CN216074003U - 一种真空蒸镀机的可变光视窗 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机的可变光视窗，所述可变光视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，可变光视窗包括：设置在腔体门通孔内并固定的第一圆环固定件1、设置在第一圆环固定件1的外表面上的外层玻璃2、将外层玻璃2与第一圆环固定件1的外表面固定的第二圆环固定件3、设置在第一圆环固定件1内的回转玻璃4和一贯穿外层玻璃2和回转玻璃4的中心的回转轴5，所述可变光视窗还包括支架6和偏振镜7，支架6与第一圆环固定件1的外表面固定，所述圆环部61的外表面上固定有两个圆弧部62，两个圆弧部62设置在圆环部61的中下部，圆弧部62的内侧具有一个凹陷部621，偏振镜7为圆形，偏振镜7放置在支架6的两个凹陷部621内，偏振镜7进行调光。

Description

一种真空蒸镀机的可变光视窗

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的可变光视窗。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。

在镀膜的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，特别是电子束的运行状况，镀锅的回转情况，加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗结构从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。并且由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，回转玻璃大部分都没镀膜后，没法再进行观察，就需要更换腔体门内的回转玻璃。但是，真空蒸镀机的主腔体内大部分时候光强比较强，人眼通过现有技术的视窗直接观察容易引起眼部的不适，还有一部分时候主腔体内的光强比较弱，人眼通过现有技术的视窗观察看不清楚主腔体内的情况。

有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的可变光视窗，能够对真空蒸镀机的主腔体内发出的光线进行调光，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时增强进入人眼的光强。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的可变光视窗，能够对真空蒸镀机的主腔体内发出的光线进行调光，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时增强进入人眼的光强。

本申请的真空蒸镀机的可变光视窗，在现有技术的视窗的外表面直接增加支架和偏振片，支架设置在凸出于腔体门的圆环固定件上，支架用于托住偏振片，偏振片放置在支架的两个圆弧部的两个凹陷部内，方便放置支架，并且两个圆弧部之间优选具有间隙，通过间隙能够用人手向上托起偏振镜从而取出偏振镜，偏振镜包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果，能够在主腔室内的亮度高时减弱进入人眼的光强，在主腔室内的亮度低时增强进入人眼的光强。本申请人在此基础上完成了本申请。

一种真空蒸镀机的可变光视窗，所述可变光视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述可变光视窗包括：设置在腔体门安装所述可变光视窗的通孔内并与所述腔体门通孔固定的第一圆环固定件1、设置在第一圆环固定件1的外表面上的外层玻璃2、将外层玻璃2与第一圆环固定件1的外表面固定的第二圆环固定件3、设置在第一圆环固定件1内的回转玻璃4和一贯穿外层玻璃2和回转玻璃4的中心的回转轴5，所述外层玻璃2为圆形并且外层玻璃2的直径大于第一圆环固定件1的内直径，所述回转玻璃4为圆形并且回转玻璃4的直径小于第一圆环固定件1的内直径，所述回转轴5能够相对外层玻璃2转动，回转轴5的末端与回转玻璃4固定，回转玻璃4能够跟随回转轴5同步旋转，回转轴5首端的把手51凸出于外层玻璃2的外表面，其特征在于，所述可变光视窗还包括支架6和偏振镜7，支架6设置在第一圆环固定件1的外表面上，支架6的圆环部61与第一圆环固定件1的外表面固定，所述圆环部61的外表面上固定有两个圆弧部62，两个圆弧部62设置在圆环部61的中下部，圆弧部62的内侧具有一个凹陷部621，凹陷部621为圆弧状，凹陷部621的厚度大于偏振镜7的厚度并小于圆弧部62的厚度，偏振镜7为圆形，偏振镜7放置在支架6的两个凹陷部621内，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时通过偏振镜7减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时通过偏振镜7增强进入人眼的光强。

在一些实施方式中，所述圆环部61的内直径大于、小于或者等于第一圆环固定件1的内直径。

进一步优选的，所述圆环部61的内直径小于或者等于第一圆环固定件1的内直径。

进一步的，所述圆环部61上具有多个螺丝孔，通过螺丝将圆环部61与第一圆环固定件1的外表面固定。

在一些实施方式中，所述圆弧部62的内直径和外直径与圆环部61的内直径和外直径相同。

进一步的，所述圆弧部62的圆弧角度为20-90度，两个圆弧部62之间具有或者不具有间隙。

进一步的，所述圆弧部62的圆弧角度为45-80度，两个圆弧部62之间具有间隙并且间隙的长度小于偏振镜7的直径，所述间隙的设置方便用手向上托起偏振镜7从而取出偏振镜7。

进一步的，所述凹陷部621的深度为2-5mm。

在一些实施方式中，所述偏振镜7是根据光线的偏振原理制造的镜片，用来排除和滤除光束中的散射光线，能够减少外层玻璃2和回转玻璃4的偏振光，达到99％的偏光消除效果。

进一步的，所述偏振镜7包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果。

在一些实施方式中，所述可变光视窗具有一个或者两个，所述可变光视窗具有两个时，两个所述可变光视窗上下分布的设置在真空蒸镀机的腔体门上。

在一些实施方式中，所述把手51通过螺钉与回转轴5的首端固定，旋转把手51，带动回转轴5和回转玻璃4同步旋转。

进一步的，把手的形状包括：中空圆形、中空正方形、中空长方形、中空六边形、或中空三角凹陷中的一种。

进一步的，把手的外表面还设置有螺纹，用于增加表面摩擦力，使得比较容易旋转把手。

附图说明

图1为本申请的真空蒸镀机的可变光视窗与真空蒸镀机的主腔体的结构示意图。

图2为本申请的真空蒸镀机的可变光视窗的爆炸图。

图3为本申请的真空蒸镀机的可变光视窗的结构示意图。

图4为本申请的真空蒸镀机的可变光视窗的支架的结构示意图。

图5为本申请的真空蒸镀机的可变光视窗的偏振镜的结构示意图。

主要元件符号说明：

第一圆环固定件1、外层玻璃2、第二圆环固定件3、回转玻璃4、回转轴5、把手51、支架6、圆环部61、圆弧部62、凹陷部621、偏振镜7。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

实施例1：

一种真空蒸镀机的可变光视窗，如图1-图5所述，所述可变光视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述可变光视窗包括：设置在腔体门安装所述可变光视窗的通孔内并与所述腔体门通孔固定的第一圆环固定件1、设置在第一圆环固定件1的外表面上的外层玻璃2、将外层玻璃2与第一圆环固定件1的外表面固定的第二圆环固定件3、设置在第一圆环固定件1内的回转玻璃4和一贯穿外层玻璃2和回转玻璃4的中心的回转轴5，所述外层玻璃2为圆形并且外层玻璃2的直径大于第一圆环固定件1的内直径小于第一圆环固定件1的外直径，所述回转玻璃4为圆形并且回转玻璃4的直径小于第一圆环固定件1的内直径，所述回转轴5能够相对外层玻璃2转动，回转轴5的末端与回转玻璃4固定，回转玻璃4能够跟随回转轴5同步旋转，回转轴5首端的把手51凸出于第一圆环固定件1的上表面，其特征在于，所述可变光视窗还包括支架6和偏振镜7，支架6设置在第一圆环固定件1的外表面上，支架6的圆环部61与第一圆环固定件1的外表面固定，所述圆环部61的外表面上固定有两个圆弧部62，两个圆弧部62设置在圆环部61的中下部，圆弧部62的内侧具有一个凹陷部621，凹陷部621为圆弧状，凹陷部621的厚度大于偏振镜7的厚度并小于圆弧部62的厚度，偏振镜7为圆形，偏振镜7放置在支架6的两个凹陷部621内，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时通过偏振镜7减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时通过偏振镜7增强进入人眼的光强。

所述圆环部61的内直径等于第一圆环固定件1的内直径。所述圆环部61上具有多个螺丝孔，通过螺丝将圆环部61与第一圆环固定件1的外表面固定。所述圆弧部62的内直径和外直径与圆环部61的内直径和外直径相同，所述圆弧部62的圆弧角度为70度，两个圆弧部62之间具有间隙并且间隙的长度小于偏振镜7的直径，所述间隙的设置方便用手向上托起偏振镜7从而取出偏振镜7，所述凹陷部621的深度为3mm。所述偏振镜7是根据光线的偏振原理制造的镜片，用来排除和滤除光束中的散射光线，能够减少外层玻璃2和回转玻璃4的偏振光，达到99％的偏光消除效果。所述偏振镜7包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果。所述可变光视窗具有两个时，两个所述可变光视窗上下分布的设置在真空蒸镀机的腔体门上。所述把手51通过螺钉与回转轴5的首端固定，旋转把手51，带动回转轴5和回转玻璃4同步旋转，把手的形状为中空圆形，把手的外表面还设置有螺纹，用于增加表面摩擦力，使得比较容易旋转把手。

实施例2：

一种真空蒸镀机的可变光视窗，如图2-图5所示，所述可变光视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述可变光视窗包括：设置在腔体门安装所述可变光视窗的通孔内并与所述腔体门通孔固定的第一圆环固定件1、设置在第一圆环固定件1的外表面上的外层玻璃2、将外层玻璃2与第一圆环固定件1的外表面固定的第二圆环固定件3、设置在第一圆环固定件1内的回转玻璃4和一贯穿外层玻璃2和回转玻璃4的中心的回转轴5，所述外层玻璃2为圆形并且外层玻璃2的直径大于第一圆环固定件1的内直径小于第一圆环固定件1的外直径，所述回转玻璃4为圆形并且回转玻璃4的直径小于第一圆环固定件1的内直径，所述回转轴5能够相对外层玻璃2转动，回转轴5的末端与回转玻璃4固定，回转玻璃4能够跟随回转轴5同步旋转，回转轴5首端的把手51凸出于第一圆环固定件1的上表面，其特征在于，所述可变光视窗还包括支架6和偏振镜7，支架6设置在第一圆环固定件1的外表面上，支架6的圆环部61与第一圆环固定件1的外表面固定，所述圆环部61的外表面上固定有两个圆弧部62，两个圆弧部62设置在圆环部61的中下部，圆弧部62的内侧具有一个凹陷部621，凹陷部621为圆弧状，凹陷部621的厚度大于偏振镜7的厚度并小于圆弧部62的厚度，偏振镜7为圆形，偏振镜7放置在支架6的两个凹陷部621内，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时通过偏振镜7减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时通过偏振镜7增强进入人眼的光强。

所述圆环部61的内直径等于第一圆环固定件1的内直径。所述圆环部61上具有多个螺丝孔，通过螺丝将圆环部61与第一圆环固定件1的外表面固定。所述圆弧部62的内直径和外直径与圆环部61的内直径和外直径相同，所述圆弧部62的圆弧角度为60度，两个圆弧部62之间具有间隙并且间隙的长度小于偏振镜7的直径，所述间隙的设置方便用手向上托起偏振镜7从而取出偏振镜7，所述凹陷部621的深度为4mm。所述偏振镜7是根据光线的偏振原理制造的镜片，用来排除和滤除光束中的散射光线，能够减少外层玻璃2和回转玻璃4的偏振光，达到99％的偏光消除效果。所述偏振镜7包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果。所述可变光视窗具有一个，所述把手51通过螺钉与回转轴5的首端固定，旋转把手51，带动回转轴5和回转玻璃4同步旋转，把手的形状为中空六边形，把手的外表面还设置有螺纹，用于增加表面摩擦力，使得比较容易旋转把手。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀机的可变光视窗，所述可变光视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述可变光视窗包括：设置在腔体门安装所述可变光视窗的通孔内并与所述腔体门通孔固定的第一圆环固定件(1)、设置在第一圆环固定件(1)的外表面上的外层玻璃(2)、将外层玻璃(2)与第一圆环固定件(1)的外表面固定的第二圆环固定件(3)、设置在第一圆环固定件(1)内的回转玻璃(4)和一贯穿外层玻璃(2)和回转玻璃(4)的中心的回转轴(5)，所述外层玻璃(2)为圆形并且外层玻璃(2)的直径大于第一圆环固定件(1)的内直径小于第一圆环固定件(1)的外直径，所述回转玻璃(4)为圆形并且回转玻璃(4)的直径小于第一圆环固定件(1)的内直径，所述回转轴(5)能够相对外层玻璃(2)转动，回转轴(5)的末端与回转玻璃(4)固定，回转玻璃(4)能够跟随回转轴(5)同步旋转，回转轴(5)首端的把手(51)凸出于第一圆环固定件(1)的上表面，其特征在于，所述可变光视窗还包括支架(6)和偏振镜(7)，支架(6)设置在第一圆环固定件(1)的外表面上，支架(6)的圆环部(61)与第一圆环固定件(1)的外表面固定，所述圆环部(61)的外表面上固定有两个圆弧部(62)，两个圆弧部(62)设置在圆环部(61)的中下部，圆弧部(62)的内侧具有一个凹陷部(621)，凹陷部(621)为圆弧状，凹陷部(621)的厚度大于偏振镜(7)的厚度并小于圆弧部(62)的厚度，偏振镜(7)为圆形，偏振镜(7)放置在支架(6)的两个凹陷部(621)内，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时通过偏振镜(7)减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时通过偏振镜(7)增强进入人眼的光强。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述圆环部(61)的内直径大于、小于或者等于第一圆环固定件(1)的内直径。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述圆环部(61)的内直径小于或者等于第一圆环固定件(1)的内直径。

4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述圆弧部(62)的内直径和外直径与圆环部(61)的内直径和外直径相同。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述圆弧部(62)的圆弧角度为20-90度，两个圆弧部(62)之间具有或者不具有间隙。

6.如权利要求5所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述圆弧部(62)的圆弧角度为45-80度，两个圆弧部(62)之间具有间隙并且间隙的长度小于偏振镜(7)的直径，所述间隙的设置方便用手向上托起偏振镜(7)从而取出偏振镜(7)。

7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述凹陷部(621)的深度为2-5mm。

8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述偏振镜(7)包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述可变光视窗具有一个或者两个，所述可变光视窗具有两个时，两个所述可变光视窗上下分布的设置在真空蒸镀机的腔体门上。

10.如权利要求1所述的真空蒸镀机的可变光视窗，其特征在于，所述把手(51)通过螺钉与回转轴(5)的首端固定，旋转把手(51)，带动回转轴(5)和回转玻璃(4)同步旋转。

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