KR100473485B1 - 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원 - Google Patents
유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (7)
- 내부에 증착용 물질을 담기 위한 것으로서, 긴 통 형상으로 형성되고, 그 상측면에 개구부가 형성되는 도가니와;상기 도가니의 개구부에 삽입되며, 길이 방향을 따라 양 끝부분에서 중앙부분으로 갈수록 개구면적이 좁아지는 노즐부를 갖는 개구부조절부와;상기 개구부조절부를 직접 가열할 수 있도록 상기 도가니의 측면 상측에 형성되는 가열부로 구성되어,상기 도가니의 길이 방향에 수직인 방향으로 기판을 이동시키거나, 상기 도가니를 이동시킴으로써, 박막을 증착하도록 함을 특징으로 하는 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.
- 제 1항에 있어서, 상기 개구부조절부의 중앙부분은 일정길이 막혀짐을 특징으로 하는 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.
- 삭제
- 제 1항에 있어서, 상기 개구부조절부를 가열하는 가열부와는 별도로, 상기 도가니의 측면을 가열하는 열선을 추가 구성하는 것을 특징으로 하는 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.
- 제 1항에 있어서, 상기 도가니 내의 증착용 물질이 위치하는 공간에 블록을 설정하거나, 또는, 상기 블록에 여닫이가 가능한 서랍을 설치함으로써,상기 블록 또는 서랍에 증착용 물질이 위치하도록 함을 특징으로 하는 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.
- 제 1항에 있어서, 상기 개구부의 하측에는 도가니 내의 물질이 튀어나가 기판 등에 손상을 주는 것을 방지하기 위한 튐방지부가 추가 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.
- 내부에 증착용 물질을 담고, 열을 가하여 유기 반도체 소자 박막을 증착하여 제작하기 위한 것으로서,긴 통 형상으로 형성되고, 그 측면에 길이 방향을 따라 양끝부분에서 중앙부분으로 갈수록 좁아지는 개구부가 형성되는 도가니와;상기 개구부의 내측에 상기 증착용 물질이 빠져나가지 않도록 막아주는 가로벽으로 구성되어,상기 길이 방향에 수직인 방향으로 기판을 이동시키거나, 상기 도가니를 이동시킴으로써, 박막을 증착하도록 함을 특징으로 하는 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.
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