KR960017912A - 연속 진공증착 공정에서 균일한 조성의 합금 증착층을 갖도록 하는 이중 증발원의 배열 방법 - Google Patents

연속 진공증착 공정에서 균일한 조성의 합금 증착층을 갖도록 하는 이중 증발원의 배열 방법 Download PDF

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Abstract

본 밭명은 강대(鋼帶) 등의 대상소재(Strip)가 합금 증착층을 갖도록 연속적으로 진공증착하는 공정에 적용하기 위한 전자빔 증발용 이중 도가니의 배열 방법에 관한 것이다.
두가지 금속을 각각 다른 도가니에 장입하여 전자빔 가열방식으로 대상소재에 합금층을 증착시킴에 있어서, 증착층이 두게 방향으로 균일한 조성분포를 갖도록 하기 위하여는 두 도가니의 중심간의 거리를 최소화하고 두 도가니의 중심간의 거리를 증발원과 기판간의 거리의 약 0.7배 이하로 설정하면 금속 증기류의 혼합율이 극대화되어 균일한 조성의 합금 증착층을 얻을 수 있다.
또한, 단일 보효용기 안에 두개의 도가니를 장입하고 그 주위를 세라믹 울(Ceramic wool) 단열재로 충진시키는 방법으로 두 도가니 간의 거리를 최소로 줄일 수 있으며, 이에 따라서 증발원 간 거리가 가까워지게 할 수 있고 도가니의 배열을 자유롭게 할 수도 있다.

Description

연속 진공증착 공정에서 균일한 조성의 합금 증착층을 갖도록 하는 이중 증발원의 배열 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이중 도가니에 의한 금속 증기류의 혼합 과정을 나타낸 도면,
제3도는 본 발명 이중 도가니의 제원 및 배열 상태를 나타낸 도면.

Claims (2)

  1. 전자빔 가열방식으로 2개의 증발원을 사용하여 이원계(二元系), 합금을 대상소재(帶狀素材)에 연속으로 진공증착시키는 이중(二重) 증발원의 배열방법에 있어서, 단일보호용기(8)내에 2개의 증발원(5,7)율 장입하여 증발원-증발원 간의 거리 및 증발원-대상소재 간의 거리 변화에 따라 증발원(5,7)의 배열을 변화시킬 수 있도록 하는 이중(二重) 증발원의 배열방법.
  2. 제1항에 있어서, 이원계(二元系) 함금이 알루미늄-아연 합금이고, 대상소재가 강판이고 증발원-증발원간의 거리와 증발원-대상소재 간의 거리비(Dcd/Dcs)가 0.7 이하인 이중(二重) 증발원의 배열방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940029280A 1994-11-09 1994-11-09 연속 진공증착 공정에서 균일한 조성의 합금 증착층을 갖도록 하는 이중 증발원의 배열 방법 KR0138040B1 (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020057248A (ko) * 2000-12-30 2002-07-11 현대엘씨디주식회사 유기전계발광 액정표시장치의 제조방법
KR100833014B1 (ko) * 2006-12-27 2008-05-27 주식회사 포스코 합금 증착용 증발 장치

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KR20020057248A (ko) * 2000-12-30 2002-07-11 현대엘씨디주식회사 유기전계발광 액정표시장치의 제조방법
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