JP6815390B2 - 堆積装置を操作する方法、蒸発した源材料を基板に堆積する方法、及び堆積装置 - Google Patents
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Description
本開示の態様によれば、蒸発した源材料を蒸発源の一又は複数の出口から基板に向かって案内することによって、蒸発した源材料を基板に堆積させることであって、蒸発した源材料の一部が、一又は複数の出口と基板との間に配置されたシールドデバイスによって遮断されかつ当該シールドデバイスに付着する、堆積させること、次に付着した源材料の少なくとも一部をシールドデバイスから離すために、シールドデバイスを少なくとも局部的に加熱することによって、シールドデバイスを洗浄することを含む、堆積装置を操作する方法が提供される。
Claims (19)
- 蒸発した源材料を基板に堆積する方法であって、
蒸発した源材料を、蒸発源(20)の一又は複数の出口(22)から、前記蒸発源(20)に含まれ前記一又は複数の出口(22)と基板(10)との間に配置されたシールドデバイス(30)を通って前記基板(10)に向かって案内することと、
堆積位置(I)から、前記シールドデバイス(30)が材料収集ユニット(40)の方を向くサービス位置(II)まで、前記材料収集ユニット(40)に対して前記蒸発源(20)を移動させること及び前記サービス位置(II)において前記シールドデバイス(30)を少なくとも局部的に加熱することによって、前記シールドデバイス(30)を洗浄することと
を含み、
前記サービス位置(II)まで前記蒸発源(20)を移動させることが、前記一又は複数の出口の方向が60°〜120°の角度だけ移動されるように前記蒸発源(20)を移動させることを含む、方法。 - 前記洗浄後に、前記サービス位置(II)から再び前記堆積位置(I)まで、前記蒸発源(20)を移動させることと、
蒸発した前記源材料を前記基板に継続的に堆積させることと
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 堆積及び洗浄が交互に実行され、所定の堆積期間後に、前記シールドデバイスが洗浄される、請求項1に記載の方法。
- 前記シールドデバイスが、前記シールドデバイスの洗浄後に冷却される、請求項1に記載の方法。
- 前記加熱することが、前記シールドデバイス(30)の一又は複数の表面セクションを熱電的に又は誘導的に加熱することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記加熱することが、マイクロ波放射、熱放射、レーザ放射及びUV放射からなる群から選択された電磁放射を、前記シールドデバイス(30)に堆積した前記源材料の上に方向付けることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記シールドデバイス(30)が、前記一又は複数の出口(22)からの蒸発した前記源材料の主要放出方向(X)に対して45°を上回る放出角度を有する蒸発した前記源材料を遮断する、請求項1に記載の方法。
- 蒸発した源材料を基板に堆積する方法であって、
前記基板(10)の表面に沿って蒸発源(20)を移動させることと、
蒸発した前記源材料を、前記蒸発源(20)の一又は複数の出口(22)から、前記蒸発源(20)に含まれ前記一又は複数の出口(22)と前記基板(10)との間に配置されたシールドデバイス(30)を通って前記基板に向かって案内することであって、蒸発した前記源材料の一部が、前記シールドデバイス(30)によって遮断されかつ当該シールドデバイス(30)に付着する、案内することと、
堆積位置(I)からサービス位置(II)まで、前記一又は複数の出口の方向が第1の移動角度だけ移動するように、前記蒸発源(20)を移動させることと、
前記サービス位置(II)で前記シールドデバイス(30)を少なくとも局部的に加熱することによって、前記シールドデバイス(30)を洗浄することと、
前記堆積位置(I)に戻るまで又は更なる堆積位置まで、前記一又は複数の出口の方向が第2の移動角度だけ移動するように、前記蒸発源(20)を移動させることと、
前記基板(10)又は更なる基板の表面に沿って前記蒸発源(20)を移動させることと、
前記一又は複数の出口(22)から基板に向かって蒸発した前記源材料を案内することと
を含み、
前記第1の移動角度及び前記第2の移動角度は60°〜120°の範囲である、方法。 - 前記一又は複数の出口の方向が第1の移動角度だけ移動するように前記蒸発源を移動させることが、前記堆積位置(I)からサービス位置(II)まで第1の回転角度だけ前記蒸発源を回転させることを含み、
前記一又は複数の出口の方向が第2の移動角度だけ移動するように前記蒸発源を移動させることが、再び前記堆積位置(I)に戻るまで又は更なる堆積位置まで第2の回転角度だけ前記蒸発源を回転させることを含む、
請求項8に記載の方法。 - 蒸発した源材料を基板に堆積させるように構成された蒸発源(20)であって、
蒸発した前記源材料を前記基板(10)に向かって案内するための一又は複数の出口(22)を有する分配管(106)と、
前記一又は複数の出口(22)から下流に配置され、前記基板に向かって伝播する蒸発した前記源材料を部分的に遮断するように構成されたシールドデバイス(30)と
を備える蒸発源と、
前記シールドデバイス(30)を含む蒸発源(20)を60°〜120°の角度だけ回転させることにより、堆積装置(100)を堆積位置(I)からサービス位置(II)に置くように構成されたアクチュエータデバイスと、
前記堆積装置が前記サービス位置(II)にあるとき、前記シールドデバイス(30)を少なくとも局部的に加熱するための加熱装置(50)と
を備える、堆積装置(100)。 - 前記シールドデバイス(30)が、関連する出口(22)から発生する蒸発した源材料のプルームを成形するように構成された複数の開孔を備える、請求項10に記載の堆積装置。
- 各開孔(32)の周方向のエッジが、前記関連する出口(22)から発生する蒸発した源材料の前記プルームの外側部分を遮断するように構成される、請求項11に記載の堆積装置。
- 前記加熱装置が、前記シールドデバイス(30)内に置かれ又は統合される、請求項10から12のいずれか一項に記載の堆積装置。
- 前記加熱装置が、熱電装置又は誘導装置である、請求項10から12のいずれか一項に記載の堆積装置。
- 材料収集ユニット(40)を更に備え、前記蒸発源(20)が前記サービス位置(II)にあるとき、前記シールドデバイス(30)が前記材料収集ユニット(40)の方を向く、請求項10から12の何れか一項に記載の堆積装置。
- 前記加熱装置(50)が、電磁放射を前記サービス位置(II)で前記シールドデバイス(30)に向かって方向付けるように構成された電磁放射源を備える、請求項10から12の何れか一項に記載の堆積装置。
- 前記加熱装置が、光源、レーザ、LED、UVランプ、IR光源、ハロゲン加熱ランプ、及びマイクロ波発振器からなる群から選択される、請求項10から12の何れか一項に記載の堆積装置。
- 材料収集ユニット(40)を更に備え、前記蒸発源(20)が前記サービス位置(II)にあるとき、前記シールドデバイス(30)が前記材料収集ユニット(40)の方を向き、前記加熱装置(50)が、電磁放射を前記サービス位置(II)で前記シールドデバイス(30)に向かって方向付けるように構成された電磁放射源を備え、前記電磁放射源が、材料収集ユニット(40)に置かれ又は統合される、請求項10から12の何れか一項に記載の堆積装置。
- 堆積装置(100)を操作する方法であって、
蒸発した源材料を、蒸発源(20)の一又は複数の出口(22)から、前記蒸発源(20)に含まれ前記一又は複数の出口(22)と基板(10)との間に配置されたシールドデバイス(30)を通って前記基板(10)に向かって案内することによって、蒸発した源材料を前記基板(10)に堆積させることであって、前記蒸発した源材料の一部が、前記シールドデバイス(30)によって遮断されかつ当該シールドデバイスに付着する、堆積させることと、
付着した前記源材料の少なくとも一部を前記シールドデバイス(30)から離すために、前記シールドデバイス(30)を少なくとも局部的に加熱することによって、前記シールドデバイス(30)を洗浄することと
を含み、
前記洗浄することは、堆積位置(I)から、前記シールドデバイス(30)が材料収集ユニット(40)の方を向くサービス位置(II)まで、材料収集ユニット(40)に対して前記蒸発源(20)を移動させることを含み、前記シールドデバイス(30)が前記サービス位置(II)において加熱され、
前記サービス位置(II)まで前記蒸発源(20)を移動させることが、前記一又は複数の出口の方向が60°〜120°の角度だけ移動されるように前記蒸発源(20)を移動させることを含む、方法。
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WO2020025145A1 (en) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | Applied Materials, Inc. | An evaporation source to deposit evaporated source materials, a method of shielding evaporated source materials and a shielding device for an evaporation source |
KR20210103546A (ko) * | 2018-12-21 | 2021-08-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기상 증착 장치 및 진공 챔버에서 기판을 코팅하기 위한 방법 |
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US20100159132A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | Veeco Instruments, Inc. | Linear Deposition Source |
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KR20110014442A (ko) * | 2009-08-05 | 2011-02-11 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
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