KR100824991B1 - 유기 박막 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법 - Google Patents

Abstract

개시된 유기 박막 증착 장치는 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되는 지지부 및 상기 지지부와 마주보게 설치되는 소스 물질 제공부를 포함한다. 여기서, 상기 지지부는 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 기판을 지지한다. 그리고, 상기 소스 물질 제공부는 상기 지지부와 마주보는 부위가 개방된 구조를 가지면서 그 내부에 상기 유기 박막의 소스 물질을 수용하는 용기 및 상기 용기에 수용된 소스 물질이 증발되게 상기 용기를 가열하는 가열부를 포함한다. 그러므로, 상기 가열부를 이용하여 상기 용기를 가열함에 따라 상기 지지부에 지지된 기판으로 상기 유기 박막의 소스 물질을 제공할 수 있다. 아울러, 상기 유기 박막 증착 장치는 상기 소스 물질 제공부의 용기를 적어도 두 군데로 구획하고, 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량에 따라 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방되는 정도를 조정하는 개방 조정부를 포함한다.

Description

유기 박막 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법{apparatus of depositing organic layer and method of depositing using the same}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 증착 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1의 유기 박막 증착 장치에 설치되는 개방 조정부를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 3은 도 1의 유기 박막 증착 장치를 사용한 유기 박막 증착 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 챔버 12 : 지지부

14 : 소스 물질 제공부 16 : 기판

20a, 20b, 20c : 셔터 22a, 22b, 22c : 센서

24 : 제어부 100 : 유기 박막 증착 장치

141 : 용기 143 : 가열부

200 : 개방 조정부

본 발명은 유기 박막 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 유기 전계 발광 소자(organic light emitting device : OLED)에 적용하기 위한 유기 박막의 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 유기 전계 발광 소자는 평판 디스플레이 소자의 하나로써, 박막 구조의 양극 전극과 음극 전극사이에 발광 기능 등을 갖는 유기 박막이 개재되는 구조를 갖는다. 그러므로, 상기 유기 전계 발광 소자의 제조에서는 상기 유기 박막으로 형성하기 위한 유기물인 소스 물질을 기판 상에 증착하는 공정을 수행한다.

여기서, 상기 유기 박막의 소스 물질인 유기물은 무기물과는 달리 원자들의 집단으로 표현되는 분자들이 서로 연결되는 구조를 갖고 있기 때문에 무기물에 비해 무겁고, 외부로부터 높은 에너지가 제공될 경우 그 결합이 깨어지기 쉽다. 이에, 상기 유기 박막을 수득하기 위한 증착 공정은 전자선 또는 플라즈마 등과 같은 높은 에너지를 이용하는 방법보다는 상대적으로 낮은 에너지를 갖는 열을 가하여 상기 유기물을 증발시키는 방법을 주로 이용하고 있다.

그러므로, 상기 유기물을 증발시키는 방법을 적용한 유기 박막 증착 장치는 유기 박막이 증착될 기판을 지지하는 지지부와 상기 유기물인 소스 물질을 기판으로 제공하는 소스 물질 제공부를 포함한다. 특히, 상기 소스 물질 제공부는 상기 유기물인 소스 물질을 수용하는 용기와 상기 용기를 가열하는 가열부를 포함한다. 그리고, 상기 가열부는 용기를 둘러싸는 형태로 설치된다. 이에, 상기 가열부가 용기를 가열함에 따라 상기 용기 내에 수용된 소스 물질이 증발하고, 그 결과 상기 소스 물질이 상기 기판으로 제공되어 상기 기판 상에 유기 박막이 증착된다.

그러나, 상기 유기 박막 증착 장치를 사용한 유기 박막의 증착에서는 상기 가열부가 상기 용기 전체를 균일하게 가열시키지 못하는 상황이 빈번하게 발생한다. 즉, 상기 가열부가 용기들 둘러싸는 형태로 설치되기 때문에 용기 전체를 기준으로 부분적으로 상기 용기를 가열시키는 온도가 달라지는 것이다. 이와 같이, 상기 유기 박막을 수득하기 위한 증착 공정에서 용기 전체를 균일하게 가열시키지 못할 경우에는 상기 용기로부터 증발되는 소스 물질의 증발량이 달라지고, 이에 균일한 두께를 갖는 유기 박막의 증착이 용이하지 못한 결과를 초래한다.

본 발명의 일 목적은 가열부가 용기 전체를 균일한 온도로 가열시키지 못하는 상황이 발생하여도 균일한 두께를 갖는 유기 박막을 용이하게 수득하기 위한 유기 박막 증착 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 언급한 유기 박막 증착 장치를 이용함에 따라 균일한 두께를 갖는 유기 박막을 용이하게 수득하기 위한 방법을 제공하는데 있다.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 박막 증착 장치는 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되는 지지부 및 상기 지지부와 마주보게 설치되는 소스 물질 제공부를 포함한다. 여기서, 상기 지지부는 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 기판을 지지한다. 그리고, 상기 소스 물질 제공부는 상기 지지부와 마주보는 부위가 개방된 구조를 가지면서 그 내부에 상기 유기 박막의 소스 물질을 수용하는 용기 및 상기 용기에 수용된 소스 물질이 증발되게 상기 용기를 가열하는 가열부를 포함한다. 그러므로, 상기 가열부를 이용하여 상기 용기를 가열함에 따라 상기 지지부에 지지된 기판으로 상기 유기 박막의 소스 물질을 제공할 수 있다. 아울러, 상기 유기 박막 증착 장치는 상기 소스 물질 제공부의 용기를 적어도 두 군데로 구획하고, 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량에 따라 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방되는 정도를 조정하는 개방 조정부를 포함한다.

여기서, 상기 소스 물질 제공부의 용기는 직사각형 구조를 갖는 것이 바람직하고, 상기 용기를 적어도 두 군데로 구획할 수 있도록 그 내부에 설치되는 격벽을 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 개방 조정부는 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기의 개방된 부위를 개폐시킬 수 있게 설치되는 셔터들과 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량을 센싱하는 센싱부들 및 상기 센싱부들 각각으로부터 센싱되는 소스 물질의 증발량에 의해 상기 셔터들 각각을 제어하여 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방되는 정도를 조정하는 제어부를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 박막 증착 방법은 챔버 내에 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 기판을 지지시키고, 상기 기판과 마주보게 설치되면서 그 내부에 상기 유기 박막의 소스 물질을 수용한 용기를 적어도 두 군데로 구획한다. 이어서, 상기 용기를 가열하여 상기 용기 에 수용된 유기 박막의 소스 물질을 증발시킨다. 이와 같이, 상기 유기 박막의 소스 물질의 증발을 통하여 상기 기판으로 소스 물질을 제공함에 따라 상기 기판 상에는 유기 박막이 증착된다. 그리고, 상기 유기 박막을 증착시킬 때 상기 소스 물질이 증발되는 증발량에 따라 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방되는 정도를 조정한다.

여기서, 상기 용기가 개방되는 정도는 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량을 센싱하고, 상기 센싱 결과에 의해 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방된 부위를 개폐시킴으로써 용이하게 조정할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 의하면 상기 가열부가 용기 전체를 균일한 온도로 가열시키지 못함에 따라 상기 용기로부터 증발되는 소스 물질의 증발량이 달라도 상기 용기가 개방되는 정도를 조정함으로써 상기 기판으로 소스 물질을 균일하게 제공할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 장치 및 방법을 이용하면 균일한 두께를 갖는 유기 박막을 용이하게 수득할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 아울러, 도면들에 있어서, 챔버, 지지부, 소스 물질 제공부, 개방 조정부 등은 그 명확성을 기하기 위하여 다소 과장되 어진 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 유기 박막을 수득하기 위한 장치 및 방법에 대하여 한정하고 있지만, 소스 물질의 증발을 이용하여 박막을 증착하는 장치 및 방법에 대해서도 본 발명의 실시예를 용이하게 확장시킬 수 있음은 자명하다.

실시예

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 증착 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 유기 박막 증착 장치에 설치되는 개방 조정부를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 언급한 유기 박막 증착 장치(100)는 챔버(10)를 포함한다. 여기서, 상기 챔버(10) 내부는 유기 박막을 증착시킬 때 진공 상태를 유지해야 한다. 이에, 상기 챔버(10)는 외부로부터 밀폐되는 구조를 갖고, 그 일측에 진공 펌프(도시되지 않음) 등과 같은 부재가 연결된다.

상기 챔버(10) 내부의 일측에는 기판(16)을 지지하기 위한 지지부(12)가 설치된다. 특히, 상기 지지부(12)는 상기 챔버(10) 내부 상측에 설치되는 것이 적절하다. 이는, 기판(16) 상에 유기 박막을 증발을 통하여 증착시키기 때문이다. 또한, 상기 지지부(12)는 기판(16)을 지지할 때 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 지지한다. 아울러, 상기 기판(16)은 유기 전계 발광 소자에 적용되기 때문에 유리 기판을 포함한다. 그리고, 상기 지지부(12)에 의해 기판(16)이 지지되는 예는 클램프를 이용한 지지, 진공 흡착을 이용한 지지, 접착제를 이용한 지지 등을 들 수 있 다.

상기 챔버(10) 내부의 타측 즉, 상기 지지부(12)와 마주보는 위치에 소스 물질 제공부(14)가 설치된다. 그러므로, 상기 지지부(12)가 챔버(10) 내부의 상측에 설치되기 때문에 상기 소스 물질 제공부(14)는 챔버(10) 내부의 하측인 저면에 설치된다. 이와 같이, 상기 지지부(12)가 챔버(10) 내부의 상측에 설치되고, 상기 소스 물질 제공부(14)가 챔버 내부의 하측에 설치되는 것은 언급한 바와 같이 소스 물질의 증발을 통하여 유기 박막을 증착시키기 때문이다. 즉, 소스 물질을 하부에서 증발시켜 상부로 제공하는 것이 유기 박막의 증착 측면에서 보다 유리하기 때문이다.

그리고, 상기 소스 물질 제공부(14)는 소스 물질을 수용하는 용기(141)와 상기 용기(141)에 수용된 소스 물질이 증발되게 상기 용기(141)를 가열하는 가열부(143)를 포함한다. 여기서, 상기 용기(141)는 원통형 구조, 직사각형 구조 등과 같이 다양한 형태로 마련할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에서는 상기 용기(141)가 직사각형 구조를 갖는 것이 보다 바람직하다. 그 이유는, 상기 용기(141)의 가열에서 상기 원통형 구조의 용기에 비해 상기 직사각형 구조의 용기에서 가열을 위한 온도 편차가 더욱 심하기 발생하기 때문이다. 또한, 상기 용기(141)는 그 상부 즉, 상기 지지부(12)와 마주하는 부위가 개방된 구조를 갖는다. 이는, 상기 용기(141)의 개방된 부위를 통하여 증발이 이루어지는 소스 물질을 용이하게 상기 지지부(12)에 지지된 기판(16)으로 제공하기 위함이다. 그리고, 본 발명의 실시예에서는 하나의 용기(141)를 포함하는 유기 박막 증착 장치(100)에 대하 여 설명하고 있지만, 상기 유기 박막 증착 장치(100)는 다수개의 용기(141)를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 가열부(143)는 상기 용기(141)를 둘러싸도록 설치되고, 열판, 코일 형태의 열선 등을 포함하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기 박막 증착 장치(100)는 가열부(143)를 사용하여 용기(141)를 가열시킴으로써 용기(141)에 수용된 소스 물질을 증발시키고, 그 결과 증발된 소스 물질이 지지부(12)에 지지된 기판(16)을 제공되어 기판(16) 상에 유기 박막을 증착시킨다.

그러나, 상기 유기 박막 증착 장치(100)를 사용한 유기 박막의 증착에서는 가열부(143)가 용기(141) 전체를 균일하게 가열시키지 못하는 상황이 빈번하게 발생한다. 그 이유는, 상기 가열부(143)가 용기(141)를 둘러싸는 구조로 설치되어 부분적으로 가열을 위한 온도가 다르기 때문이다. 이와 같이, 상기 가열부(143)가 용기(141) 전체를 균일하게 가열시키지 못할 경우에는 용기(141)로부터 증발되는 소스 물질의 증발량도 부분적으로 달리한다. 즉, 상대적으로 높은 온도로 가열되는 용기(141)의 일 부위에서는 소스 물질의 증발량이 많아지고, 상대적으로 낮은 온도로 가열되는 용기(141)의 다른 부위에서는 소스 물질의 증발량이 적어지는 것이다. 언급한 바와 같이, 상기 용기(141)의 일 부위와 다른 부위 각각에서의 소스 물질의 증발량을 달리할 경우에는 기판(16)으로 제공되는 소스 물질의 증착량도 달리하고, 그 결과 기판(16) 상에 증착되는 유기 박막의 두께가 부분적으로 다르게 된다. 즉, 상기 유기 박막 증착 장치(100)를 사용할 경우에는 상기 용기(141)로부터 증발되는 소스 물질의 증발량이 부분적으로 다름으로 인하여 기판(16) 상에 증착되는 유기 박막의 두께 균일도에 대한 신뢰도가 저하되는 것이다.

이에 따라, 본 발명의 실시예에서는 상기 용기(141)의 일 부위와 다른 부위 각각에서의 소스 물질의 증발량이 다르기 때문에 발생하는 유기 박막의 두께 균일도에 대한 신뢰도 저하의 결함을 방지하기 위하여 언급한 유기 박막 증착 장치(100)의 포함되는 일 부재로서 개방 조정부(200)를 설치한다. 특히, 상기 개방 조정부(200)는 소스 물질 제공부의 용기(141)를 적어도 두 군데로 구획하고, 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량에 따라 상기 구획된 부위 각각에서 용기(141)가 개방되는 정도를 조정하도록 설치된다. 그리고, 상기 개방 조정부(200)에 설치에 의해 용기(141)가 구획되는 부위는 본 발명의 실시예에서는 세 군데로 한정하여 설명하기로 한다.

구체적으로, 상기 개방 조정부(200)는 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기(141)의 개방된 부위를 개폐시킬 수 있게 설치되는 셔터들(20a, 20b, 20c)을 포함한다. 특히, 본 발명의 실시예에서는 용기(141)를 세 군데로 구획하고 있기 때문에 세 군데로 구획된 용기(141) 각각에 셔터들(20a, 20b, 20c)을 설치한다. 아울러, 상기 셔터들(20a, 20b, 20c) 각각에는 그 구동을 위한 부재를 포함한다. 그리고, 상기 개방 조정부(200)는 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량을 센싱할 수 있게 설치되는 센싱부들(22a, 22b, 22c)을 포함한다. 마찬가지로, 본 발명의 실시예에서는 용기(141)를 세 군데로 구획하고 있기 때문에 세 군데로 구획된 용기(141) 각각에 센싱부들(22a, 22b, 22c)을 설치한다. 여기서, 상기 센싱부들(22a, 22b, 22c) 각각은 소스 물질의 증발량을 적절하게 센싱할 수 있 는 크리스탈 센서를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 개방 조정부(200)는 상기 센싱부들(22a, 22b, 22c) 각각으로부터 센싱되는 소스 물질의 증발량에 의해 상기 셔터들(20a, 20b, 20c) 각각을 제어하여 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기(141)가 개방되는 정도를 조정할 수 있게 설치되는 제어부(24)를 포함한다.

또한, 상기 용기(141)에 대한 구획은 상기 용기(141) 내에 격벽(26)을 설치하는 것이 바람직하다. 즉, 용기(141) 내에 격벽(26)을 설치하여 용기(141) 자체를 구획하는 것이다. 그리고, 본 발명의 실시예에서는 용기(141)를 세 군데로 구획하고 있기 때문에 두 개의 격벽(26)을 설치한다.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기 박막 증착 장치(100)는 언급한 개방 조정부(200)를 포함함으로써 용기(141)로부터 증발되는 소스 물질의 증발량에 따라 용기(141)가 개방되는 정도를 달리하여 기판(16) 상에 증착되는 유기 박막의 두께 균일도에 대한 신뢰도를 확보한다. 즉, 용기(141)로부터 증발되는 소스 물질의 증발량이 상대적으로 많은 부위에서는 용기(141)를 다소 좁게 개방시키고, 용기(141)로부터 증발되는 소스 물질의 증발량이 상대적으로 적은 부위에서는 용기(141)를 다소 넓게 개방시키는 것이다.

이하, 언급한 유기 박막 증착 장치를 사용하여 기판 상에 유기 박막을 형성하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.

도 3은 도 1의 유기 박막 증착 장치를 사용한 유기 박막 증착 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

도 3을 참조하면, 챔버(10) 내부로 유기 박막을 증착할 기판(16)을 로딩시킨다. 이어서, 상기 기판(16)을 지지부(12)에 지지시킨다.(S30) 이때, 상기 기판(16)은 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 지지시킨다. 즉, 유기 박막이 증착될 부위의 기판(16)이 소스 물질 제공부(14)와 마주하게 지지시키는 것이다.

이와 더불어, 소스 물질의 수용한 용기(141)를 적어도 두 군데로 구획한다.(S32) 여기서, 상기 용기(141)의 구획은 언급한 바와 동일하게 때문에 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다. 또한, 상기 용기(141)의 구획은 유기 박막을 증착할 때마다 수행하는 것이 아니라 장치적으로 적절하게 그 구획을 구성하면 된다. 즉, 구획이 이루어진 용기(141)를 유기 박막 증착 장치(100)의 부재로 설치하고, 이를 유기 박막 증착 공정에 이용하는 것이다. 아울러, 본 발명의 실시예에서는 세 군데로 구획된 용기(141)를 사용한다.

언급한 바와 같이, 세 군데로 구획된 용기(141)가 설치된 유기 박막 증착 장치(100)의 챔버(10)로 기판(16)을 로딩시킨 후, 지지부(12)에 기판(16)을 지지시킨다.

이어서, 유기 박막 증착 장치(100)의 챔버(10) 내부를 공정 조건에 적합하도록 조정한다. 즉, 온도 조건, 압력 조건 등을 조정하는 것이다.

그리고, 가열부(143)를 이용하여 용기(141)를 가열시킨다. 이에 따라, 용기(141) 내에 수용된 소스 물질은 증발이 이루어진다. 이와 같이, 상기 증발이 이루어진 소스 물질은 용기(141)의 개방된 부위를 통하여 기판(16)으로 제공되고, 그 결과 기판(16) 상에 유기 박막의 증착이 이루어진다.(S34)

그러나, 상기 기판(16) 상에 증착되는 유기 박막은 증착되는 기판(14)의 부위에 따라 그 두께를 달리하는 상황이 발생한다. 그 이유는, 언급한 바와 같이 용기(141)를 가열하는 가열부(143)가 용기(141) 전체를 균일하게 가열하지 못하여 용기(141) 각각의 부위에서 증발되는 소스 물질의 증발량이 다르기 때문이다.

이에, 본 발명의 실시예에서는 언급한 바와 같이 구획된 상기 용기(141)로부터 증발되는 소스 물질의 증발량을 센싱부들(22a, 22b, 22c) 각각을 사용하여 용기의 구획된 부위 각각을 계속적으로 센싱한다.(S36) 그리고, 상기 센싱 결과에 따라 셔터들(20a, 20b, 20c) 각각을 사용하여 용기(141)가 개방되는 정도를 조정한다. 즉, 소스 물질이 상대적으로 많이 증발되는 것으로 센싱되는 부위에서는 용기(141)의 개방을 좁히고, 소스 물질이 상대적으로 적게 증발되는 것으로 센싱되는 부위에서는 용기(141)의 개방을 넓히는 것이다.(S38 내지 S42)

이와 같이, 상기 셔터들(20a, 20b, 20c), 센싱부들(22a, 22b, 22c) 및 제어부(24)를 포함하는 개방 조정부(200)를 사용하여 구획된 부위에서의 용기(141)의 개방 정도를 적절하게 조정함으로써 기판(16)으로 제공되어 증착되는 소스 물질의 증착량을 적절하게 조정할 수 있고, 그 결과 기판(16) 상에 증착이 이루어지는 유기 박막의 두께 균일도를 확보할 수 있다. 즉, 소스 물질이 상대적으로 많이 증발되는 부위에서는 용기(141)의 개방을 좁힘으로써 기판(16)으로 소스 물질이 제공되는 것을 적절하게 감소시킬 수 있고, 소스 물질이 상대적으로 적게 증발되는 부위에서는 용기(141)의 개방을 넓힘으로써 기판(16)으로 소스 물질이 제공되는 적절하게 확장시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 용기로부터 증발되는 소스 물질의 증발량이 달라도 용기가 개방되는 정도를 적절하게 조정함으로써 균일한 두께를 갖는 유기 박막을 용이하게 수득할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 장치 및 방법은 최근의 높은 신뢰도를 요구하는 유기 전계 박막 소자의 제조에 적극적으로 적용할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (7)

1. 챔버;

   상기 챔버 내에 설치되고, 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 기판을 지지하는 지지부;

   상기 지지부와 마주보게 설치되고, 상기 지지부와 마주보는 부위가 개방된 구조를 가지면서 그 내부에 상기 유기 박막의 소스 물질을 수용하는 용기 및 상기 용기에 수용된 소스 물질이 증발되게 상기 용기를 가열하는 가열부를 포함하고, 상기 가열부를 이용하여 상기 용기를 가열함에 따라 상기 지지부에 지지된 기판으로 상기 유기 박막의 소스 물질을 제공하는 소스 물질 제공부; 및

   상기 소스 물질 제공부의 용기를 적어도 두 군데로 구획하고, 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기의 개방된 부위를 개폐시킬 수 있게 설치되는 셔터들, 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량을 센싱하는 센싱부들 및 상기 센싱부들 각각으로부터 센싱되는 소스 물질의 증발량에 의해 상기 셔터들 각각을 제어하여 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방되는 정도를 조정하는 제어부를 구비하는 개방 조정부를 포함하는 유기 박막 증착 장치.
2. 제1 항에 있어서, 상기 소스 물질 제공부의 용기에는 그 내부에 설치되는 격벽을 더 포함하고, 상기 격벽에 의해 상기 용기를 적어도 두 군데로 구획하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.
3. 제1 항에 있어서, 상기 소스 물질 제공부의 용기는 직사각형 구조를 갖는 것 을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.
4. 삭제
5. 제1 항에 있어서, 상기 센싱부들 각각은 크리스탈 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.
6. 챔버 내에 유기 박막이 증착될 부위가 노출되게 기판을 지지시키는 단계;

   상기 기판과 마주보게 설치되면서 그 내부에 상기 유기 박막의 소스 물질을 수용한 용기를 적어도 두 군데로 구획하는 단계;

   상기 용기를 가열하여 상기 용기에 수용된 유기 박막의 소스 물질을 증발시킴에 따라 상기 기판으로 소스 물질을 제공하여 상기 기판 상에 유기 박막을 증착하는 단계;

   상기 유기 박막을 증착할 때 상기 구획된 부위 각각으로부터 증발되는 소스 물질의 증발량을 센싱하는 단계; 및

   상기 센싱에 의하여 센싱된 상기 소스 물질의 증발량에 따라 상기 구획된 부위 각각에서 상기 용기가 개방된 부위를 개폐시켜 상기 용기가 개방되는 정도를 조정하는 단계를 포함하는 유기 박막 증착 방법.
7. 삭제

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