단계(450)를 더 포함할 수 있다. 따라서, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법(400)은, 제2 발진 크리스털로의 증발된 재료의 접근이 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 이동가능한 셔터에 의해 차단되는 경우에, 제2 발진 크리스털에 열을 가함으로써 제2 발진 크리스털을 세정하는 단계(450)를 포함할 수 있다.
[0061] 상기된 바를 고려하면, 본원에서 설명되는 바와 같은, 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체의 실시예들, 증발 소스의 실시예들, 증착 장치의 실시예들, 및 증착 레이트를 측정하기 위한 방법의 실시예들은, 중복적으로 증착 레이트를 측정할 수 있는 가능성을 제공할 뿐만 아니라, 제1 발진 크리스털과 제2 발진 크리스털 중 하나의 발진 크리스털을, 다른 발진 크리스털이 증착 레이트 측정을 위해 사용되고 있는 동안에, 세정할 수 있는 가능성을 제공한다. 따라서, 고 품질의 디스플레이 제조, 예컨대 고 품질의 OLED 제조를 위한 개선된 증착 레이트 측정이 제공될 수 있다.
Claims (15)
- 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체(100)로서,
- 상기 증착 레이트를 측정하기 위한 제1 발진 크리스털(oscillation crystal)(110);
- 상기 증착 레이트를 측정하기 위한 제2 발진 크리스털(120); 및
- 이동가능한 셔터(140)
를 포함하며,
상기 이동가능한 셔터(140)는 제1 측정 배출구(151)로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성되고, 상기 제1 측정 배출구(151)는 상기 제1 발진 크리스털(110)에 상기 증발된 재료를 제공하도록 지향되고,
상기 이동가능한 셔터(140)는 제2 측정 배출구(152)로부터 제공되는 증발된 재료를 차단하도록 구성되고, 상기 제2 측정 배출구(152)는 상기 제2 발진 크리스털(120)에 상기 증발된 재료를 제공하도록 지향되는,
측정 조립체. - 제 1 항에 있어서,
상기 이동가능한 셔터는 적어도 하나의 구멍(160)을 갖는 회전가능한 엘리먼트, 특히 회전가능한 디스크이고, 상기 적어도 하나의 구멍(160)은, 상기 회전가능한 엘리먼트가 제1 상태에 있는 경우에, 상기 제1 발진 크리스털(110)로의 상기 제1 측정 배출구(151)로부터 제공되는 증발된 재료를 위한 접근을 제공하도록 구성되는,
측정 조립체. - 제 2 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구멍(160)은, 상기 회전가능한 엘리먼트가 제2 상태에 있는 경우에, 상기 제2 발진 크리스털(120)로의 상기 제2 측정 배출구(152)로부터 제공되는 증발된 재료를 위한 접근을 제공하도록 구성되는,
측정 조립체. - 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구멍(160)은 제1 구멍(161) 및 제2 구멍(162)을 포함하고, 상기 제1 구멍(161) 및 상기 제2 구멍(162)은 직경 방향으로 서로 반대편에 배열되는,
측정 조립체. - 제 4 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구멍(160)은 제3 구멍(163) 및 제4 구멍(164)을 포함하고, 상기 제3 구멍(163) 및 상기 제4 구멍(164)은 상기 제1 구멍(161) 및/또는 상기 제2 구멍(162)의 반대되는 측들 상에 배열되고, 상기 제3 구멍(163) 및 상기 제4 구멍(164)은 상기 제1 구멍(161)의 반경방향 포지션(radial position) 및/또는 상기 제2 구멍(162)의 반경방향 포지션에 실질적으로 대응하는 반경방향 포지션에 배열되는,
측정 조립체. - 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 발진 크리스털(110) 및/또는 상기 제2 발진 크리스털(120) 상에 증착된 재료가 증발될 수 있도록 상기 제1 발진 크리스털(110) 및/또는 상기 제2 발진 크리스털(120)에 열을 가하도록 구성된 가열기(114)를 더 포함하는,
측정 조립체. - 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이동가능한 셔터(140)에 제공되고, 상기 이동가능한 셔터 상에 증착된 재료가 증발될 수 있도록 상기 이동가능한 셔터에 열을 가하도록 구성된 추가적인 가열기(115)를 더 포함하는,
측정 조립체. - 제 6 항에 있어서,
상기 가열기는 상기 제1 발진 크리스털(110)을 위한 제1 홀더 및 상기 제2 발진 크리스털(120)의 제2 홀더에 제공되는,
측정 조립체. - 재료의 증발을 위한 증발 소스(200)로서,
- 재료를 증발시키도록 구성된 증발 도가니(210);
- 증발된 재료를 증착 방향으로 제공하기 위한 하나 또는 그 초과의 배출구들(222)을 갖는 분배 조립체 ― 상기 분배 조립체는 상기 증발 도가니와 유체 연통함 ―; 및
- 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 측정 조립체
를 포함하는,
증발 소스. - 제 9 항에 있어서,
상기 측정 조립체(100)의 상기 제1 발진 크리스털(110)에 상기 증발된 재료를 제공하기 위한 제1 측정 배출구(151), 및 상기 측정 조립체(100)의 상기 제2 발진 크리스털(120)에 상기 증발된 재료를 제공하기 위한 제2 측정 배출구(152)를 더 포함하는,
증발 소스. - 제 10 항에 있어서,
상기 제1 측정 배출구(151) 및/또는 상기 제2 측정 배출구(152)는 상기 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/70 내지 상기 증발 소스에 의해 제공되는 총 유동의 1/25의 측정 유동을 제공하도록 구성되는,
증발 소스. - 제 11 항에 있어서,
상기 제1 측정 배출구(151) 및 상기 제2 측정 배출구(152)는 상기 분배 조립체의 단부 부분의 배면에 제공되고, 상기 측정 조립체(100)는 상기 분배 조립체의 단부 부분의 배면에 배열되고, 상기 분배 조립체의 단부 부분의 배면은 상기 증착 방향을 등지는,
증발 소스. - 진공 챔버(310)에서 증착 레이트로 기판에 재료를 적용(applying)하기 위한 증착 장치(300)로서,
제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 기재된 적어도 하나의 증발 소스(200)를 포함하는,
증착 장치. - 증발된 재료의 증착 레이트를 측정하기 위한 방법(400)으로서,
- 재료를 증발시키는 단계(410);
- 증발된 재료의 제1 부분을 기판에 적용하는 단계(420);
- 상기 증발된 재료의 제2 부분을 제1 발진 크리스털 및/또는 제2 발진 크리스털로 방향 전환시키는 단계(430); 및
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 측정 조립체를 사용함으로써 상기 증착 레이트를 측정하는 단계(440)
를 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 방법. - 제 14 항에 있어서,
상기 이동가능한 셔터에 의해, 상기 제1 발진 크리스털 및/또는 상기 제2 발진 크리스털로의 상기 증발된 재료의 접근이 차단되는 경우에, 상기 제1 발진 크리스털 및/또는 상기 제2 발진 크리스털에 열을 가함으로써, 상기 제1 발진 크리스털 및/또는 상기 제2 발진 크리스털을 세정하는 단계(450)를 더 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 방법.
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