CN214168111U - 一种真空蒸镀机的加热灯结构 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的辐射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便；所述真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，所述加热灯结构包括：竖杆、连接件、折弯件、和加热灯盒，竖杆的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件的一端通过连接件与竖杆连接，通过连接件能够调节折弯件与竖杆连接的高度位置，从而调节加热灯盒的高度，折弯件的另一端与加热灯盒连接，加热灯盒能够相对折弯件运动，从而调节加热灯盒的角度，折弯件包括水平部和倾斜部，倾斜部与加热灯盒连接，倾斜部向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒相对倾斜部运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。

Description

一种真空蒸镀机的加热灯结构

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的加热灯结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括设置在腔体下方的坩埚、以及设置在坩埚上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成薄膜(镀膜)。

但是，在此过程中，因为蒸镀的蒸镀材料相对敏感，若蒸镀时其蒸镀腔体内的水蒸汽含量比较高，会对蒸镀效果以及面板的光电指标及器件寿命造成不利的影响。因此，目前在蒸镀前，利用相关方式加速腔体内水蒸汽的蒸发，降低腔体内的水蒸汽含量，目前降低腔体内水蒸汽含量的方法主要有：1.通过电阻丝对腔体进行加热(温度设置为80℃、加热时间为8小时)，但用此方式处理水汽，不仅耗时久，影响OLED产能。2.目前比较常用的方式为，在腔体内设置加热灯，该加热灯固定在腔室的底面，斜向上发光，但是该加热灯的幅射范围有限，腔体内的温度不均匀，影响腔体内水蒸汽蒸发的效果。

有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的幅射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的幅射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便。

本申请的真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯盒的高度，从而方便安装和拆卸，并且更利于调节加热灯盒的精度。并且，能够调整加热灯盒的的角度，更重要的是，其角度的调节不是任意调节都能够达到加热灯幅射均匀、真空蒸镀机的腔体内的温度均匀的效果，加热灯盒调整角度时，始终是向心的，即不论真空蒸镀机的腔室是什么形状及大小，加热灯盒调整角度时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。此外，本申请的真空蒸镀机的加热灯结构还进一步在加热灯盒的盒体部的底面上设置有反射板，反射板凸出于盒体部的底面，反射板的设置可以使得加热灯发出的光线及热量更集中。本申请人在此基础上完成本申请。

一种真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，其特征在于，所述加热灯结构包括：竖杆1、连接件2、折弯件3、和加热灯盒4，竖杆1的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件3的一端通过连接件2与竖杆1连接，通过连接件2能够调节折弯件3与竖杆1连接的高度位置，从而调节加热灯盒4的高度，折弯件3的另一端与加热灯盒4连接，加热灯盒4能够相对折弯件3运动，从而调节加热灯盒4的角度，折弯件3包括水平部31和倾斜部32，倾斜部32与加热灯盒4连接，倾斜部32向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒4相对倾斜部32运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。

在一些实施方式中，所述加热灯结构有一个或者多个，优选的，所述加热灯结构有4个，分别位于真空蒸镀机的腔室的底面板的四个边角。

在一些实施方式中，竖杆1的中上部为四边形杆体，折弯件3和连接件2设置在竖杆1中上部的四边形杆体上。

进一步的，竖杆1的底面直接与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，或者竖杆1的底面通过其他部件与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。

进一步的，竖杆1的底面还设置有板块11，竖杆1的底面与板块11固定，板块11通过螺丝与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。

在一些实施方式中，连接件2由第一连接块21和第二连接块22组成，第一连接块21与第二连接块22结构相同，第二连接块22与折弯件3固定，第一连接块21和第二连接块22均包括一个三角凹陷部，三角凹陷部正好与竖杆1中上部的四边形杆体的两个三角折面吻合，通过螺丝将第一连接块21和第二连接块22与竖杆1的中上部连接固定，从而将连接件2与竖杆1的中上部固定，松开螺丝调节第一连接块21和第二连接块22的高度，从而调节折弯件3和加热灯盒4的高度。

进一步的，第一连接块21包括第一三角凹陷部211和第一螺孔212，第二连接块22包括第二三角凹陷部221和第二螺孔222，将第一三角凹陷部211和第二三角凹陷部221合并在竖杆1中上部的四边形杆体上，再通过螺丝连接第一螺孔212和第二螺孔222，从而将第一连接块21和第二连接块22与竖杆1的中上部固定。

在一些实施方式中，折弯件3的水平部31与连接件2的第二连接块22固定，倾斜部32与水平面及竖直面均具有角度，根据真空蒸镀机的腔室的形状及大小，调整倾斜部32与水平面及竖直面的角度，使得倾斜部32向着真空蒸镀机的腔室的中心。

进一步的，真空蒸镀机的腔室的形状包括：正方形、长方形、圆形、椭圆形中的一种。

在一些实施方式中，加热灯盒4与折弯件3的倾斜部32通过螺丝和螺母连接，通过调整螺丝螺母拧紧的程度，使得加热灯盒4能够相对倾斜部32运动。

进一步的，折弯件3的倾斜部32具有第一通孔321，加热灯盒4的连接部41具有两个第二通孔411，螺丝穿过第一通孔321和第二通孔411，螺母拧紧，将加热灯盒4与折弯件3连接。

进一步的，加热灯盒4还包括盒体部42，盒体部42内设置有加热灯43，加热灯43有一个或者多个，优选的，加热灯43有2-4个。

进一步的，加热灯43为红外线灯。

在一些实施方式中，所述加热灯结构还包括反射板5，反射板5设置在加热灯盒4的盒体部42的底面上，并且反射板5凸出于盒体部42的底面。反射板5的设置可以使得加热灯43发出的光线及热量更集中。

附图说明

图1为本申请的实施例1的真空蒸镀机的加热灯结构及腔体的立体图。

图2为本申请的真空蒸镀机的加热灯结构的立体图。

图3为本申请的连接件和折弯件的立体图。

图4为本申请的实施例1的加热灯盒的立体图。

主要元件符号说明：

竖杆1、连接件2、折弯件3、加热灯盒4、反射板5、板块11、第一连接

块21、第二连接块22、第一三角凹陷部211、第一螺孔212、第二三角凹陷

部221、第二螺孔222、水平部31、倾斜部32、第一通孔321、连接部41、

第二通孔411、盒体部42、加热灯43。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

实施例1：

一种真空蒸镀机的加热灯结构，如图1-图4所示，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，其特征在于，所述加热灯结构包括：竖杆1、连接件2、折弯件3、和加热灯盒4，竖杆1的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件3的一端通过连接件2与竖杆1连接，通过连接件2能够调节折弯件3与竖杆1连接的高度位置，从而调节加热灯盒4的高度，折弯件3的另一端与加热灯盒4连接，加热灯盒4能够相对折弯件3运动，从而调节加热灯盒4的角度，折弯件3包括水平部31和倾斜部32，倾斜部32与加热灯盒4连接，倾斜部32向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒4相对倾斜部32运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。

所述加热灯结构有4个，分别位于真空蒸镀机的腔室的底面板的四个边角。竖杆1的中上部为四边形杆体，折弯件3和连接件2设置在竖杆1中上部的四边形杆体上。竖杆1的底面通过其他部件与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。竖杆1的底面还设置有板块11，竖杆1的底面与板块11固定，板块11通过螺丝与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。

连接件2由第一连接块21和第二连接块22组成，第一连接块21与第二连接块22结构相同，第二连接块22与折弯件3固定，第一连接块21和第二连接块22均包括一个三角凹陷部，三角凹陷部正好与竖杆1中上部的四边形杆体的两个三角折面吻合，通过螺丝将第一连接块21和第二连接块22与竖杆1的中上部连接固定，从而将连接件2与竖杆1的中上部固定，松开螺丝调节第一连接块21和第二连接块22的高度，从而调节折弯件3和加热灯盒4的高度。第一连接块21包括第一三角凹陷部211和第一螺孔212，第二连接块22包括第二三角凹陷部221和第二螺孔222，将第一三角凹陷部211和第二三角凹陷部221合并在竖杆1中上部的四边形杆体上，再通过螺丝连接第一螺孔212和第二螺孔222，从而将第一连接块21和第二连接块22与竖杆1的中上部固定。折弯件3的水平部31与连接件2的第二连接块22固定，倾斜部32与水平面及竖直面均具有角度，根据真空蒸镀机的腔室的形状及大小，调整倾斜部32与水平面及竖直面的角度，使得倾斜部32向着真空蒸镀机的腔室的中心，真空蒸镀机的腔室的形状为正方形。

加热灯盒4与折弯件3的倾斜部32通过螺丝和螺母连接，通过调整螺丝螺母拧紧的程度，使得加热灯盒4能够相对倾斜部32运动。折弯件3的倾斜部32具有第一通孔321，加热灯盒4的连接部41具有两个第二通孔411，螺丝穿过第一通孔321和第二通孔411，螺母拧紧，将加热灯盒4与折弯件3连接。加热灯盒4还包括盒体部42，盒体部42内设置有加热灯43，加热灯43有2-4个，加热灯43为红外线灯。所述加热灯结构还包括反射板5，反射板5设置在加热灯盒4的盒体部42的底面上，并且反射板5凸出于盒体部42的底面。反射板5的设置可以使得加热灯43发出的光线及热量更集中。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，其特征在于，所述加热灯结构包括：竖杆(1)、连接件(2)、折弯件(3)、和加热灯盒(4)，竖杆(1)的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件(3)的一端通过连接件(2)与竖杆(1)连接，通过连接件(2)能够调节折弯件(3)与竖杆(1)连接的高度位置，从而调节加热灯盒(4)的高度，折弯件(3)的另一端与加热灯盒(4)连接，加热灯盒(4)能够相对折弯件(3)运动，从而调节加热灯盒(4)的角度，折弯件(3)包括水平部(31)和倾斜部(32)，倾斜部(32)与加热灯盒(4)连接，倾斜部(32)向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒(4)相对倾斜部(32)运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，所述加热灯结构有一个或者多个。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，所述加热灯结构有4个，分别位于真空蒸镀机的腔室的底面板的四个边角。

4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，竖杆(1)的中上部为四边形杆体，折弯件(3)和连接件(2)设置在竖杆(1)中上部的四边形杆体上，竖杆(1)的底面直接与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，或者竖杆(1)的底面通过其他部件与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，竖杆(1)的底面还设置有板块(11)，竖杆(1)的底面与板块(11)固定，板块(11)通过螺丝与真空蒸镀机的腔室的底面板固定。

6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，连接件(2)由第一连接块(21)和第二连接块(22)组成，第一连接块(21)与第二连接块(22)结构相同，第二连接块(22)与折弯件(3)固定，第一连接块(21)和第二连接块(22)均包括一个三角凹陷部，三角凹陷部正好与竖杆(1)中上部的四边形杆体的两个三角折面吻合，通过螺丝将第一连接块(21)和第二连接块(22)与竖杆(1)的中上部连接固定，从而将连接件(2)与竖杆(1)的中上部固定，松开螺丝调节第一连接块(21)和第二连接块(22)的高度，从而调节折弯件(3)和加热灯盒(4)的高度。

7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，第一连接块(21)包括第一三角凹陷部(211)和第一螺孔(212)，第二连接块(22)包括第二三角凹陷部(221)和第二螺孔(222)，将第一三角凹陷部(211)和第二三角凹陷部(221)合并在竖杆(1)中上部的四边形杆体上，再通过螺丝连接第一螺孔(212)和第二螺孔(222)，从而将第一连接块(21)和第二连接块(22)与竖杆(1)的中上部固定。

8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，折弯件(3)的水平部(31)与连接件(2)的第二连接块(22)固定，倾斜部(32)与水平面及竖直面均具有角度，根据真空蒸镀机的腔室的形状及大小，调整倾斜部(32)与水平面及竖直面的角度，使得倾斜部(32)向着真空蒸镀机的腔室的中心。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，加热灯盒(4)与折弯件(3)的倾斜部(32)通过螺丝和螺母连接，通过调整螺丝螺母拧紧的程度，使得加热灯盒(4)能够相对倾斜部(32)运动。

10.如权利要求1所述的真空蒸镀机的加热灯结构，其特征在于，所述加热灯结构还包括反射板(5)，反射板(5)设置在加热灯盒(4)的盒体部(42)的底面上，并且反射板(5)凸出于盒体部(42)的底面。

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