JP2006225757A - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】るつぼ22Aは蒸着室16A一面に広がる一体ものとし、その上面31に、その一端から他端までの長さの1本又は複数本のスリット溝32Aを設け、このスリット溝32Aを蒸着材料(ドーパント材30Aなど)の収容部とする。または、るつぼを蒸着室16A一面に広がる一体ものとし、その上面に複数個の孔を設け、この孔を蒸着材料の収容部とする。更には、るつぼを複数の領域に分け、るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の電気ヒータを配設することにより、前記領域ごとに個別に前記電気ヒータによる温度調節を可能とする。
【選択図】図3
Description
(2) 複数のるつぼ1,3を分散配置すると蒸着材料2の蒸発むらが生じやすく、その結果、基板に形成される薄膜の膜厚分布が不均一になってしまう。電気ヒータによるホットウォール5の温度調整を行っても、例えば図19(a)や図19(b)に示すようにホットウォール5のP部の温度(例えば350℃)とQ部の温度(例えば300℃)とに差が生じてしまうことがあり、この場合には手前側のるつぼ1,3の蒸着材料2は主にP部からの放射熱Tを受熱して蒸発し、奥側のるつぼ1,3の蒸着材料2は主にQ点からの放射熱Tを受熱して蒸発することになる。このため、手前側のるつぼ1,3と奥側のるつぼ1,3とでは蒸着材料2の蒸発量にむら(差)が生じてしまう。従って、これに対処するにはるつぼ1,3を小さくすることよりるつぼ間の間隔を狭めて多数のるつぼ1,3を配置することが必要であり、この場合にも、るつぼの配置に手間がかかる、装置のコストアップを招くなどの問題が生じる。特に有機EL用の真空蒸着装置ではFPD基板の大型化に伴い、被蒸着領域が長大化しているため、このような問題が生じ易い。
(3) 少量の蒸着材料2を蒸発させる場合、即ち、もともと少量の蒸着材料2を蒸発させる場合や蒸発するにつれて蒸着材料2の量が減少して少量となった場合には、比較的蒸発するのが早い蒸着材料2の周縁部とるつぼ1,3の内面との間に隙間ができてるつぼ1,3から蒸着材料2への熱伝達が悪くなるため、るつぼ間で蒸着材料2の蒸発量にむらが生じ易く、膜厚分布の不均一を生じ易い。従って、これに対処するためにもやはり多数のるつぼ1,3を配置する必要があり、その結果、つぼの配置に手間がかかることや、装置のコストアップを招くことなどの問題が生じる。特に有機EL用の真空蒸着装置においては例えば400Å程度の非常に薄い膜を形成するため、この成膜に用いられる有機材料のホスト材やドーパント材は非常に少量(例えば2g程度)であることから、このような問題が生じ易い。
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体ものであり、その上面に、その一端から他端までの長さの複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする。
なお、複数本の溝に収容する蒸着材料としては、加熱により昇華して蒸発する昇華材料が好適である。又、複数本の溝としては、細い隙間の溝、例えば、スリット溝が好適である。
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体ものであり、その上面に、その一端から他端までの長さの1本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする。
なお、1本の溝に収容する蒸着材料としては、加熱により溶融して蒸発する溶融材料が好適である。
前記るつぼは、集合配置して前記蒸着室一面に広がる複数のものであり、その上面に、その一端から他端までの長さの複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする。
前記るつぼは、前記蒸着室一面に広がる一体もの、又は、集合配置して前記蒸着室一面に広がる複数のものであり、その上面に複数個の孔を有し、この孔が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする。
前記るつぼを複数の領域に分け、前記るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の加熱手段を配設することにより、前記領域ごとに個別に前記加熱手段による温度調節を可能としたことを特徴とする。
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体もので且つ前記被蒸着体の幅方向に沿って延びた細長いものであり、その上面にるつぼの長手方向に沿って延びた1本又は複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする。
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体もので且つ前記被蒸着体の幅方向に沿って延びた細長いものであり、その上面にるつぼの長手方向と直交する方向に沿って延びた複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする。
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体もので且つ前記被蒸着体の幅方向に沿って延びた細長いものであり、その上面に複数個の孔を有し、この孔が前記蒸着材料を収容部となっていることを特徴とする。
前記るつぼを少なくとも前記長手方向に複数の領域に分け、前記るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の加熱手段を配設することにより、前記領域ごとに個別に前記加熱手段による温度調節を可能としたことを特徴とする。
前記蒸着材料は有機材料であり、
前記被蒸着体はフラットパネルディスプレイ基板であり、このフラットパネルディスプレイ基板の表面に前記有機材料を蒸着することによって有機エレクトロルミネセンス素子の薄膜を形成することを特徴とする。
前記蒸着材料は有機材料であり、
前記被蒸着体は照明用基板であり、この照明用基板の表面に前記有機材料を蒸着することによって有機エレクトロルミネセンス素子の薄膜を形成することを特徴とする。
蒸着材料として有機材料を用いると共に、
前記るつぼの前記領域ごとに温度を計測し、前記領域の温度が一定となるように、計測された領域ごとの温度に基づいて、前記加熱手段の出力を各々制御することを特徴とする。
図1は本発明の実施の形態例1に係る真空蒸着装置の構成を示す斜視図、図3は図1のA部拡大斜視図、図4(a)は図3のB−B線矢視断面図(るつぼの平面図)、図4(b)は図4(a)のC−C線矢視の断面拡大図である。なお、図2は、本実施の形態例1の真空蒸着装置におけるスプールシャッタの他の構成例を示す図である。
図7は本発明の実施の形態例2に係る真空蒸着装置の要部構成を示す斜視図、図8は図7のD−D線矢視断面図(電気ヒータの平面図)、図9は温度制御を説明するフローチャートである。
図12は本発明の実施の形態例3に係る真空蒸着装置の要部構成を示す斜視図、図13(a)は図12のE−E線矢視断面図(るつぼの平面図)、図13(b)は図13(a)のF−F線矢視の断面拡大図である。
また、蒸着材料ドーパント材30A,ホスト材30B)が少量の場合にも、孔51の個数や寸法(径、深さなど)を適宜設定することにより、容易に対処することができる。
図15は本発明の実施の形態例4に係る真空蒸着装置の要部構成を示す斜視図である。
12 蒸着装置本体
13 チャンバ
14 蒸着室
15 混合室
16A,16B 蒸発室
17 電気ヒータ
19A,19B スプールシャッタ
20 シャッタブロック
20a 蒸気孔
21 シャッタシャフト
21a 蒸気孔
22A,22B るつぼ
23 側壁(ホットウォール)
24 多孔板シャッタ
25 固定板
25a 貫通孔
26 可動板
26a 貫通孔
27 多孔整流板
27a 貫通孔
30A ドーパント材
30B ホスト材
31 上面
31a 堤部
32A スリット溝
41 電気ヒータ
42 ヒータ台
43,44 ヒータ用の溝
45 温度調整装置
46 温度センサ
51 孔
60 蒸発室
61 るつぼ
62 上面
63 スリット溝
64 蒸着材料
70 蒸発室
71 るつぼ
72 上面
73 孔
74 蒸着材料
Claims (12)
- 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体ものであり、その上面に、その一端から他端までの長さの複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体ものであり、その上面に、その一端から他端までの長さの1本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは、集合配置して前記蒸着室一面に広がる複数のものであり、その上面に、その一端から他端までの長さの複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは、前記蒸着室一面に広がる一体もの、又は、集合配置して前記蒸着室一面に広がる複数のものであり、その上面に複数個の孔を有し、この孔が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1,2,3,又は4に記載の真空蒸着装置において、
前記るつぼを複数の領域に分け、前記るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の加熱手段を配設することにより、前記領域ごとに個別に前記加熱手段による温度調節を可能としたことを特徴とする真空蒸着装置。 - 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体もので且つ前記被蒸着体の幅方向に沿って延びた細長いものであり、その上面にるつぼの長手方向に沿って延びた1本又は複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体もので且つ前記被蒸着体の幅方向に沿って延びた細長いものであり、その上面にるつぼの長手方向と直交する方向に沿って延びた複数本の溝を有し、この溝が前記蒸着材料の収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 蒸発室内に設けたるつぼに蒸着材料を収容し、この蒸着材料を前記蒸発室の側壁であるホットウォールからの放射熱で加熱して蒸発させることにより、被蒸着体の表面に前記蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置において、
前記るつぼは前記蒸着室一面に広がる一体もので且つ前記被蒸着体の幅方向に沿って延びた細長いものであり、その上面に複数個の孔を有し、この孔が前記蒸着材料を収容部となっていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項6,7又は8に記載の真空蒸着装置において、
前記るつぼを少なくとも前記長手方向に複数の領域に分け、前記るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の加熱手段を配設することにより、前記領域ごとに個別に前記加熱手段による温度調節を可能としたことを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項6,7,8又は9に記載の真空蒸着装置において、
前記蒸着材料は有機材料であり、
前記被蒸着体はフラットパネルディスプレイ基板であり、このフラットパネルディスプレイ基板の表面に前記有機材料を蒸着することによって有機エレクトロルミネセンス素子の薄膜を形成することを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項6,7,8又は9に記載の真空蒸着装置において、
前記蒸着材料は有機材料であり、
前記被蒸着体は照明用基板であり、この照明用基板の表面に前記有機材料を蒸着することによって有機エレクトロルミネセンス素子の薄膜を形成することを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項5又は請求項9に記載の真空蒸着装置を用いて、有機エレクトロルミネセンス素子の薄膜を製造する方法であって、
蒸着材料として有機材料を用いると共に、
前記るつぼの前記領域ごとに温度を計測し、前記領域の温度が一定となるように、計測された領域ごとの温度に基づいて、前記加熱手段の出力を各々制御することを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の薄膜の製造方法。
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