CN213812124U - 一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中空套筒固定，电极固定件与第二中空套筒的下端固定，探头晶振片固定件与第一杆体的下部固定，6个探头和晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件内，盖帽套设在探头晶振片固定件的外面、且与电极固定件连接固定，盖帽的底部具有一个第一通孔，气缸每次旋转60°，带动连轴器、第一杆体和探头晶振片固定件同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽的第一通孔位置对应。

Description

一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括设置在腔体下方的坩埚、以及设置在坩埚上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成薄膜(镀膜)。

在真空蒸镀的过程中，通过设置在真空蒸镀的腔体的上面板上的探头和与之配合的晶振片，检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，由于检测时晶振片与真空蒸镀的腔室接触，晶振片会被镀上镀膜，因此需要更换晶振片。为了减少更换晶振片的频率，现有技术在探头结构中设置多个探头和与之配合的晶振片，多个晶振片都被镀膜之后才更换一次晶振片，减少了更换晶振片的频率。

但是现有技术的具有多个探头和与之配合的晶振片的探头结构，包括检测探头、旋转机构、多个晶振以及用于固定安装所述多个晶振的底座，晶振包括金属弹片，旋转机构的底端与所述底座连接，旋转机构的顶端和检测探头固定在所述底座的上方，旋转机构在接受外部按压力量时，可使得所述金属弹片与所述检测探头接触或者分离。这种探头结构类似于圆珠笔的结构，按压一次更换一个探头和与之配合的晶振片。但是这种探头结构按压不方便，并且容易出现卡壳的现象。

有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，与现有技术的探头结构完全不同，切换探头方便且准确，容易操作控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，与现有技术的探头结构完全不同，切换探头方便且准确，容易操作控制。

一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸1、连轴器2、第二中空套筒4、电极固定件5、探头晶振片固定件6、和盖帽7，所述连轴器2的上部与气缸1的气缸轴11固定，连轴器2的下部与第一杆体8固定，连轴器2的外面套设有第一中空套筒3，第一中空套筒3的上端与气缸1的壳体12固定，第一中空套筒3的下端与第二中空套筒4的上端固定，电极固定件5与第二中空套筒4的下端固定，两个电极固定在电极固定件5内，探头晶振片固定件6与第一杆体8的下部连接固定，6个探头和6个晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件6内，盖帽7套设在探头晶振片固定件6的外面、并且与电极固定件5连接固定，盖帽7的底部具有一个第一通孔71，气缸1每次旋转60°，带动连轴器2、第一杆体8和探头晶振片固定件6同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽7的第一通孔71位置对应。

在一些实施方式中，气缸1的壳体12上还设置有气管连接口13，气管连接口13由上气管连接口131和下气管连接口132组成，上气管连接口131连接进气管，下气管连接口132连接出气管。

在一些实施方式中，连轴器2包括上固定部21、中空中部22和下固定部23，上固定部21与气缸轴11的下部固定，下固定部23与第一杆体8的上部固定，气缸轴11的底面与第一杆体8的上表面之间具有间距。

进一步的，上固定部21具有第一螺孔211，第一螺孔211有两个，通过螺钉穿过第一螺孔211将上固定部21与气缸轴11的下部固定，下固定部23具有第二螺孔231，第二螺孔231有两个，通过螺钉穿过第二螺孔231将下固定部23与第一杆体8的上部固定。

若气缸轴11太长，比如气缸轴11的底部直接与探头晶振片固定件6固定，气缸1旋转的时候，气缸轴11的下部和探头晶振片固定件6在旋转的同时会发生甩动，本申请设置连轴器2将气缸轴11与第一杆体8连接，气缸1带动探头晶振片固定件6旋转时，探头晶振片固定件6不会甩动。

在一些实施方式中，第一中空套筒3为中空的帽子状，第一中空套筒3的上表面通过螺丝与气缸1的壳体12的下表面固定，第一中空套筒3的下沿边通过螺丝与第二中空套筒4的上表面固定。

进一步的，第一中空套筒3的中部还设置有第二通孔31，第二通孔31有一个或者多个，能够通过第二通孔31观察连轴器2的旋转状况。

在一些实施方式中，第二中空套筒4从上到下包括中空圆环部41和中空圆柱部42，第一杆体8穿过第二中空套筒4的内部，中空圆柱部42的下表面与电极固定件5通过螺丝固定。

进一步的，第二中空套筒4还包括套设在中空圆柱部42外的中空环套43，中空环套43的上部与中空圆环部41固定，中空环套43的下部与真空蒸镀机的腔体的上面板固定。

在一些实施方式中，电极固定件5的中心为中空的，第一杆体8穿过电极固定件5的内部，两个电极固定在电极固定件5内部。

进一步的，电极固定件5的外部具有小凸起51，小凸起51有4个，4个小凸起51均匀分布，盖帽7的上边沿还具有4个卡孔72，卡孔72的位置与小凸起51的位置对应，卡孔72为L型卡孔，将小凸起51卡入卡孔72的水平部将电极固定件5与盖帽7连接固定，旋转盖帽7使小凸起51不卡入卡孔72的水平部，能够将盖帽7取下。

在一些实施方式中，探头晶振片固定件6由上部61和下部62组成，上部61与下部62固定，上部61和下部62均具有6个通孔，6个通孔用于固定6个探头63和6个晶振片64，一个通孔内固定一个探头63和一个晶振片64。

进一步的，下部62具有6个沉孔621，一个沉孔621内放置一个晶振片64，下部62的中部具有中空圆柱凸出部622，中空圆柱凸出部622的上端具有一凹陷部623，通过凹陷部623与第一杆体8的底端的凸起部81卡合，上部61具有6个第三通孔611，6个第三通孔611的位置与6个沉孔621的位置对应，一个第三通孔611内固定有一个探头63，上部61的中部具有第四通孔612，下部62的中空圆柱凸出部622穿过第四通孔612。

附图说明

图1为本申请的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构的立体图。

图2为本申请的气缸的气缸轴、连轴器和第一杆体的立体图。

图3为本申请的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构去除气缸、连轴器和第一中空套筒后的立体图。

图4为本申请的第一杆体和电极固定件的立体图。

图5为本申请的第一杆体和探头晶振片固定件的立体图。

图6为本申请的探头晶振片固定件的爆炸图。

图7为本申请的盖帽的立体图。

主要元件符号说明：

气缸1、连轴器2、第一中空套筒3、第二中空套筒4、电极固定件5、探头晶振片固定件6、盖帽7、第一杆体8、气缸轴11、壳体12、气管连接口13、上气管连接口131、下气管连接口132、上固定部21、中空中部22、下固定部23、第一螺孔211、第二螺孔231、第二通孔31、中空圆环部41、中空圆柱部42、中空环套43、小凸起51、上部61、下部62、探头63、晶振片64、沉孔621、中空圆柱凸出部622、凹陷部623、第三通孔611、第四通孔612、第一通孔71、卡孔72、凸起部81。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

实施例1：

一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，如图1-图7所示，从上到下包括：气缸1、连轴器2、第二中空套筒4、电极固定件5、探头晶振片固定件6、和盖帽7，所述连轴器2的上部与气缸1的气缸轴11固定，连轴器2的下部与第一杆体8固定，连轴器2的外面套设有第一中空套筒3，第一中空套筒3的上端与气缸1的壳体12固定，第一中空套筒3的下端与第二中空套筒4的上端固定，电极固定件5与第二中空套筒4的下端固定，两个电极固定在电极固定件5内，探头晶振片固定件6与第一杆体8的下部连接固定，6个探头和6个晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件6内，盖帽7套设在探头晶振片固定件6的外面、并且与电极固定件5连接固定，盖帽7的底部具有一个第一通孔71，气缸1每次旋转60°，带动连轴器2、第一杆体8和探头晶振片固定件6同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽7的第一通孔71位置对应。

气缸1的壳体12上还设置有气管连接口13，气管连接口13由上气管连接口131和下气管连接口132组成，上气管连接口131连接进气管，下气管连接口132连接出气管。连轴器2包括上固定部21、中空中部22和下固定部23，上固定部21与气缸轴11的下部固定，下固定部23与第一杆体8的上部固定，气缸轴11的底面与第一杆体8的上表面之间具有间距。上固定部21具有第一螺孔211，第一螺孔211有两个，通过螺钉穿过第一螺孔211将上固定部21与气缸轴11的下部固定，下固定部23具有第二螺孔231，第二螺孔231有两个，通过螺钉穿过第二螺孔231将下固定部23与第一杆体8的上部固定。

第一中空套筒3为中空的帽子状，第一中空套筒3的上表面通过螺丝与气缸1的壳体12的下表面固定，第一中空套筒3的下沿边通过螺丝与第二中空套筒4的上表面固定。第一中空套筒3的中部还设置有第二通孔31，第二通孔31有一个或者多个，能够通过第二通孔31观察连轴器2的旋转状况。第二中空套筒4从上到下包括中空圆环部41和中空圆柱部42，第一杆体8穿过第二中空套筒4的内部，中空圆柱部42的下表面与电极固定件5通过螺丝固定。第二中空套筒4还包括套设在中空圆柱部42外的中空环套43，中空环套43的上部与中空圆环部41固定，中空环套43的下部与真空蒸镀机的腔体的上面板固定。电极固定件5的中心为中空的，第一杆体8穿过电极固定件5的内部，两个电极固定在电极固定件5内部。电极固定件5的外部具有小凸起51，小凸起51有4个，4个小凸起51均匀分布，盖帽7的上边沿还具有4个卡孔72，卡孔72的位置与小凸起51的位置对应，卡孔72为L型卡孔，将小凸起51卡入卡孔72的水平部将电极固定件5与盖帽7连接固定，旋转盖帽7使小凸起51不卡入卡孔72的水平部，能够将盖帽7取下。

探头晶振片固定件6由上部61和下部62组成，上部61与下部62固定，上部61和下部62均具有6个通孔，6个通孔用于固定6个探头63和6个晶振片64，一个通孔内固定一个探头63和一个晶振片64。下部62具有6个沉孔621，一个沉孔621内放置一个晶振片64，下部62的中部具有中空圆柱凸出部622，中空圆柱凸出部622的上端具有一凹陷部623，通过凹陷部623与第一杆体8的底端的凸起部81卡合，上部61具有6个第三通孔611，6个第三通孔611的位置与6个沉孔621的位置对应，一个第三通孔611内固定有一个探头63，上部61的中部具有第四通孔612，下部62的中空圆柱凸出部622穿过第四通孔612。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，从上到下包括：气缸(1)、连轴器(2)、第二中空套筒(4)、电极固定件(5)、探头晶振片固定件(6)、和盖帽(7)，所述连轴器(2)的上部与气缸(1)的气缸轴(11)固定，连轴器(2)的下部与第一杆体(8)固定，连轴器(2)的外面套设有第一中空套筒(3)，第一中空套筒(3)的上端与气缸(1)的壳体(12)固定，第一中空套筒(3)的下端与第二中空套筒(4)的上端固定，电极固定件(5)与第二中空套筒(4)的下端固定，两个电极固定在电极固定件(5)内，探头晶振片固定件(6)与第一杆体(8)的下部连接固定，6个探头和6个晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件(6)内，盖帽(7)套设在探头晶振片固定件(6)的外面、并且与电极固定件(5)连接固定，盖帽(7)的底部具有一个第一通孔(71)，气缸(1)每次旋转60°，带动连轴器(2)、第一杆体(8)和探头晶振片固定件(6)同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽(7)的第一通孔(71)位置对应。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，气缸(1)的壳体(12)上还设置有气管连接口(13)，气管连接口(13)由上气管连接口(131)和下气管连接口(132)组成，上气管连接口(131)连接进气管，下气管连接口(132)连接出气管。

3.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，连轴器(2)包括上固定部(21)、中空中部(22)和下固定部(23)，上固定部(21)与气缸轴(11)的下部固定，下固定部(23)与第一杆体(8)的上部固定，气缸轴(11)的底面与第一杆体(8)的上表面之间具有间距。

4.如权利要求3所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，上固定部(21)具有第一螺孔(211)，第一螺孔(211)有两个，通过螺钉穿过第一螺孔(211)将上固定部(21)与气缸轴(11)的下部固定，下固定部(23)具有第二螺孔(231)，第二螺孔(231)有两个，通过螺钉穿过第二螺孔(231)将下固定部(23)与第一杆体(8)的上部固定。

5.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，第二中空套筒(4)从上到下包括中空圆环部(41)和中空圆柱部(42)，第一杆体(8)穿过第二中空套筒(4)的内部，中空圆柱部(42)的下表面与电极固定件(5)通过螺丝固定。

6.如权利要求5所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，第二中空套筒(4)还包括套设在中空圆柱部(42)外的中空环套(43)，中空环套(43)的上部与中空圆环部(41)固定，中空环套(43)的下部与真空蒸镀机的腔体的上面板固定。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，电极固定件(5)的中心为中空的，第一杆体(8)穿过电极固定件(5)的内部，两个电极固定在电极固定件(5)内部。

8.如权利要求7所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，电极固定件(5)的外部具有小凸起(51)，小凸起(51)有4个，4个小凸起(51)均匀分布，盖帽(7)的上边沿还具有4个卡孔(72)，卡孔(72)的位置与小凸起(51)的位置对应，卡孔(72)为L型卡孔，将小凸起(51)卡入卡孔(72)的水平部将电极固定件(5)与盖帽(7)连接固定，旋转盖帽(7)使小凸起(51)不卡入卡孔(72)的水平部，能够将盖帽(7)取下。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，探头晶振片固定件(6)由上部(61)和下部(62)组成，上部(61)与下部(62)固定，上部(61)和下部(62)均具有6个通孔，6个通孔用于固定6个探头(63)和6个晶振片(64)，一个通孔内固定一个探头(63)和一个晶振片(64)。

10.如权利要求9所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，下部(62)具有6个沉孔(621)，一个沉孔(621)内放置一个晶振片(64)，下部(62)的中部具有中空圆柱凸出部(622)，中空圆柱凸出部(622)的上端具有一凹陷部(623)，通过凹陷部(623)与第一杆体(8)的底端的凸起部(81)卡合，上部(61)具有6个第三通孔(611)，6个第三通孔(611)的位置与6个沉孔(621)的位置对应，一个第三通孔(611)内固定有一个探头(63)，上部(61)的中部具有第四通孔(612)，下部(62)的中空圆柱凸出部(622)穿过第四通孔(612)。

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