KR100833014B1 - 합금 증착용 증발 장치 - Google Patents

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송연균
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Abstract

합금 증착용 증발 장치가 개시된다.
개시되는 합금 증착용 증발 장치는 피막 대상물에 합금 피막을 형성하기 위한 장치로서, 상기 합금 피막을 구성하는 복수의 증발 대상물을 수용하고, 상기 증발 대상물을 증발시켜 증기를 형성하는 증발 용기; 상기 증기가 혼합되는 증기 혼합 탱크; 및 상기 증기를 상기 증기 혼합 탱크로 분사하며 혼합시키는 증기 혼합용 분사노즐;을 포함한다.
개시되는 합금 증착용 증발 장치에 의하면, 합금 피막의 형성 공정이 간단해지면서도, 형성된 합금 피막의 성분 분포 및 그 두께 편차가 감소되고, 광범위한 중량 퍼센트의 합금 피막을 용이하게 형성시킬 수 있는 장점이 있다.
합금 피막, 증기 혼합, 증기 분사, 증기 차단막, 증기 분배

Description

합금 증착용 증발 장치{Evaporation apparatus for alloy deposition}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치의 구성을 개략적으로 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 적용되는 증기 혼합용 분사노즐을 개략적으로 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 적용되는 증기 분배 슬릿을 개략적으로 보이는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 의한 폭 방향 성분 분포에 대한 실험 결과를 보이는 그래프.
도 5는 일반적인 합금 증착용 증발 장치에 의한 폭 방향 성분 분포에 대한 실험 결과를 보이는 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110, 111 : 증발 용기 120, 121 : 가이드 튜브
130 : 히터 140, 141 : 단열 세라믹 튜브
150 : 증기 혼합 탱크 160 : 증기 차단판
170 : 증기 분사 노즐 200 : 증기 혼합용 분사노즐
210, 220 : 증기 분사부 211, 221 : 튜브 연결부
212, 222 : 슬릿 튜브 213, 223 : 증기 분사구
250 : 증기 분배 슬릿
본 발명은 합금 증착용 증발 장치에 관한 것이다.
진공 증착은 아연, 알루미늄, 은, 금, 구리, 주석 등의 물질을 금속, 유리, 플라스틱 등의 소재에 코팅하는 일반적인 방법으로, 진공을 이용하는 물리 증착 기술 중의 하나이다. 물리 증착 기술은 기존 습식 도금 대비 환경에 영향을 미치지 않기 때문에 그 응용이 점차 증가하고 있다.
물리 증착은 크게 진공 증착, 스퍼터링 및 이온 플레이팅이 있다. 아연, 마그네슘, 알루미늄 등의 금속을 증착할 경우, 일반적인 용도에는 진공 증착과 스퍼터링 방법이 주로 이용되고, 내식성, 피막의 밀착력 및 밀도를 향상시키기 위한 경우는 이온 플레이팅 방법을 주로 이용하고 있다.
재료의 부식을 방지하는 일반적인 방법으로 재료 표면에 그 재료보다 부식성이 보다 강한 금속을 피복하는 방법이 이용되고 있다. 부식 방지용 코팅에 사용되는 물질에는 아연, 알루미늄과 이들의 합금이 주로 이용되고 있다.
일반적으로 단일 금속에 비해 합금을 이용하면 합금이 가지는 독특한 성질로 인해 내부식성이 더 증가하게 된다. 이 방법은 두 개의 증발원을 합금화가 용이하도록 가깝게 위치시킨 후에 각각을 별도로 가열한다. 그리고, 요구되는 중량퍼센트 에 부합되도록 전력을 조절하여 기판 홀더에 장착된 기판에 증발된 합금을 증착시킴으로써 피막을 제조한다.
그러나, 상기와 같은 종래의 합금 피막의 제조 방식에 의하면, 다음과 같은 문제가 발생될 수 있다.
첫째, 기판에 증착된 피막의 합금 성분이 그 기판의 폭 방향 또는 길이 방향을 따라 큰 편차를 나타낸다. 즉, 그 기판 상에 불균일한 피막 증착이 이루어지는 것이다. 특히, 피막을 이루는 두 금속의 증기압 차이가 큰 경우, 상기와 같은 피막 성분의 불균일성은 더욱 심화된다.
둘째, 합금 피막을 형성시키기 위하여, 모합금을 증발 물질로 이용하여 증발시키는 방법을 이용하는 경우, 금속 간의 증기압 차이가 크거나 두 금속이 용융되면서 쉽게 분리되는 물질이면, 증기압이 높은 물질부터 먼저 증발하기 때문에 합금 피막이 원활하게 형성되지 않을 수 있다.
셋째, 증발된 금속 성분이 덩어리가 되는 되어 기판에 달라붙거나 클러스터를 형성하는 경우가 있는데, 이러한 경우 기판 표면의 외관을 손상시킬 수 있고, 증발의 불안정성에 따른 증발률 변화로 합금 성분 및 그 증착 두께에 편차가 발생될 수 있다.
본 발명은 증기압이 서로 다른 물질 간의 합금 피막이 원활하게 형성될 수 있는 구조를 가진 구조를 가진 합금 증착용 증발 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 합금 증착용 증발 장치는 피막 대상물에 합금 피막을 형성하기 위한 장치로서, 상기 합금 피막을 구성하는 복수의 증발 대상물을 수용하고, 상기 증발 대상물을 증발시켜 증기를 형성하는 증발 용기; 상기 증기가 혼합되는 증기 혼합 탱크; 및 상기 증기를 상기 증기 혼합 탱크로 분사하며 혼합시키는 증기 혼합용 분사노즐을 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 증발 대상물을 증발용기로부터 증기 혼합 탱크로 분사하는 증기 혼합용 분사노즐은 증기 상태의 증발 대상물이 서로 마주하는 방향으로 배출되어 혼합이 이루어지도록 구성될 수 있다. 이 경우, 증기 혼합용 분사노즐은 각 증기가 분사되는 복수의 증기 분사구가 형성되는 복수의 증기 분사부가 서로 마주하는 방향으로 인접하여 배치되게 구성될 수도 있다.
본 발명에 따른 합금 증착용 증발 장치에 의하면, 증발 용기에서 증발된 각 금속 증기가 증기 혼합용 분사노즐을 통해 증기 혼합 탱크로 유입되고, 증기 차단판에 의해 미혼합 증기의 유출이 방지되면서 와류 형성에 따라 증기 혼합이 촉진될 수 있으며, 증기 분사 노즐에서 증기가 증기 분배 슬릿을 거치게 되므로, 증기압이 서로 다른 물질 간의 혼합이 원활하고, 균일하게 이루어질 수 있다. 따라서, 합금 피막의 형성 공정이 간단해지면서도, 형성된 합금 피막의 성분 분포 및 그 두께 편차가 감소되고, 광범위한 중량 퍼센트의 합금 피막을 용이하게 형성시킬 수 있다.
이하에서, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치의 구성을 개략적으로 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 적용되는 증기 혼합용 분사노즐을 개략적으로 보이는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 적용되는 증기 분배 슬릿을 개략적으로 보이는 도면이다.
도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치(100)는 증발 용기(110)(111)와, 가이드 튜브(120)(121)와, 히터(130)와, 증기 혼합용 분사노즐(200)과, 증기 혼합 탱크(150)와, 증기 분사 노즐(170)을 포함한다. 본 실시예에 따른 증발 장치(100)에서 진공용기 내에 설치되며 증기가 빠져 나오는 증기 분사 노즐(34)을 제외한 다른 부분은 외부에 대하여 밀폐된다.
상기 합금 증착용 증발 장치(100)는 진공 상태를 유지하는 진공 용기(미도시) 내에 수용된다.
상기 증발 용기(110)(111)에는 증발 대상물인 합금이 각각 수용된다. 이러한 증발 용기(110)(111)는 그 상측에 가이드 튜브(120)(121)가 각각 연결된다.
상기 가이드 튜브(120)(121)의 상측 말단부는 상기 증기 혼합용 분사노즐(200)과 연결된다. 그러면, 상기 증발 용기(110)(111)에서 각 합금의 증기가 상기 가이드 튜브(120)(121)를 경유하여 상기 증기 혼합용 분사노즐(200)을 통해 상기 증기 혼합 탱크(150)로 유입될 수 있다.
상기 증발 용기(110)(111) 및 상기 가이드 튜브(120)(121)에는 증발 히터(132)(133)가 복수 개 설치된다. 상기 증발 히터(132)(133)는 상기 증발 용기(110)(111) 내의 합금의 증발을 유도하고, 상기 가이드 튜브(120)(121) 내를 유동하는 합금의 증기가 증기 형태를 유지하며 원활하게 이동되도록 한다.
상기 가이드 튜브(120) 상에, 상세히는 상기 증발 용기(110) 및 상기 증기 혼합용 분사노즐(200)의 사이에는 단열 세라믹 튜브(140)가 설치된다. 상기 단열 세라믹 튜브(140)는 상기 증기 혼합 탱크(150) 및 상기 증발 용기(110) 사이의 열 간섭을 방지시킨다.
상기 증기 혼합 탱크(150)는 상기 가이드 튜브(120)를 통해 유입되는 각 합금의 증기가 혼합되는 부분이다. 이러한 증기 혼합 탱크(150)에는 복수 개의 탱크 히터(131)가 설치되어, 상기 증기 혼합 탱크(150) 내의 증기 혼합이 원활하게 이루어지도록 상기 증기 혼합 탱크(150)의 온도를 소정 온도로 가열한다.
상기 증발 히터(132) 및 상기 탱크 히터(131)는 통칭하여 히터(130)로 정의될 수 있다. 상기 히터(130)는 상기 증발 장치(100)에서 증기의 원활한 이동 및 막힘 방지를 위하여, 상기 증발 장치(100)의 각 요소들을 일정 온도 이상으로 가열시킬 수 있다.
상기 가이드 튜브(120)의 상기 증기 혼합 탱크(150) 내측 말단에는 증기 혼합용 분사노즐(200)이 배치된다. 상기 증기 혼합용 분사노즐(200)은 도 2에 도시된 바와 같이, 각 가이드 튜브(120)와 연결된 하측 증기 분사부(210) 및 상측 증기 분사부(220)를 포함한다.
상기 하측 증기 분사부(210) 및 상기 상측 증기 분사부(220)는 각각 튜브 연결부(211)(221)와, 슬릿 튜브(212)(222)와, 증기 분사구(213)(223)로 구성된다.
상기 튜브 연결부(211)(221)는 상기 슬릿 튜브(212)(222)를 상기 가이드 튜브(120)(121)의 말단부와 밀폐되도록 연결시킨다.
상기 슬릿 튜브(212)(222)는 상기 증기 혼합 탱크(150)의 수평 방향으로 소정 길이로 길게 형성되어, 상기 가이드 튜브(120)(121)를 통해 유입된 증기가 상기 증기 혼합 탱크(150) 내에 균일하게 퍼지도록 유도한다. 상기 하측 슬릿 튜브(212) 와, 상기 상측 슬릿 튜브(222)는 서로 마주보도록 설치된다.
상기 증기 분사구(212)(222)는 상기 슬릿 튜브(212)(222)의 길이 방향을 따라 복수 개 형성된다. 이러한 증기 분사구(212)(222)를 통해 상기 슬릿 튜브(212)(222)를 통해 유도된 증기가 상기 증기 혼합 탱크(150) 내로 배출된다.
상기 하측 증기 분사구(212)는 상측을 향하도록 형성되고, 상기 상측 증기 분사구(222)는 하측을 향하도록 형성되면, 상기 증기 분사구(212)(222)는 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 증기 분사구(212)(222)를 통해 각각 배출되는 증기가 원활하게 혼합될 수 있다.
또한, 상기 하측 증기 분사구(212) 및 상기 상측 증기 분사구(222)는 서로 어긋난 위치에 형성될 수 있다. 그러면, 상기 증기 분사구(212)(222)에서 분사되는 증기 간의 간섭이 방지될 수 있어서, 원활한 분사가 이루어질 수 있다.
상기 증기 차단판(160)은 상기 증기 혼합 탱크(150) 내의 상기 증기 혼합용 분사노즐(200) 상측에 배치된다. 상기 증기 혼합용 분사노즐(200)을 통해 상기 증기 혼합 탱크(150)로 유입된 증기는 넓은 공간의 상기 증기 혼합 탱크(150)에서 서로 혼합되면서 단열 팽창을 하게 된다. 이러한 단열 팽창된 증기는 사방으로 퍼져나가게 되고, 서로 완전히 혼합되지 아니한 일부의 증기가 상기 증기 분사 노즐(170)을 통해 피막 대상물인 기판(10)까지 도달될 수 있다. 특히, 상기 증기 분사 노즐(170)은 진공 상태인 진공 용기와 연통되므로, 상기 증기 분사 노즐(170)을 통해 상대적으로 고진공 상태인 진공 용기 내로 증기가 유출된 위험이 높아지게 된다.
상기 증기 차단판(160)은 상기와 같이 서로 혼합되지 아니한 증기가 상기 증 기 분사 노즐(170) 쪽으로 향하는 것을 막는다. 따라서, 상기 증기 분사 노즐(170)을 통해 서로 혼합되지 아니한 증기가 진공 용기 내로 유출되는 현상이 방지될 수 있다.
또한, 상기 증기 차단판(160)은 상기 증기 혼합 탱크(150)에 열전달 가능하게 연결되어 상기 증기 혼합 탱크(150)와 동일한 온도로 유지될 수 있다. 그러면, 상기 증기 혼합 탱크(150) 내에서 상승하는 증기가 상기 증기 차단판(160)에 의해 막히면서 와류가 형성되어 다시 한번 혼합되는 과정을 거치게 된다. 따라서, 상기 증기 혼합 탱크(150) 내에서의 증기 혼합이 보다 더 원활하게 이루어질 수 있다.
상기 증기 혼합 탱크(150) 내에서 상승하며 혼합된 증기는 상기 증기 차단판(160)의 양 측을 통해 상승하여, 상기 증기 분사 노즐(170)로 유입된다.
상기 증기 분사 노즐(170) 내에는 증기 분배 슬릿(250)이 배치된다. 상기 증기 분배 슬릿(250)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 증기 분사 노즐(170)의 폭 방향으로 길게 형성되고, 복수 개의 홀(251)이 형성된다. 상기 증기 분사 노즐(170)에 유입된 혼합 증기는 상기 증기 분배 슬릿(250)을 통과하면서 상기 증기 분사 노즐(170)의 폭 방향으로 균일하게 분배되어 상기 증기 분사 노즐(170)을 통과하게 된다. 그러면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 증기 분사 노즐(170)의 폭 방향으로 균일한 혼합 증기(171)가 상기 기판(10)에 도달되므로, 상기 기판(10)에 균일한 두께의 피막(11)이 형성될 수 있다.
상기 증기 분사 노즐(170)과, 상기 기판(10) 사이에는 셔터(180)가 더 배치될 수 있다. 상기 셔터(180)는 상기 증발 장치(100)에서 혼합 증기가 충분히 형성 될 때까지 상기 증기 분사 노즐(170)을 통한 증기 분사를 막을 수 있다.
이하에서 본 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 합금 증착용 증발 장치(100)에 전원이 인가되면, 상기 히터(130)가 동작된다. 그러면, 상기 증발 히터(132)(133)상기 증발 용기(110)(111) 내의 각 금속이 증발되어, 증기가 된다.
여기서, 상기 증발 용기(110)(111)에 대한 가열은 상기 증기 혼합 탱크(150) 및 상기 증기 분사 노즐(170)을 소정 온도로 가열한 후 수행될 수 있다.
상기와 같이 형성된 증기는 각각 상기 가이드 튜브(120)(121)을 따라 상승된다. 상기 가이드 튜브(120)(121)에도 상기 증발 히터(132)(133)가 설치되어, 그러한 증기의 엉김이 방지되고, 원활한 이동이 이루어질 수 있다.
상기 가이드 튜브(120)를 통해 상승된 증기는 증기 혼합용 분사노즐(200)을 통해 분사되면서 혼합된다. 상기된 바와 같이, 상기 상측 증기 분사부(220) 및 하측 증기 분사부(210)의 배치 형태에 의해, 상기 증기의 혼합이 원활하게 이루어질 수 있다.
상기 증기 혼합용 분사노즐(200)을 통해 분사된 증기는 상기 증기 혼합 탱크(150) 내에서 상승되면서 서로 혼합된다. 이러한 상승 과정 중 상기 증기 차단판(160)에서 혼합되지 아니한 증기의 배출이 방지되면서, 와류 형성에 의한 증기 혼합의 촉진이 이루어진다.
상기 증기 혼합 탱크(150) 내에서 혼합된 증기는 상기 증기 분사 노즐(170) 로 유입된다. 유입된 혼합 증기는 상기 증기 분배 슬릿(250)을 거치면서, 상기 증기 분사 노즐(170)의 폭 방향으로 균일하게 분배되어, 상기 기판(10)에 도달된다.
상기와 같은 과정을 거쳐, 상기 기판(10)에 균일한 두께 및 균일한 성분의 합금 피막(11)이 형성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치에 의한 폭 방향 성분 분포에 대한 실험 결과를 보이는 그래프이고, 도 5는 일반적인 합금 증착용 증발 장치에 의한 폭 방향 성분 분포에 대한 실험 결과를 보이는 그래프이다.
도 4의 실험예는 본 발명의 일 실시예에 따른 합금 증착용 증발 장치(100)를 이용하여, 강판 상에 아연-마그네슘 합금 피막을 제조한 경우이다.
먼저, 두께가 0.4mm인 냉연 강판을 가로가 70㎝이고 세로가 14㎝인 크기로 절단하여 회전이 가능한 원통 모양의 기판 홀더에 장착한다. 그런 다음에 일측 증발 용기(110)에 아연을 담고, 타측 증발 용기(111)에 마그네슘 금속을 각각 장입한 다음 진공 펌프를 이용하여 진공 배기하였다.
진공도가 10-5 토르 이하가 되면 기판(10)의 청정을 위해 아르곤 가스를 주입하고 기판(10)에 음의 전압을 인가하여 시편을 청정시킨다. 기판(10)의 청정은 10-2 토르 정도의 알곤 가스 분위기에서 시편에 600V의 음의 전압을 인가하여 글로 방전을 유도시켜 실시하였다. 이렇게 하면 방전영역에 존재하는 아르곤 이온이 시편에 충돌하여 시편에 존재하는 불순물을 제거하게 된다.
상기 과정을 거쳐, 기판(10)의 청정이 완료되면 본격적인 합금 증착을 실시 한다. 아연-마그네슘 합금 증착을 위해 우선 증기 혼합 탱크(150)와 증기 분사 노즐(170)을 700℃로 가열한다. 가열이 완료되어 온도가 700℃에서 일정하게 유지되면 증발용기(110)(111)를 가열하게 된다.
여기서는, 아연 증발용기(110)를 650℃로 맞추고, 마그네슘 증발용기(111)를 670℃로 가열시켰다. 증발용기(110)(111)의 가열이 완료되면 셔터(180)를 열어 회전되는 기판(10)에 아연-마그네슘 합금 피막(11)이 형성된다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발 장치(100)에 의한 실험예에 따라 형성된 아연-마그네슘 합금 피막(11)의 폭 방향 성분 분포를 그 거리에 따라 측정하여 나타낸 그래프가 도 4에 도시되고 있다. 도 4의 그래프를 검토해 보면, 마그네슘 함량은 대략 평균 10.5%이고, 성분 편차는 ±4%이내에 있음을 알 수 있다.
도 5의 실험예는 일반적인 합금 증착용 증발 장치를 이용하여, 강판 상에 아연-마그네슘 합금 피막을 제조한 경우이다.
먼저, 두께가 0.4mm인 냉연 강판을 가로가 20㎝이고, 세로가 14㎝인 크기로 절단하여 기판 홀더에 장착하고, 두 개의 보트 중 왼쪽 보트에 아연을 장입하고, 오른쪽 보트에 마그네슘을 장입한 다음 진공 배기하였다. 상기 보트는 공히 텅스텐으로 이루어진 보트를 이용하였다.
진공도가 10-5 토르 이하가 되면 기판의 청정을 위해 아르곤 가스를 주입하고 기판에 음의 전압을 인가하여 시편을 청정시킨다. 기판의 청정은 10-2 토르 정도의 아르곤 가스 분위기에서 시편에 600V의 음의 전압을 인가하여 글로 방전을 유도시켜 실시하였다.
기판의 청정이 완료되면 보트에 전류를 흘러 보트를 가열하는 단계가 된다. 보트를 가열하여 아연과 마그네슘의 중량%에 맞도록 전력을 조절한 다음 셔터를 열어 각각 원하는 증발률에 도달하면 셔터를 열어 기판에 아연-마그네슘 합금 피막을 제조하였다.
상기와 같은 일반적인 증발 장치에 의한 실험예에 따라 형성된 아연-마그네슘 합금 피막의 폭 방향 성분 분포를 그 거리에 따라 측정하여 나타낸 그래프가 도 5에 도시되고 있다. 도 5의 그래프를 검토해 보면, 그 폭 방향 거리에 따라 마그네슘 함량이 3 내지 30%까지 크게 변함을 알 수 있다.
상기 실험예들의 비교에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증발 장치(100)에 의하면, 일반적인 증발 장치에 의하는 경우보다 합금 피막의 각 성분 구성이 균일해짐을 알 수 있다.
본 발명에 따른 합금 증착용 증발 장치에 의하면, 증발 용기에서 증발된 각 금속 증기가 증기 혼합용 분사노즐을 통해 증기 혼합 탱크로 유입되고, 증기 차단판에 의해 미혼합 증기의 유출이 방지되면서 와류 형성에 따라 증기 혼합이 촉진될 수 있으며, 증기 분사 노즐에서 증기가 증기 분배 슬릿을 거치게 되므로, 증기압이 서로 다른 물질 간의 혼합이 원활하고, 균일하게 이루어질 수 있다. 따라서, 합금 피막의 형성 공정이 간단해지면서도, 형성된 합금 피막의 성분 분포 및 그 두께 편차가 감소되고, 광범위한 중량 퍼센트의 합금 피막을 용이하게 형성시킬 수 있는 효과가 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.

Claims (7)

  1. 피막 대상물에 합금 피막을 형성하기 위한 합금 증착용 증발 장치에 있어서,
    상기 합금 피막을 구성하는 복수의 증발 대상물이 각각 수용되고, 수용된 증발 대상물을 증발시켜 증기 상태로 배출하는 복수의 증발 용기와;
    상기 각 증발 용기로부터 유입되는 증기 상태의 각 증발 대상물이 서로 혼합되는 공간이 형성되며, 어느 일 측에는 혼합된 증발 대상물이 기판에 증착되도록 배출되는 증기 분사 노즐이 구비되는 증기 혼합 탱크와;
    상기 각 증발용기와 연결되는 상태로 상기 증기 혼합 탱크의 내부에 배치되어 증발 용기로부터 유입되는 증기 상태의 증발 대상물이 서로 마주하는 방향으로 배출되어 혼합이 이루어지도록, 상기 각 증기가 분사되는 복수의 증기 분사구가 형성되는 각 증기 분사부가 서로 마주하는 방향으로 인접하여 배치되게 구성되는 복수의 증기 혼합용 분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 합금 증착용 증발 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 증기 분사구는 분사되는 증기 상태의 증발 대상물이 마주하는 방향에서 서로 어긋나게 분사될 수 있는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 합금 증착용 증발 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 증기 혼합용 분사노즐과 증기 분사 노즐의 사이에는 증기 차단판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 합금 증착용 증발 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 증기 차단판은 상기 증기 혼합 탱크와 열전달 가능하게 연결된 것을 특징으로 하는 합금 증착용 증발 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 증기 분사 노즐에는 증기 혼합 탱크에서 혼합되어 배출되는 증기 상태의 증발 대상물이 증기 분사 노즐 내에서 균일하게 분포된 상태로 배출되도록 증기 분배 슬릿이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 합금 증착용 증발 장치.
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