JP6983096B2 - 真空蒸着装置用の蒸着源 - Google Patents
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- 真空チャンバ内に配置されて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源であって、
蒸着物質を収容する収容箱を備え、被蒸着物に対向する収容箱の面に、昇華または気化した蒸着物質を噴射する噴射ノズルが突設され、噴射ノズルは、その孔軸が収容箱の面に対して30度〜60度の範囲内の所定角度で傾斜されると共に、その孔径が5mm〜30mmの範囲内に設定されるものにおいて、
噴射ノズルのノズル先端と収容箱の面との間の距離が20mm〜50mmの範囲内に設定されることを特徴とする真空蒸着装置用の蒸着源。 - 前記収容箱の面のうち、この収容箱の面に対する前記噴射ノズルの投影領域の一部を含むように、前記収容箱内方に向けて凹入する凹部が形成され、この凹部の平坦面を基準に、噴射ノズルのノズル先端までの距離が設定されることを特徴とする請求項1記載の真空蒸着装置用の蒸着源。
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JP2018067475A JP6983096B2 (ja) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | 真空蒸着装置用の蒸着源 |
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