KR101240946B1 - 박막증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비 - Google Patents

박막증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기박막 재료인 유기물질이 담기며 이 담긴 유기물질과의 접촉면적이 증대되도록 요철구조를 갖는 도가니, 이 도가니에 열을 가하여 유기물질을 증발시키는 가열수단, 이 가열수단에 의하여 증발되는 유기물질을 분사하는 것으로서 선형 분사구와 점형 분사구가 조합으로 이루어진 유기물질 분사구를 가지는 노즐부로 구성된 도가니장치 및 이 장치를 포함하는 박막증착장비를 제공한다.

Description

박막증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비{Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same}
본 발명은 박막의 증착을 위하여 증발된 유기물질을 제공하는 도가니장치 및 이 도가니장치를 포함하는 박막증착장비에 관한 것이다.
일반적으로, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)는 형광성의 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있을 뿐만 아니라, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 가지고 있어 일반 LCD(Liquid Crystal Display)와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않으며 화면에 잔상이 남지 않는다. 또, 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 주목을 받고 있다.
유기발광다이오드를 이용하여 이동통신단말기용 디스플레이나 텔레비전을 만들 때, 또는 조명기구를 생산할 때 필요한 것이 바로 박막증착장비인데, 이는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는 것이며 유기발광다이오드 생산을 위한 핵심 장비 중 하나이다.
도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다. 이 도 1에 도시된 바와 같이, 박막증착장비는 챔버(chamber)(110)를 포함하는데, 이 챔버(110)의 상부공간에는 기판(105)이 위치되고, 하부공간에는 도가니장치(120)가 설치된다. 이 도가니장치(120)는 유기물질이 담기는 도가니(crucible)(122)와 이 도가니(122)를 가열하는 가열수단(도시되지 않음)으로 구성된다. 도가니(122)에 담긴 유기물질은 도가니(122)가 가열수단에 의하여 가열됨에 따라 증발된다. 도가니(122)는 상부가 개방된 구조를 가져, 증발하는 유기물질은 이 도가니(122)의 개방된 상부를 통하여 방출됨으로써 챔버(110)의 상부공간에 위치하는 기판(105)에 도달, 증착되어 기판(105)에 박막을 형성한다.
그러나, 이와 같은 박막증착장비는 증발되는 유기물질이 별도 제어과정 없이 그대로 방출되어 기판(105)에 증착되기 때문에, 박막증착공정 조건의 변경 등에 따라 기판(105)의 부분별 증착 유기물질의 양을 적절히 변경하여 박막의 균일도를 조정할 수 없었다. 즉, 박막증착공정 조건의 변경 등에 따른 유연한 대처가 곤란하였던 것이다.
본 발명은 기판에 증착되는 유기박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는 위의 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타의 과제들은 당업자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)라면 아래의 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 안에 유기물질이 담기고 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하고, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍과 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성된 도가니장치가 제공된다.
상기 도가니 본체는 횡방향으로 길게 형성되고, 상기 선형구멍은 상기 도가니 본체의 길이방향을 따라 형성된 일정한 길이의 슬릿으로 구성되며 상기 점형구멍은 이 슬릿의 너비를 확장시킬 수 있는 크기의 점 형상을 가질 수 있다. 그리고, 상기 점형구멍은 복수 개가 상기 슬릿의 길이를 따라 동일 간격을 두고 배치될 수 있다.
상기 가열수단은 상기 도가니를 가열하고, 상기 도가니 본체는 일부분 또는 전체가 안에 담긴 유기물질과의 접촉면적이 증대되도록 요철구조를 가질 수 있다.
여기에서, 상기 도가니 본체는, 횡방향으로 기다란 바닥판과; 이 바닥판의 전후에 각각 상기 바닥판의 길이방향을 따라 세워진 앞벽 및 뒷벽과; 이 앞벽과 뒷벽의 양단 부분에 각각 연결된 측벽으로 구성되고, 상기 앞벽과 뒷벽은 길이를 따라 직선부와 외측으로 볼록한 곡선부가 번갈아 연속하는 형상으로 형성되어, 상기 도가니 본체는 요철구조를 가질 수 있다. 이 때, 상기 두 측벽은 외측으로 볼록하도록 만곡할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니장치는 상기 선형구멍을 여닫기 위한 선형구멍 개폐수단을 더 포함할 수 있다.
상기 선형구멍 개폐수단은 상기 도가니 덮개의 한쪽에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 도가니 덮개의 상부를 덮거나 이 덮은 상태를 해제하며 상기 도가니 덮개의 상부를 덮은 때 상기 점형구멍과 일치하는 보조 점형구멍을 가지는 선형구멍 덮개를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니장치는 또, 상기 점형구멍을 여닫기 위한 점형구멍 개폐수단을 더 포함할 수 있다.
상기 점형구멍 개폐수단은 상기 도가니 덮개의 다른 한쪽에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 도가니 덮개의 상부를 덮거나 이 덮은 상태를 해제하며 상기 도가니 덮개의 상부를 덮은 때 상기 선형구멍과 일치하는 보조 선형구멍을 가지는 점형구멍 덮개를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 담긴 유기물질을 증발시키기 위한 열을 제공하는 가열수단과; 이 가열수단에 의하여 증발되는 유기물질을 분사하는 노즐부를 포함하고, 상기 노즐부는 적어도 하나의 선형 분사구와 이 선형 분사구 상에 위치한 적어도 하나의 점형 분사구로 구성된 유기물질 분사구를 가지는 도가니장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니를 가열하여 유기물질을 증발시키는 가열수단을 포함하고, 상기 가열수단에 의하여 가열되는 도가니는 일부분 또는 전체가 내부에 담긴 유기물질과의 접촉면적이 증대되도록 요철구조를 가지는 도가니장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 증착공간을 가지는 증착챔버와; 이 증착챔버의 증착공간 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 이 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 담긴 유기물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공하는 가열수단과; 이 가열수단에 의하여 증발되는 유기물질을 상기 기판에 분사하는 노즐부를 포함하고, 상기 노즐부는 적어도 하나의 선형 분사구와 이 선형 분사구 상에 위치한 적어도 하나의 점형 분사구로 구성된 유기물질 분사구를 가지는 박막증착장비가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 증착공간을 가지는 증착챔버와; 이 증착챔버의 증착공간 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 이 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니 및 이 도가니를 가열하여 유기물질을 증발시키는 가열수단을 갖춘 도가니장치를 포함하고, 상기 가열수단에 의하여 가열되는 도가니는 일부분 또는 전체가 내부에 담긴 유기물질과의 접촉면적이 증대되도록 요철구조를 가지는 박막증착장비가 제공된다.
본 발명에 의하면 기판에 증착되는 유기박막의 균일도가 향상되기 때문에 박막증착공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 3, 4는 도 2에 도시된 도가니장치를 나타내는 분해사시도 및 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장비의 주요부가 도시된 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 선형구멍 개폐수단의 작동을 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 5에 도시된 점형구멍 개폐수단의 작동을 나타내는 사시도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명함에 있어, 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도로, 이 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 박막증착장비는 외부와 차단된 증착공간(22)을 제공하는 증착챔버(2), 이 증착챔버(2)의 내부공간인 증착공간(22)의 상부와 하부에 각각 배치된 기판 지지수단(3) 및 도가니장치(4)를 포함한다.
여기에서, 증착챔버(2)는 벽면의 한쪽에 기판(1)(이하, 도면부호 병기 생략)을 증착공간(22)에 반입하고 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구(24)가 마련되고, 이 기판 출입구(24)는 개폐수단(5)에 의하여 개폐된다. 증착챔버(2)는 그 벽면의 다른 쪽에도 개폐수단에 의하여 개폐되는 기판 출입구가 마련될 수 있다. 또, 증착챔버(2)는 그 증착공간(22)이 배기수단(도시되지 않음)에 의하여 진공분위기로 조성될 수 있다.
기판 지지수단(3)은 증착공간(22)에 반입된 기판을 지지할 수 있도록 구성된 지지유닛을 포함하고, 이 같은 기판 지지수단(3)의 지지를 받는 기판은 지지유닛의 하부에 위치된다. 지지유닛은 지지유닛 구동수단(도시되지 않음)에 의하여 이동 또는 회전될 수 있다.
도가니장치(4)는 내부에 유기박막 재료인 유기물질이 담기는 도가니(4C), 이 도가니(4C)에 열을 가하여 도가니(4C)에 담긴 유기물질을 증발시키는 가열수단(4H)을 포함한다. 가열수단(4H)은 도가니(4C)의 주위에 감긴 열선을 포함하는데, 이 열선은 전류에 의한 발열작용으로 고온의 열을 발산한다.
도 2에서, 도면부호 6은 기판 지지수단(3)과 도가니장치(4) 사이에서 유기물질 이동경로를 차단하거나 차단을 해제하는 역할을 하는 셔터(shutter)로, 이 셔터(6)는, 박막증착공정 중에는 유기물질 이동경로의 차단이 해제된 상태를 유지하고, 박막증착공정을 완료하거나 중지한 경우에는 유기물질 이동경로를 차단함으로써 기판에 도가니장치(4)로부터의 유기물질이 더 이상 증착되지 않게 한다.
이제부터는 도 3 및 도 4를 참조하여 도가니장치(4)의 구성을 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 3, 4는 도가니장치(4)의 도가니(4C)가 도시된 분해사시도 및 사시도이다. 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 도가니(4C)는 횡방향(이하, 좌우방향)으로 길어 일정한 길이를 가지는바, 용기형의 구조를 가져 상부가 개방된 도가니 본체(41), 이 도가니 본체(41)의 개방된 상부를 덮는 도가니 덮개(42)를 포함한다.
도가니 본체(41)는 평평한 바닥판(41a)과 이 바닥판(41a)의 가장자리부를 따라 세워진 네 개의 벽체(41b,41c,41d,41e)로 구성된다. 전후에 위치하는, 좌우방향으로 기다란 앞벽(41b)과 뒷벽(41c)의 양단부에는 좌측벽(41d)과 우측벽(41e)이 각각 연결된다.
앞벽(41b)과 뒷벽(41c)은 둘 모두 직선부(411)와 곡선부(412)가 서로 번갈아 가면서 연속하도록 이어진 형상으로 형성된다. 이러한 앞벽(41b)과 뒷벽(41c)의 직선부(411)와 곡선부(412)는 서로 대향하는 대칭을 이루도록 배치되고, 앞벽(41b)과 뒷벽(41c)의 곡선부(412)는 마주하는 내측의 반대쪽인 외측으로 볼록하도록 형성된다. 좌측벽(41d)과 우측벽(41e)도 곡선부(412)와 마찬가지로 외측으로 볼록하여 만곡한 형상을 가진다.
이에 따르면, 도가니 본체(41)는 위에서 내려다 보았을 때 대략 아령 형상으로 형성되는바, 전체적으로 평면구조인 것과 비교하여 내부에 담기는 유기물질과의 접촉면적이 획기적으로 증대되어 가열수단(4H)에 의한 유기물질의 증발시간을 대폭 단축할 수 있다.
이와 관련, 도면에는 앞, 뒷벽(41b,41c)의 직선부(411)가 각각 세 개씩인 것으로 도시되어 있으나, 직선부(411)와 이 직선부(411)에서 연장되는 곡선부(412)의 개수는 실시조건에 따라 적절히 증감 가능하다.
도가니 덮개(42)는 도가니 본체(41)와 대응하는 형상인 아령형으로 형성되는 것이 바람직하다. 이 도가니 덮개(42)에는 가열수단(4H)에 의하여 증발되는 유기물질을 기판 지지수단(3)에 의하여 지지된 기판 측을 향하여 분사하는 유기물질 분사구멍(421)이 마련된다.
유기물질 분사구멍(421)은 좌우방향으로 기다란 슬릿(slit)으로 구성된 직선형의 선형구멍(422) 및 이 직선형의 선형구멍(422) 상에 선형구멍(422)의 길이방향을 따라 서로 이격되도록 등간격으로 배치된 복수 개의 점형(point type)구멍(423)을 포함한다. 이 때, 점형구멍(423)은 슬릿으로 구성된 선형구멍(422)의 폭을 순간 확장시킬 수 있는 크기를 가지는 원 형상으로 형성된다. 즉, 점형구멍(423)의 직경이 선형구멍(422)의 폭에 비하여 크도록 형성되는 것이다.
이와 같이, 선형구멍(422)과 점형구멍(423)으로 구성된 조합형 유기물질 분사구멍(421)을 가져 노즐의 역할을 하는 도가니 덮개(42)에 따르면, 선형구멍(422)에 의해서는 기판의 전반에 유기물질을 분사할 수 있고, 점형구멍(423)에 의해서는 기판에 유기물질을 부분별로 집중 분사할 수 있는바, 박막증착공정 조건에 따라 유연하게 대응하면서 박막의 균일도를 조정할 수 있다.
이와 관련, 도면상에는 선형구멍(422) 상에 네 개의 점형구멍(423)이 위치하는 것으로 도시되어 있으나, 점형구멍(423)의 개수는 실시조건에 따라 증감이 가능하다. 아울러, 좌우방향의 최외측에 위치하는 두 점형구멍(423)은 선형구멍(422)의 양단에 각각 위치하는 것으로 도시되어 있으나, 이 최외측의 점형구멍(423)이 반드시 선형구멍(422)의 양단에 위치되어야 할 이유는 없다.
또한, 위에서는 유기물질 분사구멍(421)이 하나의 선형구멍(422) 및 복수 개의 점형구멍(423)으로 구성되는 것으로 설명하였으나, 유기물질 분사구멍(421)은 좌우방향으로 일렬로 배치된 복수 개의 선형구멍(422) 및 선형구멍(422) 상에 각각 적어도 하나씩 위치된 점형구멍(423)으로 구성될 수도 있다.
다음에서는 제1실시예와 유사한 구성을 가지는 다른 실시예를 살펴보기로 한다. 다른 실시예는 설명의 명료성 및 편의를 위하여 제1실시예와 비교하였을 때 다른 부분을 중심으로 살펴보고 도면의 경우에도 해당 부분만을 도시하겠다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장비의 주요부가 도시된 사시도로, 이 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 박막증착장비는 제1실시예와 비교하였을 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 선형구멍 개폐수단(43)과 점형구멍 개폐수단(44)을 더 포함하는 점만이 상이하다.
선형구멍 개폐수단(43)은 도가니 덮개(42)의 전후 중 한쪽에 힌지(432)에 의하여 전후방향으로 회전 가능하게 연결되어 회전방향에 따라 도가니 덮개(42)의 상부를 덮거나 이렇게 덮인 상태를 해제하는 선형구멍 덮개(431)를 포함하고, 점형구멍 개폐수단(44)은 도가니 덮개(42)의 전후 중 다른 쪽에 힌지(442)에 의하여 전후방향으로 회전 가능하게 연결되어 회전방향에 따라 도가니 덮개(42)의 상부를 덮거나 이렇게 덮인 상태를 해제하는 점형구멍 덮개(441)를 포함한다.
선형구멍 덮개(431)는 회전되어 도가니 덮개(42)의 상부에 덮인 때 점형구멍(423)과 각각 일치하여 통하는 보조 점형구멍(433)을 가져, 각 점형구멍(423)은 이러한 선형구멍 덮개(431)를 덮어 선형구멍(422)을 폐쇄하더라도 개방된 상태가 유지된다. 점형구멍 덮개(441)는 회전되어 도가니 덮개(42)의 상부에 덮인 때 선형구멍(422)과 일치함으로써 서로 통하는 보조 선형구멍(443)을 가져, 선형구멍(422)은 이 같은 점형구멍 덮개(441)를 덮어 각 점형구멍(423)을 폐쇄하더라도 개방된 상태가 유지된다.
물론, 보조 점형구멍(433)과 보조 선형구멍(443)은 점형구멍(423), 선형구멍(422)과 각각 대응하는 형상으로 형성된다.
이와 같은 제2실시예는 선형구멍 덮개(431)를 회전시켜서 도가니 덮개(42)의 상부를 덮으면 선형구멍(422)의 경우에는 이 덮인 선형구멍 덮개(431)에 의하여 폐쇄되고, 점형구멍(423)의 경우에는 보조 점형구멍(433)에 의하여 개방된 상태가 유지되기 때문에,(도 6 참조) 증발되는 유기물질은 이 개방된 각 점형구멍(423)을 통하여 분사된다.
반면, 선형구멍 덮개(431)는 도가니 덮개(42)의 상부를 덮고 있는 상태가 해제되도록 열고, 점형구멍 덮개(441)는 회전시켜 도가니 덮개(42)의 상부를 덮고 있도록 닫으면 점형구멍(423)의 경우에는 이 덮인 점형구멍 덮개(441)에 의하여 폐쇄되고, 선형구멍(422)의 경우에는 보조 선형구멍(443)에 의하여 개방된 상태가 유지되므로,(도 7 참조) 증발되는 유기물질은 이 개방된 선형구멍(422)으로 분사된다.
이와 같이, 선형구멍 개폐수단(43) 및 점형구멍 개폐수단(44)에 의하면 박막증착공정 시 선형구멍(422)과 점형구멍(423) 중 하나를 선택으로 개폐할 수 있다.
이와 관련, 닫힌 상태의 선형구멍 덮개(431)와 점형구멍 덮개(441)는 자중에 의하여 닫힌 상태를 유지할 수 있는 중량을 가지도록 하는 것이 바람직하다. 물론, 필요하다면, 선형구멍 덮개(431)와 점형구멍 덮개(441)의 닫힌 상태는 각각 로크수단에 의하여 유지할 수도 있다. 예를 들면, 로크수단은 볼트를 포함하는 타입일 수 있는바, 선형구멍 덮개(431)와 점형구멍 덮개(441)에는 관통구멍을 각각 마련하고, 도가니 덮개(42)에는 선형구멍 덮개(431)와 점형구멍 덮개(441)이 닫힌 때 이 선형구멍 덮개(431)와 점형구멍 덮개(441)의 관통구멍과 각각 일치하는 나사 홈을 마련함으로써, 닫힌 선형구멍 덮개(431)나 점형구멍 덮개(441)를 도가니 덮개(42)에 볼트로 체결, 의도하지 않은 열림을 방지하는 타입일 수 있는 것이다.
이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 당업자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.
예를 들어, 위에서는 도가니 본체(41)의 벽체(41b,41c,41d,41e)가 대략 아령형으로 형성되어 도가니(4C)가 요철구조를 가지는 것으로 설명하였으나, 이 도가니(4C)의 요철구조는 다른 형상으로 얼마든지 변경 가능할 뿐만 아니라, 도가니 본체(41)의 벽체(41b,41c,41d,41e)가 아닌, 바닥판(41a)이 가지도록 구성될 수도 있고, 바닥판(41a)과 벽체(41b,41c,41d,41e) 모두가 가지도록 구성될 수도 있다.
1 : 기판 2 : 증착챔버
22 : 증착공간 3 : 기판 지지수단
4 : 도가니장치 4C : 도가니
4H : 가열수단 41 : 도가니 본체
42 : 도가니 덮개 421 : 유기물질 분사구멍
422 : 선형구멍 423 : 점형구멍
43 : 선형구멍 개폐수단 431 : 선형구멍 덮개
433 : 보조 점형구멍 44 : 점형구멍 개폐수단
441 : 점형구멍 덮개 443 : 보조 선형구멍

Claims (14)

  1. 안에 유기물질이 담기고 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하되, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍 및 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성되고,
    상기 선형구멍을 개폐하는 선형구멍 개폐수단을 더 포함하되, 상기 선형구멍 개폐수단은 상기 도가니 덮개의 한쪽에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 도가니 덮개의 상부를 덮거나 덮은 상태를 해제하며 상기 도가니 덮개의 상부를 덮은 때 상기 점형구멍과 일치하는 보조 점형구멍을 가지는 선형구멍 덮개를 포함하는 도가니장치.
  2. 안에 유기물질이 담기고 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하되, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍 및 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성되고,
    상기 점형구멍을 개폐하는 점형구멍 개폐수단을 더 포함하되, 상기 점형구멍 개폐수단은 상기 도가니 덮개의 다른 한쪽에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 도가니 덮개의 상부를 덮거나 덮은 상태를 해제하며 상기 도가니 덮개의 상부를 덮은 때 상기 선형구멍과 일치하는 보조 선형구멍을 가지는 점형구멍 덮개를 포함하는 도가니장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 도가니 본체는 횡방향으로 길게 형성되고,
    상기 선형구멍은 상기 도가니 본체의 길이방향을 따라 형성된 일정한 길이의 슬릿으로 구성되며 상기 점형구멍은 이 슬릿의 너비를 확장시킬 수 있는 크기의 점 형상을 가지는 도가니장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 도가니 본체에 담긴 유기물질을 증발시키기 위한 열을 제공하는 가열수단을 더 포함하고,
    상기 도가니 본체는 일부분 또는 전체가 안에 담긴 유기물질과의 접촉면적이 증대되도록 요철구조를 가지는 도가니장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 도가니 본체는, 횡방향으로 기다란 바닥판과; 이 바닥판의 전후에 각각 상기 바닥판의 길이방향을 따라 세워진 앞벽 및 뒷벽과; 이 앞벽과 뒷벽의 양단 부분에 각각 연결된 측벽으로 구성되고,
    상기 앞벽과 뒷벽은 길이를 따라 직선부와 외측으로 볼록한 곡선부가 번갈아 연속하는 형상으로 형성되어, 상기 도가니 본체는 요철구조를 가지는 도가니장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 두 측벽은 외측으로 볼록하도록 만곡한 도가니장치.
  7. 안에 유기물질이 담기고 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하되, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍 및 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성되고,
    상기 선형구멍을 개폐하는 선형구멍 개폐수단을 더 포함하여, 상기 선형구멍은 상기 선형구멍 개폐수단에 의하여 폐쇄될 수 있는 도가니장치.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 점형구멍은 복수 개가 상기 슬릿의 길이를 따라 동일 간격을 두고 배치된 도가니장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 점형구멍을 개폐하는 점형구멍 개폐수단을 더 포함하되, 상기 점형구멍 개폐수단은 상기 도가니 덮개의 다른 한쪽에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 도가니 덮개의 상부를 덮거나 덮은 상태를 해제하며 상기 도가니 덮개의 상부를 덮은 때 상기 선형구멍과 일치하는 보조 선형구멍을 가지는 점형구멍 덮개를 포함하는 도가니장치.
  10. 안에 유기물질이 담기고 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하되, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍 및 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성되고,
    상기 점형구멍을 개폐하는 점형구멍 개폐수단을 더 포함하여, 상기 점형구멍은 상기 점형구멍 개폐수단에 의하여 폐쇄될 수 있는 도가니장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 증착공간을 가지는 증착챔버와; 이 증착챔버의 증착공간 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 이 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니 및 이 도가니를 가열하여 유기물질을 증발시키는 가열수단을 갖춘 도가니장치를 포함하고,
    상기 도가니는 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하되, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍 및 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성되며,
    상기 도가니장치는 상기 선형구멍을 개폐하는 선형구멍 개폐수단을 더 포함하되, 상기 선형구멍 개폐수단은 상기 도가니 덮개의 한쪽에 회전 가능하도록 장착되어 회전방향에 따라 상기 도가니 덮개의 상부를 덮거나 덮은 상태를 해제하며 상기 도가니 덮개의 상부를 덮은 때 상기 점형구멍과 일치하는 보조 점형구멍을 가지는 선형구멍 덮개를 포함하는 박막증착장비.
  14. 증착공간을 가지는 증착챔버와; 이 증착챔버의 증착공간 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 이 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니 및 이 도가니를 가열하여 유기물질을 증발시키는 가열수단을 갖춘 도가니장치를 포함하고,
    상기 도가니는 상부가 개방된 도가니 본체와; 이 도가니 본체의 개방된 상부를 덮으며 유기물질 분사구멍을 가지는 도가니 덮개를 포함하되, 상기 유기물질 분사구멍은 적어도 하나의 선형구멍 및 이 선형구멍 상에 위치한 적어도 하나의 점형구멍으로 구성되며,
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20040110718A (ko) * 2003-06-20 2004-12-31 주식회사 야스 유기 발광소자 박막 제작을 위한 선형 노즐 증발원
KR20060010570A (ko) * 2004-07-28 2006-02-02 주식회사 선익시스템 증착물질 가열장치
KR20060121502A (ko) * 2005-05-24 2006-11-29 (주)하나기술 유기물 증착장치의 도가니 및 이를 장착한 유기물 증착장치
KR20070082699A (ko) * 2006-02-17 2007-08-22 황창훈 대면적 유기발광소자 제작용 증발원 정렬방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040110718A (ko) * 2003-06-20 2004-12-31 주식회사 야스 유기 발광소자 박막 제작을 위한 선형 노즐 증발원
KR20060010570A (ko) * 2004-07-28 2006-02-02 주식회사 선익시스템 증착물질 가열장치
KR20060121502A (ko) * 2005-05-24 2006-11-29 (주)하나기술 유기물 증착장치의 도가니 및 이를 장착한 유기물 증착장치
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