CN215365972U - 一种真空蒸镀机的视窗固定结构 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机的视窗固定结构，所述视窗固定结构1设置在真空蒸镀机的腔体门上，视窗固定结构和外层玻璃与腔体门通孔的位置相对应，视窗固定结构在外层玻璃的内侧，视窗固定结构用于连接及固定延伸件，视窗固定结构包括：第一通孔、腔体门固定部和延伸件固定部，腔体门固定部与腔体门固定，延伸件固定部位于主腔体内并且将延伸件连接固定，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃而进入人眼，延伸件阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔，腔体门固定部与腔体门的内壁固定或者与腔体门通孔固定。

Description

一种真空蒸镀机的视窗固定结构

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的视窗固定结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。

在镀膜的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，坩埚内蒸镀材料的情况、镀锅的回转情况、加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，应用几次之后回转玻璃被全部镀膜没法再进行观察，就需要经常更换腔体门内的回转玻璃。本申请人提供了一种与现有技术完全不同的视窗，没有因镀膜而需要更换的部件，针对不同的主腔体的形状，本申请人进一步优化了视窗固定结构，使具有该视窗固定结构的视窗能够适用于不同的真空蒸镀机的主腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的视窗固定结构，使具有该视窗固定结构的视窗能够适用于不同的真空蒸镀机的主腔体，该视窗没有因镀膜而需要更换的部件。

一种真空蒸镀机的视窗固定结构，所述视窗固定结构1设置在真空蒸镀机的腔体门上，视窗固定结构1和外层玻璃2与腔体门通孔的位置相对应，视窗固定结构1在外层玻璃2的内侧，视窗固定结构1用于连接及固定延伸件3，视窗固定结构1包括：第一通孔11、腔体门固定部12和延伸件固定部13，腔体门固定部12与腔体门固定，延伸件固定部13位于主腔体内并且将延伸件3连接固定，两个延伸件3上下设置在第一通孔11的上下两边，主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔11到达外层玻璃2而进入人眼，延伸件3阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔11，腔体门固定部12与腔体门的内壁固定或者与腔体门通孔固定。

在一些实施方式中，所述第一通孔11设置在腔体门固定部12的中部，腔体门固定部12为正方形、长方形、圆形或者椭圆形中的一种，第一通孔11为正方形、长方形、圆形或者椭圆形通孔中的一种，第一通孔11的形状与腔体门通孔和外层玻璃2的形状相同或者不相同。

进一步的，腔体门固定部12与腔体门的内壁固定则腔体门固定部12为正方形或长方形薄片，适用于正方体或者长方体的主腔体。

进一步的，腔体门固定部12与腔体门通孔固定则腔体门通孔和腔体门固定部12为圆形，腔体门固定部12包括具有第一通孔11的圆形薄片121和垂直于圆形薄片121的圆环部122，圆环部122与腔体门通孔固定，适用于圆柱形的主腔体。

进一步的，所述圆环部122为一个整体或者为由多个圆弧部组成，多个圆弧部之间具有或者不具有间隙。优选的，多个圆弧部之间具有间隙。

在一些实施方式中，所述延伸件固定部13包括垂直片131和倾斜件132,所述垂直片131有两个，两个垂直片131垂直于第一通孔11朝向主腔体内部并且位于第一通孔11的左右两边，倾斜件132用于固定延伸件3，所述倾斜件132有两个，两个倾斜件132上下设置在第一通孔11的上下两边，倾斜件132的侧边与垂直片131通过螺丝或螺钉连接固定，通过拧松或者拧紧螺丝或螺钉，使得能够通过外力调整延伸件3的倾斜角。

进一步的，所述倾斜件132与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为10°-170°，两个倾斜件132的倾斜角a相同或者不相同。

进一步的，所述倾斜件132包括两个平行设置的中空片1321，两个平行设置的中空片1321之间的间隙大于延伸件3的厚度，延伸件3放置在两个平行设置的中空片1321之间的间隙内，中空片1321的中部为正方形或者长方形的通过，放置在第一通孔11上方的倾斜件132内的延伸件3为上延伸件31，放置在第一通孔11下方的倾斜件132内的延伸件3为下延伸件32。

进一步的，观察主腔体底板上的坩埚时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔11到达外层玻璃2，上延伸件31的下表面和下延伸件32的上表面均具有反射功能，或者光线通过上延伸件31的下表面反射后直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，上延伸件31的下表面具有反射功能；观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，或/和光线直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，下延伸件32的上表面均具有反射功能。

进一步的，所述上方延伸件31和/或下方延伸件32为镜面，其中，上方延伸件31的下表面为反光面、上表面为背光面，下方延伸件32的上表面为反光面、下表面为背光面。

在一些实施方式中，所述外层玻璃2固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部。

进一步的，所述外层玻璃2通过中空固定件4与腔体门固定，中空固定件4通过螺丝与腔体门固定，中空固定件4的中空部分的形状与外层玻璃2的形状相同。

附图说明

图1为本申请的真空蒸镀机的视窗固定结构与主腔体的结构示意图。

图2为本申请的真空蒸镀机的视窗固定结构与主腔体的另一结构示意图。

图3为本申请实施例1的真空蒸镀机的视窗固定结构的结构示意图。

图4为本申请实施例2的真空蒸镀机的视窗固定结构的结构示意图。

主要元件符号说明：

视窗固定结构1、外层玻璃2、延伸件3、中空固定件4、上延伸件31、下延伸件32、第一通孔11、腔体门固定部12、延伸件固定部13、圆形薄片121、圆环部122、垂直片131、倾斜件132、中空片1321。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

实施例1：

一种真空蒸镀机的视窗固定结构，图1-图3所示，所述视窗固定结构1设置在真空蒸镀机的腔体门上，视窗固定结构1和外层玻璃2与腔体门通孔的位置相对应，视窗固定结构1在外层玻璃2的内侧，视窗固定结构1用于连接及固定延伸件3，视窗固定结构1包括：第一通孔11、腔体门固定部12和延伸件固定部13，腔体门固定部12与腔体门固定，延伸件固定部13位于主腔体内并且将延伸件3连接固定，两个延伸件3上下设置在第一通孔11的上下两边，主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔11到达外层玻璃2而进入人眼，延伸件3阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔11，腔体门固定部12与腔体门的内壁固定。

所述第一通孔11设置在腔体门固定部12的中部，腔体门固定部12为正方形，第一通孔11为正方形，腔体门通孔和外层玻璃2为圆形。所述延伸件固定部13包括垂直片131和倾斜件132,所述垂直片131有两个，两个垂直片131垂直于第一通孔11朝向主腔体内部并且位于第一通孔11的左右两边，倾斜件132用于固定延伸件3，所述倾斜件132有两个，两个倾斜件132上下设置在第一通孔11的上下两边，倾斜件132的侧边与垂直片131通过螺丝或螺钉连接固定，通过拧松或者拧紧螺丝或螺钉，使得能够通过外力调整延伸件3的倾斜角。所述倾斜件132与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为45°，两个倾斜件132的倾斜角a相同。所述倾斜件132包括两个平行设置的中空片1321，两个平行设置的中空片1321之间的间隙大于延伸件3的厚度，延伸件3放置在两个平行设置的中空片1321之间的间隙内，中空片1321的中部为正方形或者长方形的通过，放置在第一通孔11上方的倾斜件132内的延伸件3为上延伸件31，放置在第一通孔11下方的倾斜件132内的延伸件3为下延伸件32。观察主腔体底板上的坩埚时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔11到达外层玻璃2，上延伸件31的下表面和下延伸件32的上表面均具有反射功能，或者光线通过上延伸件31的下表面反射后直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，上延伸件31的下表面具有反射功能；观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，或/和光线直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，下延伸件32的上表面均具有反射功能。所述上方延伸件31和/或下方延伸件32为镜面，其中，上方延伸件31的下表面为反光面、上表面为背光面，下方延伸件32的上表面为反光面、下表面为背光面。

所述外层玻璃2固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上，所述外层玻璃2通过中空固定件4与腔体门固定，中空固定件4通过螺丝与腔体门固定，中空固定件4的中空部分的形状与外层玻璃2的形状相同。

实施例2：

一种真空蒸镀机的视窗固定结构，如图1、图2、图4所示，所述视窗固定结构1设置在真空蒸镀机的腔体门上，视窗固定结构1和外层玻璃2与腔体门通孔的位置相对应，视窗固定结构1在外层玻璃2的内侧，视窗固定结构1用于连接及固定延伸件3，视窗固定结构1包括：第一通孔11、腔体门固定部12和延伸件固定部13，腔体门固定部12与腔体门固定，延伸件固定部13位于主腔体内并且将延伸件3连接固定，两个延伸件3上下设置在第一通孔11的上下两边，主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔11到达外层玻璃2而进入人眼，延伸件3阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔11，腔体门固定部12与腔体门通孔固定。

第一通孔11为正方形，腔体门通孔和外层玻璃2为圆形。腔体门固定部12与腔体门通孔固定则腔体门通孔和腔体门固定部12为圆形，腔体门固定部12包括具有第一通孔11的圆形薄片121和垂直于圆形薄片121的圆环部122，圆环部122与腔体门通孔固定。所述圆环部122为由多个圆弧部组成，多个圆弧部之间具有间隙。所述延伸件固定部13包括垂直片131和倾斜件132,所述垂直片131有两个，两个垂直片131垂直于第一通孔11朝向主腔体内部并且位于第一通孔11的左右两边，倾斜件132用于固定延伸件3，所述倾斜件132有两个，两个倾斜件132上下设置在第一通孔11的上下两边，倾斜件132的侧边与垂直片131通过螺丝或螺钉连接固定，通过拧松或者拧紧螺丝或螺钉，使得能够通过外力调整延伸件3的倾斜角。所述倾斜件132与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为30°，两个倾斜件132的倾斜角a相同。所述倾斜件132包括两个平行设置的中空片1321，两个平行设置的中空片1321之间的间隙大于延伸件3的厚度，延伸件3放置在两个平行设置的中空片1321之间的间隙内，中空片1321的中部为正方形或者长方形的通过，放置在第一通孔11上方的倾斜件132内的延伸件3为上延伸件31，放置在第一通孔11下方的倾斜件132内的延伸件3为下延伸件32。观察主腔体底板上的坩埚时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔11到达外层玻璃2，上延伸件31的下表面和下延伸件32的上表面均具有反射功能，或者光线通过上延伸件31的下表面反射后直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，上延伸件31的下表面具有反射功能；观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，或/和光线直接穿过第一通孔11到达外层玻璃2，下延伸件32的上表面均具有反射功能。所述上方延伸件31和/或下方延伸件32为镜面，其中，上方延伸件31的下表面为反光面、上表面为背光面，下方延伸件32的上表面为反光面、下表面为背光面。

所述外层玻璃2固定在固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上，所述外层玻璃2通过中空固定件4与腔体门固定，中空固定件4通过螺丝与腔体门固定，中空固定件4的中空部分的形状与外层玻璃2的形状相同。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述视窗固定结构(1)设置在真空蒸镀机的腔体门上，视窗固定结构(1)和外层玻璃(2)与腔体门通孔的位置相对应，视窗固定结构(1)在外层玻璃(2)的内侧，视窗固定结构(1)用于连接及固定延伸件(3)，视窗固定结构(1)包括：第一通孔(11)、腔体门固定部(12)和延伸件固定部(13)，腔体门固定部(12)与腔体门固定，延伸件固定部(13)位于主腔体内并且将延伸件(3)连接固定，两个延伸件(3)上下设置在第一通孔(11)的上下两边，主腔室内的光线通过延伸件(3)反射后穿过第一通孔(11)到达外层玻璃(2)而进入人眼，延伸件(3)阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔(11)，腔体门固定部(12)与腔体门的内壁固定或者与腔体门通孔固定。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述第一通孔(11)设置在腔体门固定部(12)的中部，腔体门固定部(12)为正方形、长方形、圆形或者椭圆形中的一种，第一通孔(11)为正方形、长方形、圆形或者椭圆形通孔中的一种，第一通孔(11)的形状与腔体门通孔和外层玻璃(2)的形状相同或者不相同。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，腔体门固定部(12)与腔体门的内壁固定则腔体门固定部(12)为正方形或长方形薄片。

4.如权利要求2所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，腔体门固定部(12)与腔体门通孔固定则腔体门通孔和腔体门固定部(12)为圆形，腔体门固定部(12)包括具有第一通孔(11)的圆形薄片(121)和垂直于圆形薄片(121)的圆环部(122)，圆环部(122)与腔体门通孔固定。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述圆环部(122)为一个整体或者为由多个圆弧部组成，多个圆弧部之间具有或者不具有间隙。

6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述延伸件固定部(13)包括垂直片(131)和倾斜件(132),所述垂直片(131)有两个，两个垂直片(131)垂直于第一通孔(11)朝向主腔体内部并且位于第一通孔(11)的左右两边，倾斜件(132)用于固定延伸件(3)，所述倾斜件(132)有两个，两个倾斜件(132)上下设置在第一通孔(11)的上下两边，倾斜件(132)的侧边与垂直片(131)通过螺丝或螺钉连接固定，通过拧松或者拧紧螺丝或螺钉，使得能够通过外力调整延伸件(3)的倾斜角。

7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述倾斜件(132)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为10°

-170°，两个倾斜件(132)的倾斜角a相同或者不相同。

8.如权利要求6所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述倾斜件(132)包括两个平行设置的中空片(1321)，两个平行设置的中空片(1321)之间的间隙大于延伸件(3)的厚度，延伸件(3)放置在两个平行设置的中空片(1321)之间的间隙内，中空片(1321)的中部为正方形或者长方形的通过，放置在第一通孔(11)上方的倾斜件(132)内的延伸件(3)为上延伸件(31)，放置在第一通孔(11)下方的倾斜件(132)内的延伸件(3)为下延伸件(32)。

9.如权利要求8所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，观察主腔体底板上的坩埚时，光线通过上延伸件(31)的下表面反射到下延伸件(32)的上表面，下延伸件(32)的上表面反射后穿过第一通孔(11)到达外层玻璃(2)，上延伸件(31)的下表面和下延伸件(32)的上表面均具有反射功能，或者光线通过上延伸件(31)的下表面反射后直接穿过第一通孔(11)到达外层玻璃(2)，上延伸件(31)的下表面具有反射功能；观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件(32)的上表面反射后直接穿过第一通孔(11)到达外层玻璃(2)，或/和光线直接穿过第一通孔(11)到达外层玻璃(2)，下延伸件(32)的上表面均具有反射功能。

10.如权利要求1所述的真空蒸镀机的视窗固定结构，其特征在于，所述外层玻璃(2)固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部。

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