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Gebiet der Technik
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Sensors, der einen in eine Oszillation bringbaren Schwingkörper aufweist, dessen Oszillationsfrequenz von der Masse eines auf der Oberfläche des Schwingkörpers abgeschiedenen Kondensats eines organischen Dampfes abhängt, wobei der Sensor Teil einer Vorrichtung zum Abscheiden von organischen Schichten durch Kondensation des Dampfes auf einem Substrat ist, wobei ein Wert einer zeitlichen Änderung der Oszillationsfrequenz für die Ermittlung des Massentransportes des Dampfes durch eine Zuleitung zu einem Gaseinlassorgan, durch welches der von einem Trägergas geförderte Dampf zum Substrat transportiert wird, verwendet wird und wobei der Sensor mit einer Heizeinrichtung in einer Vorbereitungsphase, während der kein Dampf zum Substrat gefördert wird, auf eine vorgegebene Betriebstemperatur gebracht wird und in einer Prozessphase, während der Dampf zum Substrat gefördert wird, mit der Betriebstemperatur betrieben wird.
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Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, insbesondere zum Abscheiden organischer Schichten, insbesondere OLEDs auf einem Substrat.
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Stand der Technik
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Eine Sensoranordnung zur Ermittlung eines Massenflusses eines organischen Dampfs von einer Quelle in Richtung eines OVPD-Reaktors, der einen Gaseinlass in Form eines Showerheads aufweist, durch welchen der organische Dampf in eine Prozesskammer eingespeist wird, um auf einem von einer Maske maskierten Substrat zu kondensieren, wird in der
DE 102014102484 A1 beschrieben. Die
DE 102017106968 A1 beschreibt einen QCM-Sensor der einen Schwingkörper aufweist, der in eine Oszillation gebracht wird. Die Oszillationsfrequenz des Schwingkörpers wird von der auf der Oberfläche des Schwingkörpers kondensierten Masse beeinflusst. Aus der zeitlichen Änderung der Frequenz kann ein Dampfdruck des Dampfes in einer Zuleitung zu einem Gaseinlassorgan, in der sich der Sensor befindet, ermittelt werden. Aus einem Massenfluss oder Volumenfluss eines Trägergases, der durch die Zuleitung strömt, kann der Massenfluss des organischen Dampfes zum Gaseinlassorgan ermittelt werden. Während eines Prozesszyklus, in dem der Sensor für einen Prozessschritt, der während einer Prozessphase stattfindet, vorbereitet wird, findet in einer Reinigungsphase durch Aufheizen der Oberfläche des Schwingkörpers eine Reinigung des Sensors statt. Die Prozesszyklen können größer als 30 Minuten sein, aber auch wenige Minuten betragen. Die Prozessphase kann wenige Minuten oder sogar nur wenige Sekunden lang sein.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs genannte Verfahren und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gebrauchsvorteilhaft weiterzubilden, wobei insbesondere vorgesehen ist, Maßnahmen anzugeben, mit denen sich die Zeiten eines Prozesszyklus vermindern lassen und insbesondere die Temperatur der Sensoroberfläche in der Prozessphase konstanter halten lässt.
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Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung. Die Unteransprüche stellen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung dar. Sie stellen darüber hinaus auch eigenständige Lösungen der Aufgabe dar.
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Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird vorgeschlagen, dass die Temperatur der Oberfläche des Schwingkörpers während der Prozessphase nicht geregelt, sondern gesteuert oder bei der Regelung ein derartiger Regelparametersatz verwendet wird, dass die Regelung derart langsam erfolgt, dass sie einer Steuerung gleichkommt. Hierzu wird in einer Leistungsermittlungsphase, die zeitlich der Prozessphase vorgeordnet ist und die insbesondere in einer Vorbereitungsphase liegt, ein Wert für eine Leistung gewonnen, die in der Prozessphase in die Heizeinrichtung des Sensors eingespeist wird. In der Vorbereitungsphase und insbesondere in der Leistungsermittlungsphase wird die Temperatur des Schwingkörpers des Sensors gegen einen Sollwert geregelt. Während dieser Betriebsphase wird kein Dampf zum Substrat gefördert. Es wird bevorzugt ein Mittelwert der in der Leistungsermittlungsphase zum Schwingkörper übertragenen Heizleistung gebildet. Dieser Leistungsmittelwert wird in der bevorzugt unmittelbar anschließenden Prozessphase verwendet, um den Schwingkörper zu beheizen. Aufgrund der während der Prozessphase in die Heizeinrichtung eingespeisten elektrischen Leistung treten beim Kondensieren des organischen Materials auf der Oberfläche des Schwingkörpers während der Prozessphase keine Temperaturschwankungen auf. Es kann vorgesehen sein, dass die zeitliche Dauer der Leistungsermittlungsphase größer ist, als die zeitliche Dauer der Prozessphase, während derer Dampf in die Prozesskammer eingespeist wird. Es ist somit von Vorteil, wenn die Temperatur des Sensorkörpers und insbesondere dessen Oberfläche nur in einer Zeit vor der Prozessphase geregelt und in der eigentlichen Prozessphase lediglich gesteuert oder mit derart hohen Zeitkonstanten geregelt wird, dass diese Regelung einer Steuerung technisch gleichkommt. Dies kann durch Einspeisen einer während der Prozessphase konstant gehaltenen Leistung erfolgen oder dadurch, dass die Zeitkonstante größer ist, als die zeitliche Dauer der Prozessphase. Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft die Reinigungsphase, während der der Schwingkörper auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizt wird, bei der von der Oberfläche des Schwingkörpers organisches Material abdampft. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Heizkörper in einem ersten Schritt der Reinigungsphase bis zum Erreichen eine Reinigungstemperatur mit einer ersten Leistung, die mindestens 95 Prozent der maximal möglichen Leistung beträgt, die aber auch 100 Prozent der maximal möglichen Leistung betragen kann, betrieben. Der erste Schritt kann aber auch für eine vorgegebene Zeit durchgeführt werden. Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens wird der erste Reinigungsschritt so lange durchgeführt, bis entweder eine vorgegebene Reinigungstemperatur erreicht ist oder eine vorgegebene erste Zeit verstrichen ist. Während des ersten Schrittes nimmt die Temperatur der Oberfläche des Schwingkörpers mit einer maximalen Temperaturänderungsrate zu. Hierzu wird die Heizeinrichtung mit der maximalen Leistung einer zum Betrieb der Heizeinrichtung ausgelegten Leistungsversorgung betrieben. Die maximal mögliche Leistung kann auch die maximale Leistung sein, die in die Heizeinrichtung ohne ihre Zerstörung einspeisbar ist. Ein sich bevorzugt unmittelbar an den ersten Schritt der Reinigungsphase anschließender zweiter Schritt sieht vor, dass der Heizeinrichtung nur eine minimale Leistung zugeführt wird. Diese kann 0 sein. Sie soll maximal 5 Prozent der maximalen Leistung betragen. Während des zweiten Schrittes sinkt die Oberflächentemperatur des Schwingkörpers ab. Dies kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass dem Schwingkörpers und/oder der Heizeinrichtung gemäß
DE 102017106968 A1 Wärme entzogen wird. Hierzu kann eine Kühleinrichtung vorgesehen sein. Der zweite Schritt, der ein Abkühlschritt ist, wird so lange durchgeführt, bis eine Schalttemperatur erreicht ist. Der Wert der Schalttemperatur kann zwischen der Betriebstemperatur und der Reinigungstemperatur liegen. Es kann vorgesehen sein, dass sich die Schalttemperatur durch einen additiven Wert von der Betriebstemperatur unterscheidet, welcher in einem Kalibrierprozess ermittelt wird. Wie beim ersten Aspekt der Erfindung auch, enthält der Prozesszyklus eine Phase, in der die Temperatur des Sensorkörpers und insbesondere der Sensoroberfläche auf einem vorgegebenen Wert geregelt wird und eine sich insbesondere daran anschließende Phase, in der die Temperatur gesteuert wird, nämlich insbesondere dadurch, dass eine maximale Leistung in die Heizeinrichtung eingespeist wird beziehungsweise durch Reduzierung der Heizleistung auf 0 der Sensorkörper mit einer maximalen Kühlleistung gekühlt wird. In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass in einem dritten Schritt der Reinigungsphase, der sich unmittelbar dem zweiten Schritt der Reinigungsphase anschließen kann, die Heizeinrichtung mit einer vorgegebenen dritten Leistung betrieben wird. Diese ist kleiner, als eine während einer Leistungsermittlungsphase gemittelte Leistung zum Erreichen der Betriebstemperatur. Dies hat zur Folge, dass sich das Abkühlen der Oberfläche des Schwingkörpers zeitlich verzögert. Der dritte Schritt der Reinigungsphase kann für eine vorgegebene dritte Zeit durchgeführt werden. An den dritten Schritt der Reinigungsphase kann sich ein vierter Schritt der Reinigungsphase anschließen, bei dem die Regeleinrichtung die Temperatur des Schwingkörpers gegen den Sollwert regelt. Während dieser geregelten Betriebsphase steigt die Leistung kontinuierlich an, bis ein Gleichgewicht erreicht ist, in dem die Leistung um einen Mittelwert schwankt. Die vorgegebene dritte Leistung, mit der die Heizeinrichtung in der dritten Reinigungsphase betrieben wird, kann in einem vorgegebenen Verhältnis zur in der Leistungsermittlungsphase ermittelten gemittelten Leistung zum Erreichen der Betriebstemperatur liegen. Beispielsweise kann der Wert der Leistung zum Erreichen der Betriebstemperatur mit einem Faktor größer 0 und kleiner 1 multipliziert werden.
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Das erfindungsgemäße Verfahren führt bevorzugt nicht nur zu einem verbesserten Prozessergebnis, sondern durch verkürzte Reinigungszeiten auch zu einer verkürzten Prozessdauer.
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Figurenliste
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Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
- 1 schematisch den zeitlichen Verlauf einer Temperatur der Oberfläche 16' eines Schwingkörpers 16 eines erfindungsgemäßen Sensors und darunter den zeitlichen Verlauf der in einer Heizeinrichtung 17 zum Beheizen des Schwingkörpers 16 eingespeisten Leistung,
- 2 schematisch einen Sensor gemäß DE 102017106968 A1 , wie er zur Durchführung des Verfahrens verwendet werden kann und
- 3 schematisch eine Vorrichtung gemäß DE 102014102484 A1 , wie sie zur Durchführung des Verfahrens verwendet werden kann.
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Beschreibung der Ausführungsformen
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Der Offenbarungsgehalt der beiden zuvor genannten Schriften wird vollinhaltlich mit in den Offenbarungsgehalt dieser Anmeldung aufgenommen, insbesondere auch um die Ansprüche um Merkmale zu ergänzen.
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Eine Vorrichtung, an der das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann, zeigt die 3. Mit einem Massenflusskontroller 14 wird ein Inertgas, beispielsweise Stickstoff, in eine Zuleitung zu einer Verdampfungseinrichtung eingespeist. Der Massenflusskontroller 14 kann von einer Regeleinrichtung 12 geregelt werden. Mit einem Aerosolerzeuger 13, der ebenfalls von der Regeleinrichtung 12 geregelt werden kann, wird ein Aerosol eines organischen Ausgangsstoffes erzeugt, welches in einen auch eine Verdampfungstemperatur aufgeheizten Verdampfungskörper 15 der Verdampfungseinrichtung eingespeist wird. Durch Zufuhr von Verdampfungsenergie werden die Aerosolpartikel an den Oberflächen des Verdampfungskörpers 15 verdampft. Stromabwärts des Verdampfungskörpers 15 befindet sich ein Sensor 11, mit dem der Partialdruck des organischen Dampfes innerhalb einer Zuleitung 8 zu einem OVPD-Reaktor 1 bestimmt werden kann. Durch die Kenntnis des Partialdrucks des organischen Dampfes und des Massenflusses beziehungsweise Volumenflusses des Trägergases durch die Verdampfungseinrichtung lässt sich der Massenfluss des organischen Dampfes zum OVPD-Reaktor 1 ermitteln. Um eine Kondensation des Dampfes an den Wänden der Zuleitung 8 zu vermeiden, besitzt diese eine Heizung 9, mit der die Oberflächentemperatur der Wand der Zuleitung 8 auf einer Temperatur gehalten wird, die oberhalb der Kondensationstemperatur des organischen Dampfes liegt.
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Der Sensor 11 ist ein QCM. Er besitzt einen Schwingkörper 16 mit einer freien Oberfläche 16', auf der der Dampf des organischen Materials kondensieren kann. Mit seiner der freien Oberfläche 16' weggewandten Seite ist der Schwingkörper 16 mit einer Heizeinrichtung 17 temperaturleitend verbunden. Die Heizeinrichtung 17 ist wiederum über ein Isolationselement 19 schwächer temperaturleitend mit einem Kühlelement 18 verbunden. Wird die Heizeinrichtung 17 mit einer gewissen Leistung beheizt, so wird sowohl Wärme zum Schwingkörper 16 als auch zum Kühlelement 18 abgeführt. In dieser Betriebsart, in der ein Nettowärmefluss zum Schwingkörper 16 fließt, kann der Schwingkörper 16 auf eine Temperatur gebracht werden, bei der dort kondensiertes Material abdampfen kann. Wird die Heizeinrichtung 17 hingegen mit einer geringeren Leistung beheizt, so kann dem Schwingkörper 16 Wärme entzogen und durch die Heizeinrichtung 17 und das Isolationselement 19 hindurch zum Kühlelement 18 abgeführt werden. In dieser Betriebsart wird die Oberfläche 16' des Schwingkörpers 16 auf einer Temperatur gehalten, auf der organisches Material auf der Oberfläche 16' kondensieren kann. Während die Heizeinrichtung 17 sowohl geregelt als auch gesteuert betrieben werden kann, wird das Kühlelement 18 bevorzugt ausschließlich gesteuert betrieben, indem beispielsweise ein Kühlmittel mit einer vorgegebenen Kühltemperatur in das Kühlelement 18 eingespeist wird. Bei dem Kühlelement 18 kann es sich aber auch um ein Peltier-Element handeln, das mit einer vorgegebenen Kühlleistung betrieben wird.
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Die 1 zeigt an einem Beispiel einen Prozesszyklus zum Abscheiden einer organischen Schicht auf einem Substrat 10, welches auf einem Substrathalter 5 eines OVPD-Reaktors 1 liegt. Der Substrathalter 5 besitzt Kühlkanäle 6, durch die eine Kühlflüssigkeit hindurchströmen kann. Oberhalb des Substrathalters 5 beziehungsweise des auf dem Substrathalter 5 aufliegenden Substrates 10 befindet sich eine Prozesskammer 7. Nach oben hin wird Prozesskammer 7 durch eine Gasaustrittsfläche eines Gaseinlassorgans 2 begrenzt, das eine Gasverteilkammer 3 besitzt, von der eine Vielzahl von Gasaustrittsöffnungen 4 in die Gasaustrittsfläche münden. Die Gasverteilkammern 3 werden von der Zuleitung 8 mit dem vom Trägergas transportierten organischen Dampf gespeist.
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Der in der 1 dargestellte Prozesszyklus wird mehrfach hintereinander wiederholt. Er besteht aus einer Vorbereitungsphase V, in der kein Dampf in die Prozesskammer 7 eingespeist wird und einer Prozessphase B, in der Dampf in die Prozesskammer 7 eingespeist wird. Die Vorheizphase V beinhaltet eine Leistungsermittlungsphase A, eine Reinigungsphase, die die Abschnitte C, D, F aufweist und einer optionalen Phase G, in der im Wesentlichen lediglich die Temperatur des Schwingkörpers gehalten wird. Während dieser Phase G wird bei einer mittleren Leistung Pm die Temperatur des Schwingkörpers 16 und insbesondere die Oberflächentemperatur der Oberfläche 16' gegen einen Sollwert geregelt, sodass die Temperatur eine Prozesstemperatur TP einnimmt. Dies erfolgt mittels der Regeleinrichtung 12. Zur Verdeutlichung, dass es sich in der Phase G um eine geregelte Temperatur handelt, ist die Leistung und die Temperatur in der 1 um einen Mittelwert schwankend dargestellt.
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In einer Leistungsermittlungsphase A, bei der die Temperatur des Schwingkörpers 16 und insbesondere dessen Oberfläche 16' ebenfalls geregelt wird, wird eine gemittelte Leistung P ermittelt. Dies erfolgt ohne dass organischer Dampf in die Prozesskammer 7 eingespeist wird beziehungsweise ohne dass vom Verdampfungskörper 15 Aerosolpartikel verdampft werden.
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In einer Prozessphase B, bei der organischer Dampf erzeugt wird, beispielsweise dadurch, dass Aerosolpartikel in den Verdampfungskörper 15 eingespeist werden beziehungsweise der Verdampfungskörper 15 auf eine Verdampfungstemperatur gebracht wird, wird die Heizeinrichtung 17 ungeregelt betrieben. Sie wird mit einer konstanten Heizleistung elektrisch bestromt, wobei diese Leistung der Leistung entspricht, die in der Leistungsermittlungsphase A ermittelt worden ist. Die zeitliche Dauer der Leistungsermittlungsphase A kann größer sein, als die zeitliche Dauer der Prozessphase B, die nur wenige Sekunden (kleiner 20 Sekunden) dauern kann.
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Während der Vorbereitungsphase V kann die Oberfläche 16' des Schwingkörpers 16 gereinigt werden. Hierzu wird die Oberfläche 16' auf eine Reinigungstemperatur aufgeheizt. Erfindungsgemäß erfolgt dies während einer Reinigungsphase. Beim Ausführungsbeispiel besitzt die Reinigungsphase vier Schritte:
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In dem mit C bezeichneten ersten Schritt der Reinigungsphase wird die Heizeinrichtung 17 mit maximaler Leistung PMax betreten. Die Zeit des ersten Schrittes kann vorgesehen sein. Die Zeit des ersten Schrittes kann aber auch ein Maximalwert sein. Der erste Schritt kann beispielsweise beendet werden, wenn entweder eine vorgegebene Zeit verstrichen ist oder die Reinigungstemperatur TR erreicht ist. Die Leistung, mit der die Heizeinrichtung 17 betrieben wird, kann eine elektrische Leistungsquelle sein, die eine maximale Leistung erzeugen kann. Die maximale Leistung kann aber auch die maximale Leistung sein, die ohne Zerstörung der Heizeinrichtung 17 in die Heizeinrichtung 17 einspeisbar ist.
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In dem mit D bezeichneten zweiten Schritt der Reinigungsphase wird die Heizeinrichtung 17 mit minimaler Leistung, bevorzugt überhaupt nicht mit Leistung beaufschlagt, sodass das Kühlelement 18 seine maximale Leistung entfalten kann. Der zweite Schritt der Reinigungsphase kann dann beendet sein, wenn die Oberflächentemperatur des Schwingkörpers 16 einen vorgegebenen Wert erreicht. Dieser kann beispielsweise TP + X2 sein, wobei X2 ein Kalibrierparameter ist, der von System zu System variieren kann. Dieser Kalibrierwert kann in Vorversuchen ermittelt werden.
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In dem mit E bezeichneten dritten Schritt der Reinigungsphase wird die Heizeinrichtung 17 mit einer Leistung beaufschlagt, die zwischen 0 und der mittleren Leistung Pm zum Erreichen der Betriebstemperatur TP liegt. Diese Leistung kann beispielsweise wie folgt vorgegeben sein: P = Pm · X1, wobei X1 ein weiterer Kalibrierparameter ist, der größer 0 und kleiner 1 ist und der in Vorversuchen ermittelt wird. Die in diesem Schritt eingespeiste Leistung hat bevorzugt eine Höhe, die ausreichend hoch ist, um zu vermeiden, dass die Temperatur nicht unter die Prozesstemperatur absinkt. Durch diesen Schritt wird erreicht, dass in dem nachfolgend beschriebenen dritten Schritt die Temperatur nicht unter einen vorgegebenen Wert absinkt.
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Nach Beendigung des dritten Schrittes E, entweder nach einer vorgegebenen Zeit oder nach Erreichen einer vorgegebenen Temperatur, schließt sich an den dritten Schritt E ein vierter Schritt F der Reinigungsphase an, in dem die Heizeinrichtung 17 gegen den Sollwert der Betriebstemperatur TP geregelt wird.
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Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenständig weiterbilden, wobei zwei, mehrere oder alle dieser Merkmalskombinationen auch kombiniert sein können, nämlich:
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Temperatur der Oberfläche 16' des Schwingkörpers 16 in der Vorbereitungsphase V von einer Regeleinrichtung 12 auf einen Sollwert geregelt wird und in der Prozessphase B die Heizeinrichtung mit einer ersten vorgegebenen Leistung P betrieben wird.
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die erste vorgegebene Leistung P eine in der Vorbereitungsphase V während einer Leistungsermittlungsphase A der Vorbereitungsphase V ermittelt wird.
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die erste vorgegebene Leistung P eine während der Leistungsermittlungsphase A gemittelte Leistung ist.
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die zeitliche Dauer der Vorbereitungsphase V und/oder der Leistungsermittlungsphase A länger ist als die zeitliche Dauer der Prozessphase.
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Dauer der Prozessphase B maximal 30 Sekunden beträgt und/oder dass die Dauer der Vorbereitungsphase V maximal 90 Sekunden beträgt.
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Heizeinrichtung 17 in einem ersten Schritt C der Reinigungsphase für eine vorgegebene erste Zeit und/oder bis zum Erreichen der Reinigungstemperatur TR mit einer ersten Leistung, die mindestens 95 Prozent einer maximal möglichen Leistung beträgt, betrieben wird und in einem zweiten Schritt D, der sich unmittelbar an den ersten Schritt C der Reinigungsphase anschließt, so lange mit einer zweiten Leistung, die maximal 5 Prozent der maximal möglichen Leistung beträgt, betrieben wird, bis eine Schalttemperatur Ts erreicht ist, deren Wert zwischen der Betriebstemperatur TP und der Reinigungstemperatur TR liegt.
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass in einem dritten Schritt E, der sich unmittelbar an den zweiten Schritt D der Reinigungsphase anschließt, die Heizeinrichtung 17 für eine vorgegebene dritte Zeit mit einer vorgegebenen dritten Leistung betrieben wird, die kleiner ist, als eine während einer Leistungsermittlungsphase A gemittelte Leistung zum Erreichen der Betriebstemperatur TP .
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Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass im Anschluss an den dritten Schritt E der Reinigungsphase in einem vierten Schritt F der Reinigungsphase die Temperatur des Schwingkörpers mittels der Regelungseinrichtung 12 auf einen Sollwert geregelt wird.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Steuereinrichtung 20 derartig eingerichtet ist, dass sich die Temperatur der Oberfläche 16' des Schwingkörpers 16 gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 8 ändert.
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Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Erfindung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorstehenden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbesondere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden können.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- OVPD-Reaktor
- 2
- Gaseinlassorgan
- 3
- Gasverteilkammer
- 4
- Gasaustrittsöffnung
- 5
- Substrathalter
- 6
- Kühlkanal
- 7
- Prozesskammer
- 8
- Zuleitung
- 9
- Heizung
- 10
- Substrat
- 11
- Sensor
- 12
- Regeleinrichtung
- 13
- Aerosolerzeuger
- 14
- Massenflusskontroller
- 15
- Verdampfungskörper
- 16
- Sensorkörper
- 16'
- Oberfläche
- 17
- Heizeinrichtung
- 18
- Kühlelement
- 19
- Isolationselement
- A
- Leistungsermittlungsphase
- B
- Prozessphase
- C
- erster Reinigungsschritt
- D
- zweiter Reinigungsschritt
- E
- dritter Reinigungsschritt
- F
- vierter Reinigungsschritt
- P
- Leistung
- Pm
- mittlere Leistung
- T
- Temperatur
- TP
- Prozesstemperatur
- TPMax
- maximale Prozesstemperatur
- TR
- Reinigungstemperatur
- TS
- Schalttemperatur
- V
- Vorbereitungsphase
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102014102484 A1 [0003, 0008]
- DE 102017106968 A1 [0003, 0006, 0008]
