JP2012126938A - 真空蒸着装置及び薄膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
真空槽21と、真空槽21内を真空排気する真空排気装置27と、真空槽21内に露出する放出口11a、11bから蒸着材料の蒸気を放出する放出装置12a、12bと、放出口11a、11bと対面する位置に基板26を保持する基板保持部25と、放出された蒸気が入射する位置に配置され、付着した蒸気からなる付着膜の膜厚を測定する膜厚センサ15a、15bとを有し、基板保持部25に保持された基板26に薄膜を形成する真空蒸着装置2であって、膜厚センサ15a、15bに向けてレーザーを照射するレーザー照射装置18a、18bを有し、膜厚センサ15a、15bに付着した付着膜にレーザーが照射されると、膜厚センサ15a、15bから付着膜が除去される。
【選択図】図1
Description
従来の真空蒸着装置101は、真空槽121と、真空槽121内を真空排気する真空排気装置127と、真空槽121内に露出する放出口111から蒸着材料の蒸気を放出する放出装置112と、放出口111と対面する位置に基板を保持する基板保持部125とを有している。符号126は、基板保持部125に保持された基板を示している。
シャッター114を開いて、放出口111から蒸気を放出させると、放出された蒸気の一部は基板保持部125に保持された基板126の表面に到達し、基板126の表面に蒸着材料の粒子からなる薄膜が形成される。
制御装置119は、膜厚センサ115の測定結果に基づいて、電源装置117から出力する電力量を増加又は減少させ、付着膜の成膜レートが予め定められた範囲に収まるように調整する。
基板126の表面に形成される薄膜が所定の厚みになったら、シャッター114を閉じて、成膜を終える。
そのため、従来の真空蒸着装置101では、付着膜の膜厚が所定の厚みより大きくなると、シャッター114を閉じて、ヒーター113の加熱を停止し、真空槽121内を大気に開放した状態で、膜厚センサ115を新品に交換する必要があり、コストが高かった。そして、交換の時には、長時間のあいだ生産ができなくなり、生産性が悪いという問題があった。
本発明は真空蒸着装置であって、前記真空槽内には、前記蒸気が到達する位置である第一の位置と、前記レーザーが到達する位置である第二の位置が配置され、前記膜厚センサを、前記第一の位置と前記第二の位置との間を移動させる移動装置を有する真空蒸着装置である。
本発明は真空蒸着装置であって、前記膜厚センサを複数個有し、前記移動装置は、複数の前記膜厚センサのうち、前記第一の位置に配置された一の前記膜厚センサを前記第二の位置に移動し、他の一の前記膜厚センサを前記第一の位置に移動するように構成された真空蒸着装置である。
本発明は真空蒸着装置であって、前記膜厚センサから除去された前記付着膜が、前記基板保持部に保持された前記基板に入射するのを遮断する防着板を有する真空蒸着装置である。
本発明は真空蒸着装置であって、前記蒸着材料は有機物であり、前記基板に形成される前記薄膜と前記膜厚センサに付着する前記付着膜は有機薄膜である真空蒸着装置である。
本発明は、真空排気された真空槽内に露出する放出口から蒸着材料の蒸気を放出させ、放出された前記蒸気が入射する位置に配置された膜厚センサに付着した前記蒸気からなる付着膜の膜厚を測定しながら、前記放出口と対面する位置に配置された基板に薄膜を形成する薄膜の製造方法であって、前記基板に薄膜を形成した後、前記放出口から前記蒸気の放出を停止し、前記真空槽内の真空雰囲気を維持しながら、前記薄膜センサに向けてレーザーを照射し、前記膜厚センサから前記付着膜を除去する薄膜の製造方法である。
本発明は、真空排気された真空槽内に露出する放出口から蒸着材料の蒸気を放出させ、放出された前記蒸気が入射する第一の位置に配置された膜厚センサに付着した前記蒸気からなる付着膜の膜厚を測定しながら、前記放出口と対面する位置に配置された基板に薄膜を形成する薄膜の製造方法であって、前記第一の位置とは異なる第二の位置に向けてレーザーを照射するレーザー照射装置を用いて、前記真空槽内の真空雰囲気を維持し、前記放出口から前記蒸気の放出を継続し、前記基板に薄膜を形成しながら、前記第一の位置に配置された前記薄膜センサを前記第二の位置に移動させ、前記第二の位置に配置された前記薄膜センサに向けて前記レーザー照射装置からレーザーを照射し、前記第二の位置に配置された前記膜厚センサから前記付着膜を除去する薄膜の製造方法である。
本発明は薄膜の製造方法であって、前記第一の位置に配置された前記薄膜センサを前記第二の位置に移動させ、別の膜厚センサを前記第一の位置に移動させる薄膜の製造方法である。
本発明は薄膜の製造方法であって、前記薄膜センサから除去された前記付着膜が前記基板に入射するのを遮断する防着板を用いて、前記第二の位置に配置された前記膜厚センサから前記付着膜を除去した後、除去された前記付着膜を前記防着板に付着させる薄膜の製造方法である。
本発明は薄膜の製造方法であって、前記蒸着材料は有機物であり、前記基板に形成される前記薄膜と前記膜厚センサに付着する前記付着膜は有機薄膜である薄膜の製造方法である。
本発明の第一例の真空蒸着装置の構造を説明する。図1は第一例の真空蒸着装置2の内部構成図を示している。
第一、第二のヒーター13a、13bにより、第一、第二の放出装置12a、12bを加熱すると、第一、第二の放出装置12a、12b内の蒸着材料が加熱され、蒸発される。
基板保持部25にはモーターが接続されており、モーターは動力を基板保持部25に伝達して、基板保持部25を基板保持部25に保持された基板26と一緒に、鉛直な回転軸線の周りに回転できるよう構成されている。
第一、第二の膜厚センサ15a、15bに蒸着材料の蒸気が付着すると、付着した蒸気からなる付着膜が形成される。蒸着材料が有機物の場合には、有機薄膜が形成される。
基板保持部25に保持された基板26上の成膜レートと、第一、第二の膜厚センサ15a、15b上の成膜レートとの関係を予め求めておくと、第一、第二の膜厚センサ15a、15bで測定された成膜レートから、基板26上の成膜レートが分かるようになっている。
真空槽21の槽壁のうち、第一、第二のレーザー照射装置18a、18bと第一、第二の膜厚センサ15a、15bとの間の部分には、レーザーを透過する第一、第二の透過窓23a、23bが設けられている。第一、第二の透過窓23a、23bの材質は例えば石英である。
第一、第二の膜厚センサ15a、15bの融点は、蒸発材料の蒸発温度よりも高くされており、レーザーが照射されても第一、第二の膜厚センサ15a、15bは損傷しないようになっている。
第一例の真空蒸着装置2を用いた薄膜の製造方法を説明する。
第一、第二の放出装置12a、12b内に固体又は液体の蒸着材料を収容する。本実施例では、第一の放出装置12a内にホストの有機蒸着材料を収容し、第二の放出装置12b内にドーパントの有機蒸着材料を収容するが、第一、第二の放出装置12a、12b内に同じ種類の蒸着材料を配置してもよい。
また、第一、第二の膜厚センサ15a、15b上の成膜レートの許容範囲をあらかじめ定めておく。
第一、第二のシャッター14a、14bと、第一、第二の補助シャッター16a、16bを閉じておく。
第一、第二の電源装置17a、17bから第一、第二のヒーター13a、13bに電力を供給して、第一、第二の放出装置12a、12b内の蒸着材料を加熱し、蒸気を発生させる。
モーターを動作させて、基板保持部25に保持された基板26を鉛直な回転軸線の周りに回転させておく。
第一、第二のシャッター14a、14bと第一、第二の補助シャッター16a、16bを開ける。
第一、第二の放出口11a、11bから放出された蒸気の一部は、基板保持部25に保持された基板26の表面に到達し、基板26の表面に、ホストの有機蒸着材料とドーパントの有機蒸着材料の混合物からなる有機薄膜が形成される。
一方、第一、第二の放出口11a、11bから放出された蒸気の一部は、第一、第二の膜厚センサ15a、15bに到達し、付着して、有機薄膜である付着膜が形成される。
基板26の表面に所定の厚みの薄膜を形成した後、第一、第二のシャッター14a、14bを閉じて、第一、第二の放出口11a、11bからの蒸気の放出を停止する。
モーターによる基板26の回転を停止する。
真空槽21内の真空雰囲気を維持しながら、成膜済みの基板26を真空槽21の外側に搬出し、次いで、別の未成膜の基板26を真空槽21内に搬入して、基板保持部25に保持させる。
基板交換工程と、成膜工程とを所定枚数の基板で繰り返し行って、複数枚の基板に蒸着材料の粒子から成る薄膜を形成する。
第一、第二の膜厚センサ15a、15bのいずれか一方の振動周波数が、予め定めておいた洗浄を行うときの振動周波数になったら、第一、第二のシャッター14a、14bを閉じて、第一、第二の放出口11a、11bからの蒸気の放出を停止する。真空槽11内に基板26が配置されている場合には、基板26を真空槽11の外側に搬出しておく。
第一、第二の膜厚センサ15a、15bに付着した付着膜にレーザーが照射されると、付着膜はレーザーにより加熱されて気化し、第一、第二の膜厚センサ15a、15bから付着膜が除去される。真空槽21内は真空雰囲気に維持されており、付着膜が有機薄膜の場合、レーザーのパワーと時間とを調整して、付着膜の残渣が第一、第二の膜厚センサ15a、15b上に残らないようにする。
除去された付着膜の気化物は、真空排気装置27により真空槽21の外側に真空排気されたり、補助シャッター16a、16b上に付着したりする。
真空槽21内の真空雰囲気を維持しながら、未成膜の基板26を真空槽21内に搬入し、基板保持部25に保持させる。
膜厚センサ洗浄工程では、真空槽21内を大気に開放せず、真空槽21内の真空雰囲気を維持しながら行うため、第一、第二の膜厚センサ15a、15bの洗浄後、成膜工程を再開する前に、真空槽21内に真空雰囲気を形成する時間と手間を省略でき、生産性が上がる。
本発明の第二例の真空蒸着装置の構造を説明する。図2は第二例の真空蒸着装置3の内部構成図を示している。
本実施例では、放出装置32はるつぼであり、内部に固体又は液体の蒸着材料を収容できるように構成されている。蒸着材料は、蒸発温度が後述する膜厚センサの融点よりも低いものが使用され、例えば有機材料が使用される。
本実施例では、ヒーター33は、線状の抵抗加熱装置であったが、放出装置32内の蒸着材料を加熱して、蒸発できるならば、抵抗加熱装置に限定されず、インダクション加熱装置(誘導加熱装置)等の他の加熱装置も含まれる。
シャッター34を開いて、放出口31から蒸発材料の蒸気を放出させると、放出された蒸気は基板46の表面に到達し、基板46の表面に薄膜が形成される。蒸着材料が有機物の場合には、有機薄膜が形成される。
膜厚測定装置50は、複数の膜厚センサ551〜554と、膜厚センサ551〜554を保持するセンサ保持部51と、センサ保持部51の表面を覆うように配置され、膜厚センサ551〜554と対面可能な位置に第一、第二の開口56、57が設けられた遮蔽部52とを有している。
センサ保持部51は、ここでは円錐台形状に形成され、膜厚センサ551〜554は、センサ保持部51の外周に沿って等間隔に並んで配置され、センサ保持部51の外周側面に固定されている。
移動装置によりセンサ保持部51を回転軸線の周りに回転させると、各膜厚センサ511〜514は第一の開口56から露出する位置と、第二の開口57から露出する位置との間を移動するようになっている。
以下では、膜厚センサ551〜554が第一の開口56から露出する位置を第一の位置と呼び、第二の開口57から露出する位置を第二の位置と呼ぶ。
真空槽22の槽壁のうち、レーザー照射装置38と第二の開口57との間の部分には、レーザーを透過する透過窓30が設けられている。透過窓30の材質は例えば石英である。
膜厚センサ553の融点は、蒸発材料の蒸発温度よりも高くされており、レーザーが照射されても膜厚センサ553は損傷しないようになっている。
真空槽22内には、膜厚センサ553から除去された付着膜が、基板保持部45に保持された基板46に入射するのを遮断する防着板53が配置されている。
第二例の真空蒸着装置3を用いた薄膜の製造方法を説明する。
放出装置32内に固体又は液体の蒸着材料を収容する。本実施例では放出装置32内に有機蒸着材料を収容する。
試験又はシミュレーションにより、基板保持部45に保持された基板46上の成膜レートと、第一の位置に配置された膜厚センサ551上の成膜レートとの関係を予め求めておく。
さらに、例えば基板保持部45にダミー基板を保持させた状態で、第一の位置に配置された膜厚センサ551の交換を行わずに連続して成膜し、ダミー基板上の膜厚を当該膜厚センサ551以外の他の機器(例えば、段差計)で測定し、当該膜厚センサ551の振動周波数を記録し、当該膜厚センサ551の測定精度が悪くなるときの振動周波数を求める。当該膜厚センサ551の交換を行うときの振動周波数を、ここで求めた振動周波数より大きい値に予め定めておく。
電源装置37からヒーター33に電力を供給して、放出装置32内の蒸着材料を加熱し、蒸気を発生させる。
複数の膜厚センサ551〜554のうち、一の膜厚センサ551を第一の位置に配置し、他の一の膜厚センサ553を第二の位置に配置しておく。
シャッター34と補助シャッター58を開ける。
放出装置32内の蒸気は放出口31から真空槽22内に放出される。
放出口31から放出された蒸気の一部は、基板保持部45に保持された基板46の表面に到達し、基板46の表面に蒸着材料の粒子からなる有機薄膜が形成される。
膜厚センサの交換を繰り返して、図5を参照し、付着膜が付着した膜厚センサ551が第二の位置に配置されると、制御装置39はレーザー照射装置38に制御信号を送って、第二の位置に配置された膜厚センサ551に向かってレーザーを照射させる。
除去された付着膜の気化物は、防着板53に付着して遮断され、基板保持部45に保持された基板46に到達しないので、基板46に形成される薄膜の品質は劣化しない。また、除去された付着膜の気化物は、第一の位置に配置された膜厚センサ553にも到達しないので、第一の位置に配置された膜厚センサ553の測定精度は低下しない。
図2を参照し、基板46の表面に所定の厚みの薄膜を形成した後、シャッター34を閉じて、放出口31からの蒸気の放出を停止する。
真空槽22内の真空雰囲気を維持しながら、成膜済みの基板46を真空槽22の外側に搬出し、次いで、別の未成膜の基板46を真空槽22内に搬入して、基板保持部45に保持させる。
基板交換工程と、成膜工程とを複数枚の基板で繰り返し行って、複数枚の基板に蒸着材料の薄膜を形成する。
第二例の真空蒸着装置3では、第一例の真空蒸着装置2とは異なり、成膜工程を継続しながら膜厚センサの洗浄を行うことができるので、より生産性が上がる。
21、22……真空槽
27、28……真空排気装置
11a、11b、31……放出口
12a、12b、32……放出装置
15a、15b、551、552、553、554……膜厚センサ
25、35……基板保持部
26、36……基板
18a、18b、38……レーザー照射装置
53……防着板
Claims (10)
- 真空槽と、
前記真空槽内を真空排気する真空排気装置と、
前記真空槽内に露出する放出口から蒸着材料の蒸気を放出する放出装置と、
前記放出口と対面する位置に基板を保持する基板保持部と、
放出された前記蒸気が入射する位置に配置され、付着した前記蒸気からなる付着膜の膜厚を測定する膜厚センサと、
を有し、前記基板保持部に保持された前記基板に薄膜を形成する真空蒸着装置であって、
前記膜厚センサに向けてレーザーを照射するレーザー照射装置を有し、
前記膜厚センサに付着した前記付着膜にレーザーが照射されると、前記膜厚センサから前記付着膜が除去される真空蒸着装置。 - 前記真空槽内には、前記蒸気が到達する位置である第一の位置と、前記レーザーが到達する位置である第二の位置が配置され、
前記膜厚センサを、前記第一の位置と前記第二の位置との間を移動させる移動装置を有する請求項1記載の真空蒸着装置。 - 前記膜厚センサを複数個有し、
前記移動装置は、複数の前記膜厚センサのうち、前記第一の位置に配置された一の前記膜厚センサを前記第二の位置に移動し、他の一の前記膜厚センサを前記第一の位置に移動するように構成された請求項2記載の真空蒸着装置。 - 前記膜厚センサから除去された前記付着膜が、前記基板保持部に保持された前記基板に入射するのを遮断する防着板を有する請求項2又は請求項3のいずれか1項記載の真空蒸着装置。
- 前記蒸着材料は、有機物であり、前記基板に形成される前記薄膜と前記膜厚センサに付着する前記付着膜は有機薄膜である請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の真空蒸着装置。
- 真空排気された真空槽内に露出する放出口から蒸着材料の蒸気を放出させ、放出された前記蒸気が入射する位置に配置された膜厚センサに付着した前記蒸気からなる付着膜の膜厚を測定しながら、前記放出口と対面する位置に配置された基板に薄膜を形成する薄膜の製造方法であって、
前記基板に薄膜を形成した後、前記放出口から前記蒸気の放出を停止し、前記真空槽内の真空雰囲気を維持しながら、前記薄膜センサに向けてレーザーを照射し、前記膜厚センサから前記付着膜を除去する薄膜の製造方法。 - 真空排気された真空槽内に露出する放出口から蒸着材料の蒸気を放出させ、放出された前記蒸気が入射する第一の位置に配置された膜厚センサに付着した前記蒸気からなる付着膜の膜厚を測定しながら、前記放出口と対面する位置に配置された基板に薄膜を形成する薄膜の製造方法であって、
前記第一の位置とは異なる第二の位置に向けてレーザーを照射するレーザー照射装置を用いて、
前記真空槽内の真空雰囲気を維持し、前記放出口から前記蒸気の放出を継続し、前記基板に薄膜を形成しながら、前記第一の位置に配置された前記薄膜センサを前記第二の位置に移動させ、前記第二の位置に配置された前記薄膜センサに向けて前記レーザー照射装置からレーザーを照射し、前記第二の位置に配置された前記膜厚センサから前記付着膜を除去する薄膜の製造方法。 - 前記第一の位置に配置された前記薄膜センサを前記第二の位置に移動させ、別の膜厚センサを前記第一の位置に移動させる請求項7記載の薄膜の製造方法。
- 前記薄膜センサから除去された前記付着膜が前記基板に入射するのを遮断する防着板を用いて、
前記第二の位置に配置された前記膜厚センサから前記付着膜を除去した後、除去された前記付着膜を前記防着板に付着させる請求項7又は請求項8のいずれか1項記載の薄膜の製造方法。 - 前記蒸着材料は、有機物であり、前記基板に形成される前記薄膜と前記膜厚センサに付着する前記付着膜は有機薄膜である請求項6乃至請求項9のいずれか1項記載の薄膜の製造方法。
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