KR101240426B1 - 유기물질 분사노즐，유기박막 증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질이 분사되는 분사구가 선단에 마련된 노즐부를 가지며 노즐부의 선단이 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하도록 경사진 경사면으로 이루어진 유기물질 분사노즐, 이러한 유기물질 분사노즐이 장착된 도가니를 가지는 도가니장치 및 이 도가니장치를 포함하는 박막증착장비를 제공한다.

Description

유기물질 분사노즐，유기박막 증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비{Organic Material Nozzle, Crucible Assembly for Depositing Organic Thin Film and Thin Film Deposition Apparatus with the Same}

본 발명은 유기박막 재료인 유기물질을 분사하는 분사노즐, 유기박막의 증착을 위하여 증발된 유기물질을 제공하는 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비에 관한 것이다.

일반적으로, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)는 형광성의 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있을 뿐만 아니라, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 가지고 있어 일반 LCD(Liquid Crystal Display)와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않으며 화면에 잔상이 남지 않는다. 또, 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 주목을 받고 있다.

유기발광다이오드를 이용하여 이동통신단말기용 디스플레이나 텔레비전을 만들 때, 또는 조명기구를 생산할 때 필요한 것이 바로 박막증착장비인데, 이는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는 것이며 유기발광다이오드 생산을 위한 중요 장비 중 하나이다.

도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다. 이 도 1에 도시된 바와 같이, 박막증착장비는 챔버(chamber)(110)를 포함하는데, 이 챔버(110)의 상부공간에는 기판(105)이 위치되고, 하부공간에는 도가니장치(120)가 설치된다. 이 도가니장치(120)는 유기물질이 담기는 도가니(crucible)(122)와 이 도가니(122)를 가열하는 가열수단(도시되지 않음)으로 구성된다. 도가니(122)에 담긴 유기물질은 도가니(122)가 가열수단에 의하여 가열됨에 따라 증발된다. 도가니(122)는 상부가 개방된 구조를 가져, 증발하는 유기물질은 이 도가니(122)의 개방된 상부를 통하여 방출됨으로써 챔버(110)의 상부공간에 위치하는 기판(105)에 도달, 증착되어 기판(105)에 박막을 형성한다.

그러나, 이와 같은 박막증착장비는 증발되는 유기물질이 별도 제어과정 없이 그대로 방출되어 기판(105)에 증착되기 때문에, 박막증착공정 조건의 변경 등에 따라 기판(105)의 부분별 증착 유기물질의 양을 적절히 변경하여 박막의 균일도를 조정할 수 없었다. 즉, 박막증착공정 조건의 변경 등에 따른 유연한 대처가 곤란하였던 것이다.

본 발명은 기판에 증착되는 유기박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 유기물질 분사노즐, 유기박막 증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비를 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명이 해결하려는 과제는 위 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 통상의 기술자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)라면 아래의 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.

본 발명의 실시예에 따르면 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며 이 노즐부의 끝이 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하도록 경사진 유기물질 분사노즐이 제공된다.

여기에서, 상기 유기물질 분사노즐은 제1노즐부재 및 이 제1노즐부재의 끝에 분리 가능하도록 결합된 제2노즐부재로 구성되고, 상기 제2노즐부재는 상기 노즐부를 가질 수 있다.

또한, 상기 제1노즐부재는 분사구가 다각형으로 형성되고, 상기 제2노즐부재는 상기 제1노즐부재의 분사구에 끼워져 결합되는 결합부를 가지되, 상기 결합부는 상기 제1노즐부재의 분사구와 대응하는 다각형 형상으로 형성되어, 상기 제2노즐부재는 상기 제1노즐부재와의 결합방향에 따라 분사각이 변경될 수 있다.

또한, 상기 노즐부는 관형이고 횡단면이 원형으로 형성되어, 상기 제2노즐부재의 분사구는 타원형일 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 안에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 장착되며, 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 하나 또는 복수 개의 유기물질 분사노즐을 포함하고, 상기 하나 또는 복수 개의 유기물질 분사노즐은 끝(선단)에 분사구가 마련된 노즐부를 가지며, 이 노즐부의 끝은 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하도록 경사진 도가니장치가 제공된다.

여기에서, 상기 유기물질 분사노즐은 상기 도가니에 상기 노즐부의 중심부를 기준으로 회전 가능하도록 장착되어 회전각도에 따라 분사각이 변경되거나 상기 도가니에 상하 이동 가능하도록 장착되어 이동방향에 따라 높이가 조절될 수 있다.

또는, 상기 유기물질 분사노즐은 상기 도가니의 상부에 나사결합이 된 제1노즐부재 및 이 제1노즐부재의 끝에 분리 가능하도록 결합된 제2노즐부재로 구성되어 상하이동 및 회전이 가능하고, 상기 제2노즐부재는 상기 노즐부를 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 장착되고, 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 복수 개의 유기물질 분사노즐을 포함하되, 이 복수의 유기물질 분사노즐은 서로 간의 간격을 조절할 수 있게 각각 가동수단에 의하여 이동이 가능하도록 장착되는 한편, 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며, 이 노즐부의 끝은 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하도록 경사진 도가니장치가 제공된다.

상기 각 가동수단은 상기 도가니에 슬라이드 이동 가능하도록 장착되며 상기 유기물질 분사노즐이 결합되는 관통 홀을 가지는 슬라이더를 포함하고, 상기 도가니는 이 슬라이더가 장착되는 각 부분에 상기 관통 홀과 일치하는 유기물질 방출구가 마련될 수 있다.

여기에서, 상기 유기물질 방출구는 상기 슬라이더의 이동방향을 따라 길게 형성된 일정한 길이의 슬롯이고, 상기 슬라이더는 크기가 상기 유기물질 방출구의 커버가 가능하도록 이 유기물질 방출구에 비하여 길 수 있다.

상기 가동수단을 포함하는 도가니장치는 상기 각 슬라이더의 이동거리를 제한하여 상기 유기물질 방출구멍의 커버 해제를 방지하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 스토퍼는 상기 도가니에 각각 마련된 슬라이더 수용홈으로 구성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 장착되고, 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 하나 또는 복수의 유기물질 분사노즐을 포함하되, 이 유기물질 분사노즐은 횡방향으로 이동 가능하도록 장착되어 위치 변경이 가능한 한편, 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며, 이 노즐부의 끝은 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하도록 경사진 도가니장치가 제공된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 증착공간을 갖는 증착챔버와; 이 증착공간의 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 상기 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되고, 안에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 장착되며, 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 하나 또는 복수의 유기물질 분사노즐을 포함하고, 상기 유기물질 분사노즐은 끝에 분사구가 마련된 노즐부를 가지며, 이 노즐부의 끝은 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하도록 경사진 박막증착장비가 제공된다.

본 발명에 의하면 기판에 증착되는 유기박막의 균일도가 향상되기 때문에 박막증착공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 도가니장치의 일부분을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 도가니장치의 분사노즐을 나타내는 분해사시도이다.
도 5는 도 3에 도시된 도가니장치의 사용상태도이다.
도 6, 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장비의 요부가 도시된 사시도이다.
도 8은 도 7의 Y 부분 확대도이다.
도 9는 도 6의 Z-Z선 단면도이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는 데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도로, 이 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장비는 외부와 차단된 증착공간(22)을 제공하는 증착챔버(2), 이 증착챔버(2)의 내부공간인 증착공간(22)의 상부와 하부에 각각 배치된 기판 지지수단(3) 및 도가니장치(4)를 포함한다.

증착챔버(2)는 벽면의 한쪽에 기판(1)(이하, 도면부호의 병기는 편의상 생략한다)을 증착공간(22)에 반입하고 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구(24)가 마련된다. 기판 출입구(24)는 개폐수단(5)에 의하여 개폐된다. 증착챔버(2)는 벽면의 다른 쪽에도 마찬가지로 개폐수단(도면부호 5 참조)에 의하여 개폐되는 기판 출입구(도면부호 24 참조)가 마련될 수 있다. 그리고, 증착챔버(2)는 증착공간(22)이 배기수단(도시되지 않음)에 의하여 진공분위기로 조성될 수 있다.

기판 지지수단(3)은 증착공간(22)에 반입된 기판을 지지할 수 있도록 구성된 지지유닛을 포함하고, 이 기판 지지수단(3)에 의하여 지지된 기판은 지지유닛의 하부에 위치된다. 지지유닛은 지지유닛 구동수단(도시되지 않음)에 의하여 이동과 회전운동 중 적어도 하나를 할 수 있다.

도가니장치(4)는 내부에 유기박막 재료인 유기물질이 담기는 도가니(4C), 이 도가니(4C)에 담긴 유기물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공하는 가열수단(4H), 이 가열수단(4H)에 의하여 증발되는 유기물질을 기판에 분사하는 복수 개의 분사노즐(4N)을 포함한다. 이 때, 가열수단(4H)은 도가니(4C)의 주위에 감긴 열선을 포함하는데, 이 열선은 전류에 의한 발열작용으로 고온의 열을 발산한다.

도 2에서, 도면부호 6은 기판 지지수단(3)과 도가니장치(4) 사이에서 유기물질 이동경로를 차단하거나 차단을 해제하는 역할을 하는 셔터(shutter)로, 이 셔터(6)는, 박막증착공정 중에는 유기물질 이동경로의 차단이 해제된 상태를 유지하고, 박막증착공정을 완료하거나 중지한 경우에는 유기물질 이동경로를 차단하여 기판에 도가니장치(4)로부터의 유기물질이 더 이상 증착되지 않게 한다.

이제부터는 도 3 및 도 4를 참조하여 도가니장치(4)의 구성을 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.

도 3은 도가니장치(4)의 일부가 도시된 사시도이고, 도 4는 도가니장치(4)의 분사노즐(4N)이 도시된 분해사시도이다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 도가니(4C)는 횡방향으로 기다란 사각박스의 구조를 가지도록 구성되고, 복수의 분사노즐(4N)은 이 도가니(4C)의 상부에 배치된다.

도가니(4C)는 기다란 직사각형 용기의 구조를 가져 상부가 개방된 도가니 본체(41), 이 도가니 본체(41)의 개방된 상부를 덮는 도가니 덮개(42)를 포함하는데, 도가니 본체(41)는 가열수단(4H)에 의하여 가열되고, 도가니 덮개(42)에는 복수 개의 분사노즐(4N)이 서로 이격되도록 도가니(4C)의 길이방향을 따라 일정한 간격(바람직하게는, 등간격)을 두고 장착된다.

각 분사노즐(4N)은 도가니 덮개(42)에 하단부가 결합된 제1노즐부재(43), 이 제1노즐부재(43)의 상단부에 하단부가 결합된 제2노즐부재(44)로 구성되어, 이 제2노즐부재(44)의 상단인 분사노즐(4N)의 끝은 도 2와 같이 기판 측을 향한다.

제1, 2노즐부재(43,44)는 모두 직선형 파이프의 구조를 가져 양쪽의 끝이 개방된 관형 노즐이다. 이에 따르면, 제1, 2노즐부재(43,44)는 모두, 도 4와 같이 하단의 개방부는 유기물질이 유입되는 유입구(431,441)가 되고, 중공의 내부는 이 유입구(431,441)로 유입되는 유기물질이 흐르는 유로로서 기능하며, 상단의 개방부는 유기물질이 분사되는 분사구(432,442)가 된다.

도가니 덮개(42)는 제1노즐부재(43)와의 결합 부분에 각각 관통 홀이 마련되는데, 이 관통 홀은 모두 내주에 암나사가 형성된 나사구멍(421)이다. 제1노즐부재(43)는 하단부에 이 나사구멍(422)과 결합되는 수나사부(433)가 마련되어 좌우방향으로 회전시킬 수 있는 것과 동시에, 상하방향으로 일정한 거리 이동(승강)시킬 수 있다.

제2노즐부재(44)는 상부의 노즐부(443)와 하부의 결합부(444)로 구성되는데, 바람직하게는 노즐부(443)와 결합부(444)는 일체형으로 이루어진다.

노즐부(443)의 끝에는 앞서 언급하였던 제2노즐부재(44)의 분사구(442)가 마련되고, 노즐부(443)의 끝은 노즐부(443)의 중심에 대하여 비스듬하도록 일정한 각도 경사진 경사면(445)으로 형성된다. 노즐부(443)는 그 횡단면이 원형으로 형성되어, 제2노즐부재(44)는 그 분사구(442)가 노즐부(443)의 길이방향으로 기다란 타원형으로 형성된다. 이러한 노즐부(443)에 따르면, 제2노즐부재(44)의 분사구(442)를 통하여 분사되는 유기물질의 분사각 중심은 기판에 대하여 수직을 이루지 않고 이 수직방향에서 한쪽으로 치우치게 할 수 있다.

제2노즐부재(44)의 유입구(441)를 갖는 결합부(444)는 제1노즐부재(43)의 분사구(432)에 끼워져 결합된다. 제1노즐부재(43)의 분사구(432)는 삼각형 내지 팔각형과 같은 다각형의 구조를 가지도록 형성되고, 결합부(444)는 이 제1노즐부재(43)의 분사구(432)와 대응하는 다각형의 형상으로 형성된다. 이러한 제1 및 제2노즐부재(43,44) 간 결합구조에 의하면, 제2노즐부재(44)의 분사구(442)를 통하여 분사되는 유기물질의 분사각 중심은 제1노즐부재(43)에 대한 제2노즐부재(44)의 결합방향에 따라 변경된다. 예를 들어, 도 4와 같이 제1노즐부재(43)의 분사구(432)와 결합부(444)를 팔각형으로 한 경우에는 유기물질의 분사각 중심을 45도 각도 단위로 변경시킬 수 있는 것이다.

설명한 바와 같이 구성되는 제1실시예는 도가니(4C)에 유기물질을 투입한 후 가열수단(4H)을 작동시키면 이 가열수단(4H)의 가열작용에 의하여 유기물질이 증발되는데, 이 증발하는 유기물질은 나사구멍(421)에 결합된 제1노즐부재(43), 이 제1노즐부재(43)의 분사구(432)에 삽입된 제2노즐부재(44)를 차례로 거치면서 제2노즐부재(44)의 분사구(442)를 통하여 분사된다.

제1, 2노즐부재(43,44) 간 결합을 해제한 후 제1노즐부재(43)의 분사구(432)에 결합부(444)를 제1노즐부재(43)에 대한 제2노즐부재(44)의 결합방향을 달리하여 삽입하면, 제2노즐부재(44)의 분사구(442)를 통하여 분사되는 유기물질의 분사각은 변경된다. 앞서 설명하였듯이, 유기물질의 분사각 변경 단위는 제1노즐부재(43)의 분사구(432)와 결합부(444)가 어떠한 다각형 구조인가에 따라 결정된다.

유기물질의 분사각을 보다 세밀하게 변경하고자 하는 경우, 나사구멍(421)에 나사결합이 된 제1노즐부재(43)를 필요로 하는 각도만큼 회전시키면 된다. 제1노즐부재(43)를 수 회 회전시켜 풀거가 죄면, 분사노즐(4N)은 도가니 덮개(42)로부터의 돌출 길이(높낮이)가 변경된다. 도 5는 어느 한 분사노즐을 도 3과 비교하여 돌출시킨 상태를 나타낸다.

도 5는 어느 한 분사노즐을 도 3과 비교하여 90도 회전시킨 것과 동시에, 돌출시켜 높낮이를 변경한 상태를 나타내는바, 이와 같이 하면 기판에 분사되는 유기물질의 양을 기판의 부분별로 적절히 조절하여 기판에 증착되는 유기박막의 균일도를 향상시킬 수 있다.

한편, 도면에는, 제2노즐부재(44)들은 경사면(445)의 각도가 모두 동일한 것으로 도시되어 있으나, 일부 제2노즐부재(44)는 각도가 다른 노즐부(443)를 가지는 것으로 적용(교체)할 수 있다.

도 6, 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장비의 요부가 도시된 사시도이고, 도 8은 도 7의 Y 부분 확대도이며, 도 9는 도 6의 Z-Z선 단면도로, 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장비는 제1실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 복수의 분사노즐(4N)의 간격을 조절할 수 있도록 한 점만이 상이하다. 이를 설명하면 다음과 같다.

도가니 덮개(42)에는 복수의 분사노즐(4N)이 각각 가동수단(45)에 의하여 도가니(4C)의 길이방향인 분사노즐(4N)의 배열방향을 따라 왕복이동 가능하도록 장착되어, 분사노즐(4N)은 서로 간의 간격을 적절히 조절할 수 있다.

각 가동수단(45)은 도가니 덮개(42)의 상부에 도가니(4C)의 길이방향을 따라 슬라이드 이동 가능하도록 장착된 플레이트형의 슬라이더(451)를 포함하고, 도가니 덮개(42)에는 이러한 슬라이더(451)가 각각 위치하는 슬라이더 수용홈(422)이 마련된다. 슬라이더 수용홈(422)은 모두 도가니(4C)의 길이방향을 따라 길게 형성된다. 슬라이더 수용홈(422)에는 상하방향으로 관통된 유기물질 방출구(423)가 각각 마련되고, 슬라이더(451)는 이 유기물질 방출구(423)와 일치 가능한 관통 홀(452)을 각각 가진다. 관통 홀(452)은 제1실시예의 나사구멍(도 4의 도면부호 421 참조)과 동일한 역할을 하는 나사구멍이므로, 관통 홀(452)에는 제1실시예와 마찬가지로 분사노즐(4N)을 구성하는 제1, 2노즐부재(43,44) 중 제1노즐부재(43)의 수나사부(433)가 결합된다.

도 8에 도시된 바와 같이, 슬라이더 수용홈(422) 안에서 슬라이더(451)의 슬라이드 이동은 각각 슬라이드 기구(455)에 의하여 정확하게 이루어진다. 각 슬라이드 기구(455)는 서로 짝을 이루는 두 짝의 슬라이드 돌기(456)와 슬라이드 홈(457)으로 구성된다. 이 때, 슬라이드 돌기(456)는 슬라이더(451)의 양옆에 각각 마련되고, 슬라이드 홈(457)은 슬라이더 수용홈(422)에 이 슬라이드 돌기(456)가 각각 끼워질 수 있도록 길게 마련된다. 슬라이드 돌기(456)와 슬라이드 홈(457)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.

도 7과 도 9를 참조하면, 유기물질 방출구(423)는 슬라이더(451)의 이동방향인 도가니(4C)의 길이방향으로 길게 형성된 일정한 길이의 슬롯(slot)이고, 슬라이더(451)는 이렇게 기다란 유기물질 방출구(423)를 커버할 수 있는 크기를 가지도록 형성된다. 그리고, 슬라이더 수용홈(422)은 길이가 슬라이더(451)보다 길도록 형성되는바, 슬라이더(451)에 의한 유기물질 방출구(423)의 커버가 해제되는 것을 슬라이더(451)의 이동거리를 제한함으로써 방지할 수 있는 길이로 형성된다.

이에 따르면, 슬라이더(451)의 이동거리는 슬라이더 수용홈(422)에 제한되므로, 유기물질 방출구(423)와 관통 홀(452)은 서로 통하도록 항상 일치된 상태를 유지한다. 즉, 유기물질 방출구(423)와 관통 홀(452)이 서로 통하지 않게 불일치되는 현상을 스토퍼(stopper)로서의 역할을 하는 슬라이더 수용홈(422)의 길이방향 양단에 의하여 방지할 수 있는 것이다.

살펴본 바와 같은 제2실시예는 어느 한 슬라이더(451)를 이동시키면 이 이동시킨 슬라이더(451)에 결합된 분사노즐(4N)의 위치가 변경되면서 이웃한 분사노즐(4N)과의 간격이 변경된다.

한편, 도시된 바는 없으나, 슬라이더(451)와 슬라이더 수용홈(422) 사이에는 기밀 유지를 위한 실링재가 개재될 수 있다.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.

1 : 기판 2 : 증착챔버
3 : 기판 지지수단 4 : 도가니장치
4C : 도가니 4H : 가열수단
4N : 분사노즐 22 : 증착공간
41 : 도가니 본체 42 : 도가니 덮개
43 : 제1노즐부재 44 : 제2노즐부재
45 : 가동수단 421 : 나사구멍
422 : 슬라이더 수용홈 423 : 유기물질 방출구
431 : 제1노즐부재의 유입구 432 : 제1노즐부재의 분사구
433 : 수나사부 441 : 제2노즐부재의 유입구
442 : 제2노즐부재의 분사구 443 : 노즐부
444 : 결합부 445 : 경사면
451 : 슬라이더 452 : 관통 홀
455 : 슬라이드 기구

Claims (9)

1. 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 제1노즐부재와; 상기 제1노즐부재의 끝에 분리 가능하게 결합되고 상기 제1노즐부재로부터의 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며 상기 노즐부의 끝이 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하게 경사진 제2노즐부재로 구성되고,
   상기 제1노즐부재의 분사구는 다각형 형상으로 형성되며,
   상기 제2노즐부재는 상기 제1노즐부재의 분사구에 끼워져 결합되는 결합부를 갖되, 상기 결합부는 상기 제1노즐부재의 분사구와 대응하는 다각형 형상으로 형성되어, 상기 제2노즐부재는 그 분사구를 통한 유기물질의 분사각이 상기 제1노즐부재와의 결합방향에 따라 변경되는 유기물질 분사노즐.
2. 삭제
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 노즐부는 관형이고 횡단면이 원형으로 형성되어, 상기 분사구는 타원형인 유기물질 분사노즐.
5. 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 상기 도가니에 장착되고 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 적어도 하나의 유기물질 분사노즐을 포함하며,
   상기 유기물질 분사노즐은 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 제1노즐부재와; 상기 제1노즐부재의 끝에 분리 가능하게 결합되고 상기 제1노즐부재로부터의 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며 상기 노즐부의 끝이 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하게 경사진 제2노즐부재로 구성되고,
   상기 제1노즐부재의 분사구는 다각형 형상으로 형성되며,
   상기 제2노즐부재는 상기 제1노즐부재의 분사구에 끼워져 결합되는 결합부를 갖되, 상기 결합부는 상기 제1노즐부재의 분사구와 대응하는 다각형 형상으로 형성되어, 상기 제2노즐부재는 그 분사구를 통한 유기물질의 분사각이 상기 제1노즐부재와의 결합방향에 따라 변경되는 도가니장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 제1노즐부재는 상기 도가니의 상부에 나사결합이 된 도가니장치.
7. 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 상기 도가니에 배치되며 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 복수 개의 유기물질 분사노즐을 포함하되, 상기 복수의 유기물질 분사노즐은 서로 간의 간격을 조절할 수 있게 각각 가동수단에 의하여 이동 가능하도록 장착되고,
   상기 각 가동수단은 상기 도가니에 슬라이드 이동 가능하도록 장착되며 상기 유기물질 분사노즐이 각각 결합되는 관통 홀을 갖는 슬라이더를 포함하고, 상기 도가니는 상기 슬라이더가 장착되는 각 부분에 상기 관통 홀과 일치하는 유기물질 방출구가 마련되며,
   상기 유기물질 분사노즐은 상기 관통 홀에 결합되며 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 제1노즐부재와; 상기 제1노즐부재의 끝에 분리 가능하게 결합되고 상기 제1노즐부재로부터의 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며 상기 노즐부의 끝이 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하게 경사진 제2노즐부재로 구성되고,
   상기 제1노즐부재의 분사구는 다각형 형상으로 형성되며,
   상기 제2노즐부재는 상기 제1노즐부재의 분사구에 끼워져 결합되는 결합부를 갖되, 상기 결합부는 상기 제1노즐부재의 분사구와 대응하는 다각형 형상으로 형성되어, 상기 제2노즐부재는 그 분사구를 통한 유기물질의 분사각이 상기 제1노즐부재와의 결합방향에 따라 변경되는 도가니장치.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 유기물질 방출구는 상기 슬라이더의 이동방향을 따라 길게 형성된 일정한 길이의 슬롯이고,
   상기 슬라이더는 크기가 상기 유기물질 방출구의 커버가 가능하도록 상기 유기물질 방출구에 비하여 길며,
   상기 도가니장치는 상기 각 슬라이더의 이동거리를 제한하여 상기 슬라이더에 의한 상기 유기물질 방출구의 커버 상태 해제를 방지하는 스토퍼를 더 포함하는 도가니장치.
9. 증착공간을 갖는 증착챔버와; 상기 증착공간의 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 상기 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 상기 도가니의 상부에 장착되고 기판에 박막을 증착하기 위한 유기물질을 분사하는 적어도 하나의 유기물질 분사노즐을 포함하며,
   상기 유기물질 분사노즐은 상기 도가니에 장착되고 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 제1노즐부재와; 상기 제1노즐부재의 끝에 분리 가능하게 결합되고 상기 제1노즐부재로부터의 유기물질이 분사되는 분사구가 끝에 마련된 노즐부를 가지며 상기 노즐부의 끝이 상기 노즐부의 중심에 대하여 비스듬하게 경사진 제2노즐부재로 구성되고,
   상기 제1노즐부재의 분사구는 다각형 형상으로 형성되며,
   상기 제2노즐부재는 상기 제1노즐부재의 분사구에 끼워져 결합되는 결합부를 갖되, 상기 결합부는 상기 제1노즐부재의 분사구와 대응하는 다각형 형상으로 형성되어, 상기 제2노즐부재는 그 분사구를 통한 유기물질의 분사각이 상기 제1노즐부재와의 결합방향에 따라 변경되는 박막증착장비.

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