CN114540784A - 一种观察角度广的视窗 - Google Patents

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Abstract

本申请提供一种观察角度广的视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，所述外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；延伸件3反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb。

Description

一种观察角度广的视窗
技术领域
本发明涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种观察角度广的视窗。
背景技术
真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
在镀膜的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，坩埚内蒸镀材料的情况、镀锅的回转情况、加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。并且由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，应用几次之后回转玻璃被全部镀膜没法再进行观察，就需要经常更换腔体门内的回转玻璃，并且，由于受到防着板上的观察孔尺寸的限制，以及整个视窗的结构的设计，镀锅和坩埚内很多地方都观察不到，观察角度比较小。
有鉴于此，本发明提供一种观察角度广的视窗，其观察玻璃不会被蒸镀材料镀膜，没有因镀膜而需要更换的部件，观察角度广，能够观察到95％左右的坩埚内的情况。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种观察角度广的视窗，其观察玻璃不会被蒸镀材料镀膜，没有因镀膜而需要更换的部件，观察角度广，能够观察到95％左右的坩埚内的情况。
本申请的观察角度广的视窗，位于主腔体内的延伸件起到反射光线以方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过安装架的第一通孔的双重作用，由两个延伸件将蒸镀材料完全阻挡，上方延伸件的下表面和下方延伸件的下表面阻挡蒸发的蒸镀材料，没有蒸镀材料穿过安装架的第一通孔和腔体门通孔，因此外层玻璃不会被镀膜，外层玻璃不需要更换，可以用几年没有问题，与此同时，对视窗的位置进行了限定，进一步的，视窗有一个或者两个时，对两个延伸件的倾斜角度和发射性进行了限定，使得视窗的观察角度很广，能够完全观察坩埚的情况，并且，能够观察到95％左右的坩埚内的情况。本申请人在此基础上完成了本申请。
一种观察角度广的视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃1、安装架2和延伸件3，所述外层玻璃1和安装架2固定在腔体门上，延伸件3与安装架2连接，延伸件3位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件3与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架2具有第一通孔21，延伸件3有两个，两个延伸件3上下设置在第一通孔21的上下两边，延伸件3中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件3阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔21；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件32的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件32的长度为M，上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd。
所述视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb，此时，通过视窗能够观察到坩埚内的前部分的蒸镀材料，即能够观察到坩埚内一半的蒸镀材料，而此时，视窗在蒸镀材料在镀膜时以呈圆锥体形状向上蒸发的范围内，因此，还需同时保证延伸件3能够阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔21，而延伸件3需满足的条件为上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd，若上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距大于M×cosa+M×sina×cotd，则会有蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔21和腔体门通孔镀膜到外层玻璃1的内表面，外层玻璃1的内表面被镀膜后人眼通过外层玻璃1无法观察到主腔体内的情况，需要定期更换外层玻璃1。
在一些实施方式中，所述视窗具有一个或者多个，具有一个视窗则该视窗设置在腔体门的中部，具有多个视窗则多个视窗有规律的分布在腔体门上，两个延伸件3的倾斜角a相同或者不相同。
进一步的，所述视窗有一个，两个延伸件3的倾斜角a相同，即两个延伸件3平行设置，倾斜角a为20-80度，上方延伸件31的下表面和下方延伸件32的上表面具有反射功能。
进一步的，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1；人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1。
进一步的，所述视窗有两个，两个视窗上下垂直设置在腔体门上，设置在上方的视窗的上方延伸件31的下表面具有反射功能，下方延伸件32不具有反射功能，上方延伸件31的倾斜角a大于90°，下方延伸件32的倾斜角a小于90°；设置在下方的视窗的两个延伸件3平行设置，上方延伸件31的下表面和下方延伸件32的上表面具有反射功能，两个延伸件3的倾斜角a相同并且倾斜角a为20°-80°。
进一步的，通过设置在下方的视窗，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1，人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1；通过设置在上方的视窗，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1，人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1。
在一些实施方式中，所述上方延伸件31和/或下方延伸件32为镜面，其中，上方延伸件31的下表面为反光面、上表面为背光面，下方延伸件32的上表面为反光面、下表面为背光面。
在一些实施方式中，所述腔体门上设置有通孔，外层玻璃1固定在腔体门通孔相对应的位置，外层玻璃1固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部。
进一步优选的，外层玻璃1固定在腔体门通孔外的腔体门外壁上或者固定在腔体门通孔的内部。
进一步的，所述腔体门通孔、外层玻璃1和安装架2的第一通孔21为正方形、长方形、圆形或者椭圆形中的一种，腔体门通孔、外层玻璃1及安装架2的形状相同或者不相同。
进一步的，所述视窗还包括中空固定件4，中空固定件4用于将外层玻璃1与腔体门固定，中空固定件4通过螺丝与腔体门固定，中空固定件4的中空部分的形状与外层玻璃1的形状相同。
在一些实施方式中，所述安装架2还包括腔体门固定部22和延伸件固定部23，第一通孔21设置在腔体门固定部22上，腔体门固定部22与腔体门固定，延伸件固定部23位于主腔体内，延伸件固定部23与延伸件3连接。
进一步的，所述延伸件固定部23与延伸件3通过螺丝或螺钉连接固定，通过调整螺丝或螺钉的松紧，使得能够通过外力调整延伸件3的倾斜角a。
附图说明
图1为本申请实施例1的观察角度广的视窗与主腔体门的主视图。
图2为本申请实施例1的观察角度广的视窗与主腔体门的结构示意图。
图3为本申请实施例1的观察角度广的视窗与主腔体门的剖视图的结构示意图。
图4为本申请的观察角度广的视窗的原理图。
图5为本申请的观察角度广的视窗进行光线反射的原理图。
主要元件符号说明：
外层玻璃1、安装架2、延伸件3、中空固定件4、第一通孔21、腔体门固定部22、延伸件固定部23、上方延伸件31、下方延伸件32。
具体实施方式
描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
实施例1：
一种观察角度广的视窗，如图1-图5所示，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃1、安装架2和延伸件3，所述外层玻璃1和安装架2固定在腔体门上，延伸件3与安装架2连接，延伸件3位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件3与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架2具有第一通孔21，延伸件3有两个，两个延伸件3上下设置在第一通孔21的上下两边，延伸件3中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件3阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔21；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件32的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件32的长度为M，上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd。
所述视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb，此时，通过视窗能够观察到坩埚内的前部分的蒸镀材料，即能够观察到坩埚内一半的蒸镀材料，而此时，视窗在蒸镀材料在镀膜时以呈圆锥体形状向上蒸发的范围内，因此，还需同时保证延伸件3能够阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔21，而延伸件3需满足的条件为上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd，如图4所示，若上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距大于M×cosa+M×sina×cotd，则会有蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔21和腔体门通孔镀膜到外层玻璃1的内表面，外层玻璃1的内表面被镀膜后人眼通过外层玻璃1无法观察到主腔体内的情况，需要定期更换外层玻璃1。
如图4所示，所述视窗有一个，两个延伸件3的倾斜角a相同，即两个延伸件3平行设置，倾斜角a为20-80度，上方延伸件31的下表面和下方延伸件32的上表面具有反射功能。人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1；人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1。
如图5所示，所述视窗有两个，两个视窗上下垂直设置在腔体门上，设置在上方的视窗的上方延伸件31的下表面具有反射功能，下方延伸件32不具有反射功能，上方延伸件31的倾斜角a大于90°，下方延伸件32的倾斜角a小于90°；设置在下方的视窗的两个延伸件3平行设置，上方延伸件31的下表面和下方延伸件32的上表面具有反射功能，两个延伸件3的倾斜角a相同并且倾斜角a为20°-80°。通过设置在下方的视窗，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1，人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1；通过设置在上方的视窗，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1，人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1。
所述上方延伸件31和/或下方延伸件32为镜面，其中，上方延伸件31的下表面为反光面、上表面为背光面，下方延伸件32的上表面为反光面、下表面为背光面。所述腔体门上设置有通孔，外层玻璃1固定在腔体门通孔外的腔体门外壁上。所述腔体门通孔为圆形、外层玻璃1为圆形和安装架2的第一通孔21为正方形。所述视窗还包括中空固定件4，中空固定件4用于将外层玻璃1与腔体门固定，中空固定件4通过螺丝与腔体门固定，中空固定件4的中空部分的形状与外层玻璃1的形状相同。所述安装架2还包括腔体门固定部22和延伸件固定部23，第一通孔21设置在腔体门固定部22上，腔体门固定部22与腔体门固定，延伸件固定部23位于主腔体内，延伸件固定部23与延伸件3连接。所述延伸件固定部23与延伸件3通过螺丝或螺钉连接固定，通过调整螺丝或螺钉的松紧，使得能够通过外力调整延伸件3的倾斜角a。
尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种观察角度广的视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，其特征在于，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃(1)、安装架(2)和延伸件(3)，所述外层玻璃(1)和安装架(2)固定在腔体门上，延伸件(3)与安装架(2)连接，延伸件(3)位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件(3)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架(2)具有第一通孔(21)，延伸件(3)有两个，两个延伸件(3)上下设置在第一通孔(21)的上下两边，延伸件(3)中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件(3)反射后穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件(3)阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔(21)；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件(31)的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件(32)的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件(32)的长度为M，上方延伸件(31)和下方延伸件(32)在安装架(2)上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd。
2.如权利要求1所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述视窗具有一个或者多个，具有一个视窗则该视窗设置在腔体门的中部，具有多个视窗则多个视窗有规律的分布在腔体门上，两个延伸件(3)的倾斜角a相同或者不相同。
3.如权利要求2所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述视窗有一个，两个延伸件(3)的倾斜角a相同，即两个延伸件(3)平行设置，倾斜角a为20-80度，上方延伸件(31)的下表面和下方延伸件(32)的上表面具有反射功能。
4.如权利要求3所述的观察角度广的视窗，其特征在于，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上方延伸件(31)的下表面反射到下方延伸件(32)的上表面，下方延伸件(32)的上表面反射后穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)；人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下方延伸件(32)的上表面反射后直接穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)。
5.如权利要求2所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述视窗有两个，两个视窗上下垂直设置在腔体门上，设置在上方的视窗的上方延伸件(31)的下表面具有反射功能，下方延伸件(32)不具有反射功能，上方延伸件(31)的倾斜角a大于90°，下方延伸件(32)的倾斜角a小于90°；设置在下方的视窗的两个延伸件(3)平行设置，上方延伸件(31)的下表面和下方延伸件(32)的上表面具有反射功能，两个延伸件(3)的倾斜角a相同并且倾斜角a为20°-80°。
6.如权利要求5所述的观察角度广的视窗，其特征在于，通过设置在下方的视窗，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上方延伸件(31)的下表面反射到下方延伸件(32)的上表面，下方延伸件(32)的上表面反射后穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)，人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下方延伸件(32)的上表面反射后直接穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)；通过设置在上方的视窗，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上方延伸件(31)的下表面反射后直接穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)，人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线直接穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)。
7.如权利要求1所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述上方延伸件(31)和/或下方延伸件(32)为镜面，其中，上方延伸件(31)的下表面为反光面、上表面为背光面，下方延伸件(32)的上表面为反光面、下表面为背光面。
8.如权利要求1所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述腔体门上设置有通孔，外层玻璃(1)固定在腔体门通孔相对应的位置，外层玻璃(1)固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部。
9.如权利要求8所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述视窗还包括中空固定件(4)，中空固定件(4)用于将外层玻璃(1)与腔体门固定，中空固定件(4)通过螺丝与腔体门固定，中空固定件(4)的中空部分的形状与外层玻璃(1)的形状相同。
10.如权利要求1所述的观察角度广的视窗，其特征在于，所述安装架(2)还包括腔体门固定部(22)和延伸件固定部(23)，第一通孔(21)设置在腔体门固定部(22)上，腔体门固定部(22)与腔体门固定，延伸件固定部(23)位于主腔体内，延伸件固定部(23)与延伸件(3)连接。
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