KR102641512B1 - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 제1 디스플레이 기판 및 제2 디스플레이 기판이 내부에 수납되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 위치를 이동하여 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 적어도 2개 이상의 증착물질을 공급하는 복수개의 도가니를 구비한 증착원과, 상기 제1 디스플레이 기판 또는 제2 디스플레이 기판과 상기 증착원 사이에 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 상기 증착원 사이에 배치되며, 복수개의 상기 도가니에서 공급되는 적어도 2개 이상의 증착물질의 양을 제어하는 셔터부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시장치를 포함한다. 최근, 표시장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
이러한 표시 장치를 제조하기 위하여 다양한 장비들이 사용될 수 있다. 이때, 중간층은 복수개의 증착물질을 통하여 제조될 수 있다. 이러한 경우 중간층을 구성하는 증착물질의 적층 순서, 적층 시 증착물질의 농도, 각 증착물질 사이의 혼합비 등은 표시 장치의 성능에 많은 영향을 미칠 수 있다.
본 발명의 실시예들은 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 제1 디스플레이 기판 및 제2 디스플레이 기판이 내부에 수납되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 위치를 이동하여 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 적어도 2개 이상의 증착물질을 공급하는 복수개의 도가니를 구비한 증착원과, 상기 제1 디스플레이 기판 또는 제2 디스플레이 기판과 상기 증착원 사이에 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 상기 증착원 사이에 배치되며, 복수개의 상기 도가니에서 공급되는 적어도 2개 이상의 증착물질의 양을 제어하는 셔터부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버의 저면에 대해서 수직하게 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버 내부에서 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 셔터부는 선형 운동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 셔터부는 상기 각 도가니에 인접하도록 배치되어 회동 운동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원에 배치되어 복수개의 상기 도가니 중 적어도 하나에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한판을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원은 상기 챔버 내부에 선형 운동 가능하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 제1 디스플레이 기판 및 제2 디스플레이 기판이 내부에 수납되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 위치를 이동하여 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 적어도 2개 이상의 증착물질을 공급하는 복수개의 도가니를 구비한 증착원과, 상기 제1 디스플레이 기판 또는 제2 디스플레이 기판과 복수개의 상기 증착원 사이에 배치되는 마스크 조립체와, 상기 각 도가니와 연결되어 상기 각 도가니로 상기 증착물질을 개별적으로 공급하는 복수개의 증착물질공급부와, 상기 각 도가니와 상기 각 증착물질공급부 사이에 배치되어 상기 각 증착물질공급부에서 상기 각 도가니로 공급되는 증착물질의 양을 제어하는 차단부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버의 저면에 대해서 수직하게 배열될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 제1 디스플레이 기판과 제2 디스플레이 기판을 챔버 내부에 배치하고, 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판에 각각 대응되도록 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나와 대응되는 상기 마스크 조립체를 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나와 정렬하는 단계와, 복수개의 도가니를 포함한 증착원을 통하여 적어도 2개 이상의 증착물질을 상기 마스크 조립체로 공급하고, 상기 마스크 조립체를 통과한 증착물질은 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착되는 단계를 포함하고, 적어도 2개 이상의 증착물질의 양은 셔터부를 통하여 상기 각 도가니에서 토출되는 증착물질의 양을 제어하여 조절되거나 차단부를 통하여 상기 각 도가니로 공급되는 증착물질의 양을 제어하여 조절되는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버의 저면에 수직하게 배열된 상태에서 상기 증착물질이 증착될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 셔터부는 상기 마스크 조립체와 상기 증착원 사이에 배치되어 선형 운동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원에는 상기 각 도가니에 증착물질을 개별적으로 공급하는 복수개의 증착물질공급부가 연결되며, 상기 차단부는 상기 각 증착물질공급부로부터 상기 각 도가니로 공급되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원은 선형 운동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착물질이 증착되는 동안 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나는 상기 마스크 조립체와 위치가 정렬될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 셔터부는 상기 증착원에 인접하도록 배치되어 회전 운동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 복수개의 상기 도가니 중 적어도 하나는 증착물질의 분사각도가 제한될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원의 방향을 전환하여 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나에 증착물질을 증착시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 적어도 2개 이상의 상기 증착물질은 성분이 서로 상이할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 형태의 중간층을 형성하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 중간층을 정밀하게 형성하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 고해상도의 표시 장치의 제조가 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 증착 챔버의 내부에 배치되는 제1 디스플레이 기판, 제2 디스플레이 기판, 증착원, 마스크 어셈블리 및 셔터부를 보여주는 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 증착원과 셔터부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 1, 도 4, 도 6 또는 도 7 중 하나에 도시된 표시 장치의 제조장치에 의해 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 Ⅸ-Ⅸ선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 증착 챔버의 내부에 배치되는 제1 디스플레이 기판, 제2 디스플레이 기판, 증착원, 마스크 어셈블리 및 셔터부를 보여주는 단면도이다. 도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 증착원과 셔터부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 1 및 도 3c를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 로딩부(110), 트랜스퍼부(120), 증착부(130), 연결부(140), 언로딩부(160) 및 센서부(170)를 포함할 수 있다.
로딩부(110)는 외부로부터 공급되는 복수개의 디스플레이 기판(미도시) 중 적어도 하나를 수납할 수 있다. 이때, 로딩부(110)는 외기의 대기압과 기압을 동일하게 유지시킨 후 상기 디스플레이 기판이 수납될 수 있으며, 트랜스퍼부(120)로 상기 디스플레이 기판이 이동하는 경우 로딩부(110) 내부의 압력은 트랜스퍼부(120)의 내부의 압력과 동일하게 유지될 수 있다.
트랜스퍼부(120)는 상기 디스플레이 기판을 로딩부(110)로부터 증착부(130)로 이동시킬 수 있다. 이때, 트랜스퍼부(120)는 다양한 형태로 상기 디스플레이 기판을 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 표시 장치의 제조장치(100)는 표시 장치의 제조장치(100) 내부에서 이동 가능한 셔틀을 구비하고 이러한 셔틀에 상기 디스플레이 기판이 안착되어 이동할 수 있다. 다른 실시예로써 트랜스퍼부(120)는 상기 디스플레이 기판이 안착되는 로봇암(121) 등을 포함하여 상기 디스플레이 기판을 이동시키는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 표시 장치의 제조장치(100)는 표시 장치의 제조장치(100) 일부 사이를 이동하는 셔틀과 트랜스퍼부(120)에 구비되는 로봇암(121)을 통하여 상기 디스플레이 기판을 이동시키는 것도 가능하다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 상기에 한정되지 않으며, 다양한 장치 및 구조를 통하여 상기 디스플레이 기판을 이동시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조장치(100)는 로봇암(121)과 셔틀을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착부(130)는 트랜스퍼부(120)에 연결될 수 있으며, 상기 디스플레이 기판이 수납되어 증착이 수행될 수 있다. 이때, 증착부(130)는 트랜스퍼부(120)에 복수 개 구비될 수 있으며, 각 증착부(130) 내부에서는 동일한 증착물질이 상기 디스플레이 기판에 증착되거나 서로 상이한 증착물질이 상기 디스플레이 기판에 증착될 수 있다.
증착부(130)는 챔버(131), 증착원(132), 증착원구동부(133), 마스크 조립체(134), 기판홀더(135), 마스크홀더(136), 셔터부(137), 비젼부(138) 및 압력조절부(139)를 포함할 수 있다.
챔버(131)는 내부에 공간이 형성될 수 있다. 챔버(131)는 트랜스퍼부(120)와 직접 연결되거나 별도의 다른 챔버를 통하여 연결될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 챔버(131)가 트랜스퍼부(120)와 직접 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 트랜스퍼부(120)와 연결되는 챔버(131) 부위는 개구되도록 형성될 수 있다. 이때, 개구된 챔버(131) 부분에는 게이트밸브(미도시) 등이 배치되어 선택적으로 개구된 챔버(131) 부분을 개폐할 수 있다. 챔버(131) 내부에는 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)이 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)은 서로 대향하도록 배치될 수 있으며, 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)은 챔버(131)의 저면에 대해서 수직하게 배열될 수 있다. 특히 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)은 챔버(131)의 높이 방향으로 세워진 상태로 챔버(131) 내부에 배치될 수 있다.
증착원(132)은 챔버(131) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 증착원(132)은 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나와 서로 상대 운동할 수 있다. 예를 들면, 증착원(132)이 선형 운동하는 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)은 정지한 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 증착원(132)이 정지하는 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)은 선형 운동할 수 있다. 또 다른 실시예로써 증착원(132)은 선형 운동하고, 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)도 선형 운동하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(132)만 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 증착원(132)은 단 수개 구비되거나 복수 개 구비될 수 있다. 이때, 증착원(132)이 복수 개 구비되는 경우 각 증착원(132)은 하나의 증착물질을 수납하여 공급하는 하나의 도가니(132-1)를 포함하거나 복수개의 도가니(132-1)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 하나의 증착원(132)이 구비되는 경우 하나의 증착원(132)은 하나의 증착물질을 수납하여 공급하는 복수개의 도가니(132-1)를 포함할 수 있다. 이때, 복수개의 도가니(132-1)는 제1 증착물질이 수납되고 제1 증착물질을 공급하는 제1 도가니(132-1A) 및 제2 증착물질이 수납되고 제2 증착물질을 공급하는 제2 도가니(132-2A)를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(132)은 하나가 구비되고, 하나의 증착원(132)은 복수개의 도가니(132-1)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 상기와 같은 도가니(132-1)는 내부의 증착물질을 외부로 안내하여 분사하는 노즐이 구비될 수 있다.
증착원(132)은 적어도 2개 이상의 증착물질을 수납하는 복수개의 도가니(132-1), 각 도가니(132-1) 외부를 감싸도록 배치된 냉각자켓(132-2), 각 도가니(132-1)와 냉각자켓(132-2) 사이에 배치되는 히팅부(132-3)를 포함할 수 있다. 또한, 증착원(132)은 각 도가니(132-1)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한판(132-4)을 포함할 수 있다. 이때, 증착물질의 분사각도는 각 도가니(132-1)의 노즐로부터 증차물질이 퍼지는 각도를 의미할 수 있다. 각도제한판(132-4)은 각 도가니(132-1)를 기준으로 양측에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 각 각도제한판(132-4)은 각 도가니(132-1)에 대응되도록 복수 개 구비될 수 있다. 이러한 각 각도제한판(132-4)은 적어도 일부분이 절곡되도록 형성될 수 있다.
냉각자켓(132-2)은 외부에 냉매(예를 들면, 냉각수 등)가 순환하여 도가니(132-1)의 온도가 너무 높게 상승하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 히팅부(132-3)는 히터 등을 포함하여 도가니(132-1)의 온도를 상승시켜 도가니(132-1) 내부의 증착물질의 상을 가변시킬 수 있다.
증착원구동부(133)는 선형 운동 및 회전 운동 중 적어도 하나를 수행하도록 증착원(132)을 운동시킬 수 있다. 이때, 증착원구동부(133)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 증착원구동부(133)는 증착원(132)을 선형 운동 및 회전 운동시키는 로봇암을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 증착원구동부(133)는 증착원(132)을 선형 운동시키는 제1 증착원구동부(133-1)와 증착원(132)을 회전 운동시키는 제2 증착원구동부(133-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 증착원구동부(133-1)는 제2 증착원구동부(133-2) 상에 배치되어 서로 연결되거나 제2 증착원구동부(133-2)는 제1 증착원구동부(133-1) 상에 배치되어 서로 연결될 수 있다. 이러한 경우 증착원(132)은 제1 증착원구동부(133-1) 또는 제2 증착원구동부(133-2)에 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 증착원구동부(133-2)는 제1 증착원구동부(133-1) 상에 배치되어 제1 증착원구동부(133-1)와 연결되며, 증착원(132)은 제2 증착원구동부(133-2)에 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(134)는 증착부(130)의 내부에 배치될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(134)는 별도의 마스크저장부(150)에 배치된 상태에서 챔버(131) 내부로 공급될 수 있다. 이러한 경우 마스크저장부(150)는 트랜스퍼부(120)에 연결되거나 증착부(130)에 연결될 수 있다. 마스크저장부(150)가 트랜스퍼부(120)에 연결되는 경우 트랜스퍼부(120) 내부의 로봇암이 마스크 조립체(134)를 증착부(130)로 공급할 수 있다. 다른 실시예로써 마스크저장부(150)가 증착부(130)와 연결되는 경우 마스크저장부(150) 또는 증착부(130)에 배치되는 로봇암 또는 셔틀 등을 통하여 마스크 조립체(134)는 마스크저장부(150)로부터 증착부(130)로 이동할 수 있다.
상기와 같은 마스크 조립체(134)는 증착물질이 통과하도록 적어도 하나 이상의 개구부를 구비할 수 있다. 이때, 개구부는 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 개구부는 서로 이격되도록 배치되어 일정한 패턴을 형성할 수 있다. 마스크 조립체(134)는 제1 디스플레이 기판(D1)에 대응되도록 배치되는 제1 마스크 조립체(134)와 제2 디스플레이 기판(D2)에 대응되도록 배치되는 제2 마스크 조립체(134)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 마스크 조립체(134)와 제2 마스크 조립체(134)는 동일한 챔버(131) 내부에 배치될 수 있으며, 동일한 개구부 패턴을 구비할 수 있다.
기판홀더(135)는 챔버(131) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 기판홀더(135)는 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)을 고정시키거나 선형 운동시킬 수 있다. 이러한 경우 기판홀더(135)는 도면에 도시되어 있지 않지만 리니어 모터 등과 연결될 수 있다.
마스크홀더(136)는 제1 마스크 조립체(134) 또는 제2 마스크 조립체(134)를 지지할 수 있다. 이때, 마스크홀더(136)는 제1 마스크 조립체(134) 또는 제2 마스크 조립체(134)와 대응되도록 챔버(131) 내부에 배치될 수 있다.
셔터부(137)는 제1 마스크 조립체(134) 또는 제2 마스크 조립체(134) 중 하나와 증착원(132) 사이에 배치될 수 있다. 일 실시예로써 셔터부(137)는 증착원(132)과 제1 마스크 조립체(134) 사이에 배치되고, 제2 마스크 조립체(134)와 증착원(132) 사이에 각각 배치될 수 있다. 이때, 셔터부(137)는 증착원구동부(133)에 연결되어 증착원(132)의 선형 운동 시 증착원(132)과 함께 선형 운동할 수 있다. 다른 실시예로써 셔터부(137)는 증착원(132) 및 증착원구동부(133) 중 적어도 하나에 연결될 수 있다. 이러한 경우 셔터부(137)는 증착원(132)이 운동하는 경우 증착원(132)과 함께 회전 및 선형 운동함으로써 제1 마스크 조립체(134) 또는 제2 마스크 조립체(134) 중 하나와 증착원(132) 사이에 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 셔터부(137)는 증착원(132)과 함께 회전 및 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 셔터부(137)는 셔터(137-1)와 셔터구동부(137-2)를 포함할 수 있다. 이때, 셔터(137-1)는 증착원(132)의 양측에 한 쌍이 구비될 수 있으며, 셔터구동부(137-2)도 복수 개 구비되어 각 셔터(137-1)와 연결될 수 있다. 셔터(137-1)는 증착원(132)에서 공급되는 증착물질 중 적어도 하나의 양을 제어할 수 있다. 이때, 증착원(132)과 대향하는 셔터(137-1)의 일면에는 증착원(132)으로부터 공급되는 증착물질이 증착되지 않도록 별도의 물질이 도포되거나 패턴이 형성될 수 있다. 셔터구동부(137-2)는 셔터(137-1)와 연결되어 셔터(137-1)를 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 셔터구동부(137-2)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 셔터구동부(137-2)는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 셔터구동부(137-2)는 공압실린더 또는 유압실린더를 포함할 수 있다. 또 다른 실시에로써 셔터구동부(137-2)는 볼스크류와 볼스크류와 연결되는 모터를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 셔터구동부(137-2)는 셔터(137-1)와 연결되는 렉기어, 렉기어와 연결되는 스퍼기어 및 스퍼기어와 연결되는 모터를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 셔터구동부(137-2)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 셔터(137-1)와 연결되어 셔터(137-1)를 선형 운동시키는 구조 및 장치를 모두 포함할 수 있다.
비젼부(138)는 챔버(131)에 배치되어 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나와 마스크 조립체(134)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(138)는 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 배치된 얼라인마크와 마스크 조립체(134)에 배치된 얼라인마크를 촬영할 수 있다.
압력조절부(139)는 챔버(131)와 연결되어 챔버(131) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 압력조절부(139)는 챔버(131)에 연결되는 연결배관(139-1)과 연결배관(139-1)에 배치되는 펌프(139-2)를 포함할 수 있다.
한편, 연결부(140)는 서로 인접하는 트랜스퍼부(120)를 연결할 수 있다. 이때, 연결부(140)에는 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)을 이송시키도록 별도의 이송부(예를 들면, 로봇암, 셔틀 등)가 구비될 수 있다. 또한, 연결부(140)의 압력은 트랜스퍼부(120)로부터 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)이 이송될 때 트랜스퍼부(120)의 내부압력과 동일 또는 유사하게 유지될 수 있다.
언로딩부(160)는 증착이 완료된 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)이 일시적으로 수납될 수 있다. 또한, 언로딩부(160)는 증착이 완료된 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)을 외부로 반출할 수 있다. 다른 실시예로써 언로딩부(160)는 증착이 완료된 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 다른 물질의 막(또는 층)을 형성하는 별도의 챔버가 연결되어 이러한 챔버로 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)을 이송시키는 것도 가능하다. 이때, 언로딩부(160)에는 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)을 이송하도록 별도의 로봇암 또는 셔틀 등이 구비될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 언로딩부(160)는 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)을 일시적으로 저장하였다가 외부로 반출시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
센서부(170)는 증착원(132)에 배치되어 증착원(132)의 각 도가니(132-1) 내부의 압력 및 온도 중 적어도 하나를 측정할 수 있다. 예를 들면, 센서부(170)는 각 도가니(132-1) 내부의 압력을 측정하는 제1 센서부(171)와 각 도가니(132-1) 내부의 온도를 측정하는 제2 센서부(172)를 포함할 수 있다.
제1 센서부(171)에서 측정된 각 도가니(132-1) 내부의 압력 및 제2 센서부(172)에서 측정된 각 도가니(132-1)의 내부의 온도 중 적어도 하나를 근거로 각 도가니(132-1)에서 증발되는 증착물질의 단위시간 당 증발량을 예측하고 이를 근거로 셔터부(137)를 제어할 수 있다. 예를 들면, 하기의 수학식1을 근거로 각 도가니(132-1)에서 증발되는 증착물질의 단위시간 당 증발량을 예측할 수 있다.
[수학식 1]
여기서 N은 증착물질의 단위시간 당 증발량(증착물질의 증발율), A는 증착물질이 증발하는 표면적, α는 흡착계수, P*는 온도 T에서 증착물질의 포화증가압, P는 센서부(170)에서 측정된 도가니(132-1)의 내부 압력, m은 도가니(132-1) 내부의 증착물질의 질량, kB는 볼츠만(Bolzmann) 상수, T는 센서부(170)에서 측정된 각 도가니(132-1)의 내부 온도를 의미한다. 여기서 α, P*, A, m, kB는 증착물질에 따라 결정되는 상수 형태일 수 있다.
상기와 같은 경우 증착물질의 증발율을 산출한 후 기 설정된 증발율과 비교할 수 있다. 이때, 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율보다 큰 경우 셔터부(137)의 개방 정도는 기존보다 작아지도록 조절될 수 있다. 반면, 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율보다 작은 경우 셔터부(137)의 개방 정도는 기존보다 커지도록 조절될 수 있다. 이러한 경우 셔터부(137)의 개방 정도는 산출된 증착물질의 증발율과 기 설정된 증발율이 동일해지거나 유사해지도록 조절될 수 있다. 이때, 셔터부(137)의 개방 정도는 서로 대향하도록 배치된 셔터(137-1) 사이의 거리를 통하여 조절될 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 로딩부(110)로 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)이 공급되면, 로딩부(110)로부터 트랜스퍼부(120)로 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)이 이동할 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)은 로딩부(110)로부터 트랜스퍼부(120)로 순차적으로 이송될 수 있다. 이후 트랜스퍼부(120)를 통하여 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)을 증착부(130)에 순차적으로 이송할 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1)이 로딩부(110), 트랜스퍼부(120) 및 증착부(130)로 순차적으로 이동한 후 제2 디스플레이 기판(D2)이 로딩부(110), 트랜스퍼부(120) 및 증착부(130)로 순차적으로 이동할 수 있다.
상기와 같이 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)이 챔버(131) 내부로 진입하면, 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)은 챔버(131) 내부에서 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
상기와 같이 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)이 챔버(131) 내부에 배치되면, 마스크 조립체(134)가 마스크저장부(150)로부터 증착부(130)로 이송되어 챔버(131) 내부에 배치될 수 있다. 도면에는 제1 디스플레이 기판(D1)과 마스크 조립체(134)가 이격된 것으로 표시되어 있으나 제1 디스플레이 기판(D1)과 마스크 조립체(134)는 서로 최대한 밀착할 수 있다.
제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나와 마스크 조립체(134)의 위치를 비젼부(138)를 통하여 촬영할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 디스플레이 기판(D1)과 마스크 조립체(134)의 위치를 비젼부(138)를 통하여 먼저 촬영하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
비젼부(138)는 제1 디스플레이 기판(D1)의 얼라인마크와 마스크 조립체(134)의 얼라인마크를 촬영할 수 있다. 비젼부(138)에서 촬영된 각 얼라인마크의 위치를 근거로 제1 디스플레이 기판(D1)과 마스크 조립체(134)의 위치를 판단한 후 기 설정된 위치에 배열되도록 제1 디스플레이 기판(D1) 및 마스크 조립체(134) 중 적어도 하나의 위치를 가변시킬 수 있다. 이때, 기판홀더(135) 및 마스크홀더(136) 중 적어도 하나는 제1 디스플레이 기판(D1) 및 마스크 조립체(134) 중 적어도 하나의 위치를 미세 조정할 수 있다.
제1 디스플레이 기판(D1) 및 마스크 조립체(134) 중 적어도 하나의 위치를 정렬한 후 증착원(132)을 선형 운동시키면서 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1)에 증착시킬 수 있다. 이때, 증착원(132)은 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측에서 타측으로 선형 운동하면서 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1)으로 공급할 수 있다. 예를 들면, 증착원(132)은 챔버(131)의 저면에서 상면으로 선형 운동하면서 증착물질을 공급할 수 있다. 이러한 경우 증착원(132)은 적어도 2개 이상의 증착물질을 동시에 공급할 수 있다. 이때, 복수개의 도가니(132-1)에는 서로 종류가 상이한 증착물질이 수납될 수 있다. 특히 복수개의 도가니(132-1)가 증착원(132)의 선형 운동 방향으로 일렬로 배열됨으로써 적어도 2개 이상의 증착물질이 제1 디스플레이 기판(D1) 상에 적층될 수 있다. 또한, 증착원(132)은 상기와 같은 선형 운동을 복수 번 수행할 수 있다. 이때, 증착원(132)은 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측에서 제1 디스플레이 기판(D1)의 타측으로 선형 운동한 후 제1 디스플레이 기판(D1)의 타측에서 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측으로 다시 선형 운동할 수 있다. 증착원(132)은 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측과 제1 디스플레이 기판(D1)의 타측 사이에서 복수 번 선형 운동할 수 있다. 이때, 증착원(132)의 선형 운동 횟수는 홀수이거나 짝수일 수 있다.
상기와 같이 제1 디스플레이 기판(D1)에 증착물질을 증착하는 동안 제2 디스플레이 기판(D2)과 마스크 조립체(134)는 서로 정렬할 수 있다. 이때, 제2 디스플레이 기판(D2)과 마스크 조립체(134)가 서로 정렬하는 방법은 상기에서 설명한 제1 디스플레이 기판(D1)과 마스크 조립체(134)가 서로 정렬하는 방법과 서로 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 디스플레이 기판(D1)에 증착물질의 증착이 완료되면, 제2 증착원구동부(133-2)가 작동하여 도가니(132-1)의 노즐 방향을 제1 디스플레이 기판(D1)으로부터 제2 디스플레이 기판(D2)을 향하도록 증착원(132)의 방향을 전환시킬 수 있다. 이후 증착원(132)에서는 증착물질을 공급하면서 선형 운동할 수 있으며, 증착물질은 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착될 수 있다.
상기와 같은 작업이 진행되는 동안 셔터부(137)는 복수개의 도가니(132-1)에서 방출되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 예를 들면, 셔터부(137)는 복수개의 도가니(132-1) 중 하나에서 방출되는 증착물질을 완전히 차단할 수 있다. 예를 들면, 셔터부(137)는 제1 도가니(132-1A)의 노즐 또는 제2 도가니(132-2A)의 노즐 중 하나를 완전히 차폐함으로써 제1 증착물질 또는 제2 증착물질이 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 도달하는 것을 차단할 수 있다. 다른 실시예로써 셔터부(137)는 복수개의 도가니(132-1) 중 적어도 하나에서 방출되는 증착물질 중 일부를 차단함으로써 증착물질의 양을 제어하는 것도 가능하다. 예를 들면, 셔터부(137)는 제1 도가니(132-1A)의 노즐 또는 제2 도가니(132-2A)의 노즐 중 하나의 일부를 차폐시킬 수 있다. 즉, 제1 도가니(132-1A)의 노즐이 셔터부(137)에 의해 차폐되지 않는 경우 제1 도가니(132-1A)의 노즐을 통하여 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 측으로 공급되는 증착물질의 양을 100으로 볼 때 셔터부(137)가 제1 도가니(132-1A)의 노즐 일부를 차폐하는 경우 제1 도가니(132-1A)의 노즐을 통하여 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 측으로 공급되는 증착물질의 양은 70 정도일 수 있다. 따라서 셔터부(137)는 복수개의 도가니(132-1) 중 적어도 하나에서 공급되는 증착물질의 양을 제어하는 것이 가능하다. 또 다른 실시예로써 셔터부(137)는 도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이 증착원(132)의 이동에 따라 작동하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 3a에 도시된 바와 같이 제1 증착원(132)이 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측에서 타측으로 이동할 때에는 제1 도가니(132-1A) 및 제2 도가니(132-2A)에서 토출되는 증착물질을 차단하지 않을 수 있다. 또한, 도 3b에 도시된 바와 같이 제1 증착원(132)이 제1 디스플레이 기판(D1)의 타측에서 일측으로 이동할 때 제1 도가니(132-1A) 및 제2 도가니(132-2A)에서 토출되는 증착물질을 차단하지 않을 수 있다. 반면, 도 3c에 도시된 바와 같이 제1 증착원(132)이 다시 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측에서 타측으로 이동할 때에는 제1 도가니(132-1A)에서 토출되는 증착물질을 차단하지 않으면서 제2 도가니(132-2A)에서 토출되는 증착물질을 차단할 수 있다. 상기와 같은 셔터부(137)는 상기에 한정되는 것은 아니며 복수개의 도가니(132-1) 중 적어도 일부에서 토출되는 증착물질의 양을 제어할 수 있는 모든 방법을 포함할 수 있다.
상기와 같은 셔터부(137)는 셔터구동부(137-2)의 작동에 따라 셔터(137-1)가 선형 운동함으로써 각 도가니(132-1)의 노즐 상부를 차단하는 정도에 따라 각 도가니(132-1)에서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 공급하는 증착물질의 양이 조절될 수 있다. 이때, 셔터(137-1)의 구동 정도는 기 설정된 설계 값에 따라 가변 할 수 있다. 즉, 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 공급되는 증착물질의 양은 기 설정된 상태일 수 있으며, 이에 따라 셔터(137-1)의 구동 정도가 가변 할 수 있다. 이때, 셔터(137-1)의 구동 정도는 사용자의 설정에 따라 가변 할 수 있다.
상기의 경우 이외에도 상기에서 설명한 것과 같이 제1 센서부(171)에서 측정된 각 도가니(132-1)의 압력 및 제2 센서부(172)에서 측정된 각 도가니(132-1)의 압력 중 적어도 하나를 근거로 셔터부(137)의 작동을 제어하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도가니(132-1)에서 측정된 온도 및 압력을 근거로 산출된 각 도가니(132-1)의 증착물질의 증발율을 기 설정된 증발율과 비교할 수 있다. 이때, 기 설정된 증발율은 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착되는 증착물질의 두께에 따라 상이해질 수 있다. 이러한 증발율과 증착되는 증착물질의 두께 사이의 관계, 증발율과 증착되는 증착물질의 두께 사이의 관계는 테이블 형태로 저장된 상태일 수 있다. 이러한 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착되는 증착물질의 두께가 설정되면, 각 도가니(132-1)에서 토출되는 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율로 결정될 수 있다.
상기와 같은 경우 최초 표시 장치의 제조장치(100)가 작동하는 경우 셔터(137-1)의 개방 정도는 결정된 상태일 수 있다. 이후 표시 장치의 제조장치(100)가 작동하는 경우 상기에서 설명한 것과 같이 산출된 증착물질의 증발율과 기 설정된 증발율을 비교하여 셔터(137-1)의 개방 정도를 결정할 수 있다. 예를 들면, 상기에서 설명한 것과 같이 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율보다 큰 것으로 판단되면, 셔터(137-1)의 개방 정도는 기존(또는 초기)보다 작아지도록 셔터(137-1)를 운동시킬 수 있다. 반면, 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율보다 작은 것으로 판단되면, 셔터(137-1)의 개방 정도는 기존(또는 초기)보다 커지도록 셔터(137-1)를 운동시킬 수 있다. 또한, 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율과 동일한 것으로 판단되면, 셔터(137-1)의 개방 정도는 기존(또는 초기)와 동일하게 유지시킬 수 있다. 상기와 같은 작업은 표시 장치의 제조장치(100)가 작동하는 경우 지속적으로 수행될 수 있다. 특히 제1 센서부(171) 및 제2 센서부(172)에서 측정된 데이터는 지속적으로 피드백됨으로써 각 도가니(132-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율을 산출할 수 있다. 특히 이러한 경우 셔터부(137)가 하나의 도가니(132-1)만을 개방하는 경우 수행될 수 있다.
상기와 같이 증착이 완료되면, 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)은 챔버(131)에서 트랜스퍼부(120)를 통하여 언로딩부(160)로 이동할 수 있다. 이후 새로운 디스플레이 기판이 상기와 같은 과정을 통하여 증착물질이 디스플레이 기판에 증착될 수 있다.
한편, 상기와 같은 경우 셔터부(137)는 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 다양한 형태의 증착물질 층을 형성하는 것이 가능하다. 예를 들면, 셔터부(137)는 상기에서 설명한 것과 같이 증착물질의 일부를 차단하거나 증착물질 중 일부를 차단하는 것이 가능하다. 또한, 셔터부(137)는 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)이 서로 동일한 순서로 동일한 층을 형성시키는 것도 가능하다. 예를 들면, 증착원(132)이 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측 또는 타측 중 하나로부터 제1 디스플레이 기판(D1)의 일측 또는 타측 중 다른 하나로 이동하면서 제1 디스플레이 기판(D1)에 증착물질을 증착하는 횟수가 짝수 번인 경우 제1 디스플레이 기판(D1)에 증착물질의 증착 후 증착원(132)이 제2 디스플레이 기판(D2) 측으로 방향을 전환하여 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착물질을 증착하면 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)에 각각 증착되는 증착물질의 순서는 서로 상이해질 수 있다. 이러한 것을 방지하도록 증착원(132)이 제2 디스플레이 기판(D2)을 향한 후 셔터부(137)는 증착원(132)에서 증착물질이 공급되는 것을 방지한 상태에서 증착원(132)을 제2 디스플레이 기판(D2)의 일측 또는 타측 중 다른 하나로 이동한 후 증착원(132)에서 증착물질이 공급하는 것을 해제한 상태에서 증착원(132)은 선형 운동하여 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이러한 경우 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)은 서로 동일한 순서의 증착물질 층이 적층될 수 있다.
따라서 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 순서로 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 농도의 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 설계된 값과 동일하거나 유사한 형태의 증착물질 층을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다. 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀하게 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하므로 고해상도의 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(200)는 로딩부(미도시), 트랜스퍼부(220), 증착부(230), 연결부(미도시), 마스크저장부(미도시), 언로딩부(미도시) 및 센서부(270)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 로딩부, 트랜스퍼부(220), 상기 연결부, 상기 마스크저장부, 상기 언로딩부 및 센서부(270)는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착부(230)는 챔버(231), 증착원(232), 증착원구동부(233), 마스크 조립체(234), 기판홀더(235), 마스크홀더(236), 셔터부(237), 비젼부(238) 및 압력조절부(239)를 포함할 수 있다. 이때, 챔버(231), 마스크 조립체(234), 기판홀더(235), 마스크홀더(236), 비젼부(238) 및 압력조절부(239)는 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
증착원(232)은 복수개의 도가니(232-1), 냉각자켓(232-2), 히팅부(232-3) 및 각도제한판(232-4)을 포함할 수 있다. 이때, 냉각자켓(232-2), 히팅부(232-3) 및 각도제한판(232-4)은 상기 도 1에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
복수개의 도가니(232-1)는 제1 도가니(232-1A), 제2 도가니(232-2A) 및 제3 도가니(232-1C)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 도가니(232-1A) 내지 제3 도가니(232-1C) 각각의 내부에는 서로 동일한 증착물질 또는 상이한 증착물질이 수납될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 도가니(232-1A) 내지 제3 도가니(232-1C) 각각의 내부에는 서로 상이한 증착물질이 수납되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원구동부(233)는 제1 증착원구동부(233-1)와 제2 증착원구동부(233-2)를 포함할 수 잇다. 이때, 제1 증착원구동부(233-1)는 증착원(232)을 제1 디스플레이 기판(D1)의 하면 또는 제2 디스플레이 기판(D2)의 하면 중 하나에서 제1 디스플레이 기판(D1)의 하면 또는 제2 디스플레이 기판(D2)의 하면 중 다른 하나로 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 증착원구동부(233-1)는 리니어 모터, 볼스크류와 모터 등과 같은 형태로 형성될 수 있다. 제2 증착원구동부(233-2)는 제1 증착원구동부(233-1) 상에 배치되어 증착원(232)을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나의 하면에서 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 제2 증착원구동부(233-2)는 상기에서 설명한 제1 증착원구동부(233-1)와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
일 실시에로써 셔터부(237)는 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 셔터부(237)는 회전 운동함으로써 각 도가니(232-1)에서 공급되는 증착물질의 양을 제어하는 것도 가능하다. 구체적으로 셔터부(237)는 회동 가능한 회전판(237-1)과 회전판(237-1)과 연결되어 회전판(237-1)을 회전시키는 회전구동부(237-2)를 포함할 수 있다. 이때, 회전판(237-1)은 도 5의 X축과 Z축 방향으로 회전하거나 Z축을 중심으로 회전하는 것도 가능하다. 이러한 경우 회전구동부(237-2)는 감속기와 감속기와 연결되는 모터를 구비할 수 있다. 이때, 셔터부(237)는 각 도가니(232-1)에 대응되도록 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 셔터부(237)는 서로 독립적으로 구동하는 것이 가능하다. 이러한 셔터부(237)의 구조는 상기 도 1 내지 도 3a 도시된 표시 장치의 제조장치(200)에 적용되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 셔터부(237)가 회전판(237-1)과 회전구동부(237-2)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(200)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)을 챔버(231) 내부로 진입시킬 수 있다. 또한, 마스크 조립체(234)를 챔버(231) 내부로 진입시킬 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1), 제2 디스플레이 기판(D2) 및 마스크 조립체(234)를 챔버(231) 내부로 공급하는 방법은 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나와 마스크 조립체(234)를 정렬한 후 증착원(232)을 통하여 증착을 수행할 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나와 마스크 조립체(234)를 정렬하는 방법은 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 증착이 진행되는 동안 셔터부(237)는 제1 도가니(232-1A) 내지 제3 도가니(232-1C)에서 분사되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 예를 들면, 셔터부(237)는 제1 도가니(232-1A) 내지 제3 도가니(232-1C) 중 적어도 하나에서 분사되는 증착물질을 차단할 수 있다. 다른 실시예로써 셔터부(237)는 제1 도가니(232-1A) 내지 제3 도가니(232-1C) 중 적어도 하나에서 분사되는 증착물질의 일부를 차단할 수 있다. 이러한 경우 회전구동부(237-2)가 회전판(237-1)을 회전시킬 수 있다. 이때, 셔터부(237)가 제1 도가니(232-1A) 내지 제3 도가니(232-1C)에서 분사되는 증착물질의 양을 제어하는 방법은 서로 동일하므로 셔터부(237)가 제1 도가니(232-1A)에서 분사되는 증착물질의 양을 제어하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 예를 들면, 회전판(237-1)이 챔버(231)의 저면과 평행하게 배열되는 경우 셔터부(237)는 제1 도가니(232-1A)에서 분사되는 증착물질을 완전히 차단할 수 있다. 회전판(237-1)이 챔버(231)의 저면과 예각을 갖는 경우 셔터부(237)는 제1 도가니(232-1A)에서 분사되는 증착물질 일부를 차단할 수 있다. 이때, 회전판(237-1)이 챔버(231)의 저면과 형성하는 각도에 따라 제1 도가니(232-1A)에서 분사되는 증착물질이 차단되는 양이 결정될 수 있다. 또한, 회전판(237-1)이 챔버(231)의 저면과 수직을 형성하는 경우 셔터부(237)는 제1 도가니(232-1A)에서 분사되는 증착물질을 차단하지 않을 수 있다. 따라서 셔터부(237)는 복수개의 증착물질 중 선택적으로 일부의 증착물질만 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키거나 복수개의 증착물질 중 적어도 하나의 양을 조절하여 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다.
상기와 같은 셔터부(237)의 작동은 제1 센서부(271) 및 제2 센서부(272)에서 측정된 값에 의해 제어될 수 있다. 구체적으로 제1 센서부(271)에서 측정된 각 도가니(232-1)의 압력 및 제2 센서부(272)에서 측정된 각 도가니(232-1)의 온도를 근거로 각 도가니(232-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율을 산출하고 기 설정된 증발율과 비교하여 셔터부(237)의 작동을 제어할 수 있다.
상기와 같이 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착물질이 증착되는 경우 초기에 회전판(237-1)의 회전 각도가 결정될 수 있다. 이때, 회전판(237-1)이 각 도가니(232-1)를 완전히 차단한 상태에서 회전판(237-1)이 회전하는 정도인 회전판(237-1)의 회전 각도에 따라 증착물질이 각 도가니(232-1)에서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 도달하는 양이 결정될 수 있다. 또한, 이를 통하여 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착되는 증착물질의 두께가 결정될 수 있다. 이러한 경우 상기와 같이 증착물질의 증착이 시작되면 회전판(237-1)의 회전 각도는 기 설정된 회전 각도와 동일해질 수 있다. 이때, 상기에서 산출된 증착물질의 증발율과 기 설정된 증착물질의 증발율을 비교하여 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증착물질의 증발율보다 큰 경우 회전판(237-1)의 회전 각도를 기 설정된 회전 각도보다 작아지도록 회전판(237-1)을 회전시킬 수 있다. 반면, 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증착물질의 증발율보다 작은 경우 회전판(237-1)의 회전 각도를 기 설정된 회전 각도보다 커지도록 회전판(237-1)을 회전시킬 수 있다. 산출된 증착물질의 증발율이 기 설정된 증착물질의 증발율과 동일한 경우 회전판(237-1)은 기존 상태를 유지하도록 정지할 수 있다. 상기와 같은 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착되는 증착물질의 두께, 회전판(237-1)의 회전각도, 증발율 사이의 관계는 수식 형태로 프로그램밍되어 있거나 테이블 형태로 저장된 상태일 수 있다. 이때, 상기와 같은 제어는 각 도가니(232-1)에 배치된 셔터부(237)에서 개별적이면서 독립적으로 수행될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착물질이 증착되는 동안, 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나는 마스크 조립체(234)와 얼라인될 수 있다.
증착원(232)을 통하여 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착물질의 증착을 완료한 후 증착원(232)은 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나 측으로 이동할 수 있다. 증착원(232)은 제1 증착원구동부(233-1)에 의해 이동할 수 있으며, 제2 증착원구동부(233-2)도 증착원(232)과 함께 제1 증착원구동부(233-1)에 의해 이동할 수 있다. 상기와 같이 증착원(232)이 이동하는 경우 증착원(232)은 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나의 하면에서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나의 하면으로 이동하여 배치될 수 있다. 이후 제2 증착원구동부(233-2)가 증착원(232)을 선형 운동시키면서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나에 증착물질을 증착시킬 수 있다.
상기와 같이 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착물질의 증착이 완료되면, 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)은 언로딩부(260)를 통하여 외부로 반출될 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 순서로 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 농도의 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 설계된 값과 동일하거나 유사한 형태의 증착물질 층을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다. 표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀하게 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하므로 고해상도의 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 6을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 로딩부(미도시), 트랜스퍼부(미도시), 증착부(330), 연결부(미도시), 마스크저장부(미도시), 언로딩부(미도시) 및 센서부(370)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 로딩부, 상기 트랜스퍼부, 상기 연결부, 상기 마스크저장부, 상기 언로딩부 및 센서부(370)는 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착부(330)는 챔버(331), 증착원(332), 증착원구동부(333), 마스크 조립체(334), 기판홀더(335), 마스크홀더(336), 증착물질공급부(337-1), 차단부(337-2), 비젼부(338) 및 압력조절부(339)를 포함할 수 있다. 이때, 챔버(331), 증착원구동부(333), 마스크 조립체(334), 기판홀더(335), 마스크홀더(336), 비젼부(338) 및 압력조절부(339)는 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
증착원(332)은 복수개의 도가니(332-1), 냉각자켓(332-2), 히팅부(332-3) 및 각도제한판(332-4)을 포함할 수 있다. 복수개의 도가니(332-1)는 적어도 2개 이상의 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 각 도가니(332-1)에는 서로 상이한 재질의 증착물질이 수납될 수 있다. 특히 각 도가니(332-1) 내부에는 기체 상태의 증착물질이 저장될 수 있다. 냉각자켓(332-2)은 각 도가니(332-1), 증착물질공급부(337-1) 및 차단부(337-2)를 감싸도록 배치될 수 있다. 이때, 냉각자켓(332-2)은 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 같이 냉매를 순환시킴으로써 각 도가니(332-1), 증착물질공급부(337-1) 및 차단부(337-2) 중 적어도 하나의 온도를 제어할 수 있다. 히팅부(332-3)는 냉각자켓(332-2) 내부에 배치되어 증착물질공급부(337-1) 내부의 증착물질의 형태를 가변시킬 수 있다. 예를 들면, 히팅부(332-3)는 히터를 포함하여 증착물질공급부(337-1) 내부의 증착물질을 고체 상태에서 기체 상태 또는 고체 상태에서 액체 상태로 가변시키고 다시 기체 상태로 가변시킬 수 있다. 각도제한판(332-4)은 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착물질공급부(337-1)는 증착물질이 수납될 수 있으며, 증착물질의 상태가 가변 할 수 있다. 이때, 증착물질공급부(337-1)는 각 도가니(332-1)와 연결되도록 복수 개 구비될 수 있다.
차단부(337-2)는 각 증착물질공급부(337-1)와 각 도가니(332-1)를 연결하는 유로 사이에 배치되어 각 증착물질공급부(337-1)에서 각 도가니(332-1)로 공급되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 이때, 차단부(337-2)는 솔레노이드 밸브 등을 포함하여 각 유로의 개방 정도를 조절할 수 있다.
한편, 상기 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)을 챔버(331) 내부에 배치할 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1)과 제2 디스플레이 기판(D2)은 챔버(331)의 저면에 대해서 수직하게 배열될 수 있다. 또한, 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나는 마스크 조립체(334)와 위치가 정렬될 수 있다.
이후 제1 증착원구동부(333-1)를 통하여 증착원(332), 증착물질공급부(337-1), 차단부(337-2)를 선형 운동시키면서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 차단부(337-2)는 증착물질공급부(337-1)에서 각 도가니(332-1)로 공급되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 특히 차단부(337-2)는 사용자가 기 설정한 설계 값을 근거로 제어될 수 있다.
상기와 같이 증착물질이 증착되는 동안 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나는 마스크 조립체(334)와 위치가 정렬될 수 있다.
제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착물질의 증착이 완료되면, 증착원(332)의 방향은 제2 증착원구동부(333-2)를 통하여 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나로부터 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나로 전환될 수 있다. 이때, 증착원(332)의 방향이 전환되는 방법은 상기 도 1에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 상기와 같이 증착원(332)의 방향이 전환되는 경우 증착물질공급부(337-1) 및 차단부(337-2)도 증착원(332)과 함께 방향이 전환될 수 있다.
상기와 같이 증착원(332)의 방향이 전환된 후 제2 증착원구동부(333-2)가 작동하여 증착원(332), 증착물질공급부(337-1) 및 차단부(337-2)를 선형 운동시키면서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 다른 하나에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 차단부(337-2)는 기 설정된 값에 근거하여 각 도가니(332-1)에서 분사되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다.
차단부(337-2)는 각 도가니(332-1)에 배치된 제1 센서부(371) 및 제2 센서부(372) 중 적어도 하나에서 측정된 값에 근거하여 제어되는 것도 가능하다. 이때, 제1 센서부(371) 및 제2 센서부(372)는 각 도가니(332-1)에 배치되거나 각 도가니(332-1)와 각 증착물질공급부(337-1) 사이를 연결하는 유로에 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 센서부(371) 및 제2 센서부(372)는 각 도가니(332-1)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 센서부(371)에서 측정된 각 도가니(332-1)의 내부 압력과 제2 센서부(372)에서 측정된 각 도가니(332-1)의 내부 온도를 근거로 각 도가니(332-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율을 산출할 수 있다. 이때, 각 도가니(332-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율은 상기에서 설명한 수학식 1에 의해 산출될 수 있다. 이러한 경우 상기의 수학식 1에서 A는 증착물질공급부(337-1)에서 증착물질이 증착물질공급부(337-1)의 내부로 노출되는 면적일 수 있다.
상기와 같이 산출된 각 도가니(332-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율을 기 설정된 증발율과 비교하여 차단부(337-2)를 통하여 각 도가니(332-1)로 공급되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 예를 들면, 각 도가니(332-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율보다 큰 경우 차단부(337-2)는 각 증착물질공급부(337-1)로부터 각 도가니(332-1)로 공급되는 증착물질의 양이 기존(또는 초기)보다 작아지도록 제어될 수 있다. 반면, 각 도가니(332-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율보다 작은 경우 차단부(337-2)는 각 증착물질공급부(337-1)로부터 각 도가니(332-1)로 공급되는 증착물질의 양이 기존(또는 초기)보다 커지도록 제어될 수 있다. 또한, 차단부(337-2)는 각 도가니(332-1)에서 방출되는 증착물질의 증발율이 기 설정된 증발율과 동일한 경우 기존(또는 초기) 상태를 유지할 수 있다. 이러한 작업은 증착물질이 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2) 중 하나에 증착되는 동안 지속적으로 수행될 수 있다.
제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착물질의 증착이 완료되면, 제1 디스플레이 기판(D1) 및 제2 디스플레이 기판(D2)은 챔버(331)로부터 언로딩부(360)로 이동할 수 있다.
따라서 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 순서로 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 농도의 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 설계된 값과 동일하거나 유사한 형태의 증착물질 층을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하다. 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀하게 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(D2)에 증착시키는 것이 가능하므로 고해상도의 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 7을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 로딩부(미도시), 트랜스퍼부(미도시), 증착부(430), 연결부(미도시), 마스크저장부(미도시), 언로딩부(미도시) 및 센서부(470)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 로딩부, 상기 트랜스퍼부, 상기 연결부, 상기 마스크저장부, 상기 언로딩부 및 센서부(470)는 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착부(430)는 챔버(431), 증착원(432), 증착원구동부(433), 마스크 조립체(434), 기판홀더(435), 마스크홀더(436), 증착물질공급부(437-1), 차단부(437-2), 비젼부(438) 및 압력조절부(439)를 포함할 수 있다. 이때, 챔버(431), 마스크 조립체(434), 기판홀더(435), 마스크홀더(436), 비젼부(438) 및 압력조절부(439)는 상기 도 1 내지 도 3c에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다. 또한, 증착원(432), 증착물질공급부(437-1) 및 차단부(437-2)는 상기 도 6에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 증착원(432)은 복수개의 도가니(432-1), 냉각자켓(432-2), 히팅부(432-3) 및 각도제한판(432-4)을 포함하며, 복수개의 도가니(432-1)는 제1 도가니(432-1A), 제2 도가니(432-2A) 및 제3 도가니(232-1C)를 포함할 수 있다. 증착원구동부(433)는 도 4 및 도 5에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 내지 제2 디스플레이 기판(미도시)을 증착부(430)의 챔버(431) 내부에 배치하여 증착물질을 증착할 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1)과 상기 제2 디스플레이 기판은 도 4에 도시된 것과 같이 배열될 수 있다.
구체적으로 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나는 마스크 조립체(434)와 위치가 정렬될 수 있다. 이후 제2 증착원구동부(433-2)를 통하여 증착원(432), 증착물질공급부(437-1), 차단부(437-2)를 선형 운동시키면서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 차단부(437-2)는 증착물질공급부(437-1)에서 각 도가니(432-1)로 공급되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 특히 차단부(437-2)는 사용자가 기 설정한 설계 값을 근거로 제어될 수 있다. 상기와 같이 증착물질이 증착되는 동안 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나는 마스크 조립체(434)와 위치가 정렬될 수 있다.
제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착물질의 증착이 완료되면, 제1 증착원구동부(433-1)는 증착원(432)을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나의 하면으로부터 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나의 하면으로 이동시킬 수 있다. 이때, 증착원(432)의 이동 방법은 상기 도 4 및 도 5에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이후 제2 증착원구동부(433-2)가 작동하여 증착원(432), 증착물질공급부(437-1) 및 차단부(437-2)를 선형 운동시키면서 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 차단부(437-2)는 기 설정된 값에 근거하여 각 도가니(432-1)에서 분사되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다.
상기와 같은 경우 각 차단부(432)는 제1 센서부(471) 및 제2 센서부(472)에서 측정되는 값에 근거하여 각 도가니(432-1)로부터 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나로 공급되는 증착물질의 양을 제어함으로써 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착되는 증착물질의 두께를 제어할 수 있다.
구체적으로 각 차단부(437-2)는 제1 센서부(471)에서 측정되는 각 도가니(432-1)의 내부 압력 및 제2 센서부(472)에서 측정되는 각 도가니(432-1) 내부의 온도를 근거로 각 도가니(432-1)에서 방출되는 증착물질의 증발량을 측정할 수 있다. 이때, 각 도가니(432-1)에서 방출되는 증착물질의 증발량과 기 설정된 증발량을 비교하여 각 차단부(437-2)를 통하여 각 증착물질공급부(437-1)로부터 각 도가니(432-1)로 공급되는 증착물질의 양을 제어할 수 있다. 이때, 차단부(437-2)의 제어 방법은 상기 도 6에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 특히 이러한 경우 각 도가니(432-1)에서 방출되는 증착물질의 증발량을 제어함으로써 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착되는 증착물질의 두께를 기 설정된 두께와 동일하게 유지시킬 수 있다.
제1 디스플레이 기판(D1) 및 상기 제2 디스플레이 기판에 증착물질의 증착이 완료되면, 제1 디스플레이 기판(D1) 및 상기 제2 디스플레이 기판은 챔버(431)로부터 언로딩부(460)로 이동할 수 있다.
따라서 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 순서로 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 농도의 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 증착시키는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 설계된 값과 동일하거나 유사한 형태의 증착물질 층을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 증착시키는 것이 가능하다. 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀하게 증착물질을 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 증착시키는 것이 가능하므로 고해상도의 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 8은 도 1, 도 4, 도 6 또는 도 7 중 하나에 도시된 표시 장치의 제조장치에 의해 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8에 도시된 Ⅸ-Ⅸ선을 따라 취한 단면도이다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다. 이때, 표시 장치(20)는 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 제2 디스플레이 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 디스플레이 기판(D1) 또는 상기 제2 디스플레이 기판은 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(20)가 제1 디스플레이 기판(D1)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치(20)는 제1 디스플레이 기판(D1), 중간층(28-2), 화소 전극(28-3) 및 봉지부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 디스플레이 기판(D1)은 기판(21), 버퍼층(22), 활성층(23), 게이트 절연층(24), 게이트 전극(25), 층간 절연층(26), 소스 전극(27-1), 드레인 전극(27-2), 패시베이션막(27), 화소 전극(28-3) 및 화소정의막(29)을 포함할 수 있다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 또 다른 실시예로써 중간층(28-2)은 유기 발광층, 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 이외에도 유기 발광층, 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 중 적어도 인접하는 2층 사이에 배치되는 중간버퍼층(interlayer)을 포함할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층을 형성하는 각 층은 상기 도 1, 도 4, 도 6 또는 도 7에 도시된 표시 장치의 제조장치(미표기)에 의해 제조될 수 있다. 일 실시예로써 상기 도 1, 도 4, 도 6 또는 도 7에 도시된 표시 장치의 제조장치의 각 도가니에서 공급되는 증착물질이 순차적으로 적층됨으로써 중간층(28-2)의 각 층을 형성할 수 있다. 즉, 중간층(28-2)을 형성하는 하나의 층은 복수개의 도가니에서 공급되는 증착물질이 순차적으로 적층된 형태이거나 복수개의 도가니에서 공급되는 적어도 2개 이상의 증착물질이 혼합된 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 각 도가니(132-1)에서 공급되는 증착물질이 순차적으로 적층됨으로써 중간층(28-2)을 형성할 수 있다. 이러한 경우 하나의 도가니에서 공급되는 증착물질은 중간층(28-2)을 형성하는 하나의 층을 형성할 수 있다. 또한, 인접하는 도가니에서 분사된 증착물질은 서로 혼합되어 서로 다른 종류의 증착물질이 중간층(28-2)을 형성하는 하나의 층을 형성하는 것도 가능하다.
상기와 같은 경우 각 층의 적층 순서 또는 각 층에 포함되는 물질의 혼합비는 상기에서 설명한 것과 같이 셔터부 또는 차단부를 제어함으로써 정해질 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 특히 복수개의 중간층(28-2)은 직사각형 정사각형을 제외한 형상의 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기 봉지부는 기판(21)과 대향하도록 배치되며, 제1 디스플레이 기판(D1), 중간층(28-2) 및 화소 전극(28-3)을 차폐하는 봉지기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 봉지기판은 기판(21)과 동일 또는 유사할 수 있다. 또한, 상기 봉지기판과 기판(21) 사이에는 실링부(미도시)가 배치되어 중간층(28-2) 및 화소 전극(28-3)을 외부로부터 완전히 차단시킬 수 있다. 다른 실시예로써 상기 봉지부는 화소 전극(28-3) 상에 배치되어 화소 전극(28-3)을 차폐하는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 봉지부가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 설계된 값과 거의 유사한 중간층(28-2)을 가짐으로써 고정밀 이미지를 구현할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
D1: 제1 디스플레이 기판
D2: 제2 디스플레이 기판
20: 표시 장치
28: 유기 발광 소자
100: 표시 장치의 제조장치
110: 로딩부
120: 트랜스퍼부
130,230,330,430: 증착부
131,231,331,431: 챔버
132,232,332,432: 증착원
133,233,333,433: 증착원구동부
134,234,334,434: 마스크 조립체
135,235,335,435: 기판홀더
136,236,336,436: 마스크홀더
137,237: 셔터부
138,238,338,438: 비젼부
139,239,339,439: 압력조절부
140: 연결부
150: 마스크저장부
160: 언로딩부
170,270,370,470: 센서부
337-1,437-1: 증착물질공급부
337-2,437-2: 차단부

Claims (20)

  1. 제1 디스플레이 기판 및 제2 디스플레이 기판이 내부에 수납되는 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 위치를 이동하여 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판에 적어도 2개 이상의 증착물질을 공급하는 복수개의 도가니를 구비한 증착원;
    상기 제1 디스플레이 기판 또는 제2 디스플레이 기판과 상기 증착원 사이에 배치되는 마스크 조립체;
    상기 마스크 조립체와 상기 증착원 사이에 배치되며, 상기 증착원에서 상기 마스크 조립체로 공급되는 상기 증착물질이 통과하는 면적을 조절하여 복수개의 상기 도가니에서 공급되는 적어도 2개 이상의 증착물질의 양을 제어하는 셔터부; 및
    상기 각 도가니 내부에 배치되어 상기 각 도가니 내부의 온도 및 압력 중 적어도 하나를 측정하는 센서부;를 포함하고,
    상기 셔터부는 상기 센서부에서 측정된 상기 각 도가니 내부의 압력 및 상기 각 도가니 내부의 온도 중 적어도 하나를 근거로 산출된 상기 각 도가니의 증발량을 근거로 상기 증착물질이 통과하는 면적을 조절하는 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버의 저면에 대해서 수직하게 배열된 표시 장치의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버 내부에서 서로 대향하도록 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터부는 선형 운동하는 표시 장치의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터부는 상기 각 도가니에 인접하도록 배치되어 회동 운동하는 표시 장치의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착원에 배치되어 복수개의 상기 도가니 중 적어도 하나에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한판;을 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착원은 상기 챔버 내부에 선형 운동 가능하도록 배치된 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 도가니와 연결되어 상기 각 도가니로 상기 증착물질을 개별적으로 공급하는 복수개의 증착물질공급부; 및
    상기 각 도가니와 상기 각 증착물질공급부 사이에 배치되어 상기 각 증착물질공급부에서 상기 각 도가니로 공급되는 증착물질의 양을 제어하는 차단부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착원이 안착되며, 상기 셔터부와 연결되어 상기 셔터부와 상기 증착원을 운동시키는 증착원구동부;를 더 포함하고,
    상기 셔터부는 상기 증착원의 운동 시 상기 증착원과 함께 회전 운동 및 선형 운동하는 표시 장치의 제조장치.
  10. 제1 디스플레이 기판과 제2 디스플레이 기판을 챔버 내부에 배치하고, 상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판에 각각 대응되도록 마스크 조립체를 배치하는 단계;
    상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나와 대응되는 상기 마스크 조립체를 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나와 정렬하는 단계;
    복수개의 도가니를 포함한 증착원을 통하여 적어도 2개 이상의 증착물질을 상기 마스크 조립체로 공급하고, 상기 마스크 조립체를 통과한 증착물질은 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착되는 단계; 및
    상기 각 도가니 내부에 배치된 센서부로 상기 각 도가니 내부의 온도 및 압력 중 적어도 하나를 측정하는 단계;를 포함하고,
    적어도 2개 이상의 증착물질의 양은 셔터부를 통하여 상기 각 도가니에서 토출되는 증착물질의 양을 제어하여 조절되며,
    상기 셔터부는 상기 센서부에서 측정된 상기 각 도가니 내부의 온도 및 압력 중 적어도 하나를 근거로 산출된 상기 각 도가니의 단위시간 당 증발량을 근거로 상기 증착원에서 상기 마스크 조립체로 공급하는 증착물질이 통과하는 면적을 조절하여 상기 증착원에서 상기 마스크 조립체로 공급되는 상기 증착물질의 양을 제어하는 표시 장치의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 상기 챔버의 저면에 수직하게 배열된 상태에서 상기 증착물질이 증착되는 표시 장치의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 디스플레이 기판과 상기 제2 디스플레이 기판은 서로 대향하도록 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 셔터부는 상기 마스크 조립체와 상기 증착원 사이에 배치되어 선형 운동하는 표시 장치의 제조방법.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 증착원에는 상기 각 도가니에 증착물질을 개별적으로 공급하는 복수개의 증착물질공급부가 연결되며, 상기 증착원에 연결된 차단부는 상기 각 증착물질공급부로부터 상기 각 도가니로 공급되는 증착물질의 양을 제어하는 표시 장치의 제조방법.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 증착원은 선형 운동하는 표시 장치의 제조방법.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 하나에 증착물질이 증착되는 동안 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나는 상기 마스크 조립체와 위치가 정렬되는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 셔터부는 상기 증착원에 인접하도록 배치되어 회전 운동하는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 10 항에 있어서,
    복수개의 상기 도가니 중 적어도 하나는 증착물질의 분사각도가 제한되는 표시 장치의 제조방법.
  19. 제 10 항에 있어서,
    상기 증착원의 방향을 전환하여 상기 제1 디스플레이 기판 또는 상기 제2 디스플레이 기판 중 다른 하나에 증착물질을 증착시키는 표시 장치의 제조방법.
  20. 제 10 항에 있어서,
    적어도 2개 이상의 상기 증착물질은 성분이 서로 상이한 표시 장치의 제조방법.
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