KR20080003720A - 증착 공정용 다중 노즐 증발원 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 상측이 개구된 원통형 도가니와;상기 도가니의 높이보다 짧은 원통 형상을 가지며 상기 도가니 상부에 조립되는 몸체부와, 이 몸체부의 상측면과 하측면을 경사를 가지며 관통하여 형성된 다수의 증발관으로 이루어지되, 각 증발관의 하단 개구부의 중심은 상기 몸체부의 동일 반경 내에 위치하고, 그 증발관의 상단 개구부의 중심은 하단 개구부 중심의 접선 상에 위치하게 되는 노즐부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원.
- 제1항에 있어서, 상기 증발관은 길이 방향으로 지름이 바뀌거나, 내주면에 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원.
- 제 1항에 있어서, 상기 도가니와 노즐부는,상기 도가니와 노즐부의 중앙을 관통하는 원기둥 형태의 중공부가 추가로 형성되는 것을특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원
- 상측이 개구된 사각 기둥 형상의 도가니와;상기 도가니의 높이보다 짧은 사각 기둥 형상을 가지며 상기 도가니 상부에 조립되는 몸체부와, 이 몸체부의 상측면과 하측면을 관통하는 다수의 증발관으로 이루어지되, 증발관들은 두 그룹으로 구분되어 상기 몸체부의 상측면 중심축에 대해 서로 반대 방향으로 동일한 각도의 경사를 갖는 노즐부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원.
- 제 4항에 있어서, 상기 증발관들은 네 개의 그룹으로 구분되어, 상기 노즐부의 상측면의 네 꼭지점 방향으로 경사를 갖는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원.
- 제 4항 또는 5항에 있어서, 상기 증발관은 길이 방향으로 지름이 바뀌거나, 내주면에 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원.
- 제 1항, 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 노즐부는,상기 증발관들과 다른 각도를 갖는 최소한 하나 이상의 증발관이 추가로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 다중 노즐 증발원.
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