JP6594986B2 - 真空堆積のための材料源アレンジメント及び材料分配アレンジメント - Google Patents
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Description
また、本願は以下に記載する態様を含む。
(態様1)
真空チャンバ(110)内で蒸発した材料を基板(121)上に堆積するための線形の分配管(106)であって、
第1の方向(136)に沿って延在している分配管ハウジング(116)であって、前記第1の方向が前記線形の分配管(106)の線形の延在をもたらし、前記分配管ハウジング(116)が第1のハウジング材料を含む、分配管ハウジング(116)と、
前記分配管ハウジング(116)内の複数の開口部であって、前記線形の分配管の前記線形の延在に沿って分配される複数の開口部と、
前記線形の分配管(106)のための複数のノズル(712)であって、前記複数のノズルが、前記真空チャンバ(110)内で前記蒸発した材料を導くように構成され、前記ノズルが、前記第1のハウジング材料よりも大きな熱伝導率及び/又は21W/mKよりも大きい熱伝導率を有する第1のノズル材料を含む、複数のノズル(712)と
を備えている線形の分配管(106)。
(態様2)
前記ノズル(712)が、Cu、Ta、Ti、Nb、DLC、及び黒鉛のうちの少なくとも1つを含む、態様1に記載の線形の分配管。
(態様3)
前記ノズル(712)が、前記蒸発した材料を前記ノズルを通して導くための通路(203)と、少なくとも前記通路(203)の表面上にあるコーティングとを含む、態様1又は2に記載の線形の分配管。
(態様4)
前記通路(203)の前記表面が、前記第1のノズル材料又は蒸発した有機材料に対して化学的に不活性な第2のノズル材料(208)でコーティングされている、態様3に記載の線形の分配管。
(態様5)
前記ノズル(712)の前記通路(203)が、Ta、Nb、Ti、DLC、及び黒鉛のうちの少なくとも1つでコーティングされている、態様4に記載の線形の分配管。
(態様6)
前記ノズル(712)が銅を含む、態様1から5のいずれか一項に記載の線形の分配管。
(態様7)
前記ノズル(712)が、前記分配管(106)に対して螺合可能であるように適合されている、態様1から6のいずれか一項に記載の線形の分配管。
(態様8)
前記ノズル(712)が、前記蒸発した材料を前記ノズルを通して導くための通路(203)を備え、且つ蒸発した材料のプルームを形成する前記通路の形状を提供しており、前記ノズル(712)が、cos n のようなプロファイルを有するプルームを形成するように設計され、ここで、n≧4である、態様1から7のいずれか一項に記載の線形の分配管。
(態様9)
真空チャンバ(110)内で材料を基板(121)上に堆積するための材料堆積アレンジメント(100)であって、
蒸発させられて前記基板(121)上に堆積される前記材料を供給するための蒸発源(102)と、
蒸発した前記材料を分配管(106)に供給する前記蒸発源(102)と流体連通している前記分配管(106)と、
前記真空チャンバ(110)内で、蒸発した前記材料を導くためのノズル(712)であって、21W/mKよりも大きい熱伝導率を有する第1のノズル材料を含むノズル(712)と
を備えている材料堆積アレンジメント(100)。
(態様10)
前記蒸発源(102)が、有機材料を供給するための蒸発源である、態様9に記載の材料堆積アレンジメント。
(態様11)
前記分配管(106)を、堆積される前記材料の蒸発温度以上に加熱するための加熱要素(726)をさらに備えている、態様9又は10に記載の材料堆積アレンジメント。
(態様12)
前記分配管(106)が、態様1から8のいずれか一項に記載の線形の分配管であり、前記ノズル(712)が、前記線形の分配管の複数のノズルのうちのノズルである、態様9から11のいずれか一項に記載の材料堆積アレンジメント。
(態様13)
真空堆積装置であって、
真空チャンバ(110)と、
態様9から12のいずれか一項に記載の材料堆積アレンジメント(100)であって、前記蒸発源(102)が、有機材料のための蒸発るつぼであり、前記材料堆積アレンジメント(100)の前記分配管(106)が、前記蒸発るつぼからの蒸発した材料を前記真空チャンバ(110)の中へと導くために、前記蒸発るつぼに接続されている、材料堆積アレンジメント(100)と
を備えており、
前記ノズル(712)が、蒸発した有機材料に対して化学的に不活性な第2のノズル材料(208)を含み、且つ
前記材料堆積アレンジメント(100)の前記ノズル(712)が、前記真空チャンバ(110)内で、前記蒸発した材料を基板(121)に向けて方向付けるように配置されている、真空堆積装置。
(態様14)
真空堆積装置のための材料堆積アレンジメント(100)を設けるための方法であって、
基板(121)上に堆積される材料を蒸発させるための蒸発源(102)を設けることと、
前記蒸発源(102)と分配管(106)及びノズル(712)との間の流体連通を設けるように、前記分配管(106)及び前記ノズル(712)を前記蒸発源(102)に流体接続することであって、前記ノズル(712)が、21W/mKよりも大きい熱伝導率値を有する第1のノズル材料を含む、流体接続することと
を含む方法。
(態様15)
前記分配管(106)を、前記基板(121)上に堆積される前記材料の蒸発温度以上に加熱することをさらに含む、態様14に記載の方法。
Claims (15)
- 真空チャンバ(110)内で蒸発した材料を基板(121)上に堆積するための線形の分配管(106)であって、
第1の方向(136)に沿って延在している分配管ハウジング(116)であって、前記第1の方向が前記線形の分配管(106)の線形の延在をもたらし、第1のハウジング材料を含む、前記分配管ハウジング(116)と、
前記分配管ハウジング(116)内の複数の開口部であって、前記複数の開口部が前記線形の分配管の前記線形の延在に沿って分配されている、複数の開口部と、
前記線形の分配管(106)のための複数のノズル(712)であって、前記複数のノズル(712)が前記真空チャンバ(110)内で前記蒸発した材料を導くように構成されており、前記複数のノズルが、前記第1のハウジング材料よりも大きな熱伝導率を有する第1のノズル材料を含む、複数のノズル(712)とを備え、前記複数のノズルがTa、Ti、Nb、DLC、及び黒鉛のうちの少なくとも1つを含む、線形の分配管(106)。 - 前記ノズル(712)が、前記蒸発した材料を前記ノズルを通して導くための通路(203)と、少なくとも前記通路(203)の表面上にあるコーティングとを含む、請求項1に記載の線形の分配管。
- 前記通路(203)の前記表面が、前記第1のノズル材料又は蒸発した有機材料に対して化学的に不活性な第2のノズル材料(208)でコーティングされている、請求項2に記載の線形の分配管。
- 前記ノズル(712)の前記通路(203)が、Ta、Nb、Ti、DLC、及び黒鉛のうちの少なくとも1つでコーティングされている、請求項3に記載の線形の分配管。
- 前記第1のノズル材料の熱伝導率が21W/mKよりも大きい、請求項1に記載の線形の分配管。
- 前記ノズル(712)が、前記分配管(106)に対して螺合可能であるように構成された、請求項1から5のいずれか一項に記載の線形の分配管。
- 前記ノズル(712)が、前記蒸発した材料を前記ノズルを通して導くための通路(203)を備え、かつ前記ノズル(712)がcosnのようなプロファイルを有するプルームを形成するように設計され、蒸発した材料のプルームを形成する前記通路の形状を提供しており、ここで、n≧4である、請求項1から6のいずれか一項に記載の線形の分配管。
- 真空チャンバ(110)内で材料を基板(121)上に堆積するための材料堆積アレンジメント(100)であって、
蒸発させられ前記基板(121)上に堆積される前記材料を提供するための蒸発源(102)と、
分配管(106)であって、前記蒸発した材料を前記分配管(106)に提供する前記蒸発源(102)と流体連通している分配管(106)と、
前記真空チャンバ(110)内で、蒸発した前記材料を導くためのノズル(712)であって、前記ノズル(712)は21W/mKよりも大きい熱伝導率を有する第1のノズル材料を含み、前記ノズル(712)は、Ta、Ti、Nb、DLC、及び黒鉛のうちの少なくとも1つを含む、ノズル(712)と
を備えている材料堆積アレンジメント(100)。 - 前記蒸発源(102)が、有機材料を供給するための蒸発源である、請求項8に記載の材料堆積アレンジメント。
- 前記分配管(106)を、堆積される前記材料の蒸発温度以上に加熱するための加熱要素(726)をさらに備えている、請求項8又は9に記載の材料堆積アレンジメント。
- 前記分配管(106)が、請求項1から7のいずれか一項に記載の線形の分配管であり、前記ノズル(712)が、前記線形の分配管の複数のノズルのうちのノズルである、請求項8から10の何れか一項に記載の材料堆積アレンジメント。
- 真空堆積装置であって、
真空チャンバ(110)と、
請求項8から11のいずれか一項に記載の材料堆積アレンジメント(100)と
を備えている真空堆積装置。 - 前記蒸発源(102)が、有機材料のための蒸発るつぼであり、前記材料堆積アレンジメント(100)の前記分配管(106)が、前記蒸発るつぼからの蒸発した材料を前記真空チャンバ(110)の中へと導くために、前記蒸発るつぼに接続されており、
前記ノズル(712)が、蒸発した有機材料に対して化学的に不活性な第2のノズル材料(208)を含み、且つ
前記材料堆積アレンジメント(100)の前記ノズル(712)が、前記真空チャンバ(110)内で、前記蒸発した材料を基板(121)に向けて方向付けるように配置されている、請求項12に記載の装置。 - 真空堆積装置のための材料堆積アレンジメント(100)を設けるための方法であって、
基板(121)上に堆積される材料を蒸発させるための蒸発源(102)を設けることと、
前記蒸発源(102)と分配管(106)及びノズル(712)との間の流体連通を設けるように、前記分配管(106)及び前記ノズル(712)を前記蒸発源(102)に流体接続することであって、前記ノズル(712)が、21W/mKよりも大きい熱伝導率値を有する第1のノズル材料を含み、前記ノズル(712)がTa、Ti、Nb、DLC、及び黒鉛のうちの少なくとも1つを含む、流体接続することと
を含む方法。 - 前記分配管(106)を、前記基板(121)上に堆積される前記材料の蒸発温度以上に加熱することをさらに含む、請求項14に記載の方法。
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