JPS637164U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS637164U JPS637164U JP9837386U JP9837386U JPS637164U JP S637164 U JPS637164 U JP S637164U JP 9837386 U JP9837386 U JP 9837386U JP 9837386 U JP9837386 U JP 9837386U JP S637164 U JPS637164 U JP S637164U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensors
- film thickness
- substrate
- film
- forming apparatus
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す部分概略図
を第２図は、同図中膜厚計の拡大図を、また第３
図は、従来の膜厚センサ付成膜装置の一例につい
て、その全体概略図をそれぞれ示している。 １……チエンバ、２……基板、３……シヤツタ
、４……蒸発源、５，５ａ，５ｂ……センサ、６
……膜厚計、７……挿着口、８……シヤツタ、９
……ホルダ、１０……ロツド、１１……取付板、
１２……制御用ケーブル、１３……ウオータジヤ
ケツト、１４……ベロー継手、１５……Ｏリング
、１６……ガイド棒。
を第２図は、同図中膜厚計の拡大図を、また第３
図は、従来の膜厚センサ付成膜装置の一例につい
て、その全体概略図をそれぞれ示している。 １……チエンバ、２……基板、３……シヤツタ
、４……蒸発源、５，５ａ，５ｂ……センサ、６
……膜厚計、７……挿着口、８……シヤツタ、９
……ホルダ、１０……ロツド、１１……取付板、
１２……制御用ケーブル、１３……ウオータジヤ
ケツト、１４……ベロー継手、１５……Ｏリング
、１６……ガイド棒。
Claims (1)
- 複数個のセンサを有する膜厚計を内装してなる
成膜装置において、前記各センサを基板周側近傍
で前記基板に向かう方向に配置し、これを同方向
に進退可能に設けてなることを特徴とする膜厚セ
ンサ付成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9837386U JPH0523571Y2 (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9837386U JPH0523571Y2 (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637164U true JPS637164U (ja) | 1988-01-18 |
| JPH0523571Y2 JPH0523571Y2 (ja) | 1993-06-16 |
Family
ID=30966249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9837386U Expired - Lifetime JPH0523571Y2 (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0523571Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012126938A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置及び薄膜の製造方法 |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP9837386U patent/JPH0523571Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012126938A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置及び薄膜の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0523571Y2 (ja) | 1993-06-16 |